JPH01210874A - 半導体装置の検査方法 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 産業上の利用分野 本発明は半導体装置の検査方法に関するものである。

従来の技術 近年、半導体装置の高集積化に伴い、高精度での検査方
法の確立が必要となってきている。

以下に従来の半導体装置の飽和電圧測定について第２図
に示した接続図を参照して説明する。

この接続図は半導体装置１から電気信号を入出力するリ
ード２、印加電流源５、ライン抵抗３、電圧計４で接続
されたものである。

発明が解決しようとする課題 しかしながら上記の従来の構成では、ライン抵抗３の影
響により、測定電圧値とリード間の電圧値には大きな違
いがあるという問題点を有していた。

本発明は上記従来の問題点を解決するもので、ライン抵
抗による測定誤差を排除し、半導体装置の純粋な飽和電
圧を高精度で検査することを目的とするものである。

課題を解決するための手段 本発明の半導体装置の検査方法は、測定リードからジャ
ンパー線を通して計測電圧計に接続する構成のものであ
る。

作用 この構成により、電流源からのライン抵抗による影響は
なくなる。

実施例 以下、本発明の半導体装置の検査方法の一実施例につい
て第１図に示した接続図を参照しながら説明する。

半導体装置１に、外部との電気信号を入出力するリード
２、印加電流源５、同電流源５からり−ド２までのライ
ン抵抗３、リード２からジャンパー線６が結ばれ、そこ
に電圧計４を接続したものである。

発明の効果 本発明の半導体装置の検査方法によれば、電圧計をジャ
ンパーを通してリードに直接接続することにより、電流
源からリードまでのライン抵抗を全（無視することがで
き、半導体装置の純粋な飽和電圧を高精度で測定するこ
とができる。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明の半導体装置の検査方法を示す接続図、
第２図は従来の半導体装置の検査方法を示す接続図であ
る。 ■・・・・・・半導体装置、２・・・・・・リード、３
・・・・・・ライン抵抗、４・・・・・・電圧計、５・
・・・・・電流計、６・・・・・・ジャンパー線。 代理人の氏名　弁理士　中尾敏男　ほか１名第１図 第２図

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. 　半導体装置で、任意の端子間の電圧を測定する際に、
   電流源に接続されたリードピンに対し、電圧計を直接、
   前記リードピンに結合することを特徴とする半導体装置
   の検査方法。