JPH01214253A - リニアパルスモータ - Google Patents
リニアパルスモータInfo
- Publication number
- JPH01214253A JPH01214253A JP3633488A JP3633488A JPH01214253A JP H01214253 A JPH01214253 A JP H01214253A JP 3633488 A JP3633488 A JP 3633488A JP 3633488 A JP3633488 A JP 3633488A JP H01214253 A JPH01214253 A JP H01214253A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- slider
- scale
- magnetic pole
- permanent magnet
- pair
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
Landscapes
- Linear Motors (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
この発明は、直線駆動のステッピングモータとしてＯＡ
機器、ないし産業機械等の分野で広（採用されている永
久磁石形リニアパルスモータに関する。
機器、ないし産業機械等の分野で広（採用されている永
久磁石形リニアパルスモータに関する。
頭記したリニアパルスモータは、周知のようにワークを
搭載するスライダを入力パルス信号によりスケールに沿
って歩進運動させるものであり、昨今ではプリンタヘッ
ドの駆動、Ｘ−Ｙテーブルの駆動などの広い用途に採用
されている。
搭載するスライダを入力パルス信号によりスケールに沿
って歩進運動させるものであり、昨今ではプリンタヘッ
ドの駆動、Ｘ−Ｙテーブルの駆動などの広い用途に採用
されている。
次に従来における永久磁石形リニアパルスモータの基本
構造、並びにその動作原理を第６図、第７図により説明
する。まず第６図において、１はワーク２を搭載するス
ライダ、３はスライダ１の車輪、４はスライダ１の移動
経路に沿って敷設した直線状のスケールであり、スライ
ダ１は次に述べるリニアパルスモータの駆動動作により
スケール４の上を矢印Ｐ方向に歩進運動する。ここでリ
ニアパルスモータは、それぞれ一対の磁極歯を有し、か
つ磁極歯をスケール４の歯列４ａに向けてスケールの上
方に並置した２組のコア５，６と、各コア５．６の背面
に結合した永久磁石７．８と、永久磁石７，８の間に跨
るヨーク９と、前記コア５．６の磁極歯５ａ、 ６ａに
巻装した励磁コイル１０とから構成されている。なお各
コア５．６に付いて励磁コイル１０はそれぞれの一対の
磁極歯に対して巻回方向が逆向きで直列に接続されてい
る。
構造、並びにその動作原理を第６図、第７図により説明
する。まず第６図において、１はワーク２を搭載するス
ライダ、３はスライダ１の車輪、４はスライダ１の移動
経路に沿って敷設した直線状のスケールであり、スライ
ダ１は次に述べるリニアパルスモータの駆動動作により
スケール４の上を矢印Ｐ方向に歩進運動する。ここでリ
ニアパルスモータは、それぞれ一対の磁極歯を有し、か
つ磁極歯をスケール４の歯列４ａに向けてスケールの上
方に並置した２組のコア５，６と、各コア５．６の背面
に結合した永久磁石７．８と、永久磁石７，８の間に跨
るヨーク９と、前記コア５．６の磁極歯５ａ、 ６ａに
巻装した励磁コイル１０とから構成されている。なお各
コア５．６に付いて励磁コイル１０はそれぞれの一対の
磁極歯に対して巻回方向が逆向きで直列に接続されてい
る。
かかる構成による歩進駆動動作は第７図（ａ）〜（イ）
に示すごとくである。すなわち永久磁石で結合されたコ
アの各磁極歯とスケール歯列のピッチが互いに図示のよ
うな関係に配列されており、ここで（ａ）〜（ｄ）の各
モードに対応して図示されてないコントローラより各ｗ
ＪＭ１コイル１０へ与える入力パルス信号ｌを順次切換
え制御することにより、永久磁石より供給される磁束φ
曽と励磁コイルで生起する磁束φｉとが各磁極歯毎に加
減し合って各コアの磁極歯とスケールとの間の磁束が増
減し、これにより各磁極歯とスケール側の歯列との磁気
的な安定位置が順次移り変わって歩進運動することは周
知の通りである。
に示すごとくである。すなわち永久磁石で結合されたコ
アの各磁極歯とスケール歯列のピッチが互いに図示のよ
うな関係に配列されており、ここで（ａ）〜（ｄ）の各
モードに対応して図示されてないコントローラより各ｗ
ＪＭ１コイル１０へ与える入力パルス信号ｌを順次切換
え制御することにより、永久磁石より供給される磁束φ
曽と励磁コイルで生起する磁束φｉとが各磁極歯毎に加
減し合って各コアの磁極歯とスケールとの間の磁束が増
減し、これにより各磁極歯とスケール側の歯列との磁気
的な安定位置が順次移り変わって歩進運動することは周
知の通りである。
ところで上記した従来のリニアパルスモータでは、スケ
ールの上方に対向するコアが縦向きに配置され、かつコ
アの上には永久磁石、ヨーク等を積み重ね、さらに励磁
コイルは各コアの磁極歯の高さ方向に巻装してリニアパ
ルスモータが組み立て構成されている。このためにリニ
アパルスモータ全体としての高さ寸法Ｈが大となり、特
にスライダに搭載するワークを含めた全体の高さ寸法が
設置スペースの面から構成される装置への適用が困難と
なる。
ールの上方に対向するコアが縦向きに配置され、かつコ
アの上には永久磁石、ヨーク等を積み重ね、さらに励磁
コイルは各コアの磁極歯の高さ方向に巻装してリニアパ
ルスモータが組み立て構成されている。このためにリニ
アパルスモータ全体としての高さ寸法Ｈが大となり、特
にスライダに搭載するワークを含めた全体の高さ寸法が
設置スペースの面から構成される装置への適用が困難と
なる。
この発明は上記の点にかんがみ成されたものであり、そ
の目的はリニアパルスモータの構造を従来方式から変え
ることによりその高さ寸法を大幅に縮減し、高さ方向の
寸法制限を受ける装置への適用を可能にした薄形のリニ
アパルスモータを提供することにある。
の目的はリニアパルスモータの構造を従来方式から変え
ることによりその高さ寸法を大幅に縮減し、高さ方向の
寸法制限を受ける装置への適用を可能にした薄形のリニ
アパルスモータを提供することにある。
上記目的を達成するために、本発明のリニアパルスモー
タにおいては、歯列を内方に向けてスライダの左右両側
に敷設した一対のスケールと、各スケールに対向してス
ライダの左右両側部に装備した２組の駆動子とを具備し
、かつ前記各組の駆動子をスケールの歯列に対向する一
対の磁極歯を有するＵ字形のコアと、該コアに巻装した
ＩＩＪＶａコイルと、一方の磁極面を前記磁極歯の側面
に重ね合わせてコアに結合した永久磁石と、該永久磁石
の背面側磁極面に重ね合わせて先端をスケールの側面へ
向け張り出したヨークとから構成したものである。
タにおいては、歯列を内方に向けてスライダの左右両側
に敷設した一対のスケールと、各スケールに対向してス
ライダの左右両側部に装備した２組の駆動子とを具備し
、かつ前記各組の駆動子をスケールの歯列に対向する一
対の磁極歯を有するＵ字形のコアと、該コアに巻装した
ＩＩＪＶａコイルと、一方の磁極面を前記磁極歯の側面
に重ね合わせてコアに結合した永久磁石と、該永久磁石
の背面側磁極面に重ね合わせて先端をスケールの側面へ
向け張り出したヨークとから構成したものである。
上記の構成により、スライダの左右両側に配備した各組
の駆動子毎にスケールとの間で永久磁石からコアの磁極
歯、スケール、ヨークを経て永久磁石に戻る閉磁路が形
成され、ここで外部より励磁コイルに入力パルス信号を
与えることにより各磁極歯とスケールとの間の磁束が増
減変化する。
の駆動子毎にスケールとの間で永久磁石からコアの磁極
歯、スケール、ヨークを経て永久磁石に戻る閉磁路が形
成され、ここで外部より励磁コイルに入力パルス信号を
与えることにより各磁極歯とスケールとの間の磁束が増
減変化する。
したがって左右の駆動子の間で励磁コイルに与える入力
パルス信号、およびその方向を指定のモードで切換え制
御することにより、スライダはスケールに沿って歩進駆
動される。
パルス信号、およびその方向を指定のモードで切換え制
御することにより、スライダはスケールに沿って歩進駆
動される。
しかもスライダに対してリニアパルスモータを構成する
駆動子、スケールの各部品を全てスライダの左右両側に
配置して構成したことにより、先述した従来の構成と比
べて全体の高さ寸法が大幅に縮減できる。なおスライダ
をリニアパルスモータのスケールと切り離して別に設置
した支持ガイドに支持し、ワークを含めた全負荷重型を
この支持ガイドで支えるよう構成することにより、リニ
アパルスモータはスライダを移動するに必要な推進力を
与えるだけで済み、負荷重量が大であってもリニアパル
スモータに無理な荷重の加わることはない。
駆動子、スケールの各部品を全てスライダの左右両側に
配置して構成したことにより、先述した従来の構成と比
べて全体の高さ寸法が大幅に縮減できる。なおスライダ
をリニアパルスモータのスケールと切り離して別に設置
した支持ガイドに支持し、ワークを含めた全負荷重型を
この支持ガイドで支えるよう構成することにより、リニ
アパルスモータはスライダを移動するに必要な推進力を
与えるだけで済み、負荷重量が大であってもリニアパル
スモータに無理な荷重の加わることはない。
〔実施例〕
第１図ないし第５図は本発明実施例の構成を示すもので
あり、第６図に対応する同一部材には同じ符号が付しで
ある。まずワーク２を搭載するスライダ１は平形の合板
として成り、該スライダ１は合板を貫通する左右２本の
支持ガイド棒１１にガイド支持されている。
あり、第６図に対応する同一部材には同じ符号が付しで
ある。まずワーク２を搭載するスライダ１は平形の合板
として成り、該スライダ１は合板を貫通する左右２本の
支持ガイド棒１１にガイド支持されている。
一方、スライダ１の左右両側には支持ガイド棒１１と平
行に一対のスケール４が歯列４ａを内側に向けて敷設さ
れており、このスケール４に対向してスライダ１の左右
両側部には符号１２で−示す２組の駆動子が装備しであ
る。ここで前記一対のスケール４の間では歯列４ａのピ
ッチを相対的にＡピッチだけずらして敷設されている。
行に一対のスケール４が歯列４ａを内側に向けて敷設さ
れており、このスケール４に対向してスライダ１の左右
両側部には符号１２で−示す２組の駆動子が装備しであ
る。ここで前記一対のスケール４の間では歯列４ａのピ
ッチを相対的にＡピッチだけずらして敷設されている。
また前記した駆動子１２はスケール４の歯列４ａに対向
した一対の磁極歯１３ａ、 １３ｂを存するＵ字形のコ
ア１３と、該コア１３の中央部に巻装した励磁コイル１
４と、一対の磁極歯１３ａ、 １３ｂの間にまたがるよ
うにコア１３の先端部分を挟んでその上下側面に結合し
た短冊状の永久磁石１５と、該永久磁石１５の背面側に
重ね合わせて先端がスケール４の側面へ向けて張り出す
ように設けた上下２枚のヨーク１６との組立体として構
成されている。なお前記の永久磁石１５は第３図に明示
されているように厚さ方向に磁化されており、かつｒｉ
６１橿歯１３ａ、１３ｂに一方の磁極面（Ｎ極）が。
した一対の磁極歯１３ａ、 １３ｂを存するＵ字形のコ
ア１３と、該コア１３の中央部に巻装した励磁コイル１
４と、一対の磁極歯１３ａ、 １３ｂの間にまたがるよ
うにコア１３の先端部分を挟んでその上下側面に結合し
た短冊状の永久磁石１５と、該永久磁石１５の背面側に
重ね合わせて先端がスケール４の側面へ向けて張り出す
ように設けた上下２枚のヨーク１６との組立体として構
成されている。なお前記の永久磁石１５は第３図に明示
されているように厚さ方向に磁化されており、かつｒｉ
６１橿歯１３ａ、１３ｂに一方の磁極面（Ｎ極）が。
ヨーク１６には他方の磁極歯（Ｓ極）がそれぞれ対面す
るように配置されている。
るように配置されている。
次に上記構成による駆動子１２の磁気的動作を第４図、
第５図で説明すると、まずコア１３の各磁極歯１３ａ、
１３ｂ毎にスケール４との間には永久磁石１５のＮ極
より磁極歯１３ａ、 ｔａｂ、スケール４．ヨーク１６
を経て永久磁石１５のＳ極に戻る各独立した閉磁路が形
成されている。ここで永久磁石１５より供給される磁束
を−１（点線）で示す、一方、前記した閉磁路とは別に
Ｕ字形のコア１３とスケール４との間には励磁コイル１
４を含む閉磁路が前記した永久磁石側の磁路と一部を重
合するようにして形成されている。なお励磁コイル１４
に与える入力パルス信号ｌの正負方向に対応して生起さ
れる磁束をそれぞれ矢印＋φｔｔ−ｄｉ で表す。
第５図で説明すると、まずコア１３の各磁極歯１３ａ、
１３ｂ毎にスケール４との間には永久磁石１５のＮ極
より磁極歯１３ａ、 ｔａｂ、スケール４．ヨーク１６
を経て永久磁石１５のＳ極に戻る各独立した閉磁路が形
成されている。ここで永久磁石１５より供給される磁束
を−１（点線）で示す、一方、前記した閉磁路とは別に
Ｕ字形のコア１３とスケール４との間には励磁コイル１
４を含む閉磁路が前記した永久磁石側の磁路と一部を重
合するようにして形成されている。なお励磁コイル１４
に与える入力パルス信号ｌの正負方向に対応して生起さ
れる磁束をそれぞれ矢印＋φｔｔ−ｄｉ で表す。
したがって励磁コイル１４にパルス信号を入力しない状
態では、各磁極歯１３ａ、 １３ｂに対してスケール４
との間に永久磁石１５による磁束φ−が供給される。こ
れに対して励磁コイル１４に正方向のパルス信号ｌを与
えると前記の磁束φ―に励磁コイル１４で生起した磁束
＋φｉが重畳するようになり、これにより一方の磁極歯
１３ａに対して磁束φ園と十φｉとが同方向に加算され
、他方の磁極歯１３ｂに対しては磁束φ鴫と＋φｌとが
相殺し合うようになる。これに対して励磁コイル１４に
与えるパルス信号ｌを負方向に切り換えると、前記とは
逆に磁極歯１３ａでは磁束φ■と−φｉとが相殺し合い
、＠掻歯１３ｂでは磁束φ−と−φｌとが加算されるよ
うになる。
態では、各磁極歯１３ａ、 １３ｂに対してスケール４
との間に永久磁石１５による磁束φ−が供給される。こ
れに対して励磁コイル１４に正方向のパルス信号ｌを与
えると前記の磁束φ―に励磁コイル１４で生起した磁束
＋φｉが重畳するようになり、これにより一方の磁極歯
１３ａに対して磁束φ園と十φｉとが同方向に加算され
、他方の磁極歯１３ｂに対しては磁束φ鴫と＋φｌとが
相殺し合うようになる。これに対して励磁コイル１４に
与えるパルス信号ｌを負方向に切り換えると、前記とは
逆に磁極歯１３ａでは磁束φ■と−φｉとが相殺し合い
、＠掻歯１３ｂでは磁束φ−と−φｌとが加算されるよ
うになる。
したがって第１図のようにスライダ１の左右に配備した
２組の駆動子１２の間で励磁コイル１４に与える入力パ
ルス信号、およびその方向を指定されたモードで順次切
り換えることにより、スケール４の歯列４ａと各組の駆
動子１２の間の磁気的な安定位置が第７図（ａ）〜（イ
）で示した従来の永久磁石形リニアパルスモータと同様
に移り変わり、これによりスライダｌがスケール４に沿
って歩進運動するようになる。なおこの場合にワーク２
を含むスライダ１の全負荷重量は第１図に示した支持ガ
イド棒１１に担持されるのでリニアパルスモータは単に
スライダをガイド支持棒１１に沿って移動させるに必要
な推進力のみを与えるだけで済む。
２組の駆動子１２の間で励磁コイル１４に与える入力パ
ルス信号、およびその方向を指定されたモードで順次切
り換えることにより、スケール４の歯列４ａと各組の駆
動子１２の間の磁気的な安定位置が第７図（ａ）〜（イ
）で示した従来の永久磁石形リニアパルスモータと同様
に移り変わり、これによりスライダｌがスケール４に沿
って歩進運動するようになる。なおこの場合にワーク２
を含むスライダ１の全負荷重量は第１図に示した支持ガ
イド棒１１に担持されるのでリニアパルスモータは単に
スライダをガイド支持棒１１に沿って移動させるに必要
な推進力のみを与えるだけで済む。
しかも前記の構成によれば、スケール４．および駆動子
１２は全てスライダｌの左右両側に配備されているので
、全体の高さ寸法ｈ（第２図参照）は第６図に示した従
来構造の高さ寸法Ｈと比べて大幅に縮小することになる
。
１２は全てスライダｌの左右両側に配備されているので
、全体の高さ寸法ｈ（第２図参照）は第６図に示した従
来構造の高さ寸法Ｈと比べて大幅に縮小することになる
。
なお、図示実施例では各組の駆動子毎にコアの磁極歯に
対して上下両側面に永久磁石、ヨークを配備したものを
示したが、永久磁石、ヨークをいずれか一方側にのみに
配備して実施することも可能である。また図示例では左
右のスケール４の相互間で歯列ピッチをＡピッチずらし
た例を示したが、スケール４の歯列ピッチを揃え、その
替わりに左右２組の駆動子１２の相互間でスケールの歯
列の２ピツチに相当する分だけ取付は位置をずらして配
置するようにしてもよい。
対して上下両側面に永久磁石、ヨークを配備したものを
示したが、永久磁石、ヨークをいずれか一方側にのみに
配備して実施することも可能である。また図示例では左
右のスケール４の相互間で歯列ピッチをＡピッチずらし
た例を示したが、スケール４の歯列ピッチを揃え、その
替わりに左右２組の駆動子１２の相互間でスケールの歯
列の２ピツチに相当する分だけ取付は位置をずらして配
置するようにしてもよい。
以上述べたようにこの発明のリニアパルスモータにおい
ては、歯列を内方に向けてスライダの左右両側に敷設し
た一対のスケールと、各スケールに対向してスライダの
左右両側部に装１着した２組の駆動子とを具備し、かつ
前記各組の駆動子をスケールの歯列に対向する一対の磁
極歯を有するり字形のコアと、該コアに巻装した励磁コ
イルと、一方の磁掻面を前記磁極歯の側面に重ね合わせ
てコアに結合した永久磁石と、該永久磁石の背面側磁掻
面に重ね合わせて先端をスケールの側面へ向け張り出し
たヨークとから構成したことにより、互いに切り離して
スライダの左右両側に配備した駆動子の励磁コイルに与
える入力パルス信号を指定されたモードで切換え制御す
ることでスライダをスケールに沿って歩進駆動すること
ができるとともに、構造面では高さ方向の寸法縮減化が
図れ、特に高さ方向で制限を受ける装置への適用に有利
な薄形のリニアパルスモータを提供することができる。
ては、歯列を内方に向けてスライダの左右両側に敷設し
た一対のスケールと、各スケールに対向してスライダの
左右両側部に装１着した２組の駆動子とを具備し、かつ
前記各組の駆動子をスケールの歯列に対向する一対の磁
極歯を有するり字形のコアと、該コアに巻装した励磁コ
イルと、一方の磁掻面を前記磁極歯の側面に重ね合わせ
てコアに結合した永久磁石と、該永久磁石の背面側磁掻
面に重ね合わせて先端をスケールの側面へ向け張り出し
たヨークとから構成したことにより、互いに切り離して
スライダの左右両側に配備した駆動子の励磁コイルに与
える入力パルス信号を指定されたモードで切換え制御す
ることでスライダをスケールに沿って歩進駆動すること
ができるとともに、構造面では高さ方向の寸法縮減化が
図れ、特に高さ方向で制限を受ける装置への適用に有利
な薄形のリニアパルスモータを提供することができる。
第１図は本発明実施例の構成を示す平面図、第２図は第
１図の正面図、第３図は第１図における駆動子の構成斜
視図、第４図、第５図はそれぞれ駆動子の磁気的動作の
説明図、第６図は従来におけるリニアパルスモータの構
成図、第７図（萄〜（ロ）は第６図の動作説明図である
。各図において、１ニスライダ、２：ワーク、４ニスケ
ール、４ａ：歯列、１２：駆動子、１３：コア、１３ａ
、 １３ｂ ：磁極歯、１４：励磁コイル、１５：永久
磁石、１６：ヨーク、φ鶴；永久磁石より供給される磁
束、＋φ１．−φｌ：励第１図 ゛第２図 第３図 第５図
１図の正面図、第３図は第１図における駆動子の構成斜
視図、第４図、第５図はそれぞれ駆動子の磁気的動作の
説明図、第６図は従来におけるリニアパルスモータの構
成図、第７図（萄〜（ロ）は第６図の動作説明図である
。各図において、１ニスライダ、２：ワーク、４ニスケ
ール、４ａ：歯列、１２：駆動子、１３：コア、１３ａ
、 １３ｂ ：磁極歯、１４：励磁コイル、１５：永久
磁石、１６：ヨーク、φ鶴；永久磁石より供給される磁
束、＋φ１．−φｌ：励第１図 ゛第２図 第３図 第５図
Claims (1)
- １）ワークを搭載するスライダを入力パルス信号により
スケールに沿って歩進駆動するリニアパルスモータであ
って、歯列を内方に向けてスライダの左右両側に敷設し
た一対のスケールと、各スケールに対向してスライダの
左右両側部に装備した２組の駆動子とを具備し、かつ前
記各組の駆動子がスケールの歯列に対向する一対の磁極
歯を有するＵ字形のコアと、該コアに巻装した励磁コイ
ルと、一方の磁極面を前記磁極歯の側面に重ね合わせて
コアに結合した永久磁石と、該永久磁石の背面側磁極面
に重ね合わせて先端をスケールの側面へ向け張り出した
ヨークとから成ることを特徴とするリニアパルスモータ
。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3633488A JPH0697832B2 (ja) | 1988-02-18 | 1988-02-18 | リニアパルスモータ |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3633488A JPH0697832B2 (ja) | 1988-02-18 | 1988-02-18 | リニアパルスモータ |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH01214253A true JPH01214253A (ja) | 1989-08-28 |
| JPH0697832B2 JPH0697832B2 (ja) | 1994-11-30 |
Family
ID=12466930
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP3633488A Expired - Lifetime JPH0697832B2 (ja) | 1988-02-18 | 1988-02-18 | リニアパルスモータ |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0697832B2 (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| EP1058372A3 (en) * | 1999-05-28 | 2003-05-21 | Sanshiro Ogino | Motor utilizing basic factor and having generator function |
| JP2023026703A (ja) * | 2021-08-14 | 2023-02-27 | イノビータ ピーティーイー リミテッド | ゲートバルブ用の駆動装置 |
-
1988
- 1988-02-18 JP JP3633488A patent/JPH0697832B2/ja not_active Expired - Lifetime
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| EP1058372A3 (en) * | 1999-05-28 | 2003-05-21 | Sanshiro Ogino | Motor utilizing basic factor and having generator function |
| US7116028B2 (en) | 1999-05-28 | 2006-10-03 | Sanshiro Ogino | Motor utilizing basic factor and having generator function |
| JP2023026703A (ja) * | 2021-08-14 | 2023-02-27 | イノビータ ピーティーイー リミテッド | ゲートバルブ用の駆動装置 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0697832B2 (ja) | 1994-11-30 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| KR100443590B1 (ko) | 리니어모터 및 그 제조방법 | |
| JP3945148B2 (ja) | Ｘｙテーブル及びｘｙｚテーブル | |
| US4912746A (en) | Linear DC brushless motor | |
| EP1198055B1 (en) | Linear motor, driving and control system thereof and manufacturing method thereof | |
| JP3791082B2 (ja) | リニアモータ | |
| JP2002064968A (ja) | 可動コイル型リニアモータを内蔵したスライド装置 | |
| JP3736381B2 (ja) | 振動型リニアアクチュエータ | |
| JPH01214253A (ja) | リニアパルスモータ | |
| JPH1042496A (ja) | リニアモータ | |
| JP2663533B2 (ja) | パルスモータ | |
| JPH0638503A (ja) | リニアモータ | |
| JPH03270670A (ja) | リニアモータ | |
| JPH0549229A (ja) | リニアモータ | |
| JPS6225867A (ja) | リニアステツピングモ−タ | |
| JPH03230746A (ja) | 直線駆動装置 | |
| JPH0535511B2 (ja) | ||
| JP4543463B2 (ja) | 移動体システム | |
| JPS60241768A (ja) | リニアパルスモ−タ | |
| JPH04210768A (ja) | リニアパルスモータの鉄心構造 | |
| JPS59156150A (ja) | リニヤモ−タ | |
| JPH05168219A (ja) | リニアモータ | |
| JPS60241767A (ja) | リニアパルスモ−タ | |
| JPH0541389U (ja) | 精密位置決め装置用リニアモータ | |
| JP2000099152A (ja) | Ｘｙ軸ヘッド位置決め装置 | |
| JPH0274145A (ja) | リニアパルスモータ及びその駆動方法 |