JPH01206208A - 光学的情報記憶媒体検査装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 ［発明の目的］ （産業上の利用分野） 本発明は光ディスク等の光学的情報記憶媒体を検査する
光学的情報記憶媒体検査装置に関し、特に光ディスクの
而振れ等の変位量を当該光ディスクの全面を連続的に検
査するようにした光学的情報記憶媒体検査装置に関する
ものである。

（従来の技術） 近年においては、光ディスク等の光学的情報記憶媒体が
画像情報記憶検索装置や音楽、あるいは映像再生装置等
で広く用いられている。この光ディスクは光学的情報記
憶媒体検査装置等を用いて製造工程の最終段階等におい
て各種の品質検査、例えば而振れや反り等の物理的特性
に係る検査を受ける。

従来のこのような光学的情報記憶媒体検査装置において
は、光学的情報記憶媒体である光ディスクを定速度回転
させるスピンドルモータを備え、さらにトラッキング制
御、フォーカシング制御を行なってこの光ディスクの回
転に伴なう面撮れ等の変位に追従して変位すると共に、
送りモータ等の移動手段により光ディスクの半径方向に
移動可能状態に設けられる光学ヘッド部を備えている。

光ディスクの而振れや反り等の変位量を測定づ−る場合
には、移動手段を駆動して光学ヘッド部を光ディスクの
半径方向の特定の測定地点に位置させると共に、この特
定の測定地点に光学ヘッド部を位置させた状態で光ディ
スクを回転させ、この光ディスクの回転に伴なう変位量
を測定するようにしている。この特定の測定地点におけ
る変位量の測定が終了すると、移動手段を駆動して次の
測定地点へ光学ヘッド部を移動させると共に、この次の
測定地点へ光学ヘッド部を位置させた状態で光ディスク
の回転に伴なう変位量を測定する。

以下同様に順次光ディスクの半径方向に設定した特定の
測定地点へ光学ヘッド部を移動させると共に、この特定
の測定地点へ光学ヘッド部を位置させた状態で回転する
光ディスクの変位量を測定する。

（発明が解決しようとする課題） このように従来の光学的情報記憶媒体検査装置において
は、光ディスクの半径方向に対して予め複数の測定地点
、例えば最外周部等の大きな変位量が存在すると思われ
る地点を設定すると共に、これらのそれぞれの測定地点
に光学ヘッド部を位置させた状態で光ディスクの回転に
伴なう変位量を順次測定するようにしていたことから、
多数の測定地点を設定すると、光ディスクを全面に渡っ
て検査する際に時間を要する。

又、逆に光ディスクの測定すべき測定地点を少なく設定
すると、測定時間を短縮することができる反面、測定洩
れを生じる場合がある。

本発明は上記に鑑みてなされたもので、光ディスクの而
振れ等の変位量をこの光ディスクの全面に渡って迅速に
検査することのできる光学的情報記憶媒体検査装置を提
供することを目的とする。

［発明の構成］ （課題を解決するための手段） 上記目的を達成するため、本発明は被検査体としての光
学的情報記憶媒体を回転駆動する回転駆動手段と、前記
光学的情報記憶媒体の物理的特性に対応して変位する光
学ヘッド部と、この光学ヘッド部を当該光学的情報記憶
媒体に係る一定の方向に連続的に移動させる移動手段と
、前記光学ヘッド部の変位を連続的に検出する検出手段
とを有して構成した。

（作用） 本発明は回転駆動手段が光学的情報記憶媒体を回転させ
る。又、この光ディスクの回転に伴なう変位に追従して
変位する光学ヘッド部を光学的情報記憶媒体に係る一定
の方向、例えば半径方向に連続的に移動させるための移
動手段とを備えているので、移動手段を駆動して光学ヘ
ッド部を光学的情報記憶媒体の半径方向に連続的に移動
させると、検出手段が光学ヘッド部の連続的な移動に応
じた光学的情報記憶媒体の物理的特性を連続的に検出す
る。

即ち回転する光学的情報記憶媒体に対して光学ヘッド部
を光学的情報記憶媒体の半径方向に連続的に移動させる
ことにより、面振れ等の変位量を光学的情報記憶媒体の
全面に渡って渦巻（スパイラル）状に連続的に検査する
ものである。

（実施例） 以下、図面を参照して本発明に係る実施例を詳細に説明
する。

まず、第２図を参照して本発明が適用される光学的情報
記憶媒体検査装置の概略的な構成について説明する。

被検査体としての光学的情報記憶媒体である光ディスク
１は、スピンドルモータ３の上に載置され、このスピン
ドルモータ３を一定速度、例えば６００　ｒｐｍで回転
駆動することにより光ディスク１を定速度回転させる。

一方、送りモータ５により移動可能に設けられたベース
７の上には、光学ヘッド９と各種の光学系が配置されて
いる。レーザヘッド１１は変位量測定用のレーザ光、例
えばＨｅ−Ｎｅレーザ光の平行光を出力する。ビームス
プリッタ１３はレーザヘッド１１からのレーザ光を入射
すると、二方向に均等に分配して出力する。このビーム
スプリッタ１３により分配された一方のレーザ光は干渉
計１５．レンズ１７．全反射プリズム１９ａ、１９ｂを
介して光学ヘッド９へ与えられる。このようにして光学
ヘッド９へ入射した入射光Ｐ１は第３図に示すように、
光学ヘッド９の所定の位置に貼設した全反射ミラー２３
で反射される。

この全反射ミラー２３で反射された反射光は、再び全反
射プリズム１９ｂ、１９ａ、レンズ１７を通って干渉計
１５へ進行する。干渉計１５では全反射ミラー２３で反
射された反射光とビームスプリッタ１３を介して入射す
るレーザヘッド１１からのレーザ光とを干渉せしめる。

受光器２５は干渉計１５からの干渉光を受光して光学ヘ
ッド９の変位量信号、即ち光ディスク１の半径方向に偏
心した変位量に相当する信号を出力する。

ビームスプリッタ１３により分配された他方のレーザ光
は全反射ミラー３３．干渉計３５．レンズ３７及び全反
射プリズム１９Ｃを介して光学ヘッド９へ与えられる。

このようにして光学ヘッド９へ入射した入射光Ｐ２は第
３図に示すように、光学ヘッド９の所定の位置に配設さ
れた全反射ブリブム４１で垂直に立ち上げられ、更に全
反射ミラー４３で反射される。この全反射ミラー４３で
反射された反射光は再び全反射プリズム４１，１９ｃ、
及びレンズ３７を通って干渉計３５へ進行する。干渉計
３５では全反射ミラー４３で反射された反射光と全反射
ミラー３３及びビームスプリッタ１３を介して入射する
レーザヘッド１１からのレーザ光とを干渉せしめる。受
光器４５は干渉計３５からの干渉光を受光して光学ヘッ
ド９の変位量信号、即ち光ディスク１の回転軸方向の而
振れの変位量に相当する信号を出力する。また、この干
渉計３５及び干渉計１５の分解能は、例えばそれぞれ光
の波長の１／６４若しくは１／１２８程度に設定される
。

次に第１図を参照して本発明に係る光学的情報記憶媒体
検査装置の要部の装置構成と共に電気的な回路構成を説
明する。

第１図Ａに示すようにスピンドルモータ３の上に載置さ
れる光ディスク１は直径１３０ｍｍの円板状に形成され
る。又この光ディスク１は第１図Ｂに示すように渦巻状
の溝１ａが光ディスク１の表面側及び裏面側の双方の面
に形成されている。この溝１ａの深さは測定しようとす
る光ディスク１の而振れ又は反り等の変位量の値よりも
十分量さい値である。またスピンドルモータ３は回転速
度３００〜３６００　ｒｐｍの範囲内の一定の回転速度
で回転することにより、光ディスク１を一定速度で回転
させる。又送りモータ５は１秒間当りに例えば０．０１
〜１０１１１１１の範囲内の一定の速度でベース７を移
動させることにより、光学ヘッド９を光ディスク１の半
径方向に一定の速度で移動させる。この送りモータ５に
よる光学ヘッド９の移動量は、光ディスク１の情報エリ
アをカバーするために例えば最大２００ＩＩＩＩ１１の
値に設定される。

角度検出器５１はスピンドルモータ３からの出力信号に
基づいて光ディスク１の回転角度を検出する。変位量検
出器５３は第２図に示した受光器２５及び４５と接続さ
れており、これらの受光器２５及び４５からのそれぞれ
の変位量信号に基づいて光ディスク１の半径方向の変位
量及び光ディスク１の回転軸方向の変位量をそれぞれ検
出する。

半径位置検出器５５は送りモータ５からの出力信号に基
づいて光学ヘッド９が存在する光ディスク１の半径方向
の位置を検出する。演算処理装置５７は前］ホした角度
検出器５１、変位ω検出器５３及び半径位置検出器５５
のそれぞれと接続されており、この演算処理装置５７は
角度検出器５１、変位量検出器５３及び半径位置検出器
５５からのそれぞれの検出信号に基づいて光ディスク１
の検査に関する演算処理を実行する。

次に第４図及び第５図を参照して実施例の動作を説明す
る。

まず、被検査体である光ディスク１はスピンドルモータ
３の上に載置されており、スピンドルモータ３を一定の
速度で回転駆動をすることにより、光ディスク１を一定
の速度で回転させる。この回転する光ディスク１の裏面
側に光学ヘッド９を対向して配置すると共に、光学ヘッ
ド９を光ディスク１の変位に追従して変位させる。即ち
、光学ヘッド９に対してはフォー力スナーボ制御と、ト
ラッキングサーボ制御とを実行する。具体的に説明する
と、光学ヘッド９の図示しない対物レンズと光ディスク
１のＷ４１ａを形成したトラック面との距離を一定に保
つように制御するフォーカスサー水制御と、前述したト
ラックの′偏心に対して対物レンズを光ディスク１の半
径方向に移動して追従制御させるトラッキングサーボ制
御とを実行する。

これにより光学ヘッド９は回転する光ディスク１の変位
に追従する。

次に送りモータ５を一定の速度で回転させることにより
、光学ヘッド９を光ディスク１の半径方向へ一定の速度
で移動させる。このように回転する光ディスク１に対し
て光学ヘッド９を光ディスク１の半径方向へ一定の速度
で移動させることにより、光ディスク１の面娠れ等の変
位量をこの光ディスク１の全面に渡って渦巻状に且つ連
続的に検査することができる。

変位量検出器５３は受光器２５及び４５からのそれぞれ
の変位量信号に基づいて光ディスク１の半径方向の変位
量及び光ディスク１の回転軸方向の変位量を検出し、こ
の検出した変位量に関する情報を演算処理装置５７へ送
出する。又半径位置検出器５５は送りモータ５からの出
力信号に基づいて光学ヘッド９が存在する光ディスク１
の半径方向の位置を検出し、この検出した光学ヘッド９
の位置即ち光ディスク１の中心点からの距離に関する情
報を演算処理装置５７へ出力する。

第４図は光ディスク１の中心点からの距離に対する変位
量を示した説明図であり、第４図に示すように回転する
光ディスク１に対して光学ヘッド９を一定の速度で光デ
ィスク１の半径方向へ移動させることにより、光ディス
ク１の変位量を連続的に検査することができる。

第５図は他の光ディスクを検査した場合を示し、第４図
に示すような連続した変位量を光ディスク１の回転周期
毎に処理したものである。

第４図及び第５図に示すように演算処理装置５７は変位
量検出器５３及び半径位置検出器５５からのそれぞれの
情報に基づいて而振れ闇［１及び反りＩＪ　Ｌ　２のそ
れぞれを演算する。即ち、演算処理袋Ｅ５７は光ディス
ク１が一回転する毎に、この光ディスク１の一回転に対
応して最大の変位量と最小の変位量との差を面振れｆｉ
　Ｌ　＋　としてこの而振れＩ＆　Ｌ　＋　を光ディス
ク１の回転周期毎に演算する。又、演算処理装置５７は
光ディスク１の全面に亘る最大の変位量と最小の変位量
との差を反り吊Ｌ２として演算する。

なお前述した実施例ではレーザ光を用いて光ディスク１
の変位量を光学的に検査する場合を例に取って示したが
、本発明はこれに限定されることなく適宜のセンサから
の信号に基づいて光ディスク１の変位量を検出するよう
に構成することができる。例えば、フォーカスサーボ制
御とトラッキングサーボ制御を実行するためのそれぞれ
のフォーカスコイルとトラックコイルを流れる双方の電
流値に基づいて光ディスク１の変位量を検出するように
しても同様に構成することができる。

（発明の効果） 以上説明してきたように本発明によれば、光学的情報記
憶媒体の回転に伴なう変位に追従して変位する光学ヘッ
ド部を前述した光学的情報記憶媒体の半径方向に連続的
に移動させて、光学的情報記憶媒体の物理的特性を連続
的に検出するようにしたことから、光学的情報記憶媒体
の反り母や面振れ量等の変位量を光学的情報記憶媒体の
全面に渡って連続的に且つ短時間で測定することができ
、測定の精度及び有用性を向上させることができる。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明の一実施例を示した説明図、第２図（Ａ
＞は第１図に示した実施例が適用される光学的情報記憶
媒体検査装置の平面図、第２図（８）は第２図（Ａ）の
側面図、第３図は第２図に示した要部の拡大図、第４図
は光ディスクの全面に渡って連続的に変位量を検出する
場合を示した説明図、第５図は光ディスクの回転周期毎
に変位量を処理した場合を示した説明図である。 １・・・光ディスク ３−・・スピンドルモータ ５・・・送りモータ ７・・・ベース ９・・・光学ヘッド ５３・・・変位量検出器 ５５・・・半径位置検出器 ５７・・・演算処理装置

Claims (1)

1. 【特許請求の範囲】 被検査体としての光学的情報記憶媒体を回転駆動する回
   転駆動手段と、 前記光学的情報記憶媒体の物理的特性に対応して変位す
   る光学ヘッド部と、 前記光学ヘッド部を当該光学的情報記憶媒体に係る一定
   の方向に連続的に移動させる移動手段と、前記光学ヘッ
   ド部の変位を連続的に検出する検出手段と を有することを特徴とする光学的情報記憶媒体検査装置
   。