JPH0121082B2 - - Google Patents
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- JPH0121082B2 JPH0121082B2 JP19035384A JP19035384A JPH0121082B2 JP H0121082 B2 JPH0121082 B2 JP H0121082B2 JP 19035384 A JP19035384 A JP 19035384A JP 19035384 A JP19035384 A JP 19035384A JP H0121082 B2 JPH0121082 B2 JP H0121082B2
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- Japan
- Prior art keywords
- ozone
- generator
- oxygen
- ozone generator
- molybdenum
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- PNEYBMLMFCGWSK-UHFFFAOYSA-N aluminium oxide Inorganic materials [O-2].[O-2].[O-2].[Al+3].[Al+3] PNEYBMLMFCGWSK-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 12
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Landscapes
- Oxygen, Ozone, And Oxides In General (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】
本発明はオゾン発生装置に関するもので、抵抗
体に電圧をかけ放電させて空気中の酸素をオゾン
化するオゾン発生装置であり、従来のオゾン発生
装置が99.9％の高純度アルミナ基板を使用してス
テンレススチール板等でサンドイツチにしなけれ
ばならないため極めて高価となつていた（第３図
参照）。
体に電圧をかけ放電させて空気中の酸素をオゾン
化するオゾン発生装置であり、従来のオゾン発生
装置が99.9％の高純度アルミナ基板を使用してス
テンレススチール板等でサンドイツチにしなけれ
ばならないため極めて高価となつていた（第３図
参照）。
本発明は低純度のアルミナ基板を使用して効率
の良い低価格のオゾン発生装置を提供することを
その目的として開発したものである。
の良い低価格のオゾン発生装置を提供することを
その目的として開発したものである。
本発明の構成を上述の目的に従いその一実施例
に就いて説明するに、鉄、クローム、タングステ
ン、モリブデン、その他ニツケルから成る合金の
抵抗体１をアルミナ基板２，２′で挾着したオゾ
ン発生板Ａを、セラミツクパイプスペイサー３等
にに依つて複数枚、適所を適宜間隙を持つて重ね
合せてセラミツクボルト４で締着し、電圧をかけ
て放電させ空気中の酸素からオゾンを放出するよ
うにしたオゾン発生装置であり、更に図面に従い
その作用及び効果を詳細に説明するに、従来高純
度のアルミナ基板を更に研磨して全く歪みの無い
平面に仕上げるのに多額のコストを要していた
が、本発明は90％〜93％程度の純度の低いアルミ
ナ基板２，２′を平面に成型してそのまま、鉄５
％、クローム10％、タングステン４％、モリブデ
ン10％、その他ニツケル等から成る合金の抵抗体
１を挾着して一体としたオゾン発生板Ａを、適所
にセラミツクパイプ等から成るスペイサー３等で
各々適切な間隔を維持して絶縁し、更に適宜数を
重ねてセラミツクボルト４等で締着したので研磨
しないでも歪みは矯正され、＋，−と交互に電流を
流すようにして電圧をかけ放電させ、空気中の酸
素からオゾンを放出するようにしたもので、低純
度のアルミナ基板を研磨しないで使用出来るので
価格が従来の20分の１になり、複数枚のオゾン発
生板Ａを各々絶縁して積み重ねて適所を締付ける
ことによつて歪みを矯正しながら放電するように
したので、10％以上の効率でオゾンを放出する事
が可能となる、極めて低価格で効率の良いオゾン
発生装置の発明である。尚、第４図に示す装置に
よつて、本願発明と従来技術とを比較すると、 ＜装置の概要＞ 荏原実業株式会社製、発生オゾン測定器EG―
2001Aを使用。
に就いて説明するに、鉄、クローム、タングステ
ン、モリブデン、その他ニツケルから成る合金の
抵抗体１をアルミナ基板２，２′で挾着したオゾ
ン発生板Ａを、セラミツクパイプスペイサー３等
にに依つて複数枚、適所を適宜間隙を持つて重ね
合せてセラミツクボルト４で締着し、電圧をかけ
て放電させ空気中の酸素からオゾンを放出するよ
うにしたオゾン発生装置であり、更に図面に従い
その作用及び効果を詳細に説明するに、従来高純
度のアルミナ基板を更に研磨して全く歪みの無い
平面に仕上げるのに多額のコストを要していた
が、本発明は90％〜93％程度の純度の低いアルミ
ナ基板２，２′を平面に成型してそのまま、鉄５
％、クローム10％、タングステン４％、モリブデ
ン10％、その他ニツケル等から成る合金の抵抗体
１を挾着して一体としたオゾン発生板Ａを、適所
にセラミツクパイプ等から成るスペイサー３等で
各々適切な間隔を維持して絶縁し、更に適宜数を
重ねてセラミツクボルト４等で締着したので研磨
しないでも歪みは矯正され、＋，−と交互に電流を
流すようにして電圧をかけ放電させ、空気中の酸
素からオゾンを放出するようにしたもので、低純
度のアルミナ基板を研磨しないで使用出来るので
価格が従来の20分の１になり、複数枚のオゾン発
生板Ａを各々絶縁して積み重ねて適所を締付ける
ことによつて歪みを矯正しながら放電するように
したので、10％以上の効率でオゾンを放出する事
が可能となる、極めて低価格で効率の良いオゾン
発生装置の発明である。尚、第４図に示す装置に
よつて、本願発明と従来技術とを比較すると、 ＜装置の概要＞ 荏原実業株式会社製、発生オゾン測定器EG―
2001Aを使用。
７……酸素ボンベ
８……減圧器
９……シロツクフアン
１０……風量調節板
１１……電流計
１２……変圧器
１３……電圧計
１４……発生器本体
１５……風速計
１６……紫外線センサー
尚、オゾン発生板Ａは、上下に二段重ねとし、
アルミナ基板２，２′は0.8mm厚とし、縦横100mm
×100mm巾とする。電極となる合金（鉄、クロー
ム、タングステン、モリブデン、ニツケル）の抵
抗体１は、0.2mm厚とし、縦横100mm×100mm巾と
する。
アルミナ基板２，２′は0.8mm厚とし、縦横100mm
×100mm巾とする。電極となる合金（鉄、クロー
ム、タングステン、モリブデン、ニツケル）の抵
抗体１は、0.2mm厚とし、縦横100mm×100mm巾と
する。
放電間隙は3.0mmとする。
従来技術のオゾン発生板の高純度アルミナ基板
及びステンレススチール板の厚み、縦横巾等の条
件は、上記オゾン発生板Ａの構成材料の条件と同
一とし、放電間隙も同一の3.0mmとする。
及びステンレススチール板の厚み、縦横巾等の条
件は、上記オゾン発生板Ａの構成材料の条件と同
一とし、放電間隙も同一の3.0mmとする。
＜測定方法＞
酸素ボンベ７より減圧弁を通して得た減圧酸素
を、更に減圧器８に入れた後、シロツクフアン９
によつて風量調節板１０（流速4.15／min（１
秒あたり）に設定）を介して発生器本体１４内に
圧入させる。一方、発生器本体１４内は、反応温
度を20℃、圧力760mmＨｇとなるように設定し、
内設した上下二段重ねのオゾン発生板Ａ，Ａから
なるオゾン発生装置の前記電極には、放電電流
1.45mA、放電電圧15.0KVに設定された電圧を印
加し、紫外線センサー１６により発生したオゾン
を測定する。
を、更に減圧器８に入れた後、シロツクフアン９
によつて風量調節板１０（流速4.15／min（１
秒あたり）に設定）を介して発生器本体１４内に
圧入させる。一方、発生器本体１４内は、反応温
度を20℃、圧力760mmＨｇとなるように設定し、
内設した上下二段重ねのオゾン発生板Ａ，Ａから
なるオゾン発生装置の前記電極には、放電電流
1.45mA、放電電圧15.0KVに設定された電圧を印
加し、紫外線センサー１６により発生したオゾン
を測定する。
＜測定結果＞
従来技術に係るオゾン発生装置によるオゾン生
成量は、4.20mol／ｈ（１時間あたり）×103であ
り、本願発明に係るオゾン発生装置によるオゾン
生成量は、4.20mol／ｈ（１時間あたり）×103であ
る。
成量は、4.20mol／ｈ（１時間あたり）×103であ
り、本願発明に係るオゾン発生装置によるオゾン
生成量は、4.20mol／ｈ（１時間あたり）×103であ
る。
また、反応温度を−31℃，０℃，25℃，41℃，
59℃に変えて測定を行なつたが、両者のオゾン生
成量は同一であつた。
59℃に変えて測定を行なつたが、両者のオゾン生
成量は同一であつた。
以上の如く、上記両者のオゾン発生効率には差
が生じないものと思料される。
が生じないものと思料される。
図面は本発明の一実施例を示すもので、第１図
は発明のオゾン発生板断面図、第２図は同発生板
を重ね合せたオゾン発生装置の断面図、第３図は
従来技術のオゾン発生板の断面図、第４図はオゾ
ン測定装置の構成略図である。 １……抵抗体、２，２′……アルミナ基板、３
……セラミツクパイプスペイサー、４……セラミ
ツクボルト、Ａ……オゾン発生板、Ｂ……従来技
術のオゾン発生板、５，５′……高純度アルミナ
基板、６……ステンレススチール板。
は発明のオゾン発生板断面図、第２図は同発生板
を重ね合せたオゾン発生装置の断面図、第３図は
従来技術のオゾン発生板の断面図、第４図はオゾ
ン測定装置の構成略図である。 １……抵抗体、２，２′……アルミナ基板、３
……セラミツクパイプスペイサー、４……セラミ
ツクボルト、Ａ……オゾン発生板、Ｂ……従来技
術のオゾン発生板、５，５′……高純度アルミナ
基板、６……ステンレススチール板。
Claims (1)
- １ 鉄、クローム、タングステン、モリブデン、
その他ニツケルから成る合金の抵抗体１をアルミ
ナ基板２，２′で挾着したオゾン発生板Ａを、セ
ラミツクパイプスペイサー３等に依つて複数枚、
適所を適宜間隙を持つて重ね合せてセラミツクボ
ルト４で締着し、電圧をかけて放電させ空気中の
酸素からオゾンを放出するようにしたオゾン発生
装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP19035384A JPS6168305A (ja) | 1984-09-11 | 1984-09-11 | オゾン発生装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP19035384A JPS6168305A (ja) | 1984-09-11 | 1984-09-11 | オゾン発生装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6168305A JPS6168305A (ja) | 1986-04-08 |
| JPH0121082B2 true JPH0121082B2 (ja) | 1989-04-19 |
Family
ID=16256777
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP19035384A Granted JPS6168305A (ja) | 1984-09-11 | 1984-09-11 | オゾン発生装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6168305A (ja) |
Families Citing this family (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| DE102009033319B4 (de) | 2009-07-15 | 2019-02-21 | Carl Zeiss Microscopy Gmbh | Partikelstrahl-Mikroskopiesystem und Verfahren zum Betreiben desselben |
| JP2014186900A (ja) * | 2013-03-25 | 2014-10-02 | Murata Mfg Co Ltd | 放電素子およびその製造方法 |
-
1984
- 1984-09-11 JP JP19035384A patent/JPS6168305A/ja active Granted
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS6168305A (ja) | 1986-04-08 |
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