JPH01219030A - 円筒状透明石英ガラスインゴットの製造方法 - Google Patents
円筒状透明石英ガラスインゴットの製造方法Info
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- JPH01219030A JPH01219030A JP4603588A JP4603588A JPH01219030A JP H01219030 A JPH01219030 A JP H01219030A JP 4603588 A JP4603588 A JP 4603588A JP 4603588 A JP4603588 A JP 4603588A JP H01219030 A JPH01219030 A JP H01219030A
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- burner
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-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C03—GLASS; MINERAL OR SLAG WOOL
- C03B—MANUFACTURE, SHAPING, OR SUPPLEMENTARY PROCESSES
- C03B19/00—Other methods of shaping glass
- C03B19/01—Other methods of shaping glass by progressive fusion or sintering of powdered glass onto a shaping substrate, i.e. accretion, e.g. plasma oxidation deposition
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Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
本発明は、透明石英ガラス管等を製造する際の原料イン
ゴットとなる円筒状透明石英ガラスインゴットの製造方
法に関する。
ゴットとなる円筒状透明石英ガラスインゴットの製造方
法に関する。
従来、上記インゴットの製造方法としては、例えば特公
昭４５−２１３９３号公報記載の方法が知られている。
昭４５−２１３９３号公報記載の方法が知られている。
この製造方法は、垂直な石英ガラス管を回転させると共
に、この石英ガラス管の表面に火炎面内において霧状に
溶融された石英粉末を吹き付けて溶融堆積させることに
より、石英ガラス管上に溶融石英ガラス層を形成する方
法である。
に、この石英ガラス管の表面に火炎面内において霧状に
溶融された石英粉末を吹き付けて溶融堆積させることに
より、石英ガラス管上に溶融石英ガラス層を形成する方
法である。
しかしながら、上記従来の製造方法によれば、インゴッ
トの内径は規制されるが、インゴットの外径を規制する
機構がないために、インゴットの形状維持、特に外径を
一定にすることが困難である。
トの内径は規制されるが、インゴットの外径を規制する
機構がないために、インゴットの形状維持、特に外径を
一定にすることが困難である。
このため、切断・研削ロスがふえたり、インゴットから
管を製造する際にインゴットを入れるケースに入らない
などの事態が生じ、インゴットの歩留まりが悪くなる問
題がある。
管を製造する際にインゴットを入れるケースに入らない
などの事態が生じ、インゴットの歩留まりが悪くなる問
題がある。
そこで、本発明は、歩留まりを良くし得る円筒状透明石
英ガラスインゴットの製造方法の提供を目的とする。
英ガラスインゴットの製造方法の提供を目的とする。
前記課題を解決するため、本発明は、回転自在な耐火性
ヘッド上に、バーナーにより霧状に溶融された水晶粉末
を吹き付けて溶融堆積し、この溶融堆積された溶融石英
ガラスの上端位置を検出して堆積厚さが一定となるよう
にバーナーから噴出するガスの流量を制御しながら、耐
火性ヘッドから流下して固化する円筒状の透明石英ガラ
スを耐火支持板で回転しつつ支持して一定速度で降下さ
せる方法である。
ヘッド上に、バーナーにより霧状に溶融された水晶粉末
を吹き付けて溶融堆積し、この溶融堆積された溶融石英
ガラスの上端位置を検出して堆積厚さが一定となるよう
にバーナーから噴出するガスの流量を制御しながら、耐
火性ヘッドから流下して固化する円筒状の透明石英ガラ
スを耐火支持板で回転しつつ支持して一定速度で降下さ
せる方法である。
上記手段によれば、耐火性ヘッド上からの溶融石英ガラ
スの単位時間当りの流下量がほぼ一定になると共に、溶
融石英ガラスの流下が耐火支持板の回転によりへ方へ均
等に行われ、円筒状轡透明石英ガラスの外径が一定にな
る。
スの単位時間当りの流下量がほぼ一定になると共に、溶
融石英ガラスの流下が耐火支持板の回転によりへ方へ均
等に行われ、円筒状轡透明石英ガラスの外径が一定にな
る。
なお、耐火性ヘッドとしては、カーボンが特に有効であ
るが、その他のセラミック材を用いることが可能である
。
るが、その他のセラミック材を用いることが可能である
。
また、用いるバーナーも各種あるが、特に酸水素バーナ
ーは、本発明の効果を十分に出すことができる。
ーは、本発明の効果を十分に出すことができる。
以下、本発明の一実施例を図面と共に説明する。
図は本発明の実施に用いた製造装置の概略構成図であり
、１はカーボンからなり、上部が半球状をなす円柱状の
耐火性ヘッドで、類２内に立設した支柱３の上端部に回
転自在に連設されている。
、１はカーボンからなり、上部が半球状をなす円柱状の
耐火性ヘッドで、類２内に立設した支柱３の上端部に回
転自在に連設されている。
耐火性ヘッド１は、炉２の上方に配置した酸水素バーナ
−４により燃料ガスである水素ガス及び支燃ガス又はキ
ャリヤーガスである酸素ガスと共に霧状に溶融されて吹
き付けられる水晶粉末をその上に溶融堆積させるもので
ある。
−４により燃料ガスである水素ガス及び支燃ガス又はキ
ャリヤーガスである酸素ガスと共に霧状に溶融されて吹
き付けられる水晶粉末をその上に溶融堆積させるもので
ある。
耐火性ヘッド１の下方には、支柱３を挿通可能とする孔
５を有する円板状の耐火支持板６が回転昇降筒７により
回転自在かつ昇降自在に設けられており、回転昇降筒７
は、図示しない回転駆動装置及び昇降側や装置により一
定速度で回転駆動及び昇降駆動される。
５を有する円板状の耐火支持板６が回転昇降筒７により
回転自在かつ昇降自在に設けられており、回転昇降筒７
は、図示しない回転駆動装置及び昇降側や装置により一
定速度で回転駆動及び昇降駆動される。
一方、炉２の側壁上部には、窓８が設けられており、こ
の窓８の外側には、耐火性ヘッド１上に溶融堆積された
溶融石英ガラス９の上端位置を検出し、耐火性ヘッド１
上の溶融石英ガラス９の堆積厚さρを測定するテレビカ
メラ１０が配置されている。
の窓８の外側には、耐火性ヘッド１上に溶融堆積された
溶融石英ガラス９の上端位置を検出し、耐火性ヘッド１
上の溶融石英ガラス９の堆積厚さρを測定するテレビカ
メラ１０が配置されている。
上記構成の装置による円筒状透明石英ガラスインゴット
の製造は、耐火性ヘッド１上に酸水素バーナ−４により
霧状に溶融された水晶粉末を垂直に吹き付けて溶融堆積
し、この溶融堆積された溶融石英ガラス９の上端位置を
テレビカメラ１０により検出して堆積厚さｇが一定とな
るように酸水素バーナ−４から噴出するガスの流量を制
御しながら、耐火性ヘッド１から流下して固化する円筒
状の透明石英ガラス１１を耐火支持板６によって回転し
つつ一定の速度で降下させて行う。
の製造は、耐火性ヘッド１上に酸水素バーナ−４により
霧状に溶融された水晶粉末を垂直に吹き付けて溶融堆積
し、この溶融堆積された溶融石英ガラス９の上端位置を
テレビカメラ１０により検出して堆積厚さｇが一定とな
るように酸水素バーナ−４から噴出するガスの流量を制
御しながら、耐火性ヘッド１から流下して固化する円筒
状の透明石英ガラス１１を耐火支持板６によって回転し
つつ一定の速度で降下させて行う。
実施例 １
直径５４ｍｍの耐火性ヘッド１を用い、耐火支持板６を
り、２ｒ、ｐ、ｍ、？？回転しつつ１５ｍｍ／ｈｒ、の
速度（最初の立ち上げ部と最後の仕上げ部を除く定常部
の形成時の速度）で降下しながら、酸水素バーナ−４か
ら燃料ガスとして水素ガスを平均１０．３ｒＩｌ／ｈｒ
。
り、２ｒ、ｐ、ｍ、？？回転しつつ１５ｍｍ／ｈｒ、の
速度（最初の立ち上げ部と最後の仕上げ部を除く定常部
の形成時の速度）で降下しながら、酸水素バーナ−４か
ら燃料ガスとして水素ガスを平均１０．３ｒＩｌ／ｈｒ
。
（ｍｉｎ： １０．０９ｆｆｌ／ｈｒ、 、ｍａｘ：
１１．２５ｒｄ／ｈｒ、）、支燃ガスとして酸素ガスを
平均５４ｎｒ／ｈｒ、 （ｗｉｎ：５．０５ｎｒ／ｈｒ
、 、ｍａｘ：５．８３ｎｒ／ｈｒ、）、キャリヤーガ
スとして酸素ガスを８Ｎ／ｆｆ１ｉｎ、水晶粉末を平均
０．８４ｋｇ／ｈｒ、で吹き付ける一方、位置計測（最
小単位０．１６關）のテレビカメラ１０により溶融石英
ガラス９の上端位置を検出し、堆積厚さｇが８５ｍ＋ｓ
となるように、酸水素バーナ−４からのガスの流量を制
御（上端位置が０．３２ｍｍ変動するごとに、燃料ガス
換算で０．０３〜０．０５ｒｒ？／ｈｒ、変化させる）
し、立ち上げに１４時間、定常期に３１時間、仕上げに
１時間費やして円筒状透明石英ガラスインゴットを製造
した。
１１．２５ｒｄ／ｈｒ、）、支燃ガスとして酸素ガスを
平均５４ｎｒ／ｈｒ、 （ｗｉｎ：５．０５ｎｒ／ｈｒ
、 、ｍａｘ：５．８３ｎｒ／ｈｒ、）、キャリヤーガ
スとして酸素ガスを８Ｎ／ｆｆ１ｉｎ、水晶粉末を平均
０．８４ｋｇ／ｈｒ、で吹き付ける一方、位置計測（最
小単位０．１６關）のテレビカメラ１０により溶融石英
ガラス９の上端位置を検出し、堆積厚さｇが８５ｍ＋ｓ
となるように、酸水素バーナ−４からのガスの流量を制
御（上端位置が０．３２ｍｍ変動するごとに、燃料ガス
換算で０．０３〜０．０５ｒｒ？／ｈｒ、変化させる）
し、立ち上げに１４時間、定常期に３１時間、仕上げに
１時間費やして円筒状透明石英ガラスインゴットを製造
した。
溶融石英ガラス９の堆積厚さｇは６３．４〜６９．４ｍ
ｍの範囲で変動し、得られた円筒状透明石英ガラスイン
ゴットは、重量３３．０ｋｇ、内径５４〜６０關、外径
１７３．３〜１８０．３ ｍｍ （定常部のみ）となり
、次工程で外径１７０ｍｍに研削した。
ｍの範囲で変動し、得られた円筒状透明石英ガラスイン
ゴットは、重量３３．０ｋｇ、内径５４〜６０關、外径
１７３．３〜１８０．３ ｍｍ （定常部のみ）となり
、次工程で外径１７０ｍｍに研削した。
実施例 ２
実施例１と同じ条件で、溶融石英ガラス９の堆積厚さΩ
を６５．０〜７４．６ｍｍの範囲で変動させた。
を６５．０〜７４．６ｍｍの範囲で変動させた。
得られた円筒状透明石英ガラスインゴットは、凹凸、外
径が大きくなりすぎたり、曲がり等の形状悪化で、半分
程度が使用できなかった。
径が大きくなりすぎたり、曲がり等の形状悪化で、半分
程度が使用できなかった。
したがって、溶融石英ガラス９の堆積厚さｐの変動を小
さくするほどインゴット形状が良くなることがわかる。
さくするほどインゴット形状が良くなることがわかる。
以上のように本発明によれば、耐火性ヘッド上からの溶
融石英ガラスの単位時間当りの流下量がほぼ一定になる
と共に、溶融石英ガラスの流下が耐火支持板の回転によ
りへ方へ均等に行われ、円筒状透明石英ガラスの外径が
一定になるので、インゴットの歩留まりを良好にするこ
とができる。
融石英ガラスの単位時間当りの流下量がほぼ一定になる
と共に、溶融石英ガラスの流下が耐火支持板の回転によ
りへ方へ均等に行われ、円筒状透明石英ガラスの外径が
一定になるので、インゴットの歩留まりを良好にするこ
とができる。
図は本発明の実施に用いた製造装置の概略構成図である
。
。
Claims (1)
- 回転自在な耐火性ヘッド上に、バーナーにより霧状に溶
融された水晶粉末を吹き付けて溶融堆積し、この溶融堆
積された溶融石英ガラスの上端位置を検出して堆積厚さ
が一定となるようにバーナーから噴出するガスの流量を
制御しながら、耐火性ヘッドから流下して固化する円筒
状の透明石英ガラスを耐火支持板で回転しつつ支持して
一定速度で降下させることを特徴とする円筒状透明石英
ガラスインゴットの製造方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP4603588A JP2630613B2 (ja) | 1988-02-29 | 1988-02-29 | 円筒状透明石英ガラスインゴットの製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP4603588A JP2630613B2 (ja) | 1988-02-29 | 1988-02-29 | 円筒状透明石英ガラスインゴットの製造方法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH01219030A true JPH01219030A (ja) | 1989-09-01 |
| JP2630613B2 JP2630613B2 (ja) | 1997-07-16 |
Family
ID=12735786
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP4603588A Expired - Fee Related JP2630613B2 (ja) | 1988-02-29 | 1988-02-29 | 円筒状透明石英ガラスインゴットの製造方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2630613B2 (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN114702233A (zh) * | 2022-05-12 | 2022-07-05 | 江苏亨芯石英科技有限公司 | 一种石英沉积装置及方法 |
Families Citing this family (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US20060281623A1 (en) | 2005-06-10 | 2006-12-14 | General Electric Company | Free-formed quartz glass ingots and method for making the same |
-
1988
- 1988-02-29 JP JP4603588A patent/JP2630613B2/ja not_active Expired - Fee Related
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN114702233A (zh) * | 2022-05-12 | 2022-07-05 | 江苏亨芯石英科技有限公司 | 一种石英沉积装置及方法 |
| CN114702233B (zh) * | 2022-05-12 | 2023-12-22 | 江苏亨芯石英科技有限公司 | 一种石英沉积装置及方法 |
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| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JP2630613B2 (ja) | 1997-07-16 |
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