JPH01216235A - 複屈折の測定方法 - Google Patents
複屈折の測定方法Info
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- JPH01216235A JPH01216235A JP63042796A JP4279688A JPH01216235A JP H01216235 A JPH01216235 A JP H01216235A JP 63042796 A JP63042796 A JP 63042796A JP 4279688 A JP4279688 A JP 4279688A JP H01216235 A JPH01216235 A JP H01216235A
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Classifications
-
- Y—GENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
- Y02—TECHNOLOGIES OR APPLICATIONS FOR MITIGATION OR ADAPTATION AGAINST CLIMATE CHANGE
- Y02P—CLIMATE CHANGE MITIGATION TECHNOLOGIES IN THE PRODUCTION OR PROCESSING OF GOODS
- Y02P10/00—Technologies related to metal processing
- Y02P10/20—Recycling
Landscapes
- Investigating Or Analysing Materials By Optical Means (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
本発明はプラスチック材のばか各種透明物質の３次元的
な異方性、又は屈折率楕円体を容易に解明し得る複屈折
の測定方法及びその装置に関するものである。
な異方性、又は屈折率楕円体を容易に解明し得る複屈折
の測定方法及びその装置に関するものである。
光が物体を透過、又はその表面で反射する際の偏光状態
を検出し、前記物体の異方性、光学定数。
を検出し、前記物体の異方性、光学定数。
あるいは物体の表面に付着した薄膜の厚み等を測定する
ため、エリプソメトリ−（ｅｌｌｉｐｓｏｍｅｔｒｙ）
と呼ばれる測定装置が広く使用されている。
ため、エリプソメトリ−（ｅｌｌｉｐｓｏｍｅｔｒｙ）
と呼ばれる測定装置が広く使用されている。
以下、第５図を参照して回転検光子法を採用した透過型
の測定装置について説明すると、この装置は光源（Ｈｅ
−Ｎｅレーザー）１、偏光子２．１７４波長板３、水平
な軸受４に傾動自在に支持した試料台５、シンクロナス
モーター６によって断続的に小角度ずつ回転駆動される
検光子７、該検光子７の各角度位置θおよびデータ信号
ｆを出力する角度検出器８、受光した光の強さを検出し
て光電変換する検出器９、該検出器９から送られた光強
度のアナログ信号Ｃ及び角度検出器８から送られたデー
タ信号ｆをＡ／Ｄ変換するＡ／Ｄコンバータ１３、該コ
ンバータ１３から送られたディジタル信号を所定のプロ
グラムに従って演算、解析する小型演算機１４（例えば
ｌ ＢＭ １１３０ ）等からなる。
の測定装置について説明すると、この装置は光源（Ｈｅ
−Ｎｅレーザー）１、偏光子２．１７４波長板３、水平
な軸受４に傾動自在に支持した試料台５、シンクロナス
モーター６によって断続的に小角度ずつ回転駆動される
検光子７、該検光子７の各角度位置θおよびデータ信号
ｆを出力する角度検出器８、受光した光の強さを検出し
て光電変換する検出器９、該検出器９から送られた光強
度のアナログ信号Ｃ及び角度検出器８から送られたデー
タ信号ｆをＡ／Ｄ変換するＡ／Ｄコンバータ１３、該コ
ンバータ１３から送られたディジタル信号を所定のプロ
グラムに従って演算、解析する小型演算機１４（例えば
ｌ ＢＭ １１３０ ）等からなる。
次に、測定方法について説明する。光源１から放射され
た単色の平行光は偏光子２．１／４波長板３を通って楕
円偏光となり試料１５に入射する。
た単色の平行光は偏光子２．１／４波長板３を通って楕
円偏光となり試料１５に入射する。
試料１５の内部で複屈折し、偏光度が変化した楕円偏光
は検光子７を通って検出器９に入射する。
は検光子７を通って検出器９に入射する。
検出器９は検光子７の各角度位置θ、ごとに受光した光
を光電変換して光の強度に対応したアナログ信号ＣをＡ
／Ｄコンバータ１３に送る。Ａ／Ｄコンバータ１３は図
示しないロータリーエンコーダからのスタートパルスと
サンプリングパルスによって前記アナログ信号Ｃを１回
転２５６個（＝２”）のディジタル信号１．に変換し、
演算機１４に入力する。
を光電変換して光の強度に対応したアナログ信号ＣをＡ
／Ｄコンバータ１３に送る。Ａ／Ｄコンバータ１３は図
示しないロータリーエンコーダからのスタートパルスと
サンプリングパルスによって前記アナログ信号Ｃを１回
転２５６個（＝２”）のディジタル信号１．に変換し、
演算機１４に入力する。
ここで、演算機１４は受は取った各ディジタル信号１ｉ
を積算してその平均値Ｉ０を算出しく演算式（１）を参
照）、更に演算式（２）（３）を用いてａ、 ｂの値
（ａ、ｂは検出器９が受光した楕円偏光の長。
を積算してその平均値Ｉ０を算出しく演算式（１）を参
照）、更に演算式（２）（３）を用いてａ、 ｂの値
（ａ、ｂは検出器９が受光した楕円偏光の長。
短軸方向の成分）を算出し、楕円率ａ ／ ｂを求める
。
。
楕円率ａ ／ ｂは、楕円偏光を構成する正常光線と異
常光線の位相差δ、あるいは試料１５の内部を前記光線
が通過した際の時間差に対応しているので、このδを用
いて複屈折位相差Δｎｄを式（４）によって算出する。
常光線の位相差δ、あるいは試料１５の内部を前記光線
が通過した際の時間差に対応しているので、このδを用
いて複屈折位相差Δｎｄを式（４）によって算出する。
Δｎｄ＝δ・λ／２π（ｎｍ） （４）ここに、
Δｎ””Ｉｎｏ ｎｅｌ ｎｏ ；正常光線の屈折率 ｎ、Ｈ異常光線の屈折率 ｄ；試料の厚み λ；真空中におけるレーザー光の波長 である。
Δｎ””Ｉｎｏ ｎｅｌ ｎｏ ；正常光線の屈折率 ｎ、Ｈ異常光線の屈折率 ｄ；試料の厚み λ；真空中におけるレーザー光の波長 である。
以上の測定によって試料に対する成る方向の複屈折位相
差Δｎｄが求まったが、等軸結晶体、単光軸結晶体及び
双光軸結晶体を除＜−殻物質の複屈折位相差は式（５）
に示すように物質の３次元的な異方性、測定光の入射方
向によって種々変化する。
差Δｎｄが求まったが、等軸結晶体、単光軸結晶体及び
双光軸結晶体を除＜−殻物質の複屈折位相差は式（５）
に示すように物質の３次元的な異方性、測定光の入射方
向によって種々変化する。
Δｎ ｄ ”” ｆ （ｎｗ＊ ｎＹ＋ ｎｇ＋ ｆｆ
ｔ β）（５）ｎ Ｘ＋ ｎ Ｖ＋ ｎ ｗ ；屈
折率楕円体のｘ、 ｙ。
ｔ β）（５）ｎ Ｘ＋ ｎ Ｖ＋ ｎ ｗ ；屈
折率楕円体のｘ、 ｙ。
２方向の長袖
α；入射角
β；方位角
従って、前述のように平行光を用いて３次元的な異方性
を求めようとすると、試料台５の傾斜及び傾斜の方向を
少しづつ変えてその都度測定を繰り返し、莫大なデータ
を蓄積せねばならず、多大な時間を必要とするため測定
はほとんど不可能である。従って、従来の測定方法は３
次元的な測定を断念し、入射角だけを種々変更すること
によって２次元的に複屈折を求めるようにしており、物
質の異方性を充分に解明できないという問題点があった
。
を求めようとすると、試料台５の傾斜及び傾斜の方向を
少しづつ変えてその都度測定を繰り返し、莫大なデータ
を蓄積せねばならず、多大な時間を必要とするため測定
はほとんど不可能である。従って、従来の測定方法は３
次元的な測定を断念し、入射角だけを種々変更すること
によって２次元的に複屈折を求めるようにしており、物
質の異方性を充分に解明できないという問題点があった
。
本発明は前述の問題点に鑑み、１回の測定操作で多数の
複屈折位相差のデータを蒐集し、物質の３次元的な異方
性、又は屈折率楕円体を容易に解明できる複屈折の測定
方法及びその装置を提供することを技術的課題とする。
複屈折位相差のデータを蒐集し、物質の３次元的な異方
性、又は屈折率楕円体を容易に解明できる複屈折の測定
方法及びその装置を提供することを技術的課題とする。
前記の課題は試料に対し種々の方向から単色光を同時に
入射させ、前記試料を透過した光を多数の光電変換素子
で検出し、各光電変換素子ごとに偏光解析を行うことを
特徴とする複屈折の測定方法及びその装置によって達成
される。
入射させ、前記試料を透過した光を多数の光電変換素子
で検出し、各光電変換素子ごとに偏光解析を行うことを
特徴とする複屈折の測定方法及びその装置によって達成
される。
（作用〕
試料に対し種々の方向から測定光を入射させ、試料を透
過した各方向の光をエリアセンサー又はラインセンサー
で検出し、前記センサーを構成する各光電変換素子ごと
に演算を行って複屈折位相差を求めるので、１回の測定
操作で多数のデータを蓄積することが可能になり、これ
らのデータを解析することによって物質の３次元的な異
方性、又は複屈折楕円体を容易に解明することができる
。
過した各方向の光をエリアセンサー又はラインセンサー
で検出し、前記センサーを構成する各光電変換素子ごと
に演算を行って複屈折位相差を求めるので、１回の測定
操作で多数のデータを蓄積することが可能になり、これ
らのデータを解析することによって物質の３次元的な異
方性、又は複屈折楕円体を容易に解明することができる
。
以下、本発明の実施例を図面を参照して説明する。尚、
従来の技術を説明した際の測定装置各部と同じ役割りを
果す部分には同じ符号を付して示す。
従来の技術を説明した際の測定装置各部と同じ役割りを
果す部分には同じ符号を付して示す。
第１図ないし第３図は本発明を実施するための測定装置
の第１の実施例を示すもので、この実施例の装置はＨｅ
−Ｎｅレーザーを放射する光源１、該光源ｌから放射さ
れたレーザービームの断面を拡大スるレーザービームエ
キスパンタ２１％ ミツ一２２、偏光子２．１／４波長
板３、凸レンズ２３゜２４、該凸レンズ２３．２４の中
間位置に配置した試料台２５、シンクロナスモーター６
及び減速装置２６を介して断続的に繰り返し小角度で（
中心角で３６０＋２５６度づつ）回転駆動される検光子
７、該検光子７を通過した光を受光するエリアセンサー
２７、該エリアセンサー２７から送られたアナログ信号
Ｃ等をディジタル信号に変換するＡ／Ｄコンバータ１３
、該Ａ／Ｄコンバータ１３から入力したディジタル信号
を所定のプログラムに従って演算し且つ演算値を処理す
るパーソナルコンピュータ２８、演算結果を画像表示す
る表示袋ｆｆ （ＣＲＴ）２９、前記検光子７の各角度
位置θ直及びデータ信号ｆを出力する角度検出器８など
からなる。
の第１の実施例を示すもので、この実施例の装置はＨｅ
−Ｎｅレーザーを放射する光源１、該光源ｌから放射さ
れたレーザービームの断面を拡大スるレーザービームエ
キスパンタ２１％ ミツ一２２、偏光子２．１／４波長
板３、凸レンズ２３゜２４、該凸レンズ２３．２４の中
間位置に配置した試料台２５、シンクロナスモーター６
及び減速装置２６を介して断続的に繰り返し小角度で（
中心角で３６０＋２５６度づつ）回転駆動される検光子
７、該検光子７を通過した光を受光するエリアセンサー
２７、該エリアセンサー２７から送られたアナログ信号
Ｃ等をディジタル信号に変換するＡ／Ｄコンバータ１３
、該Ａ／Ｄコンバータ１３から入力したディジタル信号
を所定のプログラムに従って演算し且つ演算値を処理す
るパーソナルコンピュータ２８、演算結果を画像表示す
る表示袋ｆｆ （ＣＲＴ）２９、前記検光子７の各角度
位置θ直及びデータ信号ｆを出力する角度検出器８など
からなる。
エリアセンサー２７は受光面に稠密に配設したフォトダ
イオードアレー３１と各フォトダイオードが光電変換し
た電荷を次々に送り出す転送部（図示せず）などからな
り、公知の市販品を使用する。又、レー枦−ビームエキ
スパンダー２１も公知の市販品を使用する。
イオードアレー３１と各フォトダイオードが光電変換し
た電荷を次々に送り出す転送部（図示せず）などからな
り、公知の市販品を使用する。又、レー枦−ビームエキ
スパンダー２１も公知の市販品を使用する。
次に、本装置の作動及び取扱要領を説明する。
光源ｌから放射された単色のレーザービーム３２はエキ
スパンダー２１及びミラー２２によって拡大した断面を
有する平行光３３となり、偏光子２及び１／４波長板３
を通って楕円偏光の状態で凸レンズ２３に入り、該凸レ
ンズ２３′によって集光され試料１５に入射する。この
際、測定光を種々の方向（入射角α、方位角β）から試
料１５に入射させるため、集光用の凸レンズ２３はその
焦点１６が試料１５の下端近傍に来るように予め調整さ
れている。
スパンダー２１及びミラー２２によって拡大した断面を
有する平行光３３となり、偏光子２及び１／４波長板３
を通って楕円偏光の状態で凸レンズ２３に入り、該凸レ
ンズ２３′によって集光され試料１５に入射する。この
際、測定光を種々の方向（入射角α、方位角β）から試
料１５に入射させるため、集光用の凸レンズ２３はその
焦点１６が試料１５の下端近傍に来るように予め調整さ
れている。
試料１５を通過した各方向の光は試料の３次元的な異方
性、入射角α、方位角βに従ってそれぞれ偏光度が異な
った楕円偏光となり、凸レンズ２４に向って発散する。
性、入射角α、方位角βに従ってそれぞれ偏光度が異な
った楕円偏光となり、凸レンズ２４に向って発散する。
凸レンズ２４を通過した光は、測定装置の軸線３０に平
行な光３３となって検光子７を通り、エリアセンサー２
７に受光され □る。エリアセンサー２７が出力
したアナログ信号Ｃはディジタル信号に変換されてコン
ピュータ２８に入力し、コンピュータ２８は入力した各
電気信号を、該信号を発生させた各ダイオードの場所と
関連させてコンピュータ２８内のメモリー（図示せず）
に記憶しておく。
行な光３３となって検光子７を通り、エリアセンサー２
７に受光され □る。エリアセンサー２７が出力
したアナログ信号Ｃはディジタル信号に変換されてコン
ピュータ２８に入力し、コンピュータ２８は入力した各
電気信号を、該信号を発生させた各ダイオードの場所と
関連させてコンピュータ２８内のメモリー（図示せず）
に記憶しておく。
ここで、シンクロナスモーター６は自動的に中心角で３
６０／２５６度だけ検光子７を回転させ、この新しい角
度位置において前回と同様の一連の操作、すなわち受光
、光電変換、Ａ／Ｄ変換、演算、記憶の操作が繰り返さ
れる。かくして検光子７が中心角で３６０度、すなわち
１回転すると、コンピュータ２８は各ダイオードごとに
記憶していたデータ（夏１．０）を前述の式（１）（２
）（３）（４）を用いて演算し、各ダイオードの場所に
対応した複屈折位相差Δｎｄを算出する。
６０／２５６度だけ検光子７を回転させ、この新しい角
度位置において前回と同様の一連の操作、すなわち受光
、光電変換、Ａ／Ｄ変換、演算、記憶の操作が繰り返さ
れる。かくして検光子７が中心角で３６０度、すなわち
１回転すると、コンピュータ２８は各ダイオードごとに
記憶していたデータ（夏１．０）を前述の式（１）（２
）（３）（４）を用いて演算し、各ダイオードの場所に
対応した複屈折位相差Δｎｄを算出する。
各ダイオードの場所は入射光の各入射角α及び各方位角
βの種々な組み合わせに対応しているので、従来の測定
方法を用いた場合に要求される莫大な回数の測定、すな
わち試料台の傾き及び方向を少しづつ変えて行う煩られ
しい測定操作を、僅か１回の測定操作で済ましたことに
なり、測定時間を大幅に短縮することができる。
βの種々な組み合わせに対応しているので、従来の測定
方法を用いた場合に要求される莫大な回数の測定、すな
わち試料台の傾き及び方向を少しづつ変えて行う煩られ
しい測定操作を、僅か１回の測定操作で済ましたことに
なり、測定時間を大幅に短縮することができる。
このようにして求めた複屈折位相差Δｎｄのデータを解
析すると、試料１５の光軸及び屈折率楕円体を簡単に求
めることができる。すなわち光軸に平行に入射した光は
複屈折の影響を受けないので、見掛は上のΔｎｄの値が
ゼロになるダイオードの場所を検索すると、この場所と
凸レンズ２３の焦点１６を結ぶ方向が光軸の方向である
。
析すると、試料１５の光軸及び屈折率楕円体を簡単に求
めることができる。すなわち光軸に平行に入射した光は
複屈折の影響を受けないので、見掛は上のΔｎｄの値が
ゼロになるダイオードの場所を検索すると、この場所と
凸レンズ２３の焦点１６を結ぶ方向が光軸の方向である
。
コンピュータの演算結果を表示装置に画像表示した例を
第２図及び第３図に示す、第２図は光軸と測定装置の軸
線３０を含む平面がエリアセンサー２７の受光面と交差
する線を横軸として入射角αを目盛り、又、各入射角α
に対応する複屈折位相差Δｎｄを縦軸に目盛ったもので
ある。この図によると入射角αが＋３度のところでΔｎ
ｄがゼロになっているので、光軸がほぼ入射角３度の方
向に延びていることが分かる。
第２図及び第３図に示す、第２図は光軸と測定装置の軸
線３０を含む平面がエリアセンサー２７の受光面と交差
する線を横軸として入射角αを目盛り、又、各入射角α
に対応する複屈折位相差Δｎｄを縦軸に目盛ったもので
ある。この図によると入射角αが＋３度のところでΔｎ
ｄがゼロになっているので、光軸がほぼ入射角３度の方
向に延びていることが分かる。
尚、この図の曲ｗＡｅは複屈折楕円体の成る断面の一部
分を示しており、この断面のほかに更に光軸を含み且つ
紙面に直角な断面及び光軸に直角に交差し且つ紙面に直
角な断面についてΔｎｄのデータを求めると、屈折率楕
円体を立体的に求めることができる。
分を示しており、この断面のほかに更に光軸を含み且つ
紙面に直角な断面及び光軸に直角に交差し且つ紙面に直
角な断面についてΔｎｄのデータを求めると、屈折率楕
円体を立体的に求めることができる。
第３図はエリアセンサー２７上の成るダイオードに入力
した光の強弱の差Ｉ、−２・（検出した最大値と最小値
の差）を縦軸に、又、検光子７０角度位置θ五を横軸に
示したものである。Ｉ ｐ−ｐ’が最大値を示すのは複
屈折位相差Δｎｄがゼロであることを意味するので、方
位角θ１．θ２のところで、このダイオードが光軸の延
長線上に所在したことを知る。
した光の強弱の差Ｉ、−２・（検出した最大値と最小値
の差）を縦軸に、又、検光子７０角度位置θ五を横軸に
示したものである。Ｉ ｐ−ｐ’が最大値を示すのは複
屈折位相差Δｎｄがゼロであることを意味するので、方
位角θ１．θ２のところで、このダイオードが光軸の延
長線上に所在したことを知る。
本発明の第２の実施例を第４図に示す。この例はエリア
センサーの代りにラインセンサー３５を旋回可能に配置
したもので、これ以外は第１の実施例と変わるところは
ない。この実施例によると、検光子７の各角度位置ごと
にモータ３６を用いてラインセンサー３２を３６０度回
転させるので、測定時間が若干長くなるが、装置の構造
が簡単になる利点がある。
センサーの代りにラインセンサー３５を旋回可能に配置
したもので、これ以外は第１の実施例と変わるところは
ない。この実施例によると、検光子７の各角度位置ごと
にモータ３６を用いてラインセンサー３２を３６０度回
転させるので、測定時間が若干長くなるが、装置の構造
が簡単になる利点がある。
尚、本発明は前述の実施例にのみ限定されるものではな
く、例えば測定装置の軸線の方向を鉛直に設定する代り
にそれ以外の方向に設定してもよいこと等、その他本発
明の要旨を逸脱しない範囲内で種々の変更を加え得るこ
とは勿論である。
く、例えば測定装置の軸線の方向を鉛直に設定する代り
にそれ以外の方向に設定してもよいこと等、その他本発
明の要旨を逸脱しない範囲内で種々の変更を加え得るこ
とは勿論である。
以上に述べたごとく本発明は次の優れた効果を発揮する
。
。
（ｉ）試料に対し単色光を種々の方向から同時に入射さ
せ、試料を透過した各方向の光を別個に検出するので、
平行光を使用する従来の測定法におけるごと（試料を傾
斜させたり、傾斜の方向を変えて多数の測定を繰り返え
す必要がない。従って測定に要する時間を大幅に短縮す
ることができる（１つの楕円体を見積る時間が従来の方
法に比べて１／１００程度で済む）。
せ、試料を透過した各方向の光を別個に検出するので、
平行光を使用する従来の測定法におけるごと（試料を傾
斜させたり、傾斜の方向を変えて多数の測定を繰り返え
す必要がない。従って測定に要する時間を大幅に短縮す
ることができる（１つの楕円体を見積る時間が従来の方
法に比べて１／１００程度で済む）。
［ｉｉ］第（ｉ）項の結果、従来の測定方法の限界を越
えて、物質の３次元的な異方性、又は屈折率楕円体を容
易に解明することができる。
えて、物質の３次元的な異方性、又は屈折率楕円体を容
易に解明することができる。
第１図ないし第３図は本発明の方法を実施するための測
定装置の第１の実施例を示し、第１図は全体配置図、第
２図は成る方位角における入射角と複屈折位相差の関係
を示す図、第３図は受光面の成る場所における光の強弱
の差と検光子の回転角との関係を示す図、第４図は第２
の実施例である測定装置の１部を示す配置図、第５図は
従来の測定装置の説明図である。 ｌ・・・光源 １５・・・試料２１・・・
レーザービームエキスパンダー２７・・・エリアセンサ
ー ３２・・・レーザービーム３５・・・ラインセンサ
ー 第２図 ０ θＩＴ、 θ２２π；初
定装置の第１の実施例を示し、第１図は全体配置図、第
２図は成る方位角における入射角と複屈折位相差の関係
を示す図、第３図は受光面の成る場所における光の強弱
の差と検光子の回転角との関係を示す図、第４図は第２
の実施例である測定装置の１部を示す配置図、第５図は
従来の測定装置の説明図である。 ｌ・・・光源 １５・・・試料２１・・・
レーザービームエキスパンダー２７・・・エリアセンサ
ー ３２・・・レーザービーム３５・・・ラインセンサ
ー 第２図 ０ θＩＴ、 θ２２π；初
Claims (6)
- （１）試料に対し種々の方向から単色光を同時に入射さ
せ、前記試料を透過した光を多数の光電変換素子で検出
し、各光電変換素子ごとに偏光解析を行うことを特徴と
する複屈折の測定方法。 - （２）レンズで集光した単色光を試料に入射させる請求
項（１）に記載の複屈折の測定方法。 - （３）各光電変換素子ごとに複屈折位相差を求め、各光
電変換素子の場所に対応する光の入射角及び入射方向と
前記複屈折位相差との関係から屈折率楕円体を求める請
求項（１）に記載の複屈折の測定方法。 - （４）レーザービームの断面を拡大してレンズで集光す
る請求項（２）に記載の複屈折の測定方法。 - （５）光源から放射した単色光を偏光子と１／４波長板
を通して試料に入射し、前記試料を透過した光を検光子
を通して検出器で検出し、コンピュータを利用して偏光
解析を行う複屈折の測定装置において、１／４波長板と
検光子の間に相互に焦点を共有するように一対の凸レン
ズを相対して配置し、前記１対の凸レンズの中間位置に
試料台を設けたことを特徴とする複屈折の測定装置。 - （６）検出器が多数の光電変換素子を面状、又は線状に
配置した光センサーで構成されている請求項（５）に記
載の複屈折の測定装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP63042796A JPH01216235A (ja) | 1988-02-25 | 1988-02-25 | 複屈折の測定方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP63042796A JPH01216235A (ja) | 1988-02-25 | 1988-02-25 | 複屈折の測定方法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH01216235A true JPH01216235A (ja) | 1989-08-30 |
| JPH0543987B2 JPH0543987B2 (ja) | 1993-07-05 |
Family
ID=12645930
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP63042796A Granted JPH01216235A (ja) | 1988-02-25 | 1988-02-25 | 複屈折の測定方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH01216235A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2010014705A (ja) * | 2008-06-05 | 2010-01-21 | Toppan Printing Co Ltd | ３次元屈折率測定方法及び３次元屈折率測定装置 |
| JP2013003123A (ja) * | 2011-06-22 | 2013-01-07 | Nisshin Seifun Group Inc | 乾麺のクラック発生予測装置および分別システム |
Citations (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS61110033A (ja) * | 1984-11-02 | 1986-05-28 | Toray Ind Inc | 凝集反応の測定装置 |
| JPS62138708A (ja) * | 1985-12-11 | 1987-06-22 | ヘキスト・アクチエンゲゼルシヤフト | 光学的活性材料ウエブ内の厚さ及び／又は配向の変化を測定する方法及び装置 |
| JPS62245951A (ja) * | 1986-04-18 | 1987-10-27 | Pioneer Electronic Corp | デイスク測定装置 |
-
1988
- 1988-02-25 JP JP63042796A patent/JPH01216235A/ja active Granted
Patent Citations (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS61110033A (ja) * | 1984-11-02 | 1986-05-28 | Toray Ind Inc | 凝集反応の測定装置 |
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| JPS62245951A (ja) * | 1986-04-18 | 1987-10-27 | Pioneer Electronic Corp | デイスク測定装置 |
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| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2010014705A (ja) * | 2008-06-05 | 2010-01-21 | Toppan Printing Co Ltd | ３次元屈折率測定方法及び３次元屈折率測定装置 |
| JP2013003123A (ja) * | 2011-06-22 | 2013-01-07 | Nisshin Seifun Group Inc | 乾麺のクラック発生予測装置および分別システム |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0543987B2 (ja) | 1993-07-05 |
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