JPH01215762A - 窒化硅素焼結体の製造方法 - Google Patents

窒化硅素焼結体の製造方法

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JPH01215762A
JPH01215762A JP63041040A JP4104088A JPH01215762A JP H01215762 A JPH01215762 A JP H01215762A JP 63041040 A JP63041040 A JP 63041040A JP 4104088 A JP4104088 A JP 4104088A JP H01215762 A JPH01215762 A JP H01215762A
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JP
Japan
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powder
silicon nitride
sintering
nitrogen gas
sintered form
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Pending
Application number
JP63041040A
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Inventor
Munetaka Takeuchi
竹内 宗孝
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Fujitsu Ltd
Original Assignee
Fujitsu Ltd
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Publication date
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Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〔概要〕 窒化硅素焼結体の製造方法に関し、 靭性の高い焼結体を得ることを目的とし、主成分である
窒化硅素粉末にアルミナ粉末とイツトリア粉末を焼結助
剤として添加し、混合した後にプレス成形して成形体を
作り、該成形体を窒化アルミニウム粉末中に埋設し、加
圧窒素ガス雰囲気中で焼結することにより窒化硅素焼結
体の製造方法を構成する。
〔産業上の利用分野〕
本発明は靭性の高い窒化硅素焼結体の製造方法に関する
窒化硅素(以下5iJ4)は1000℃を越す高温にお
いても高い強度を示し、軽量で熱衝撃性に優れた材料と
して知られている。
すなわち、Si3N4は高温においても安定であって、
比重は3.185と軽く、モース硬度は9と高く、また
高温の融解金属に侵されないなどの特徴をもっている。
そのため、切削工具の刃、高温での耐蝕性が必要な坩堝
やノズルなどの材料として適し、またセラミックターボ
の構成材として期待されている。
こ\で、Si3N4は1800℃付近から徐々に解離す
る性質をもち、1900℃での窒素ガスの分解圧は1気
圧である。
〔従来の技術〕
Si、N、焼結体の主な使用対象は高い強度をもつこと
が必要な部門であることから焼結体は衝撃によっても破
壊しにくい性質すなわち靭性が優れていることが必要で
ある。
それにはアスペクト比(縦/横)の高い5i3Na結晶
粒が焼結体の全体に亙って分布していることが望ましい
そこで、靭性の高い5iJ4焼結体を得る方法として、
従来は、 ■ イツトリア(Yz(h)やアルミナ(A l zO
+)のような焼結助剤を添加し、加圧状態で焼成するこ
とにより柱状結晶をした5iJaを成長させる。
■ 炭化硅素(SiC)、 Si:+Naのホイスカ(
Whisker)を添加して焼結する。
などの方法が用いられている。
然し、■の方法はアスペクト比の高い柱状結晶を成長さ
せるには1800℃程度の高温で10時間以上の保持が
必要で効率が悪い。
■の方法についてはホイスカを焼結体の中に均一に分散
させることは困難である。
などの理由から実用化されてはいない。
そのため、短時間で充分に成長した柱状Si3N4結晶
をもつ焼結体の製造方法の実用化が望まれていた。
〔発明が解決しようとする課題〕
以上記したようにSi、N、焼結体は高い靭性を持って
いることが必要で、そのためには柱状をし、アスペクト
比の高いSi3N、結晶が均一に分散していることが必
要であり、これを短時間で形成できる条件を求めること
が課題である。
〔課題を解決するための手段〕
上記の課題は主成分である5iJ4粉末にAl2O3粉
末とY2O,粉末を焼結助剤として添加し、混合した後
にプレス成形して成形体を作り、該成形体をへIN粉末
中に埋設し、5〜500気圧の加圧窒素ガス(N2)雰
囲気中で焼結する5iJn焼結体の製造方法をとること
により解決することができる。
〔作用〕
先に記したように5iJ4は1800℃以上の温度で暮
華が始まる物質であり、か−る材料をプレス成形した後
、焼結して焼結体を得るには、Si3N、の分解を防ぐ
ために耐熱材料からなる詰め粉の中に埋設して焼結する
のが常法である。
すなわち、焼結は処理時間を短くするために約1800
℃の高温で行うが、詰め粉を用いないと焼結密度が著し
く低下してしまう。
こ\で、詰め粉の有効に働くための条件は、■ 融点が
高く、成形体と反応しない材料であること。
■ 成形体の陰イオン成分が共通していること。
すなわち、成形体の片方の成分の蒸気圧が高まるために
成形体の解離が抑制される。
そこで、SiJg成形体を焼結するには詰め粉とシテ硼
化窒素(BN 3000℃以上で解離)、 A6N(2
000℃以上で解離)のような材料を使用すればよいが
、実験の結果はAfN粉の使用が格段に優れた結果を得
ることができた。
この理由は明らかではないが、恐らく解離したAINの
分解によって生じた^lガスが焼結体の内部に浸透し、
焼結助剤と同様に焼結を早めると共に結晶柱状成長を促
進するためである。
本発明は具体的には5iJ4粉末80重量部以上とA 
l goz粉末5重量部以下と残部がY2O,粉末から
なる成形体をAIN粉末からなる詰め粉の中に埋め、5
〜500気圧のN2ガス雰囲気中で1〜5時間焼成する
ことにより柱状の結晶を一様にもち靭性の高い5iJ4
焼結体を得るものである。
すなわち、加圧したN2ガスによりAfN粉末の過剰な
解離を防ぎながら、焼結体の中にAI蒸気を浸透させ、
5iJnの柱状結晶を成長させるものである。
〔実施例〕 Si3N4粉末90重量部とA I 、0.粉末4重量
部とY2O,粉末6重量部からなる混合粉末にエチルア
ルコールを加え、ボールミルを用いて充分に混合した。
次に、これを乾燥させた後、金型プレスにより5X6X
40龍の成形体を作った。
次に、坩堝に純度99%以上のAIN粉未満たし成形体
を中央に埋めた。
そして100気圧のN2ガス雰囲気のもとで1800℃
で3時間焼成した。
このようにして得られた焼結体の気孔率は0%で緻密で
あり、またJ l5−Rl601 (ファインセラミッ
クスの曲げ強さ試験方法)に従って10個の試験片につ
いて3点曲げ試験を行ったところ、その結果は曲げ強さ
は120Kg f/龍2であり、一方、へlN粉末で埋
めない比較品の曲げ強さは95Kg f/ as2であ
り、顕著な差を示した。
〔発明の効果〕
詰め粉としてAIN粉末を用いて焼結を行う本発明の実
施により靭性の高い、すなわち強度の高いSi3N4焼
結体を得ることができる。

Claims (1)

    【特許請求の範囲】
  1. 主成分である窒化硅素粉末にアルミナ粉末とイットリア
    粉末を焼結助剤として添加し、混合した後にプレス成形
    して成形体を作り、該成形体を窒化アルミニウム粉末中
    に埋設し、加圧窒素ガス雰囲気中で焼結することを特徴
    とする窒化硅素焼結体の製造方法。
JP63041040A 1988-02-24 1988-02-24 窒化硅素焼結体の製造方法 Pending JPH01215762A (ja)

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Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS62235261A (ja) * 1986-04-07 1987-10-15 日本鋼管株式会社 窒化ケイ素の高密度焼結体の製造方法

Patent Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS62235261A (ja) * 1986-04-07 1987-10-15 日本鋼管株式会社 窒化ケイ素の高密度焼結体の製造方法

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