JPH01212763A - 連続式真空蒸着装置 - Google Patents
連続式真空蒸着装置Info
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- JPH01212763A JPH01212763A JP3750088A JP3750088A JPH01212763A JP H01212763 A JPH01212763 A JP H01212763A JP 3750088 A JP3750088 A JP 3750088A JP 3750088 A JP3750088 A JP 3750088A JP H01212763 A JPH01212763 A JP H01212763A
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- Pending
Links
- 238000001771 vacuum deposition Methods 0.000 title abstract description 5
- 239000000463 material Substances 0.000 claims abstract description 30
- 238000007789 sealing Methods 0.000 claims abstract description 11
- 238000001704 evaporation Methods 0.000 claims abstract description 7
- 230000008020 evaporation Effects 0.000 claims abstract description 7
- 238000004891 communication Methods 0.000 claims description 14
- 238000007738 vacuum evaporation Methods 0.000 claims description 14
- 238000010438 heat treatment Methods 0.000 claims description 6
- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims 1
- 239000000428 dust Substances 0.000 abstract description 9
- 238000001816 cooling Methods 0.000 abstract description 5
- 238000004140 cleaning Methods 0.000 abstract 1
- 239000007789 gas Substances 0.000 description 20
- 238000007740 vapor deposition Methods 0.000 description 12
- 230000037303 wrinkles Effects 0.000 description 6
- 239000007769 metal material Substances 0.000 description 5
- 239000011261 inert gas Substances 0.000 description 4
- 238000000034 method Methods 0.000 description 4
- 230000007547 defect Effects 0.000 description 3
- 238000000151 deposition Methods 0.000 description 3
- 230000008021 deposition Effects 0.000 description 3
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 3
- PCHJSUWPFVWCPO-UHFFFAOYSA-N gold Chemical compound [Au] PCHJSUWPFVWCPO-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 239000010931 gold Substances 0.000 description 2
- 229910052737 gold Inorganic materials 0.000 description 2
- 239000002985 plastic film Substances 0.000 description 2
- 229920006255 plastic film Polymers 0.000 description 2
- QVGXLLKOCUKJST-UHFFFAOYSA-N atomic oxygen Chemical compound [O] QVGXLLKOCUKJST-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000000919 ceramic Substances 0.000 description 1
- 230000002542 deteriorative effect Effects 0.000 description 1
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 1
- 238000005516 engineering process Methods 0.000 description 1
- 239000000835 fiber Substances 0.000 description 1
- 239000011521 glass Substances 0.000 description 1
- 239000012535 impurity Substances 0.000 description 1
- 239000001301 oxygen Substances 0.000 description 1
- 229910052760 oxygen Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000002245 particle Substances 0.000 description 1
- 239000004033 plastic Substances 0.000 description 1
- 229920003023 plastic Polymers 0.000 description 1
- 229920000728 polyester Polymers 0.000 description 1
- 238000000746 purification Methods 0.000 description 1
- 238000010025 steaming Methods 0.000 description 1
- 238000005019 vapor deposition process Methods 0.000 description 1
- 238000004804 winding Methods 0.000 description 1
Landscapes
- Physical Vapour Deposition (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
本発明は連続式真空蒸着装置に関し、更に詳しくは紙、
繊維、ガラスあるいはプラスチックなどの非金属系被処
理材に金稿材料、非金属材料（セラミックスを含む）１
−真空下で連続的に蒸着させる装置に関する。
繊維、ガラスあるいはプラスチックなどの非金属系被処
理材に金稿材料、非金属材料（セラミックスを含む）１
−真空下で連続的に蒸着させる装置に関する。
従来、ポリエステルのようなプラスチックフィルムへＡ
／ を蒸着する真空蒸着装置は真空槽の中でコイル状
フィルムを巻戻しながら蒸着し、巻取機で巻取シ、１コ
イル蒸着作業が完了すると真空槽を大気に開放し、新し
いコイル状フィルムを装入して真空にして蒸着する作業
が行われている。
／ を蒸着する真空蒸着装置は真空槽の中でコイル状
フィルムを巻戻しながら蒸着し、巻取機で巻取シ、１コ
イル蒸着作業が完了すると真空槽を大気に開放し、新し
いコイル状フィルムを装入して真空にして蒸着する作業
が行われている。
前記の蒸着法はバッチ式といわれており、この方法では
真空槽中で巻戻し巻取りが行われるので、真空槽中に塵
埃がない限シ塵埃による蒸着された面に傷が入るなどの
問題は発生しないが、バッチ式であるので作業効率が低
いという不具合があった。
真空槽中で巻戻し巻取りが行われるので、真空槽中に塵
埃がない限シ塵埃による蒸着された面に傷が入るなどの
問題は発生しないが、バッチ式であるので作業効率が低
いという不具合があった。
そこで、非金属系被処理材に金属材料、非金属材料を連
続的に真空蒸着させようとする試みがなされているが、
連続真空蒸着するにあたっては下記のような問題点が発
生する。
続的に真空蒸着させようとする試みがなされているが、
連続真空蒸着するにあたっては下記のような問題点が発
生する。
■ 大気中から非金塊系被処理材を真空蒸着槽に導いて
蒸着させて再び大気下に取出す連続式真空装置によって
蒸着を行う場合には、被蒸着材の真空装置への導入時に
大気中の空気を吸込むので、空気中の塵埃が真空シール
装置のシールロールに付着して蒸着面へ優をつけるとい
う問題を生ずる。
蒸着させて再び大気下に取出す連続式真空装置によって
蒸着を行う場合には、被蒸着材の真空装置への導入時に
大気中の空気を吸込むので、空気中の塵埃が真空シール
装置のシールロールに付着して蒸着面へ優をつけるとい
う問題を生ずる。
■ 大気中から非金属系被処理材を真空蒸着槽に導くと
、非金属系被処理材、例えばプラスチックフィルムには
水分が含有又は付着しているため、蒸着時に水分が蒸発
することによって非金塊系被処理材の移動に蛇行を生じ
させたり、蒸着材にしわ等の欠陥を発生させる問題を生
ずる。
、非金属系被処理材、例えばプラスチックフィルムには
水分が含有又は付着しているため、蒸着時に水分が蒸発
することによって非金塊系被処理材の移動に蛇行を生じ
させたり、蒸着材にしわ等の欠陥を発生させる問題を生
ずる。
上述した技術水準に鑑み、本発明は非金属系被処理材に
連続的に真空蒸着する場合、上述した欠陥の解消された
連続真空蒸着ｆ装置を提供しようとするものである。
連続的に真空蒸着する場合、上述した欠陥の解消された
連続真空蒸着ｆ装置を提供しようとするものである。
上記目的を達成するために、本発明は非金属系被処理材
が設置されている大気圧下の外部と連続式真空蒸Ｎ＃装
置の多段真空シール部との間に、大気圧より一？〜高い
圧力（大気圧より水中数謁高い圧力で十分）に維持され
る連絡室を設け、該連絡室に清浄化された空気又は不活
性ガス（以下、両者を含めて清浄ガスという）又は該清
浄ガスを加熱して供給するようにしたものである。そし
て清浄ガスは多段真空シール部の真空排気系を経由して
循環使用するととくよりその装置の経済性を高め得るも
のであプ、清浄ガスを加熱しないで、非金属系被処理材
を上記連絡室内で加熱ロールによって直接加熱するよう
にしてもよいものである。
が設置されている大気圧下の外部と連続式真空蒸Ｎ＃装
置の多段真空シール部との間に、大気圧より一？〜高い
圧力（大気圧より水中数謁高い圧力で十分）に維持され
る連絡室を設け、該連絡室に清浄化された空気又は不活
性ガス（以下、両者を含めて清浄ガスという）又は該清
浄ガスを加熱して供給するようにしたものである。そし
て清浄ガスは多段真空シール部の真空排気系を経由して
循環使用するととくよりその装置の経済性を高め得るも
のであプ、清浄ガスを加熱しないで、非金属系被処理材
を上記連絡室内で加熱ロールによって直接加熱するよう
にしてもよいものである。
なお、これ以外に清浄ガスの循環路にガス精製装置を設
置し、不純物を含有した清浄ガスをｆｆ製し、再循環す
るようにすることも好ましい態様で６９、水分を除去す
るために加熱された被処理材に蒸着処理をする前に、例
えば冷却ロールで冷却して蒸着部の冷却ドラムに供給し
、蒸着部に受入れられた時に被処理材が熱によるしわの
発生、破断などの不都合が生ずるのを防ぐのも好ましい
態様である。
置し、不純物を含有した清浄ガスをｆｆ製し、再循環す
るようにすることも好ましい態様で６９、水分を除去す
るために加熱された被処理材に蒸着処理をする前に、例
えば冷却ロールで冷却して蒸着部の冷却ドラムに供給し
、蒸着部に受入れられた時に被処理材が熱によるしわの
発生、破断などの不都合が生ずるのを防ぐのも好ましい
態様である。
本発明の連続式真空蒸着装置は上記のように構成されて
いるので、大気圧より高い圧力下に維持されている連絡
室から清浄ガスが大気中に噴出され、そのため真空シー
ル装置に大気中の塵埃がもち込まれるおそれはない。
いるので、大気圧より高い圧力下に維持されている連絡
室から清浄ガスが大気中に噴出され、そのため真空シー
ル装置に大気中の塵埃がもち込まれるおそれはない。
また清浄ガスを加熱して使用するか、あるいは非金属系
被処理材を加熱ロールで加熱するため、該被処理材に含
有又は付着していた水分は蒸着前に除去されるので該被
処理材の蒸着時、蛇行やしわ等の欠陥の発生は解消され
る。
被処理材を加熱ロールで加熱するため、該被処理材に含
有又は付着していた水分は蒸着前に除去されるので該被
処理材の蒸着時、蛇行やしわ等の欠陥の発生は解消され
る。
更に、清浄ガスを循環使用しうるようにしたので、装置
の操業コストも大幅に軽減することができる。
の操業コストも大幅に軽減することができる。
以下、本発明の一実ｍ ？ｌＪ’を第１図に基き説明す
る。第１図は連続式真空装置装ｆｉｔを示す。
る。第１図は連続式真空装置装ｆｉｔを示す。
アンコイラ−１により巻戻された被蒸着材２は大気圧よ
り一？瓦高い圧力に維持された連絡室３に搬送され、こ
こで加熱された清浄ガス４により加熱脱水され複数のシ
ールロール５で構成される数段の真空シール室６を経て
蒸着室７に導かれ、冷Ｅドラム８に巻付けられながら通
過中にルツボ９から蒸着蒸気１０を片面に蒸着され、再
び真空シール室６及び連絡室３を経て蒸着された材料１
１がコイラ１２に巻取られる。
り一？瓦高い圧力に維持された連絡室３に搬送され、こ
こで加熱された清浄ガス４により加熱脱水され複数のシ
ールロール５で構成される数段の真空シール室６を経て
蒸着室７に導かれ、冷Ｅドラム８に巻付けられながら通
過中にルツボ９から蒸着蒸気１０を片面に蒸着され、再
び真空シール室６及び連絡室３を経て蒸着された材料１
１がコイラ１２に巻取られる。
真空は各真空シール室６及び蒸着室７に接続された真空
ポンプ１３により作られる。連絡室３に供給される清浄
ガス４は大気中の空気の場合には取込み口１４より取り
入れ、フィルタ１５で塵埃を除去し、ブロア１６により
供給する。この空気を加熱する時は熱父換器１７により
７ＩＯ熱して供給する。連絡室３の清浄ガス４の圧力Ｐ
、は圧力計１８で計測し常に大気圧より水中で数■高い
圧力になるよう取入口１４のバルブを制御する。このよ
うにすることにより清浄ガス４は連絡室５が外気に接続
しているスキマ１９から大気外へ常に流出し大気を吸い
込み塵埃が侵入するのを防止している。ｌた、清浄ガス
として不活性ガス４を使用する場合には、真空ポンプ１
３から排気されたガスをガス製精装置２０へ送り露点調
整、酸素の除去を行い連絡室３へ再循環する。
ポンプ１３により作られる。連絡室３に供給される清浄
ガス４は大気中の空気の場合には取込み口１４より取り
入れ、フィルタ１５で塵埃を除去し、ブロア１６により
供給する。この空気を加熱する時は熱父換器１７により
７ＩＯ熱して供給する。連絡室３の清浄ガス４の圧力Ｐ
、は圧力計１８で計測し常に大気圧より水中で数■高い
圧力になるよう取入口１４のバルブを制御する。このよ
うにすることにより清浄ガス４は連絡室５が外気に接続
しているスキマ１９から大気外へ常に流出し大気を吸い
込み塵埃が侵入するのを防止している。ｌた、清浄ガス
として不活性ガス４を使用する場合には、真空ポンプ１
３から排気されたガスをガス製精装置２０へ送り露点調
整、酸素の除去を行い連絡室３へ再循環する。
連絡室３で加熱された被蒸着材２を蒸着の前に冷却する
必要がある時は冷却ロール２１及び冷却ドラム８で冷却
され蒸着時受ける熱によるしわあるいは破断を回避する
ようにするのが好ましい。
必要がある時は冷却ロール２１及び冷却ドラム８で冷却
され蒸着時受ける熱によるしわあるいは破断を回避する
ようにするのが好ましい。
このように、塵埃による傷発生を防ぎ、また水分を除去
することで蒸着中に発生する被蒸着材２からの水分（ア
ウトガス）によりしわの発生張力のアンバランスを解消
し、同時に７クトガスによる最終段の真空度が悪るくな
ることを防止できるので安定した蒸４ＩＩｉ！品が得ら
れる。
することで蒸着中に発生する被蒸着材２からの水分（ア
ウトガス）によりしわの発生張力のアンバランスを解消
し、同時に７クトガスによる最終段の真空度が悪るくな
ることを防止できるので安定した蒸４ＩＩｉ！品が得ら
れる。
また第２図に示すように連絡室３に加熱ロール３０を設
けて被蒸着材２を直接加熱し被蒸着材２の水分の除去を
行ってもよい。なお、第２図中、第１図と同一符号は第
１図と同一部を示す。
けて被蒸着材２を直接加熱し被蒸着材２の水分の除去を
行ってもよい。なお、第２図中、第１図と同一符号は第
１図と同一部を示す。
１） ＩＩ埃による傷が全くない傷なしの蒸着製品が
得られる。
得られる。
２）ガスａｌ稍装置ｆｆｉを経由させ不活性ガスを使用
する場合は循環することにより不活性ガスの消費量を低
減できる。
する場合は循環することにより不活性ガスの消費量を低
減できる。
３）加熱された清浄ガスにより被蒸着材に付着あるいは
吸着している水分を除去し蒸着時に発生する被蒸着材の
しわ、あるいは張力変動によるしわあるいは蛇行を防止
し同時に真空度も高められ安定した蒸着製品が得られる
等の効果がある。
吸着している水分を除去し蒸着時に発生する被蒸着材の
しわ、あるいは張力変動によるしわあるいは蛇行を防止
し同時に真空度も高められ安定した蒸着製品が得られる
等の効果がある。
第１図及び第２図は本発明の連続式真空蒸着装置の実施
例の概略図でるる。
例の概略図でるる。
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 １、蒸着基板を大気圧下の外部より多段真空シール部を
介して蒸着室へ導入し、再び多段真空シール部を介して
大気圧下へ送出する連続式真空蒸着装置において、上記
多段真空シール部と大気圧下の外部との間に連絡室を設
け、該連絡室に大気圧より高圧力の清浄ガスを供給する
ようにしてなることを特徴とする連続式真空蒸着装置。 ２、清浄ガスが多段真空シール部の真空排気系を経由し
て循環されるようにしてなることを特徴とする請求項１
記載の連続式真空蒸着装置。 ３、清浄ガスを高温に加熱する手段を設けてなることを
特徴とする請求項１又は２記載の連続式真空蒸着装置。 ４、連絡室に被処理材の加熱ロールを設けてなることを
特徴とする請求項１記載の連続式真空蒸着装置。 ５、清浄ガスが多段真空シール部の真空排気系を経由し
て循環されるようにしてなることを特徴とする請求項４
記載の連続式真空蒸着装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3750088A JPH01212763A (ja) | 1988-02-22 | 1988-02-22 | 連続式真空蒸着装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3750088A JPH01212763A (ja) | 1988-02-22 | 1988-02-22 | 連続式真空蒸着装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH01212763A true JPH01212763A (ja) | 1989-08-25 |
Family
ID=12499246
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP3750088A Pending JPH01212763A (ja) | 1988-02-22 | 1988-02-22 | 連続式真空蒸着装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH01212763A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH03122276A (ja) * | 1989-10-06 | 1991-05-24 | Mitsubishi Heavy Ind Ltd | 連続真空蒸着装置 |
| WO2025109465A1 (en) * | 2023-11-22 | 2025-05-30 | Stora Enso Oyj | In-line web material processing apparatus and method for producing a coated material |
-
1988
- 1988-02-22 JP JP3750088A patent/JPH01212763A/ja active Pending
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH03122276A (ja) * | 1989-10-06 | 1991-05-24 | Mitsubishi Heavy Ind Ltd | 連続真空蒸着装置 |
| WO2025109465A1 (en) * | 2023-11-22 | 2025-05-30 | Stora Enso Oyj | In-line web material processing apparatus and method for producing a coated material |
| SE2330520A1 (en) * | 2023-11-22 | 2025-07-09 | Stora Enso Oyj | In-line web material processing apparatus and method for producing a coated material |
| SE548119C2 (en) * | 2023-11-22 | 2026-03-30 | Stora Enso Oyj | In-line web material processing apparatus and method for producing a coated material |
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