JPH01210802A - ２つの対象物の間の垂直距離を測定する装置及び制御する装置 - Google Patents

２つの対象物の間の垂直距離を測定する装置及び制御する装置

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JPH01210802A
JPH01210802A JP63289040A JP28904088A JPH01210802A JP H01210802 A JPH01210802 A JP H01210802A JP 63289040 A JP63289040 A JP 63289040A JP 28904088 A JP28904088 A JP 28904088A JP H01210802 A JPH01210802 A JP H01210802A
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slider
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pattern
disk
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JP63289040A
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Suryanarayan G Hegde
シユヤナラヤン・ガネシユ・ヘイジ
Robert A Scranton
ロバート・アレン・スクラントン
Edward J Yarmchuk
エドワード・ジヨン・ヤームチユツク
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Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 Ａ、産業上の利用分野 本発明は磁気ディスク記憶装置のような直接アクセス式
記憶装置、より詳細にいえば、記録装置における記録用
スライダの飛翔高さを測定すること、そして、それを制
御することに関する。
Ｂ、従来の技術及び発明が解決しようとする問題点 磁気ディスク記憶装置において、磁気ディスクが高速度
で回転している間、磁気記録変換器（記録用磁気ヘッド
）は、ディスク面上で浮き上った状態にされている。磁
気ヘッドは、空気ベアリングによって磁気ディスクに対
して浮いているスライダにより支持されている。磁気ヘ
ッドは磁気ディスク面上の同心円のトラックに情報を書
き込む。
異なったトラックに情報を書き込んだり、或は読取るた
めに、磁気ヘッドの半径方向の位置を変化させて、所望
のトラック上に磁気記録ヘッドを位置付けることによっ
て、トラックのアクセスが行われる。
高い記録密度の磁気ディスク記憶装置において、最も重
要なパラメータの１つは、ディスクが回転している間に
、磁気記録ヘッドをディスク面上に位置付ける高さ（飛
翔高さ）である。この飛翔高さを迅速且つ正確に測定す
ることは、新しいスライダの設計に際して絶対に必要な
条件である。新しいスライダの設計後においても、その
ような飛翔高さの測定は、そのスライダを記録装置に組
み込むためにも欠かすことが出来ない。
回転する透明なテスト・ディスクと、テスト・ディスク
上で飛翔しているスライダとの間の白色光の干渉縞によ
って磁気記録ヘッドの飛翔高さを測定することが、一般
に知られている。この方法は、現在の製品については十
分な精度の測定値を与えることが出来るけれども、光の
波長以下の精度で飛翔高さを測定する必要がある場合に
は、この技術の限界を越えることになる。
導電性のテスト・ディスクの表面上でスライダを飛翔さ
せることにより、その飛翔高さの測定を行う他の方法が
ある。この方法は、導電性スライダと導電性ディスクと
の間の電気容量を測定することによって、飛翔高さを決
定するものである。
この電気容量の測定技術は、幾つかの弱点を持っている
。即ち、テスト・ディスク全体が導電性なので、この技
術は、精度を高めるために、浮遊容量の注意深い管理が
必要である。その上、従来のこの種の方法の測定技術で
は、飛翔高さの平均値しか得ることが出来ない。換言す
れば、従来の技術によって、スライダの異なった位置に
おける個々の飛翔高さを測定することは不可能である。
例えば、ディスクに対して傾斜しているスライダは、従
来の電気容量測定式技術によっては測定することは出来
ない。スライダを傾斜させることは、スライダの後縁の
飛翔高さを決定するために重要なファクタである。磁気
記録ヘッドは、スライダの後縁に装着されており、且つ
スライダの後縁はディスクに最も近接しているから、ス
ライダの後縁の飛翔高さの測定は重要である。
更に、電気容量測定式の従来の技術は、傾斜したスライ
ダの飛翔高さを決定することが出来ないから、ディスク
とスライダとの相対的な飛翔高さしか測定することが出
来なかった。飛翔高さの絶対値は、スライダと導電性デ
ィスクとの間の電気的容量の合計を測定することによっ
ては求めることが出来ない。
本発明の目的は、２つの対象物の間の垂直距離を、細部
にわたって、精密に、且つ正確に測定する方法及びその
装置を提供することにある。
本発明の他の目的は、スライダの長さ方向に沿った箇所
で、ディスク上のスライダの飛翔高さを測定する方法及
びその装置を提供することにある。
Ｃ０問題点を解決するための手段 本発明に従って、２つの対象物の間の垂直距離を測定す
るための装置は、垂直方向に分離された第１及び第２の
対象物を含んでいる。第１の対象物はその表面に第１の
導電性パターンを有している。その第１の導電性パター
ンは第１の方向に延びる長さを持つ縁を有している。
第１の対象物の表面と対向して垂直方向に配置された第
２の対象物の表面には、第２の導電性パターンが設けら
れている。第２のパターンは第２の方向に延びる長さと
、第３の方向に延びる幅とを持っている。第１及び第２
の対象物は、第１のパターンの縁の長さが第２の導電性
パターンの長さを横切るように配列されている。第１の
パターンの縁の長さは第２のパターンの幅を越える長さ
を持っている。
更に、本発明の装置は、第１のパターンの縁が第２のパ
ターンを横切って走査するように、第１及び第２の対象
物を相対的に移動するための手段を含んでいる。また、
第１及び第２の導電性パターンの間の電気的容量を測定
するための手段が設けられる。この測定手段は、第１及
び第２の導電性パターンの間の電気的容量を表わす、時
間の関数としての電気的測定信号を発生する。
また、第１及び第２の対象物の間の垂直距離に比例する
垂直距離信号を発生するために、電気的測定信号を処理
するための手段が設けられる。
本発明の１実施例において、第１の対象物はディスクの
ような回転体である。第２の対象物はスライダである。
本発明の他の実施例において、第１のパターン（即ちデ
ィスク上のパターン）の幅は、第２のパターン（即ちス
ライダ上のパターン）の縁の長さよりも小さい。
第１及び第２の導電性パターンの両方とも、−定の幅を
持っていることが望ましい。
飛翔高さは容量の大きさに対して反比例するから、測定
された信号を処理する手段は、垂直距離信号を発生する
ために、測定された電気信号の大きさを逆転する手段を
持つことが好ましい。
本発明の他の実施例において、第１及び第２の導電性パ
ターンの両方とも、直線によって描かれるのが好ましく
、前者のパターンは放射方向に向けられ、後者のパター
ンは回転円の接線方向に向けられることが望ましい。
本発明において、第１の導電性パターンは、例えば、電
気絶縁体材料上にイオン注入された領域であってよい。
第２の導電性パターンは導電性ブロックの凸部であって
よい。第２のパターンはスライダそれ自身であってもよ
い。
代案として、第１の導電性パターンは、例えば、導電体
ディスク上の導電性の凸部であってもよい。
本発明の他の実施例において、垂直距離信号を発生する
ために、電気的測定信号を処理するための手段は、第１
次導関数信号を発生するために、電気的測定信号の第１
次導関数を計算する手段を含んでいる。後述するように
、回転ディスク上の成る種の導電性パターンを使用する
と、スライダの飛翔高さは、スライダと、ディスク上の
導電性パターンとの間の電気容量の第１次導関数に反比
例する。
更に、本発明は２つの対象物の間の距離を制御する装置
にも関係がある。このような２つの対象物間の距離制御
装置は、第１及び第２の対象物と、移動手段と、測定手
段と、上述したような信号処理手段とを含んでいる。こ
の対象物間の距離制御装置は、第１及び第２の対象物の
間の所定の距離を表わす基準信号を発生する手段と、こ
の基準信号及び垂直距離信号を受取り、そして、基準信
号と垂直距離信号との間の差に応答して、垂直距離を変
更するための手段とを含んでいる。
本発明に従った磁気記録装置において、第１の対象物は
磁気記録媒体であり、第２の対象物は磁気記録ヘッド組
立体である。更に、この磁気記録装置は、移動手段と、
測定手段と、処理手段と、基準信号発生手段と、基準信
号及び垂直距離信号との間の差に応答する手段とを含ん
でいる。
更に、このような装置は、第１の方向に延びる縁を有す
る第１の導電性パターンを持つ回転可能な基体を含んで
いる。また、回転可能な基体の表面に対してほぼ垂直な
軸の囲りで回転可能の基体を回転させる回転手段を含ん
でいる。この回転方向は第１の導電性パターンの縁を横
切る方向である。
この装置は、更に、上述したような容量測定手段と信号
処理手段を含んでいる。
Ｄ、実施例 第１図を参照すると、第１の対象物１０と第２の対象物
１２との２つの対象物の間の垂直距離を決定するための
装置が示されている。第１の対象物１０は、例えば第２
図に示されたようなディスクである。ディスク１０は第
１の導電性パターンを有する表面１４を持っている。
ディスク１０の表面１４上の導電性パターンは、第１の
方向に向いた長さを持つ縁を有している。
例えば、パターン１６はディスク１０の軸２０に対して
半径方向に向いて延びた縁１８を持っている。
全体として、ディスク１０の表面１４上の導電性パター
ンは、種々の異なった形式を取ることが出来る。例えば
、パターンの幅、または長さは、増加することも出来る
し、減少することも出来る。
必要に応じて、それらのパターンはディスクの半径方向
に対して不揃いな凹凸の形状を持つものでもよい。それ
らのパターンの幾つかの例が、第２図に示されている。
導電性のパターンを電気的に接続するために、ディスク
１０の内径に導電性リング２４が設けられている。導電
性リング２４はディスク・クラン１２６（第１図）を介
して、電気容量測定回路（後述する）に接続されている
。
第１図を参照すると、ディスク１０の表面１４と対向し
て配置された第２の対象物１２が示されている。第２の
対象物は、例えば磁気ヘッド用の記録スライダー２であ
ってよい。
記録スライダー２の表面は、ディスク１０の表面１４か
ら垂直方向２８に離隔されている。
記録スライダー２はその表面に第２の導電性パターンを
有している。第１図に示したように、第２のパターン３
０は、導電性スライダー２の凸部、即ちレールである。
第４図に示したように、凸部３０はディスク１０上の第
１のパターン１６の縁１８の長さに対して横切る第２の
方向３２に延びる長さを持っている。第２のパターン３
０は長さ方向３２に対して横切る第３の方向に延びる幅
ｗｒを持っている。第１のパターン１６の縁１８の長さ
は、第２のパターンの幅Ｗよりも大きい。
スライダー２の飛翔の安定性を良くするために、スライ
ダー２は第２の凸部３０Ａを設けるのが好ましい。レー
ル３０Ａはレール３０に平行であり、そしてレール３０
と同じ物理的寸法を持っている。
２つのレール３０及び３０Ａは共に、第２の導電性パタ
ーンを構成する。
第１図及び第４図に示したように、第１のパターン１６
の縁１８が、第２のパターン３０及び３０Ａを走査する
ように、本発明は、垂直方向２８に対して垂直で、第１
のパターン１６の縁１８に対しても垂直な方向に、第１
の対象物１０及び第２の対象物１２を相対的に動かす手
段３６を含んでいる。手段３６は、矢印３８の方向にデ
ィスク１０を動かすことが出来、そして矢印４０の方向
にスライダ１２を動かすことが出来る（第４図参照）。
第１及び第２の対象物を相対的に動かすための手段３６
は、第１図に示したように、回転モータ３６を含むのが
好ましい。ディスク１０はディスク・グランブ２６によ
って、モータ３６の軸４２に装着される。
第１のパターン１６が第２のパターン３０及び３０Ａを
走査した時に、ディスク１０上の第１のパターン１６と
、スライダ１２上の第２のパターン３０及び３０Ａとの
間の電気的容量を測定するために、電気容量測定回路４
４が設けられる。垂直距離計算回路４６は、第１の対象
物１０と第２の対象物１２の間の垂直距離に比例する垂
直距離信号を発生するために、電気容量測定回路４４か
らの電気的測定信号を処理する。
容量測定回路４４及び垂直距離信号回８４６の実施例を
第３図に示しである。容量測定回路４４は、例えば、無
線周波数（ＲＦ）電圧源４８、増幅器５０、整流器５１
及び低域フィルタ５２を含んでいる。電圧源４８からの
ＲＦ雷電圧、例えば、４メガヘルツにおいて、実効値で
１ボルトである。
ＲＦ電圧Ｖは、以下の関係式に従って、ディスク−スラ
イダ間の容量の電流■を生じる。
１＝２πｆＣＶ　　　　　　　　　　（１）上式におい
て、ｆはＲＦ雷電圧周波数、Ｃはスライダとディスク上
の導電パターンとの闇の電気容量である。
供給電圧と、ディスク−スライダ間の電気容量の両方と
も、時間の経過とともに変化する。電圧源４８はｒｔＦ
で変化する電圧を供給するから、供給電圧は変化する。
第１のパターン１６の縁１８は第２のパターン３０及び
３０Ａを横切って走査するから、ディスク−スライダ間
の容量は変化する。ＲＦ供給電圧による周波数成分を除
去するために、電圧源４８の周波数は、容量の変化の周
波数よりも道かに大きな値に選んである。従って、低域
フィルタ５２は、電気的容量の測定信号を発生するため
の電流の高周波変動を除去する。
第１図の垂直距離計算回路４６は、例えば、第３図に示
したように、インバータ５４と増幅器５６を含んでいる
。
第４図、第５図及び第６図に示されたように、第３図の
回ｗ！４６は回転ディスク１０上の第１のパターン１６
と、スライダ上の第２のパターン３０及び３０Ａとの間
の垂直距離を決定するのに適している。本発明のこの実
施例において、電気容量は次式で与えられる。
上式において、ｗｌは導電性ライン１６（第１のパター
ン）の幅であり、Ｗはレール（第２のパターン３０及び
３０Ａ）の幅であり、ε。は自由空間の絶対誘電率であ
り、そして、ｈはパターン１６（第４図）、６０（第５
図）または６４（第６図）上のレールの飛翔高さである
。係数２は、レール３０と同じ幅及び同じ飛翔高さを持
っている第２のレール３０Ａに起因するものである。従
って、任意の時間におけるスライダの飛翔高さｈは、デ
ィスク１０及びスライダー２の間の容量に反比例するこ
とが分る。
ディスク１０の表面とスライダー２のレール３０及び３
０Ａの表面は、実質的に平面である。このようにして、
ディスク１０に対する個々の位置におけるレール３０及
び３０Ａの飛翔高さの正確な測定、従って、スライダの
正確な傾斜の測定を得ることが出来る。
第１図に戻って説明を続けると、本発明は更に、ディス
ク１０の中心を通って通過する中心軸２０に関して半径
方向にスライダ１２を動かすためのステップ・モータ５
８を含んでいる。従って、スライダ１２の飛翔高さを、
スライダ１２０半径方向の異なった位置において測定す
ることが可能である。
更に、第１のパターンが適当に形成されれば（例えば第
２図のパターン２２ａ、２２ｂ及び２２ｃを参照）、レ
ール３０、またはレール３０Ａのディスク対スライダの
容量を別個に測定することが可能となる。例えば、スラ
イダ１２ｔ−適当に位置付けることによって、パターン
２２ａをレール３０Ａだけによって走査させることが出
来る。
他の例として、スライダ１２の半径方向の位置を適宜に
調節することによって、パターン２２ｂまたは２２Ｃが
レール３０及び３０Ａを順次に走査するようにすること
が出来る。
第１の対象物、即ちディスク１０及びその導電性パター
ンは、他の種類の構造とすることが可能である。例えば
、ディスク１０はホトセラム（Ｐｈｏｔｏｃｅｒａｍ　
）のような電気的絶縁体であってよい。これとは反対に
、ディスク１０は金属導体でもよい。
ディスク１０が、電気的な絶縁材料、または電気導体の
何れであるにせよ、第１のパターン１６は、第５図に示
したように、ディスク基板６２上の電気的導体の凸部６
０であってよい。例えば、凸部６０は２５０ミクロンの
幅を有する４００オングストロームの厚さの線である。
実験の結果によると、このような凸部の厚さはスライダ
の飛翔高さを著しく乱すことはないことが分っている。
又、平坦にされた導電パターンも用いられる。
第６図に示したように、ディスク１０はディスクの基体
６２に埋込まれた導電性パターンを含んでいる。平坦な
導電性パターン６４は、シリコン基体６２にドープされ
た導電性領域を形成させるために、イオン注入法によっ
て作られる。平坦な導電性パターン６４は、例えば、１
００乃至５００オングストロームの厚さを持っている。
その他の案として、導電性パターン１６を、非導電性の
磁化しつる材料で被覆することが可能である。この場合
、飛翔高さを計算するために、被覆層の厚さと、被覆層
の誘電体材料の厚さとを知る必要がある。
第１図の容量測定回路４４及び垂直距離計算回路４６の
第２の実施例を第７図に示しである。第１の実施例と同
じように、容量測定回路４４は、１’ｔＦ電圧源４８と
、増幅器５０と、整流器５１と、低域フィルタ５２とを
含んでいる。然しながら、垂直距離計算回路４６は、イ
ンバータ５４及び増幅器５６に加えて微分器６６を含ん
でいる。
第７図の回路はディスク１０の導電性パターン７２と共
に使用することが出来る（第２図参照）。
この場合、パターン７２はレール３０及び３０Ａの長さ
よりも大きな幅を持っている。従って、パターン７２の
縁７４がスライダ１２のレール３０及び３０Ａを横切っ
て走査された時、レール３０及び３０Ａに沿った２点間
容量は、パターン７２とレール３０及び３０Ａの間の合
計容量Ｃの第１次導関数に比例する。従って、 ｈ　（ｔ　）　＋　ｈ　。
上式において、■は、パターン７２の縁がレール３０及
び３０Ａを横切って走査したときの、パターン７２の縁
７４の速度であり、ｔはその時間であり、ｈ（ｔ）はｔ
時間における縁７４上のレールの高さであり、ｈｏはレ
ールの前縁の高さである。
従って、 ｄｔ　　　　　　ｈ（ｔ） この近似式は、ｔＸ（ｄｈ／ｄｔ）の値がレールの前縁
の高さと後縁との高さの和よりも遥かに小さな場合に、
真であって、多くの場合に良好な近似値を与える。従っ
て、レール３０及び３０Ａの２点間の飛翔高さは、ディ
スク−スライダ間の容量の第１次導関数に反比例する。
また、レールの幅方向に沿ってレール３０又は３０Ａの
高さを測定することも可能である。ディスクが回転して
いる間に、パターン２２ａの縁２３ｔ−半径方向に横切
ってレールを走査することによって、上述の測定をする
ことが出来る。これは、ディスク１０の角位置θと、Ｉ
ＮＴ（νｔ）に等しい時間ｔとの関数としての容量Ｃを
測定することによって達成することが出来る。ここで、
ＩＮＴは整量数であり、νは回転の周波数であり、ｔは
絶対時間である。各位置θにおける時間Ｔに対してＣの
偏導関数を計算することによって（例えば、２つの相次
ぐ飛翔高さ信号間の差を取ることによって）、レールの
幅方向に沿う高さを得ることが出来る。
以上、２つの対象物の間の垂直距離を測定するための装
置について説明してきた。本発明は２つの対象物の間の
距離を制御することも出来る。その結果、更に本発明の
他の実施例は、第１及び第２の対象物の間の所定の垂直
距離を現わす基準信号を発生するための手段と、基準信
号と垂直距離信号とを受は取る手段と、基準信号と垂直
距離信号との間の差に応答して、第１及び第２の対象物
の間の距離を変化させる手段とを含んでいる。
第１図に示したように、基準信号を発生する手段７６は
任意の適当な基準電圧源であってよい。
比較器７７は基準信号との差信号を発生するために、垂
直距離信号から基準信号を差し引く。
高さ制御装置７８は差信号を受取り、基準信号と垂直距
離信号との間の差に応答してスライダ１２の高さを制御
する装置を含んでいる。高さ制御装置７８は、比例・積
分・微分（ＰＪＤ）制御回路を含んでもよい。高さ制御
装置７８の出力は、制御装置７８のスライダ１２の高さ
を増加させ、または減少させる高さアクチュエータ８０
を調整する。高さアクチュエータ８０は、例えばモータ
とねじ、ボイス・コイル型駆動装置、または他の適当な
機械的装置であってよい。
本発明に従った磁気記録装置において、ディスク１０の
表面１４は、磁気記録媒体である。スライダ１２の後縁
には磁気記録ヘッド８２（第４図）が設けられている。
磁気記録ヘッド８２の飛翔高さを測定するための装置に
おいて、磁気記録ヘッド８２は導電性スライダ１２に装
着されている。測定装置は、表面に磁気記録材料を含ま
ないテスト・ディスク１０である回転体を含んでいる。
実験例 スライダと回転ディスク上の導電性ラインとの間の電気
的容量が測定された。スライダは２つのレールを有して
おり、各レールは、夫々４００ミクロンの幅と、４００
０ミクロンの長さとを持っている。導電性ラインの幅は
２５０ミクロンであった。内側レールだけが導電性ライ
ンによって走査された。
第８図はレールの長さ方向に沿った距離に対する容量を
測定したグラフを示す。第９図は第８図の容量を示すカ
ーブから計算された飛翔高さのプロフィールを示すグラ
フである。スライダのピッチ、即ち傾斜が明瞭に現われ
ている。第９図において、後縁の飛翔高さは、約０．２
ミクロンであることが示されている。
Ｅ１発明の効果 本発明に従った装置は、第１及び第２の対象物の間の相
対運動の方向に対して垂直に延びる縁を有する第１の導
電性パターンを与え−ることによって、２つの対象物の
間の２点間の垂直距離を正確で、且つ相対的でない絶対
的な条件で決定することが出来る。
【図面の簡単な説明】
第１図は本発明に従った垂直距離の測定及び制御装置の
模式図、第２図は表面に設けられた導電性パターンの幾
つかの例を示したディスク形試の第１対象物の平面図、
第３図は第１及び第２の導電性パターンの間の電気的容
量を測定し、そして、垂直距離信号を発生するために電
気的測定信号を処理するための手段の第１の実施例を示
すブロック図、第４図は回転ディスク上で飛翔している
スライダを想像して示したスライダとディスクの一部を
示す平面図、第５図は本発明に従った第１の導電性パタ
ーンを担持するディスクの第１の実施例を、第１図のＡ
−Ａ線に沿って切断した断面図、第６図は本発明に従っ
た第１の導電性パターンを担持するディスクの第２の実
施例を、第１図のＡ　−Ａ線に沿って切断した断面図、
第７図は第１及び第２の導電性パターンの間の電気的容
量を測定し、そして、垂直距離信号を発生するために電
気的測定信号を処理するための手段の第２の実施例を示
すブロック図、第８図は記録スライダと回転ディスク上
の導電ラインとの間の容量をスライダの長さ方向に沿っ
て測定し、スライダの長さ方向の距離に対する容量をプ
ロットしたグラフを示す図、第９図は第８図の容量デー
タから計算されたスライダの飛翔高さを示す図である。 １０・・・・第１の対象物（ディスク）、１２・・・・
第２の対象物（スライダ）、３６・・・・モータ、４４
・・・・容量測定回路、４６・・・・垂直距離測定回路
、５８・・・・ステップ・モータ、７６・・・・基準信
号発生装置、７７・・・・比較器、７８・・・・高さ制
御装置、８０・・・・高さアクチュエータ。 第４図 第６図

Claims (3)

    【特許請求の範囲】
  1. （１）表面及び該表面に設けられた第１の導電性パター
    ンを有し、該第１の導電性パターンの縁が第１の方向に
    おける長さを有する第１の対象物と、上記第１の対象物
    の上記表面に対向して垂直方向に離隔された表面及び該
    表面に設けられた第２の導電性パターンを有し、該第２
    の導電性パターンが第２の方向における長さを有し、且
    つ該第２の導電性パターンを上記第１の導電性パターン
    と交差させるように上記第１の対象物に対して配置され
    た第２の対象物と、 上記第１の導電性パターンの縁が上記第２の導電性パタ
    ーンを横切つて走査するように、上記垂直方向及び上記
    第１の導電性パターンの縁を横切る方向において上記第
    １及び第２の対象物を相対的に動かす手段と、 上記第１及び第２の導電性パターンの間の電気容量を測
    定し、該電気容量に比例していて時間の関数である電気
    的測定信号を生じる手段と、上記電気的測定信号を処理
    して上記第１及び第２の対象物の間の垂直距離に比例す
    る垂直距離信号を生じる手段と を有する、２つの対象物の間の垂直距離を測定する装置
    。
  2. （２）表面及び該表面に設けられた第１の導電性パター
    ンを有し、該第１の導電性パターンの縁が第１の方向に
    おける長さを有する第１の対象物と、上記第１の対象物
    の上記表面に対向して垂直方向に離隔された表面及び該
    表面に設けられた第２の導電性パターンを有し、該第２
    の導電性パターンが第２の方向における長さを有し、且
    つ該第２の導電性パターンを上記第１の導電性パターン
    と交差させるように上記第１の対象物に対して配置され
    た第２の対象物と、 上記第１の導電性パターンの縁が上記第２の導電性パタ
    ーンを横切つて走査するように、上記垂直方向及び上記
    第１の導電性パターンの縁を横切る方向において上記第
    １及び第２の対象物を相対的に動かす手段と、 上記第１及び第２の導電性パターンの間の電気容量を測
    定し、該電気容量に比例していて時間の関数である電気
    的測定信号を生じる手段と、上記電気的測定信号を処理
    して上記第１及び第２の対象物の間の垂直距離に比例す
    る垂直距離信号を生じる手段と、 上記第１及び第２の対象物の間の所望の垂直距離を表わ
    す基準信号を生じる手段と、 上記垂直距離信号と上記基準信号との間の差に応じて、
    上記第１及び第２の対象物の間の垂直距離を換える手段
    と を有する、２つの対象物の間の垂直距離を制御する装置
    。
  3. （３）上記第１の対象物が磁気記録媒体であり且つ上記
    第２の対象物が磁気ヘッドである特許請求の範囲第（１
    ）項又は第（２）項記載の装置。
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