JPH01215975A - マグネトロンスパッタリングカソード装置 - Google Patents
マグネトロンスパッタリングカソード装置Info
- Publication number
- JPH01215975A JPH01215975A JP4153188A JP4153188A JPH01215975A JP H01215975 A JPH01215975 A JP H01215975A JP 4153188 A JP4153188 A JP 4153188A JP 4153188 A JP4153188 A JP 4153188A JP H01215975 A JPH01215975 A JP H01215975A
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Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
（１）発明の目的
［産業上の利用分野］
本発明は、マクネトロンスパッタリングカソード装置に
関し、特にターゲットを回転駆動するための駆動部材を
分解することなく、ターゲラ１−の交換を実行できるマ
クネトロンスパッタリングカソード装置に関するもので
ある。
関し、特にターゲットを回転駆動するための駆動部材を
分解することなく、ターゲラ１−の交換を実行できるマ
クネトロンスパッタリングカソード装置に関するもので
ある。
［従来の技術］
従来この種のマグネトロンスパッタリンクカソード装置
としては、ターゲットの回転駆動軸をその両端部てハウ
ジングに保持せしめるものが提案されていた。
としては、ターゲットの回転駆動軸をその両端部てハウ
ジングに保持せしめるものが提案されていた。
［解決すべき問題点］
しかしなからこれては、ターゲットの交換に際し、ハウ
シング内に収容された駆動部材を分解し再び組み立てな
ければならず、ターゲットの交換作業が煩雑化しかつ長
時間を要する欠点があった。
シング内に収容された駆動部材を分解し再び組み立てな
ければならず、ターゲットの交換作業が煩雑化しかつ長
時間を要する欠点があった。
そこで本発明は、この欠点を解決するために、ターゲッ
トを回転駆動するための駆動部材を分解することなくタ
ーゲットの交換を実行てきるマグネトロンスパッタリン
グカソード装置を提供せんとするものである。
トを回転駆動するための駆動部材を分解することなくタ
ーゲットの交換を実行てきるマグネトロンスパッタリン
グカソード装置を提供せんとするものである。
（２）発明の構成
［問題点の解決手段］
本発明により提供される問題点の解決手段は、「（ａ）
真空槽周壁の内面に対して配置された中空の保持部材と
、 （ｂ）前記保持部材に対し一端部が保持されており、か
つ他端部か前記保持部材の 内部から真空槽内へ延長されたマグ ネット保持用パイプと、 （Ｃ）前記マグネット保持用パイプの周面に配置された
マグネットと、 （ｄ）前記マグネット保持用パイプの他端部に配置され
たハブ部材に対し一端部か 固定されており、前記マグネットを包 囲するターゲットと、 （ｅ）前記ターゲットの他端部に固定されており、前記
マグネット保持用パイプに そって前記保持部材の内部へ延長され た他のハブ部材と、 （ｆ）前記他のハブ部材に対し連絡された駆動部材と、 （ｇ）前記真空槽周壁および保持部材を貫通して前記マ
グネット保持用パイプに対 し連通された冷却水供給管と、 （ｈ）前記真空槽周壁および保持部材を貫通して前記保
持部材の内部空間に対し連 通された冷却水排水管と、 （ｉ）前記真空槽周壁を貫通して保持部材に与えられた
負電圧を前記ターゲットに 供給するブラシ部材と を備えていることを特徴とするマグネトロンスパッタリ
ングカソード装置」 である。
真空槽周壁の内面に対して配置された中空の保持部材と
、 （ｂ）前記保持部材に対し一端部が保持されており、か
つ他端部か前記保持部材の 内部から真空槽内へ延長されたマグ ネット保持用パイプと、 （Ｃ）前記マグネット保持用パイプの周面に配置された
マグネットと、 （ｄ）前記マグネット保持用パイプの他端部に配置され
たハブ部材に対し一端部か 固定されており、前記マグネットを包 囲するターゲットと、 （ｅ）前記ターゲットの他端部に固定されており、前記
マグネット保持用パイプに そって前記保持部材の内部へ延長され た他のハブ部材と、 （ｆ）前記他のハブ部材に対し連絡された駆動部材と、 （ｇ）前記真空槽周壁および保持部材を貫通して前記マ
グネット保持用パイプに対 し連通された冷却水供給管と、 （ｈ）前記真空槽周壁および保持部材を貫通して前記保
持部材の内部空間に対し連 通された冷却水排水管と、 （ｉ）前記真空槽周壁を貫通して保持部材に与えられた
負電圧を前記ターゲットに 供給するブラシ部材と を備えていることを特徴とするマグネトロンスパッタリ
ングカソード装置」 である。
［作用］
本発明にかかるマグネトロンスパッタリングカソード装
置は、真空槽周壁の内面に対して配置された中空の保持
部材によってマグネット保持用パイプの一端部を保持し
、かつマグネット保持用パイプに保持されたマグネット
を包囲するよう配設されたターゲットを固定するハブ部
材に連結された駆動部材をその保持部材内に収容してい
るので、（ｉ）ハブ部材から゛固定手段を取り外すのみ
でターゲットを取り外すことを可能とする作用をなし、
ひいては（ｉｉ）ターゲットの交換作業を簡潔化ないし
迅速化する作用をなし、併せて（ｉｉｉ）マグネット保
持用パイプを冷却水の循環路として利用でき、ターゲッ
トの内周面の全域をターゲットの延長方向に左右される
ことなく全体として冷却可能とする作用をなす。
置は、真空槽周壁の内面に対して配置された中空の保持
部材によってマグネット保持用パイプの一端部を保持し
、かつマグネット保持用パイプに保持されたマグネット
を包囲するよう配設されたターゲットを固定するハブ部
材に連結された駆動部材をその保持部材内に収容してい
るので、（ｉ）ハブ部材から゛固定手段を取り外すのみ
でターゲットを取り外すことを可能とする作用をなし、
ひいては（ｉｉ）ターゲットの交換作業を簡潔化ないし
迅速化する作用をなし、併せて（ｉｉｉ）マグネット保
持用パイプを冷却水の循環路として利用でき、ターゲッ
トの内周面の全域をターゲットの延長方向に左右される
ことなく全体として冷却可能とする作用をなす。
［実施例］
次に本発明について、添付図面を参照しつつ具体的に説
明する。
明する。
第１図は、本発明にかかるマクネトロンスパッタリンク
カソード装置の一実施例を示す断面図である。
カソード装置の一実施例を示す断面図である。
まず本発明にかかるマグネトロンスパッタリングカソー
ド装置の一実施例について、その構成を詳細に説明する
。
ド装置の一実施例について、その構成を詳細に説明する
。
坪は本発明にがかるマグネトロンスパッタリングカソー
ド装置であって、マグネトロン装置の真空槽周壁１２の
内面に対し、電気絶縁板１４を介して取り付けられた中
空の保持部材１６を包有している。保持部材１６には、
その一端部開口１６ａを閉鎖するよう、マグネット保持
用パイプ１８の一端部１８ａを保持するための保持板２
０か取り付けられている。マグネット保持用パイプ１８
は、保持部材１６の内部空間を延長されたのち、その他
端部間口１６ｂから外方すなわち真空槽１２Ａ内へ延長
されている。
ド装置であって、マグネトロン装置の真空槽周壁１２の
内面に対し、電気絶縁板１４を介して取り付けられた中
空の保持部材１６を包有している。保持部材１６には、
その一端部開口１６ａを閉鎖するよう、マグネット保持
用パイプ１８の一端部１８ａを保持するための保持板２
０か取り付けられている。マグネット保持用パイプ１８
は、保持部材１６の内部空間を延長されたのち、その他
端部間口１６ｂから外方すなわち真空槽１２Ａ内へ延長
されている。
マグネット保持用パイプ１８の周面には、保持部材１６
の外側において、マグネット２２が装着されている。マ
グネット２２の周面には、適度の間隔をおいて筒状など
の適宜の形状のターゲット２４が配置されている。ター
ゲット２４の一端部２４ａは、マグネット保持用パイプ
１８の延長方向に配置されたネジ部材２６によってハブ
部材２８に対し固着されている。ハブ部材２８は、支承
部材３０を介してマグネット保持用パイプ１８の他端部
１８ｂに対し支承されている。ターゲット２４の他端部
２４ｂは、マグネット保持用パイプ１８の延長方向に向
けて配置された他のネジ部材３２によってハブ部材３４
に対し固着されている。
の外側において、マグネット２２が装着されている。マ
グネット２２の周面には、適度の間隔をおいて筒状など
の適宜の形状のターゲット２４が配置されている。ター
ゲット２４の一端部２４ａは、マグネット保持用パイプ
１８の延長方向に配置されたネジ部材２６によってハブ
部材２８に対し固着されている。ハブ部材２８は、支承
部材３０を介してマグネット保持用パイプ１８の他端部
１８ｂに対し支承されている。ターゲット２４の他端部
２４ｂは、マグネット保持用パイプ１８の延長方向に向
けて配置された他のネジ部材３２によってハブ部材３４
に対し固着されている。
ハブ部材３４は、マグネット保持用パイプ１８にそって
保持部材１６の内部延長されており、支承部材３６．３
７を介してその内部空間に保持されている。ハブ部材３
４の端部には、つオームホイール３８かネジ部材などく
図示せず）によって固着されている。
保持部材１６の内部延長されており、支承部材３６．３
７を介してその内部空間に保持されている。ハブ部材３
４の端部には、つオームホイール３８かネジ部材などく
図示せず）によって固着されている。
つオームホイール３８の内周面は、マグネット保持用パ
イプ１８の周面との間に適度の距離をおいて対向されて
いる。つオームホイール３８は真空槽周壁１２．電気絶
縁板１４および保持部材１６を貫通して保持部材１６の
内部空間まで延長されたつオームシャフト４０の先端部
に配設されたウオーム（図示せず）に対し噛み合わされ
ている。
イプ１８の周面との間に適度の距離をおいて対向されて
いる。つオームホイール３８は真空槽周壁１２．電気絶
縁板１４および保持部材１６を貫通して保持部材１６の
内部空間まで延長されたつオームシャフト４０の先端部
に配設されたウオーム（図示せず）に対し噛み合わされ
ている。
４２は冷却水排水管であって、つオームシャフト４０を
包囲しつつ、真空槽周壁１２に、電気絶縁板１４および
保持部材１６を貫通して保持部材１６の内部空間まで延
長されている。冷却水排水管４２と真空槽周壁１２どの
間には、電気絶縁体（図示せず）が配置されている。
包囲しつつ、真空槽周壁１２に、電気絶縁板１４および
保持部材１６を貫通して保持部材１６の内部空間まで延
長されている。冷却水排水管４２と真空槽周壁１２どの
間には、電気絶縁体（図示せず）が配置されている。
４４は冷却水供給管であって、真空槽周壁１２．電気絶
縁板１４および保持部材１６を貫通して保持部材１６の
内部空間まで延長されたのち、その先端部がマグネット
保持用パイプ１８に対して連通されている。冷却水供給
管４４と真空槽周壁１２どの間には、電気絶縁体４６か
配置されている。
縁板１４および保持部材１６を貫通して保持部材１６の
内部空間まで延長されたのち、その先端部がマグネット
保持用パイプ１８に対して連通されている。冷却水供給
管４４と真空槽周壁１２どの間には、電気絶縁体４６か
配置されている。
４８は排気管てあって、真空槽周壁１２．電気絶縁板１
４および保持部材１６を貫通して真空槽の内部空間１２
Ａまて延長されている。排気管４８と真空槽周壁１２ど
の間には、電気絶縁体５０が配置されている。排気管４
８は、負電圧供給線としても利用されており、保持部材
１６に取り付けられ、かつターゲット２４の周面に当接
されたブラシ部材５２を介してターゲット２４の周面に
対し負電圧を供給している。
４および保持部材１６を貫通して真空槽の内部空間１２
Ａまて延長されている。排気管４８と真空槽周壁１２ど
の間には、電気絶縁体５０が配置されている。排気管４
８は、負電圧供給線としても利用されており、保持部材
１６に取り付けられ、かつターゲット２４の周面に当接
されたブラシ部材５２を介してターゲット２４の周面に
対し負電圧を供給している。
５４はターゲット２４の周面に配置されたシールド部材
であって、真空槽周壁１２の内面に対しブラケウト５６
によって保持されており、適宜の手段により正電圧が供
給されている被加工部材５８に対向する部分のみか開口
にされている。
であって、真空槽周壁１２の内面に対しブラケウト５６
によって保持されており、適宜の手段により正電圧が供
給されている被加工部材５８に対向する部分のみか開口
にされている。
６０は保持部材１６の周囲に配置されたシールド部材で
あって、真空槽周壁１２の内面に対して適宜の手段によ
って取り付けられており、保持部材１６の異常放電を防
止している。
あって、真空槽周壁１２の内面に対して適宜の手段によ
って取り付けられており、保持部材１６の異常放電を防
止している。
更に本発明にかかるマクネトロンスパッタリンクカソー
ド装置の一実施例について、その作用を詳細に説明する
。
ド装置の一実施例について、その作用を詳細に説明する
。
（スパッタリング動作）
排気ポンプ（図示せず）により真空槽の内部空間１２Ａ
内を排気し、所定の真空度とする。
内を排気し、所定の真空度とする。
真空槽の内部空間１２Ａ内が所定の真空度となったのち
、排気管４８を介して保持部材１６内の支承部材３５．
３７間を排気し、次いて冷却水供給管４４を介して冷却
水をマグネット保持用パイプ１８に供給する。冷却水は
、マグネット保持用パイプ１８内を矢印方向に移動した
のち、他端部１８ｂの周面に形成されたの開孔１９から
ハブ部材３４の内面へ移動する。そののち冷却水は、タ
ーゲット２４の内面画にそって矢印方向に移動し、ハブ
部材３４の内面に到達する。
、排気管４８を介して保持部材１６内の支承部材３５．
３７間を排気し、次いて冷却水供給管４４を介して冷却
水をマグネット保持用パイプ１８に供給する。冷却水は
、マグネット保持用パイプ１８内を矢印方向に移動した
のち、他端部１８ｂの周面に形成されたの開孔１９から
ハブ部材３４の内面へ移動する。そののち冷却水は、タ
ーゲット２４の内面画にそって矢印方向に移動し、ハブ
部材３４の内面に到達する。
ハブ部材３４に到達した冷却水は、ハブ部材３４の内周
面とマグネット保持用パイプ１８の周面との間の空間を
矢印方向に移動し、保持部材１６の内部空間へ到達する
。更に冷却水は、冷却水排出管４２を介して真空槽の外
部に排出される。
面とマグネット保持用パイプ１８の周面との間の空間を
矢印方向に移動し、保持部材１６の内部空間へ到達する
。更に冷却水は、冷却水排出管４２を介して真空槽の外
部に排出される。
ターゲット２４の内周面への冷却水の供給に並行して、
つオームシャフト４０が真空槽の外部に配置された適宜
の駆動装置（図示せず）によって回転され始める。これ
によりつオームホイール３８が、マグネット保持用パイ
プ１８を中心として回転され始める。つオームホイール
１８にはハブ部材３４か連結されているので、ターゲッ
ト２４がマグネット保持用パイプ１８を中心としてマグ
ネット２２の周囲を回転され始める。
つオームシャフト４０が真空槽の外部に配置された適宜
の駆動装置（図示せず）によって回転され始める。これ
によりつオームホイール３８が、マグネット保持用パイ
プ１８を中心として回転され始める。つオームホイール
１８にはハブ部材３４か連結されているので、ターゲッ
ト２４がマグネット保持用パイプ１８を中心としてマグ
ネット２２の周囲を回転され始める。
更に、排気管４８．保持部材１６およびフラジ部材５２
を介してターゲット２４の周面に負電圧が供給され、ま
た被加工部材５８に適宜の手段（図示せず）を介して正
電圧が供給される。
を介してターゲット２４の周面に負電圧が供給され、ま
た被加工部材５８に適宜の手段（図示せず）を介して正
電圧が供給される。
以上によりターゲット２４の周面から被加工部材５８の
表面に向け、シールド部材５４の開口を介して矢印の如
くスパッタリングが開始される。
表面に向け、シールド部材５４の開口を介して矢印の如
くスパッタリングが開始される。
（ターゲット交換動作）
シールド部材５４．６０を取り外したのち、保持部材１
６の側面１６Ａにそってドライバ（図示せず）を挿入し
、ターゲット２４を回転せしめつつ、ネジ部材３２を順
次取り外す。ネジ部材３２を取り外し終えたのち、マグ
ネット保持用パイプ１８にそってターゲット２４を移動
してネジ部材３４およびマグネット保持用パイプ１８か
ら取り外す。更にネジ部材２６を取り外し、ターゲット
２４からハブ部材２８を取り外す。
６の側面１６Ａにそってドライバ（図示せず）を挿入し
、ターゲット２４を回転せしめつつ、ネジ部材３２を順
次取り外す。ネジ部材３２を取り外し終えたのち、マグ
ネット保持用パイプ１８にそってターゲット２４を移動
してネジ部材３４およびマグネット保持用パイプ１８か
ら取り外す。更にネジ部材２６を取り外し、ターゲット
２４からハブ部材２８を取り外す。
そののちターゲット２４を新たなターゲット２４と交換
し、上述とは逆の手順で当初の状態（すなわち第１図に
図示した状態）に組み立てる。
し、上述とは逆の手順で当初の状態（すなわち第１図に
図示した状態）に組み立てる。
なお上述においては、ターゲット２４をハブ部材２６、
３４に取り付ける手段としてネジ部材２６．３２を採用
しているが、本発明は、これれに限定されるものてはな
く、他の所望の取付手段を採用してもよい。
３４に取り付ける手段としてネジ部材２６．３２を採用
しているが、本発明は、これれに限定されるものてはな
く、他の所望の取付手段を採用してもよい。
（３）発明の効果
上述より明らかなように本発明にがかるマグネトロンス
パッタリングカソード装置は、（ａ）真空槽周壁の内面
に対して配置された中空の保持部材と、 （ｂ）前記保持部材に対し一端部が保持されており、か
つ他端部が前記保持部材の 内部から真空槽内へ延長されたマグ ネット保持用パイプと、 （Ｃ）前記マグネット保持用パイプの周面に配置された
マグネットと、 （ｄ）前記マグネット保持用パイプの他端部に配置され
たハブ部材に対し一端部か 固定されており、前記マグネットを包 囲するターゲットと、 （ｅ）前記ターゲットの他端部に固定されており、前記
マグネット保持用パイプに そって前記保持部材の内部へ延長され た他のハブ部材と、 （ｆ）前記他のハブ部材に対し連結された駆動部材と、 （ｇ）前記真空槽周壁および保持部材を貫通して前記マ
グネット保持用パイプに対 し連通された冷却水供給管と、 （ｈ）前記真空槽周壁および保持部材を貫通して前記保
持部材の内部空間に対し連 通された冷却水供給管と、 （ｉ）前記真空槽周壁を貫通して保持部材に与えられた
負電圧を前記ターゲットに 供給するブラシ部材と を備えているので、 （ｉ）保持部材ないし保持部材内に 配置された駆動部材を分解す ることなく、他のハブ部材か ら取付手段を取り外すのみ てターゲットを分解てきる効 果 を有し、ひいては （ｉｉ）ターゲットの交換作業を簡潔 化ないし迅速化できる効果 を有し、併せて （ｉｉｉ）マグネット保持用パイプを冷却水の循環路と
して利用で き、ターゲットの内周面の全 域をターゲットの延長方向に 左右されることなく全体とし て冷却可能とてきる効果 を有する。
パッタリングカソード装置は、（ａ）真空槽周壁の内面
に対して配置された中空の保持部材と、 （ｂ）前記保持部材に対し一端部が保持されており、か
つ他端部が前記保持部材の 内部から真空槽内へ延長されたマグ ネット保持用パイプと、 （Ｃ）前記マグネット保持用パイプの周面に配置された
マグネットと、 （ｄ）前記マグネット保持用パイプの他端部に配置され
たハブ部材に対し一端部か 固定されており、前記マグネットを包 囲するターゲットと、 （ｅ）前記ターゲットの他端部に固定されており、前記
マグネット保持用パイプに そって前記保持部材の内部へ延長され た他のハブ部材と、 （ｆ）前記他のハブ部材に対し連結された駆動部材と、 （ｇ）前記真空槽周壁および保持部材を貫通して前記マ
グネット保持用パイプに対 し連通された冷却水供給管と、 （ｈ）前記真空槽周壁および保持部材を貫通して前記保
持部材の内部空間に対し連 通された冷却水供給管と、 （ｉ）前記真空槽周壁を貫通して保持部材に与えられた
負電圧を前記ターゲットに 供給するブラシ部材と を備えているので、 （ｉ）保持部材ないし保持部材内に 配置された駆動部材を分解す ることなく、他のハブ部材か ら取付手段を取り外すのみ てターゲットを分解てきる効 果 を有し、ひいては （ｉｉ）ターゲットの交換作業を簡潔 化ないし迅速化できる効果 を有し、併せて （ｉｉｉ）マグネット保持用パイプを冷却水の循環路と
して利用で き、ターゲットの内周面の全 域をターゲットの延長方向に 左右されることなく全体とし て冷却可能とてきる効果 を有する。
第１図は、本発明にかかるマグネトロンスパッタリンク
カソード装置の一実施例を示す断面図である。 す・・・・・・・・・・・マグネトロンスパッタリンク
カソード装置 １２・・・・・・・・・・・真空槽周壁１４・・・・・
・・・・・・電気絶縁板１６・・・・・・・・・・・保
持部材 １６ａ・・・・・・・・・一端部開口 １６ｂ・・・・・・・・・他端部間口 １８・・・・・・・・・・・マグネット保持用パイプ２
０・・・・・・・・・・・保持板 ２２・・・・・・・・・・・マグネット２４・・・・・
・・・・・・ターゲット２６・・・・・・・・・・・ネ
ジ部材 ２８・・・・・・・・・・・ハブ部材 ３０・・・・・・・・・・・支承部材 ３２・・・・・・・・・・・ネジ部材 ３４・・・・・・・・・・・ハブ部材 ３６．３７・・・・・・・・・支承部材３８・・・・・
・・・・・・つオームホイール４０・・・・・・・・・
・・つオームシャフト４２・・・・・・・・・・・冷却
水排水管４４・・・・・・・・・・・冷却水供給管４６
・・・・・・・・・・・電気絶縁体４８・・・・・・・
・・・・排気管
カソード装置の一実施例を示す断面図である。 す・・・・・・・・・・・マグネトロンスパッタリンク
カソード装置 １２・・・・・・・・・・・真空槽周壁１４・・・・・
・・・・・・電気絶縁板１６・・・・・・・・・・・保
持部材 １６ａ・・・・・・・・・一端部開口 １６ｂ・・・・・・・・・他端部間口 １８・・・・・・・・・・・マグネット保持用パイプ２
０・・・・・・・・・・・保持板 ２２・・・・・・・・・・・マグネット２４・・・・・
・・・・・・ターゲット２６・・・・・・・・・・・ネ
ジ部材 ２８・・・・・・・・・・・ハブ部材 ３０・・・・・・・・・・・支承部材 ３２・・・・・・・・・・・ネジ部材 ３４・・・・・・・・・・・ハブ部材 ３６．３７・・・・・・・・・支承部材３８・・・・・
・・・・・・つオームホイール４０・・・・・・・・・
・・つオームシャフト４２・・・・・・・・・・・冷却
水排水管４４・・・・・・・・・・・冷却水供給管４６
・・・・・・・・・・・電気絶縁体４８・・・・・・・
・・・・排気管
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 （ａ）真空層周壁の内面に対して配置された中空の保持
部材と、 （ｂ）前記保持部材に対し一端部が保持されており、か
つ他端部が前記保持部材の内部から真空槽内へ延長され
たマグネット保持用パイプと、 （ｃ）前記マグネット保持用パイプの周面に配置された
マグネットと、 （ｄ）前記マグネット保持用パイプの他端部に配置され
たハブ部材に対し一端部が固定されており、前記マグネ
ットを包囲するターゲットと、 （ｅ）前記ターゲットの他端部に固定されており、前記
マグネット保持用パイプにそって前記保持部材の内部へ
延長された他のハブ部材と、 （ｆ）前記他のハブ部材に対し連結された駆動部材と、 （ｇ）前記真空槽周壁および保持部材を貫通して前記マ
グネット保持用パイプに対し、連通された冷却水供給管
と、 （ｈ）前記真空槽周壁および保持部材を貫通して前記保
持部材の内部空間に対し連通された冷却水排水管と、 （ｉ）前記真空槽周壁を貫通して保持部材に与えられた
負電圧を前記ターゲットに供給するブラシ部材と を備えていることを特徴とするマグネトロンスパッタリ
ングカソード装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP4153188A JP2693960B2 (ja) | 1988-02-24 | 1988-02-24 | マグネトロンスパッタリングカソード装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP4153188A JP2693960B2 (ja) | 1988-02-24 | 1988-02-24 | マグネトロンスパッタリングカソード装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH01215975A true JPH01215975A (ja) | 1989-08-29 |
| JP2693960B2 JP2693960B2 (ja) | 1997-12-24 |
Family
ID=12610994
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP4153188A Expired - Fee Related JP2693960B2 (ja) | 1988-02-24 | 1988-02-24 | マグネトロンスパッタリングカソード装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2693960B2 (ja) |
Cited By (8)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO1992002659A1 (en) * | 1990-08-10 | 1992-02-20 | Viratec Thin Films, Inc. | Shielding for arc suppression in rotating magnetron sputtering systems |
| US5427665A (en) * | 1990-07-11 | 1995-06-27 | Leybold Aktiengesellschaft | Process and apparatus for reactive coating of a substrate |
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| JP2693960B2 (ja) | 1997-12-24 |
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