JPH01207608A - ディスク表面形状測定装置 - Google Patents
ディスク表面形状測定装置Info
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- JPH01207608A JPH01207608A JP3227588A JP3227588A JPH01207608A JP H01207608 A JPH01207608 A JP H01207608A JP 3227588 A JP3227588 A JP 3227588A JP 3227588 A JP3227588 A JP 3227588A JP H01207608 A JPH01207608 A JP H01207608A
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- Japan
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- disk
- displacement sensor
- surface shape
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- 238000006073 displacement reaction Methods 0.000 claims abstract description 17
- 238000005259 measurement Methods 0.000 abstract description 18
- 230000003746 surface roughness Effects 0.000 description 2
- 230000003321 amplification Effects 0.000 description 1
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- 238000003199 nucleic acid amplification method Methods 0.000 description 1
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- 238000004441 surface measurement Methods 0.000 description 1
Landscapes
- Length Measuring Devices By Optical Means (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
本発明は光ディスクや磁気ディスク等のディスクの表面
粗さやうねり等の測定を打なうための７デイスク表面形
状測定装置に関するものである。
粗さやうねり等の測定を打なうための７デイスク表面形
状測定装置に関するものである。
【従来の技術１
この種の表面形状測定装置としては、ディスク表面に針
を接触させることで行なう触針式表面粗さ計が一般に用
いられている。 （発明が解決しようとする課題］ この場合、接触測定であるために、被測定物によっては
表面破壊を伴なうことがある上に、ライン測定であるこ
とから、面測定を行なうには、１回の測定が終了した時
点で被測定物の位置をずらして更に測定を行なうという
作業を複数回行なわなくてはならず、トータルとしての
測定時間が非常に扱くなるといろ問題を有している。 本発明はこのような点に鑑み為されたものであり、その
ｌ的とするところは非接触式で表面形状の測定を行なえ
る上に、ラインとしてではなく、面としての測定を行な
うことができると同時に測定結果をリアルタイムに得る
ことができるディスク・表面形状情報装、ｒａを提供す
るにある。 ［ａ題を解決するための手段］ しかして本発明に係るディスク表面形状測定装置は、往
復移動と回転とを行なうテーブルを二セット備えるとと
もに、表面形状を高さ方向の変化としてとらえる非接触
式変位センサが配された被測定物としてのディスク配置
用の一方のテーブルと、上記変位センサの出力によって
駆動される描画装置で表面形状情報が！！込まれる描画
用紙が置かれる他方のテーブルとを同期駆動する駆動装
置を備九でいることに特徴を有している。 ［作用１ 本発明によれば、被測定物としてのディスクが置かれた
テーブルが、移動と回転とを行なうために、変位センサ
がディスク表面全面を非接触式で測定できるものであり
、そしてこの測定結果は、上記テーブルと同じ動きを行
なう他のテーブル上の描画用紙上にリアルタイムに出力
されるものである。 【実施例１ 以下本発明を図示の実施例に基づいて詳述すると、矩形
状に組まれた枠５内には、この枠５に対してスライド自
在なスライダー６が配されているとともに、送りねじ８
が枠５の両端間に架設されて配設されている。この送り
ねじ８は、枠５に取り付けられたパルスモータフによっ
て回転駆動されるもので、上記スライダー６と螺合して
おり、従って送りねじ８の正逆回転に伴ない、スライダ
ー６は往復移動を行なう、テーブル２は上記スライダー
６に固定された可動台１上に配設されるもので、可動台
１に配したパルスモータ９によって回転駆動される。 本発明では、上記テーブル２をニセット用いて、被測定
物であるディスク１０が置かれる一方のテーブル２上に
は、非接触式変位センサ４を配置する。変位センサ４と
しては、ディスク１０の表面形状を高さ方向の変化とし
て非接触でとらえるものであればよく、たとえばレーザ
変位計やうず電流横変位センサ等を用いることができる
。尚、この変位センサ４は、動かないように固定されて
いる。 そして他方のテーブル２上には、上記変位センサ４の増
幅ｎ１１を介した出力で制御される描画装Ｗ１１３によ
り、測定結果、つまりディスク１０の表面形状情報が書
き込まれる描画用紙１４が置かれる８図中１２は駆動装
置である。 ここにおける上記二セットのテーブル２．２は、その移
動と回転とがパルスモータ７．９によって夫々行なわれ
るわけであるが、これら総計４個のパルスモータ７．９
は、パルスジェネレータ１５の出力で制御され、パルス
モータ７．７回士及びパルスモータ９，９回士が夫々同
期回転するように、すなわち、両テーブル２，２が全く
同じ動きを行なうようにされている。 しかして一方のテーブル２上にディスク１０を置き、他
方のテーブル２上に描画用紙１４を置いた状態で、各パ
ルスモータ７．７，９．９を駆動する。この時、ディス
ク１０の半径分をテーブル２゜２が移動する間に、テー
ブル２．２が数回転するようにしておく。 このようにテーブル２．２を動かしながら測定を行なえ
ば、変位センサ４によるところのディスク１０の表面形
状の測定結果を、描画装置１３が描画用紙１４上にリア
ルタイムで書き込んでゆくものであり、また上記測定は
ディスク１０の表面全面を渦巻き状に測定し、描画装置
１１も＠２図に示すように、描画用紙１４上に表面形状
情報を渦巻き状にｖＩき込んでゆくものである。尚、デ
ィスク１０の高さ方向の変化は、描画用紙１４上におい
て、直径方向の変化として現われるようにしておく、ま
た高さ方向の変化を直径方向の変化とする際の倍率は、
自由に変えることができるようにしておく。 パルスモータ９，９の駆動でテーブル２．２に回転のみ
を行なわせ、そしてテーブル２，２が一回転した時点で
パルスモータ７．７を少し回転させてテーブル２，２を
移動させるとい）ことを繰り返して、第３図に示すよう
に、ディスク１０表面を同心円状に測定し且つ測定結果
を描画用紙１４上に同心円状に１！き込むようにしても
よい。 【発明の効果】 以上のように本発明においては、非接触式変位センサを
用いることから、被測定物であるディスクの表面破壊が
生じない上に、ディスクに移動と回転とを行なわせるた
めに、１回の測定動作でディスフの表面全面を測定する
ことができるものであり、しかもこの測定結果は、ディ
スクが置かれるテーブルと同期して動く他のテーブル上
に置かれた描画用紙上に、リアルタイムに書き込まれる
ものであって、ディスクの表面形状を測定者が迅速に把
握することができるものである。
を接触させることで行なう触針式表面粗さ計が一般に用
いられている。 （発明が解決しようとする課題］ この場合、接触測定であるために、被測定物によっては
表面破壊を伴なうことがある上に、ライン測定であるこ
とから、面測定を行なうには、１回の測定が終了した時
点で被測定物の位置をずらして更に測定を行なうという
作業を複数回行なわなくてはならず、トータルとしての
測定時間が非常に扱くなるといろ問題を有している。 本発明はこのような点に鑑み為されたものであり、その
ｌ的とするところは非接触式で表面形状の測定を行なえ
る上に、ラインとしてではなく、面としての測定を行な
うことができると同時に測定結果をリアルタイムに得る
ことができるディスク・表面形状情報装、ｒａを提供す
るにある。 ［ａ題を解決するための手段］ しかして本発明に係るディスク表面形状測定装置は、往
復移動と回転とを行なうテーブルを二セット備えるとと
もに、表面形状を高さ方向の変化としてとらえる非接触
式変位センサが配された被測定物としてのディスク配置
用の一方のテーブルと、上記変位センサの出力によって
駆動される描画装置で表面形状情報が！！込まれる描画
用紙が置かれる他方のテーブルとを同期駆動する駆動装
置を備九でいることに特徴を有している。 ［作用１ 本発明によれば、被測定物としてのディスクが置かれた
テーブルが、移動と回転とを行なうために、変位センサ
がディスク表面全面を非接触式で測定できるものであり
、そしてこの測定結果は、上記テーブルと同じ動きを行
なう他のテーブル上の描画用紙上にリアルタイムに出力
されるものである。 【実施例１ 以下本発明を図示の実施例に基づいて詳述すると、矩形
状に組まれた枠５内には、この枠５に対してスライド自
在なスライダー６が配されているとともに、送りねじ８
が枠５の両端間に架設されて配設されている。この送り
ねじ８は、枠５に取り付けられたパルスモータフによっ
て回転駆動されるもので、上記スライダー６と螺合して
おり、従って送りねじ８の正逆回転に伴ない、スライダ
ー６は往復移動を行なう、テーブル２は上記スライダー
６に固定された可動台１上に配設されるもので、可動台
１に配したパルスモータ９によって回転駆動される。 本発明では、上記テーブル２をニセット用いて、被測定
物であるディスク１０が置かれる一方のテーブル２上に
は、非接触式変位センサ４を配置する。変位センサ４と
しては、ディスク１０の表面形状を高さ方向の変化とし
て非接触でとらえるものであればよく、たとえばレーザ
変位計やうず電流横変位センサ等を用いることができる
。尚、この変位センサ４は、動かないように固定されて
いる。 そして他方のテーブル２上には、上記変位センサ４の増
幅ｎ１１を介した出力で制御される描画装Ｗ１１３によ
り、測定結果、つまりディスク１０の表面形状情報が書
き込まれる描画用紙１４が置かれる８図中１２は駆動装
置である。 ここにおける上記二セットのテーブル２．２は、その移
動と回転とがパルスモータ７．９によって夫々行なわれ
るわけであるが、これら総計４個のパルスモータ７．９
は、パルスジェネレータ１５の出力で制御され、パルス
モータ７．７回士及びパルスモータ９，９回士が夫々同
期回転するように、すなわち、両テーブル２，２が全く
同じ動きを行なうようにされている。 しかして一方のテーブル２上にディスク１０を置き、他
方のテーブル２上に描画用紙１４を置いた状態で、各パ
ルスモータ７．７，９．９を駆動する。この時、ディス
ク１０の半径分をテーブル２゜２が移動する間に、テー
ブル２．２が数回転するようにしておく。 このようにテーブル２．２を動かしながら測定を行なえ
ば、変位センサ４によるところのディスク１０の表面形
状の測定結果を、描画装置１３が描画用紙１４上にリア
ルタイムで書き込んでゆくものであり、また上記測定は
ディスク１０の表面全面を渦巻き状に測定し、描画装置
１１も＠２図に示すように、描画用紙１４上に表面形状
情報を渦巻き状にｖＩき込んでゆくものである。尚、デ
ィスク１０の高さ方向の変化は、描画用紙１４上におい
て、直径方向の変化として現われるようにしておく、ま
た高さ方向の変化を直径方向の変化とする際の倍率は、
自由に変えることができるようにしておく。 パルスモータ９，９の駆動でテーブル２．２に回転のみ
を行なわせ、そしてテーブル２，２が一回転した時点で
パルスモータ７．７を少し回転させてテーブル２，２を
移動させるとい）ことを繰り返して、第３図に示すよう
に、ディスク１０表面を同心円状に測定し且つ測定結果
を描画用紙１４上に同心円状に１！き込むようにしても
よい。 【発明の効果】 以上のように本発明においては、非接触式変位センサを
用いることから、被測定物であるディスクの表面破壊が
生じない上に、ディスクに移動と回転とを行なわせるた
めに、１回の測定動作でディスフの表面全面を測定する
ことができるものであり、しかもこの測定結果は、ディ
スクが置かれるテーブルと同期して動く他のテーブル上
に置かれた描画用紙上に、リアルタイムに書き込まれる
ものであって、ディスクの表面形状を測定者が迅速に把
握することができるものである。
第１図は本発明一実施例の概略斜視図、第２図及び第３
図は夫々測定結果の出力例を示す正面図であって、２は
テーブル、４は変位センサ、７゜９はパルスモータ、１
０はディスク、１３は描画装置、１４は描画用紙、１５
はパルスジヱネレータを示す。 代理人 弁理士 石 １）艮 七 泣２図 口３Ｊ
図は夫々測定結果の出力例を示す正面図であって、２は
テーブル、４は変位センサ、７゜９はパルスモータ、１
０はディスク、１３は描画装置、１４は描画用紙、１５
はパルスジヱネレータを示す。 代理人 弁理士 石 １）艮 七 泣２図 口３Ｊ
Claims (1)
- （１）往復移動と回転とを行なうテーブルを二セット備
えるとともに、表面形状を高さ方向の変化としてとらえ
る非接触式変位センサが配された被測定物としてのディ
スク配置用の一方のテーブルと、上記変位センサの出力
によって駆動される描画装置で表面形状情報が書き込ま
れる描画用紙が置かれる他方のテーブルとを同期駆動す
る駆動装置を備えているディスク表面形状測定装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3227588A JPH01207608A (ja) | 1988-02-15 | 1988-02-15 | ディスク表面形状測定装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3227588A JPH01207608A (ja) | 1988-02-15 | 1988-02-15 | ディスク表面形状測定装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH01207608A true JPH01207608A (ja) | 1989-08-21 |
Family
ID=12354430
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP3227588A Pending JPH01207608A (ja) | 1988-02-15 | 1988-02-15 | ディスク表面形状測定装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH01207608A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US5369490A (en) * | 1992-05-29 | 1994-11-29 | Nikon Corporation | Contour measuring apparatus |
-
1988
- 1988-02-15 JP JP3227588A patent/JPH01207608A/ja active Pending
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US5369490A (en) * | 1992-05-29 | 1994-11-29 | Nikon Corporation | Contour measuring apparatus |
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