JPH107429A - 光ファイバ母材の製造方法および製造装置 - Google Patents

光ファイバ母材の製造方法および製造装置

Info

Publication number
JPH107429A
JPH107429A JP15846196A JP15846196A JPH107429A JP H107429 A JPH107429 A JP H107429A JP 15846196 A JP15846196 A JP 15846196A JP 15846196 A JP15846196 A JP 15846196A JP H107429 A JPH107429 A JP H107429A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
starting material
glass fine
burner
glass
optical fiber
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Pending
Application number
JP15846196A
Other languages
English (en)
Inventor
Motonori Nakamura
元宣 中村
Yuichi Oga
裕一 大賀
Toshio Danzuka
俊雄 彈塚
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Sumitomo Electric Industries Ltd
Original Assignee
Sumitomo Electric Industries Ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Sumitomo Electric Industries Ltd filed Critical Sumitomo Electric Industries Ltd
Priority to JP15846196A priority Critical patent/JPH107429A/ja
Publication of JPH107429A publication Critical patent/JPH107429A/ja
Pending legal-status Critical Current

Links

Classifications

    • C—CHEMISTRY; METALLURGY
    • C03—GLASS; MINERAL OR SLAG WOOL
    • C03B—MANUFACTURE, SHAPING, OR SUPPLEMENTARY PROCESSES
    • C03B37/00—Manufacture or treatment of flakes, fibres, or filaments from softened glass, minerals, or slags
    • C03B37/01—Manufacture of glass fibres or filaments
    • C03B37/012—Manufacture of preforms for drawing fibres or filaments
    • C03B37/014—Manufacture of preforms for drawing fibres or filaments made entirely or partially by chemical means, e.g. vapour phase deposition of bulk porous glass either by outside vapour deposition [OVD], or by outside vapour phase oxidation [OVPO] or by vapour axial deposition [VAD]
    • C03B37/01413—Reactant delivery systems
    • C03B37/0142—Reactant deposition burners
    • C—CHEMISTRY; METALLURGY
    • C03—GLASS; MINERAL OR SLAG WOOL
    • C03B—MANUFACTURE, SHAPING, OR SUPPLEMENTARY PROCESSES
    • C03B2207/00—Glass deposition burners
    • C03B2207/50—Multiple burner arrangements
    • C—CHEMISTRY; METALLURGY
    • C03—GLASS; MINERAL OR SLAG WOOL
    • C03B—MANUFACTURE, SHAPING, OR SUPPLEMENTARY PROCESSES
    • C03B2207/00—Glass deposition burners
    • C03B2207/60—Relationship between burner and deposit, e.g. position
    • C03B2207/64—Angle

Landscapes

  • Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Chemical Kinetics & Catalysis (AREA)
  • General Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Life Sciences & Earth Sciences (AREA)
  • General Life Sciences & Earth Sciences (AREA)
  • Geochemistry & Mineralogy (AREA)
  • Manufacturing & Machinery (AREA)
  • Materials Engineering (AREA)
  • Organic Chemistry (AREA)
  • Manufacture, Treatment Of Glass Fibers (AREA)

Abstract

(57)【要約】 【課題】 良質の光ファイバ母材を効率良く製造できる
光ファイバ母材の製造方法およびその製造装置を提供す
ること。 【解決手段】 ガラス微粒子合成用バーナ４からガラス
原料ガス、燃料ガス及び助燃性ガスを火炎と共に噴出さ
せ、火炎加水分解反応または酸化反応によりガラス微粒
子を生成して回転する棒状の出発材３の外周へ噴き付け
させる。その際、出発材３とバーナ４の噴付方向とのな
す角を５０°〜８５°としてガラス微粒子の噴き付けを
行うことにより、光ファイバ母材であるガラス微粒子堆
積体２のテーパ状の端部を短くすることが可能となる。

Description

【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、光ファイバ母材の
製造方法およびその製造装置に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】一般に、光ファイバ母材の一形態である
ガラス微粒子堆積体（多孔質状のガラス母材）の製造方
法として、外付け法（ＯＶＤ法）が用いられている。こ
の外付け法は、コアおよびクラッドとなる屈折率分布を
有する棒状の出発材を回転自在に配設し、この出発材へ
向けてガラス微粒子合成用バーナを配置し出発材に沿っ
て往復移動自在とした装置を用い、そのバーナへガラス
原料ガス、燃料ガス及び助燃性ガスを供給して出発材へ
向けて噴出させ、火炎加水分解反応または酸化反応によ
りガラス微粒子を生成して回転する棒状の出発材の外周
へ噴き付けさせると共に、その出発材とバーナとを出発
材に沿って相対的に往復移動させることにより、出発材
の周りにガラス微粒子を付着堆積させて光ファイバ母材
となるガラス微粒子堆積体を製造するものである。この
外付け法による具体的な製造方法としては、特開平２−
２４３５３０号公報、特開平２−２４３５３１号公報に
記載されているものが知られている。すなわち、特開平
２−２４３５３０号公報に記載される製造方法は、出発
材であるターゲット部材をフレームに取り付けて回転自
在とし、そのターゲット部材に沿って単一のバーナを往
復移動自在としておき、バーナからＳｉＣｌ4 、ＧｅＣ
ｌ4 などのガラス原料をＨ2 などの燃料ガス及びＯ2 な
どの助燃性ガスと共にバーナから噴出させて、火炎中で
酸化、加水分解反応等によりガラス微粒子とし、このガ
ラス微粒子を回転するターゲット部材に向けて噴き付け
てガラス微粒子堆積体を形成するものであって、そのガ
ラス微粒子堆積体の形成の際に、ガラス微粒子堆積体の
表面温度を放射温度計にて測定しその表面温度が設定値
となるように制御しようとするものである。
【０００３】また、特開平２−２４３５３１号公報に記
載される製造方法は、出発材である元部材を回転自在と
し、その元部材に沿って複数のバーナを往復移動自在と
しておき、バーナからガラス原料、燃料ガス及び助燃性
ガスと共に各バーナから噴出させて、火炎中で酸化、加
水分解反応等によりガラス微粒子とし、このガラス微粒
子を回転する元部材に向けて噴き付けてガラス微粒子堆
積体を形成するものであって、そのガラス微粒子堆積体
の形成に先立って元部材を加熱することにより元部材と
ガラス微粒子堆積体との密着性を高めようとするもので
ある。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、従来の
光ファイバ母材の製造技術にあっては、製造した光ファ
イバ母材のうち実際に光ファイバとして有効に利用でき
る部分の割合が小さく、光ファイバ母材の製造が効率良
く行えないという問題点がある。すなわち、図１０に示
すように、従来の方法で製造されるガラス微粒子堆積体
Ａは、両端の部分Ｂが先細りのテーパ状となってしま
う。このテーパ状の端部Ｂは、ガラス微粒子堆積体Ａを
焼結・延伸してプリフォームとしたときに、ガラス微粒
子堆積体Ａの中央部分Ｃ（テーパ状でない定径の部分）
と比べカットオフ波長、モードフィールド径などの基本
的な特性が異なり、結局、光ファイバとしたときに中央
部分Ｃのものと特性が異なるものとなってしまう。
【０００５】この光ファイバ母材であるガラス微粒子堆
積体Ａの製造において、図１０に示すように製造された
ガラス微粒子堆積体Ａの全長をｌ、この両端のテーパ状
の端部Ｂの長さをそれぞれｌ1、ｌ2とすると、ガラス微
粒子堆積体Ａのうち光ファイバとして有効利用できる割
合ηは、次の式（１）により算出される。
【０００６】 η＝（（ｌ−（ｌ1＋ｌ2））／ｌ）・１００ ［％］ ‥‥‥ （１） この有効割合ηは大きいほど良いが、通常の製造では６
０〜６５％程度となり、７０％が製造の目標値とされて
いる。そして、有効割合ηの増加は光ファイバの生産性
の向上に直接つながるため、光ファイバ母材であるガラ
ス微粒子堆積体Ａにおける有効割合ηを向上させるため
に有用な技術の開発が切望されている。
【０００７】そこで本発明は、以上のような問題点を解
決するためになされたものであって、良質の光ファイバ
母材を効率良く製造できる光ファイバ母材の製造方法お
よびその製造装置を提供することを目的とする。
【０００８】
【課題を解決するための手段】すなわち本発明は、ガラ
ス微粒子合成用バーナからガラス原料ガス、燃料ガス及
び助燃性ガスを火炎と共に噴出させ、火炎加水分解反応
または酸化反応によりガラス微粒子を生成して回転する
棒状の出発材の外周へ噴き付けさせると共に、その出発
材とバーナとを相対的に往復移動させて、出発材の周り
にガラス微粒子を付着堆積させて行う光ファイバ母材の
製造方法において、出発材とバーナの噴付方向とのなす
角を５０°〜８５°として出発材へのガラス微粒子の噴
き付けを行うことを特徴とする光ファイバ母材の製造方
法である。
【０００９】このような発明によれば、出発材に対しバ
ーナが斜めの方向からガラス微粒子を噴き付けるので、
出発材の外周に形成されるガラス微粒子堆積体（光ファ
イバ母材）のテーパ状の端部の表面にガラス微粒子が直
角に近い角度で噴き付けられることとなる。このため、
そのテーパ状の端部が出発材の軸方向に沿って堆積し成
長することが抑制され、ガラス微粒子堆積体のテーパ状
の端部が短く形成される。また、出発材とバーナの噴付
方向とのなす角が小さくなり過ぎてガラス微粒子の堆積
収率が低減することもない。
【００１０】また本発明は、出発材とバーナの相対移動
に応じてバーナの向きを変えることを特徴とする光ファ
イバ母材の製造方法である。
【００１１】このような発明によれば、往復移動する出
発材の外周に形成されるガラス微粒子堆積体のテーパ状
の各端部へガラス微粒子が直角に近い角度で噴き付けら
れるようにバーナの向きを変えることにより、ガラス微
粒子堆積体の両端部においてガラス微粒子が出発材の軸
方向に沿って堆積し成長することが抑制される。このた
め、ガラス微粒子堆積体のテーパ状の両端部が短く形成
される。
【００１２】また本発明は、複数のバーナを用い各バー
ナの噴付方向のなす角を同一としてガラス微粒子の噴き
付けを行うことを特徴とする光ファイバ母材の製造方法
である。
【００１３】このような発明によれば、光ファイバ母材
であるガラス微粒子堆積体が均一に効率良く製造可能と
なる。
【００１４】また本発明は、ガラス微粒子合成用バーナ
からガラス原料ガス、燃料ガス及び助燃性ガスを火炎と
共に噴出させ、火炎加水分解反応または酸化反応により
ガラス微粒子を生成して回転する棒状の出発材の外周へ
噴き付けさせると共に、その出発材とバーナとを相対的
に往復移動させて、出発材の周りにガラス微粒子を付着
堆積させて行う光ファイバ母材の製造方法において、出
発材に対するバーナの向きを制御して出発材に堆積する
ガラス微粒子堆積体の表面に対してほぼ直角にガラス微
粒子を噴き付けることを特徴とする光ファイバ母材の製
造方法である。
【００１５】このような発明によれば、出発材の外周に
形成されるガラス微粒子堆積体の表面においてガラス微
粒子が常に直角に近い角度で噴き付けられることとな
る。このため、ガラス微粒子堆積体の両端部においてガ
ラス微粒子が出発材の軸方向に沿って堆積し成長するこ
とが確実に抑制され、ガラス微粒子堆積体のテーパ状の
両端部が短く形成される。
【００１６】また本発明は、出発材を垂直方向に配設す
ることを特徴とする光ファイバ母材の製造方法である。
【００１７】このような発明によれば、出発材の軸方向
とガラス微粒子堆積体の重力がかかる方向が一致するか
ら、出発材によりガラス微粒子堆積体が安定して支持さ
れる。
【００１８】また本発明は、棒状の出発材を回転させる
回転機構と、ガラス原料ガス、燃料ガスおよび助燃性ガ
スを噴出して火炎加水分解反応または酸化反応によりガ
ラス微粒子を生成し出発材の外周へそのガラス微粒子を
噴き付けて堆積させるガラス微粒子合成用バーナと、出
発材とバーナを出発材の軸方向に沿って相対的に往復移
動させる移動機構と、出発材に対するバーナの噴付方向
の調整を行う調整機構とを備えた光ファイバ母材の製造
装置である。
【００１９】このような発明によれば、出発材に対しバ
ーナが斜めの方向からガラス微粒子を噴き付け可能とな
る。このため、出発材の外周に形成されるガラス微粒子
堆積体のテーパ状の端部の表面にガラス微粒子を直角に
近い角度で噴き付けることにより、そのテーパ状の端部
が出発材の軸方向に沿って堆積し成長することが防止さ
れる。
【００２０】また本発明は、調整機構が出発材とバーナ
の相対位置に応じてバーナの噴付方向のなす角を調整す
ることを特徴とする光ファイバ母材の製造装置である。
【００２１】このような発明によれば、ガラス微粒子堆
積体の両端部においてテーパ状の端部が出発材の軸方向
に沿って堆積し成長することが防止される。
【００２２】また本発明は、調整機構がバーナの噴付方
向のなす角を出発材に堆積するガラス微粒子堆積体の表
面に直角にガラス微粒子が噴き付けられるように調整す
ることを特徴とする光ファイバ母材の製造装置である。
【００２３】このような発明によれば、ガラス微粒子堆
積体の両端においてテーパ状の端部が出発材の軸方向に
沿って堆積し成長することが確実に防止される。
【００２４】また本発明は、回転機構が出発材を垂直に
向けて配設可能とされていることを特徴とする光ファイ
バ母材の製造装置である。
【００２５】このような発明によれば、出発材の軸方向
とガラス微粒子堆積体の重力がかかる方向が一致するか
ら、出発材によりガラス微粒子堆積体が安定して支持さ
れる。
【００２６】
【発明の実施の形態】以下、添付図面に基づき、本発明
に係る実施形態の種々の例について説明する。尚、各図
において同一要素には同一符号を付して説明を省略す
る。
【００２７】（実施形態１）図１は光ファイバ母材の製
造装置の概要図である。図１に示すように、光ファイバ
母材を製造するための製造装置１は、ガラス微粒子堆積
体２のもととなるガラス微粒子を出発材３へ向けて噴出
するバーナ４と、出発材３とバーナ４を相対的に移動さ
せると共に出発材３を回転させる回転移動機構５と、出
発材３に対するバーナ４の噴付方向のなす角を調整する
調整機構６を備えて構成されている。以下、製造装置１
の各部について詳述する。
【００２８】図１において、反応容器７の上部に回転移
動機構５が取り付けられ、その反応容器７内で棒状の出
発材３が設置可能となっている。反応容器７は内外を密
封された構造とされ排気口のみから内気を外部へ排出で
きるようになっている。回転移動機構５は、たとえば、
駆動部５１と回転軸５２と連結部５３により構成されて
いる。駆動部５１は、反応容器７の上方に設置され、そ
の下面から延出する回転軸５２を軸回転（軸方向を中心
に回転）させる回転機能と軸方向へ移動させる移動機能
を備えている。駆動部５１としてはモータなどからなる
公知のものが用いられる。また、回転軸５２は、駆動部
５１から下方へ延出して反応容器７の上面を貫通して配
設されている。更に、連結部５３は、回転軸５２の下端
に設けられ反応容器７内で垂直に配した出発材３を連結
できるようになっている。この連結部５３としては公知
のチャック式のものなどが用いられる。この回転移動機
構５により、出発材３を反応容器７内で垂直方向に設置
して、任意の速度で回転させ、また、任意の速度で昇降
させることが可能となる。この出発材３の昇降により、
反応容器７に取り付けられたバーナ４と出発材３を相対
的に移動させることできる。また、回転移動機構５によ
れば、出発材３が垂直方向に設置されるため、出発材３
の外周に堆積するガラス微粒子堆積体２の重量が加わる
方向と出発材３の軸方向とを一致させることができ、出
発材３でガラス微粒子堆積体２を安定して支持すること
が可能となる。従って、大型のガラス微粒子堆積体２が
製造できる。なお、この回転移動機構５は、出発材３の
回転操作を行う回転機構部と出発材３、バーナ４の相対
移動操作を行う移動機構部を個別に構成したものであっ
てもよい。
【００２９】一方、反応容器７の側面には、二つのバー
ナ４（バーナ４ａ、４ｂ）が上下に並設されている。バ
ーナ４ａ、４ｂはガラス微粒子の噴付を行うためのもの
であって、原料供給装置４１とそれぞれ接続され、この
原料供給装置４１からバーナ４ａ、４ｂへＳｉＣｌ4 、
ＧｅＣｌ4 などのガラス原料ガス、Ｈ2 などの燃料ガス
及びＯ2 などの助燃性ガスなどの供給を受けて、先端の
開口部分からそれらのガスを噴出して、火炎中での酸
化、加水分解反応等によりガラス微粒子を生成するよう
になっている。なお、原料供給装置４１からの供給によ
りバーナ４から噴出させるガスとしては、ガラス原料ガ
ス、燃料ガスおよび助燃性ガスのみに限られず、ガラス
微粒子の生成に補助するための不活性ガスなどを含むも
のである。
【００３０】また、バーナ４ａ、４ｂは出発材３へ向け
られて配置されガラス微粒子を出発材３へ向けて噴付可
能とされ、更に、調整機構６によりその噴付方向の調整
が可能とされている。たとえば、バーナ４ａ、４ｂはそ
れぞれ調整駆動部６１ａ、６１ｂに回転自在に軸着され
て垂直方向へ俯仰自在とされており、この調整駆動部６
１ａ、６１ｂに接続された角度制御装置６２により俯仰
角度の制御が任意に行えるようになっている。なお、バ
ーナ４は、ガラス微粒子の噴付方向が調整可能であれ
ば、一つのバーナからなるものであってもよく、また、
三つ以上のバーナからなるものであってもよい。
【００３１】なお、製造装置１は出発材３を垂直方向に
設置するものであるが、その設置方向は水平方向または
斜めの方向（垂直でなく水平でない方向）であってもよ
い。また、製造装置１は出発材３とバーナ４との相対移
動がバーナ４に対し出発材３を移動させることにより行
われているが、回転する出発材３に対してバーナ４側が
移動して相対移動がなされるものであってもよい。更
に、製造装置１において出発材３とバーナ４の双方が移
動してそれらの相対移動がなされるものであってもよ
い。
【００３２】次に、光ファイバ母材の製造方法について
説明する。図１において、まず、屈折率の異なる二種類
以上のガラス材からなる棒状の出発材３、即ちコア及び
クラッドを有する出発材４を用意し、製造装置１の回転
移動機構５の連結部５３に取り付ける。出発材３として
は、屈折率の異なる二種類以上のガラス材からなるもの
を用いる。なお、出発材４は一種類のガラス材からなる
ものを用いてもよい。そして、バーナ４ａ、４ｂの噴付
方向を調整機構６により設定を行う。すなわち、調整機
構６によりバーナ４ａ、４ｂの噴付方向と設置された出
発材３の軸方向がなす角θが５０°〜８５°となるよう
にバーナ４ａ、４ｂの向きを設定する。その設定の際、
並設されるバーナ４ａ、４ｂの向きは同一としておくの
が望ましい。すなわち、バーナ４ａ、４ｂの向きは同一
としておくことによりガラス微粒子の堆積状態が均一化
されることとなる。
【００３３】そして、このような状態において、回転移
動機構５の駆動部５１を駆動させて回転軸５２を回転お
よび昇降させることにより、反応容器７内で出発材３を
回転させながら、上下方向に往復移動させる。それに伴
って、バーナ４ａ、４ｂに原料供給装置４１によりＳｉ
Ｃｌ4 、ＧｅＣｌ4 などのガラス原料ガス、Ｈ2 などの
燃料ガス及びＯ2 などの助燃性ガスなどそれぞれ供給さ
せ、バーナ４ａ、４ｂの先端から噴出させる。すると、
燃料ガスおよび助燃性ガスによりバーナ４ａ、４ｂから
火炎が噴き出し、その火炎中でガラス原料ガスが酸化、
加水分解反応等によりガラス微粒子となって回転および
往復移動する出発材３の外周面へ噴き付けられることと
なる。このガラス微粒子の噴付に際し、バーナ４ａ、４
ｂの向きは固定しておく。
【００３４】ガラス微粒子の噴き付けにより、出発材３
の外周には徐々にガラス微粒子が堆積してガラス微粒子
堆積体２（スートプリフォーム）が成長していく。その
際、図１に示すように、ガラス微粒子堆積体２の端部は
先細りのテーパ状となる。これは、ガラス微粒子堆積体
２に噴き付けられるガラス微粒子がその表面に沿って流
れて堆積するためであり、ガラス微粒子堆積体２の端部
では図２のように小径である最端部へ向けてガラス微粒
子が流れるのでテーパ状に成長してしまう。
【００３５】そこで、バーナ４（バーナ４ａ、４ｂ）の
噴付方向と出発材３とのなす角θを８５°以下としてお
くことにより、ガラス微粒子堆積体２におけるテーパ状
端部の長さを短くすることが可能となる。たとえば、図
１に示すように、垂直方向に配された出発材３に対し、
バーナ４（バーナ４ａ、４ｂ）を水平より上方側に傾け
て（角度θ＜８５°）配してガラス微粒子の堆積工程を
行うことにより、ガラス微粒子堆積体２の下側の端部で
は、図３に示すようにバーナ４から噴出するガラス微粒
子がその端部表面に対しほぼ直角に噴き付けられる。こ
のため、ガラス微粒子堆積体２の端部から出発材３側へ
ガラス微粒子が流れにくく、ガラス微粒子堆積体２のテ
ーパ状の端部の長さは短いものとなる。一方、ガラス微
粒子堆積体２の上側の端部では、図２に示すようにバー
ナ４からの噴出するガラス微粒子がその端部表面に対し
平行に近い角度で噴き付けられる。しかしながら、この
ようにガラス微粒子が噴き付けられる場合でも、図４の
ように出発材３とバーナ４が直角とされた場合（従来の
技術）とテーパ状の端部の長さは同じとなる。従って、
ガラス微粒子堆積体２の下側の端部の長さが短くなる分
だけ、ガラス微粒子堆積体２の全長に対するテーパ状の
端部の割合が小さくなる。
【００３６】また、バーナ４（バーナ４ａ、４ｂ）の噴
付方向と出発材３とのなす角θを５０°以上としておく
ことにより、ガラス微粒子の収率の低下を回避すること
ができる。すなわち、バーナ４の噴付方向のなす角θが
小さ過ぎると、バーナから噴出するガラス微粒子のうち
堆積する割合が小さくなり、ガラス微粒子堆積体２の成
長速度に影響を及ぼすこととなる。そこで、バーナ４の
噴付方向のなす角θを５０°以上とすることによりガラ
ス微粒子の収率の低減が抑えられる。そして、ガラス微
粒子堆積体２へのガラス微粒子の噴き付けを続け、ガラ
ス微粒子堆積体２が所定の径まで達したら、原料供給装
置４１および回転移動機構５を停止して光ファイバ母材
であるガラス微粒子堆積体２の製造を終了する。
【００３７】以上のような製造方法によれば、バーナ４
（バーナ４ａ、４ｂ）の噴付方向と出発材３とのなす角
θを５０°〜８５°としてガラス微粒子堆積体２の製造
を行うことにより、そのガラス微粒子堆積体２のテーパ
状の端部が短くなり、有効に使用できる部分を多く含ん
だ良質のガラス微粒子堆積体２が効率良く製造できる。
【００３８】次に光ファイバ母材の製造装置１を用いた
製造方法による具体的な光ファイバ母材の製造の実施例
について説明する。出発材３としてＧｅＯ2 を添加した
ＳｉＯ2 からなるコアとＳｉＯ2 からなるクラッドを有
するものを用い、図１に示すようにバーナ４（バーナ４
ａ、４ｂ）を水平もしくは水平より上側へ向けて、出発
材３とバーナ４の噴付方向とのなす角θを４０°、５０
°、６０°、７０°、８０°、８５°、９０°として、
それぞれ場合についてガラス微粒子堆積体２の製造を行
った。ガラス微粒子堆積体２の製造は、前述した通り、
回転移動機構５を駆動させて出発材３を回転させながら
上下に往復移動させると共に、原料供給装置４１からバ
ーナ４ａ、４ｂへガラス原料ガス、燃料ガスおよび助燃
性ガスなどを供給して各バーナ４ａ、４ｂの先端からガ
ラス微粒子を噴出させ、そのガラス微粒子を出発材３の
外周に徐々に堆積させて行った。その際、出発材３の往
復移動の距離は約１０００ｍｍとし、ガラス微粒子堆積
体２の外径が１５０ｍｍφとなるまでガラス微粒子の噴
き付けを行った。
【００３９】このようにバーナ４の噴付方向を変えてガ
ラス微粒子堆積体２を製造した結果、それぞれのバーナ
４の噴付方向におけるガラス微粒子堆積体２を得た。各
ガラス微粒子堆積体２の両端はそれぞれテーパ状となっ
ていた。そして、これらのガラス微粒子堆積体２を透明
化してプリフォーム化した後、線引して光ファイバとし
たところ、テーパ状の端部を除いて特性の安定した光フ
ァイバが得られた。
【００４０】ここで、製造時における出発材３とバーナ
４の噴付方向とのなす角θに対する製造後のガラス微粒
子堆積体２のテーパ長（テーパ状の端部の長さ）との関
係を図５に示し、製造時における出発材３とバーナ４の
噴付方向のなす角θに対する製造後のガラス微粒子堆積
体２のうち光ファイバとして有効利用できる割合ηおよ
び製造時のガラス微粒子の収率との関係を図６に示す。
図５を見ると、ガラス微粒子堆積体２の下側端部におい
ては、出発材３とバーナ４の噴付方向とのなす角θを９
０°から小さくするに従いテーパ状となる端部の長さ
（テーパ長）が短くなり、なす角θが５０°で最短ピー
クとなり、それよりなす角θが小さいと長くなることが
分かった。一方、上側端部においては、出発材３とバー
ナ４の噴付方向とのなす角θを４０°〜９０°と変えて
も特に変化がない。そして、この図５に示すテーパ長の
データをそれぞれｌ1、ｌ2、として前述した式（１）に
代入し各ガラス微粒子堆積体２について光ファイバとし
て有効利用できる割合ηを算出したものが図６における
有効割合ηである。図６を見ると、有効割合ηはバーナ
４の噴付方向のなす角θを９０°から小さくするに従い
増加し、なす角θが５０°で最大値となっている。これ
は、バーナ４の噴付方向のなす角θを小さくして製造す
るほど、製造したガラス微粒子堆積体２から有効に光フ
ァイバが得られることを示している。そして、従来の目
標値である有効割合７０％はバーナ４の噴付方向のなす
角θを８５°より小さい角度とすることにより達成され
ることとなる。
【００４１】一方、図６において、バーナ４の噴付方向
のなす角θを９０°から小さく設定していくと、ガラス
微粒子の堆積収率が７０°までは増加し、その７０°を
ピークとして減少する傾向が示されている。そして、な
す角θが５０°より小さいと収率が５０％を下回ること
となり製造コストまたは製造効率などを考慮すると不適
となる。
【００４２】このようにガラス微粒子堆積体２における
有効割合ηおよび堆積収率を考慮すると、出発材３とバ
ーナ４の噴付方向とのなす角θを５０°〜８５°に設定
することにより、品質の良いガラス微粒子堆積体２を効
率良く製造することが可能であることが分かる。
【００４３】（実施形態２）前述の実施形態１の光ファ
イバ母材の製造においては光ファイバ母材の製造時にバ
ーナ４の向きが固定とされているが、製造時に出発材３
の往復移動に応じてバーナ４の向きを変えながら光ファ
イバ母材を製造するものであってもよい。すなわち、本
実施形態に係る光ファイバ母材の製造方法および製造装
置１ａは出発材３の往復移動に応じてバーナ４の向きを
変化させるものである。図７に本実施形態における製造
工程の説明図を示す。本実施形態に係る光ファイバ母材
の製造装置１ａは、実施形態１と同様のバーナ４（バー
ナ４ａ、４ｂ）および回転移動機構５を備えている。そ
して、調整機構としては、製造時の出発材３の移動に応
じてバーナ４の角度を変化させる角度可変機能を具備し
た調整機構６ａが用いられる。
【００４４】たとえば、調整機構６ａとしては、実施形
態１の調整機構６と同様の調整駆動部６１ａ、６１ｂ
と、これらの調整駆動部６１ａ、６１ｂの駆動制御を出
発材３の移動に応じて行う角度制御装置６２ａとを備え
た構造とされる。この角度制御装置６２ａは、ガラス微
粒子がガラス微粒子堆積体２の端部表面で直角に噴き付
けられるように調整駆動部６１ａ、６１ｂを駆動させ
て、バーナ４の角度を出発材３の移動に応じて変化させ
る機能を備えている。製造装置１ａによれば、このよう
な調整機構６ａを有することで、ガラス微粒子堆積体２
の製造時において、ガラス微粒子堆積体２の両端部の表
面でガラス微粒子をほぼ直角に噴き付けることが可能と
なる。このため、ガラス微粒子堆積体２の端部において
ガラス微粒子が表面に沿って流れて堆積することが防止
され、そのガラス微粒子堆積体２の端部がテーパ状に長
くなることを避けられる。
【００４５】なお、この製造装置１ａにおいて、バーナ
４は一つのバーナからなるものであってもよく、また、
三つ以上のバーナからなるものであってもよい。また、
製造装置１ａは出発材３の設置方向が垂直方向でもよい
し、またその設置方向が水平方向または斜めの方向（垂
直でなく水平でない方向）であってもよい。また、製造
装置１ａは出発材３とバーナ４との相対移動が行われる
ものであれば、バーナ４に対して出発材３が移動し、ま
た出発材３に対してバーナ４が移動するもののいずれで
もよく、更に出発材３とバーナ４の双方が移動してそれ
らの相対移動がなされるものであってもよい。
【００４６】次に、本実施形態に係る光ファイバ母材の
製造方法について説明する。図１において、まず、出発
材３を回転移動機構５の連結部５３に取り付ける。この
状態において、回転移動機構５の駆動部５１を駆動させ
て回転軸５２を回転および昇降させることにより、反応
容器７内で出発材３を回転させながら上下方向に往復移
動させる。それに伴い、バーナ４ａ、４ｂからガラス原
料ガス、燃料ガスおよび助燃性ガスなどを噴出させ火炎
中で酸化、加水分解反応等によりガラス微粒子を生成さ
せる。そして、生成されたガラス微粒子を出発材３に噴
き付け、その外周に徐々に堆積させていく。
【００４７】このガラス微粒子の噴き付けの際に、調整
機構６ａによりバーナ４ａ、４ｂの噴付方向を出発材３
の移動に応じて変化させる。たとえば、図７（ａ）のよ
うにバーナ４ａ、４ｂがそのガラス微粒子堆積体２の下
側にガラス微粒子を噴き付けているとき（ガラス微粒子
堆積体２が上方に位置しているとき）にはバーナ４ａ、
４ｂを上向きとし、図７（ｂ）のようにバーナ４ａ、４
ｂがガラス微粒子堆積体２の上側にガラス微粒子を噴き
付けているとき（ガラス微粒子堆積体２が下方に位置し
ているとき）にはバーナ４ａ、４ｂを下向きとする。こ
のため、ガラス微粒子堆積体２の両端部分において、そ
れらの表面に対して直角に近い角度でガラス微粒子が噴
き付けられる。従って、ガラス微粒子がそれら端部の表
面に沿って細径の最端部分へ流れて堆積することが防止
され、テーパ状の端部の形成が抑制されることとなる。
【００４８】また、ガラス微粒子の噴付時におけるバー
ナ４ａ、４ｂの角度は、前述のごとく出発材３の軸方向
とその噴付方向のなす角が５０°〜８５°となるように
しておく。また、バーナ４ａ、４ｂが上向きから下向
き、また下向きから上向きに変化するタイミングは、バ
ーナ４ａ、４ｂがガラス微粒子堆積体２の両端部を噴き
付けているとき以外であればいつでもよい。すなわち、
ガラス微粒子堆積体２の下側の端部ではバーナ４ａ、４
ｂが上向きとなり、その上側の端部ではバーナ４ａ、４
ｂが下向きとなるようにバーナ４ａ、４ｂの向きの変更
が行われればよい。このバーナ４ａ、４ｂの向きの変更
タイミングとしては、バーナ４がガラス微粒子堆積体２
の端部から定常部（外径がほぼ一定した部分）へ差し掛
かるときであることが望ましい。
【００４９】このようにして、ガラス微粒子の噴付を続
け、ガラス微粒子堆積体２が所定の径まで達したら製造
を終了する。
【００５０】以上のような製造方法によれば、ガラス微
粒子堆積体２の両端部においてガラス微粒子が各端部の
表面に対していずれも直角に近い角度で噴き付けられる
ので、テーパ状の各端部が出発材３の軸方向へ堆積し成
長することが抑制される。従って、ガラス微粒子堆積体
２の両端部におけるテーパ状端部の長さを短くすること
ができる。
【００５１】次に光ファイバ母材の製造装置１ａを用い
た製造方法による具体的な製造の実施例について説明す
る。出発材３としてＧｅＯ2 を添加したＳｉＯ2 からな
るコアとＳｉＯ2 からなるクラッドを有するものを用
い、出発材３とバーナ４の噴付方向とのなす角θが±６
０°となるように、バーナ４（バーナ４ａ、４ｂ）の向
きを設定して、ガラス微粒子堆積体２の製造を行った。
ガラス微粒子堆積体２の製造手順は上述の通りに行っ
た。その際、出発材３の往復移動の距離は約１０００ｍ
ｍとし、ガラス微粒子堆積体２の外径が１５０ｍｍφと
なるまでガラス微粒子の噴き付けを行った。
【００５２】このようにして、バーナ４の噴付方向を下
向き又は上向きに変化させながらガラス微粒子堆積体２
を製造した結果、両端のテーパ長（テーパ状の端部の長
さ）がそれぞれ１１５ｍｍのガラス微粒子堆積体２が得
られた。そして、前述の式（１）による有効割合ηは７
７％であって、また、ガラス微粒子の堆積収率は６３％
であり、良質なガラス微粒子堆積体２を効率良く製造す
ることができた。そして、このガラス微粒子堆積体２を
焼結炉で透明化し火炎研磨後に線引したところ、特性の
安定した大量の光ファイバが得られた。
【００５３】（実施形態３）前述の実施形態２の光ファ
イバ母材の製造においては光ファイバ母材の製造時にバ
ーナ４の角度（噴付方向）が一定であるが、バーナ４の
角度を出発材３の移動する位置に応じて変化させるもの
であってもよい。すなわち、本実施形態に係る光ファイ
バ母材の製造方法および製造装置１ｂは、出発材３との
相対位置に応じてバーナ４の噴付角度を変化させるもの
である。図８に本実施形態における製造工程の説明図を
示す。図９に本実施形態におけるバーナの角度制御の説
明図を示す。本実施形態に係る光ファイバ母材の製造装
置１ｂは、図１に示す実施形態１の製造装置１と同様の
バーナ４（バーナ４ａ、４ｂ）および回転移動機構５を
備えている。そして、調整機構としては、製造時の出発
材３との相対位置に応じてバーナ４ａ、４ｂの角度を個
別に変化させる角度可変機能を具備した調整機構６ａが
用いられる。たとえば、調整機構６ｂとしては、実施形
態１の調整機構６と同様の調整駆動部６１ａ、６１ｂ
と、これらの調整駆動部６１ａ、６１ｂの駆動制御を出
発材３の位置に応じて行う角度制御装置６２ｂとを備え
た構造とされる。この角度制御装置６２ｂは、ガラス微
粒子がガラス微粒子堆積体２の定径状の中央部およびテ
ーパ状の端部の各表面に対して直角に噴き付けられるよ
うに調整駆動部６１ａ、６１ｂを駆動させる機能を有し
ている。製造装置１ｂによれば、このような調整機構６
ｂを有することで、ガラス微粒子堆積体２の製造時にお
いて、ガラス微粒子をガラス微粒子堆積体２の各表面で
ほぼ直角に噴き付けることが可能となる。このため、ガ
ラス微粒子堆積体２の端部においてガラス微粒子が表面
に沿って流れて堆積することが防止され、そのガラス微
粒子堆積体２の端部がテーパ状に長くなることが避けら
れる。
【００５４】なお、この製造装置１ｂにおいて、バーナ
４は一つのバーナからなるものであってもよく、また、
三つ以上のバーナからなるものであってもよい。また、
製造装置１ｂは出発材３の設置方向が垂直方向でもよい
し、またその設置方向が水平方向または斜めの方向（垂
直でなく水平でない方向）であってもよい。また、製造
装置１ｂは出発材３とバーナ４との相対移動が行われる
ものであれば、バーナ４に対して出発材３が移動し、ま
た出発材３に対してバーナ４が移動するもののいずれで
もよく、更に出発材３とバーナ４の双方が移動してそれ
らの相対移動がなされるものであってもよい。
【００５５】次に、本実施形態に係る光ファイバ母材の
製造方法について説明する。図１において、まず、出発
材３を回転移動機構５の連結部５３に取り付ける。この
状態において、回転移動機構５の駆動部５１を駆動させ
て回転軸５２を回転および昇降させることにより、反応
容器７内で出発材３を回転させながら上下方向に往復移
動させる。それに伴い、バーナ４ａ、４ｂからガラス原
料ガス、燃料ガスおよび助燃性ガスなどを噴出させ火炎
中で酸化、加水分解反応等によりガラス微粒子を生成さ
せる。すると、ガラス微粒子は出発材３に噴き付けら
れ、その外周に徐々に堆積していく。
【００５６】このガラス微粒子の噴き付けの際に、調整
機構６ｂによりバーナ４ａ、４ｂの噴付方向を出発材３
の位置に応じて変化させる。たとえば、図８（ａ）のよ
うにバーナ４ａ、４ｂがガラス微粒子堆積体２の定径状
の中央部分にガラス微粒子を噴き付けているときにはバ
ーナ４ａ、４ｂを水平方向とし、図８（ｂ）のようにバ
ーナ４ａがガラス微粒子堆積体２のテーパ状の端部にガ
ラス微粒子を噴き付けているときにはそのバーナ４ａの
みを上向きとしてその端部表面にガラス微粒子が直角に
噴き付けられるようにする。また、図示していないが、
ガラス微粒子堆積体２が下方へ移動してバーナ４ｂがガ
ラス微粒子堆積体２のテーパ状の端部にガラス微粒子を
噴き付けているときにはそのバーナ４ｂのみを下向きと
してその端部表面にガラス微粒子が直角に噴き付けられ
るようにする。このようなバーナ４ａ、４ｂの角度制御
は、たとえば、図９に示すように行えばよい。このよう
なバーナ４ａ、４ｂの角度制御を行うことにより、ガラ
ス微粒子堆積体２の両端部分において、それらの表面に
対して直角に近い角度で常にガラス微粒子が噴き付けら
れる。従って、ガラス微粒子がそれら端部の表面に沿っ
て細径の最端部分へ流れて堆積することが防止され、テ
ーパ状の端部の形成が抑制されることとなる。このよう
にして、ガラス微粒子の噴付を続け、ガラス微粒子堆積
体２が所定の径まで達したら製造を終了する。
【００５７】以上のような製造方法によれば、ガラス微
粒子堆積体２の表面においてガラス微粒子が常に直角に
近い角度で噴き付けられるので、ガラス微粒子堆積体２
のテーパ状の両端部においてガラス微粒子が出発材３の
軸方向へ堆積し成長することが抑制される。従って、ガ
ラス微粒子堆積体２の両端におけるテーパ状端部の長さ
を短くすることができる。
【００５８】次に光ファイバ母材の製造装置１ｂを用い
た製造方法による具体的な製造の実施例について説明す
る。出発材３としてＧｅＯ2 を添加したＳｉＯ2 からな
るコアとＳｉＯ2 からなるクラッドを有するものを用
い、バーナ４ａ、４ｂの角度（出発材３とバーナ４ａ、
４ｂの噴付方向とのなす角θ）の制御を図９に示すよう
に行い、ガラス微粒子堆積体２を製造した。ガラス微粒
子堆積体２の製造手順は上述の通りである。その際、出
発材３の往復移動の距離は約１０００ｍｍとし、ガラス
微粒子堆積体２の外径が１５０ｍｍφとなるまでガラス
微粒子の噴き付けを行った。
【００５９】このようにして、バーナ４ａ、４ｂの噴付
方向を出発材３、即ちガラス微粒子堆積体２の位置に応
じて交互に変化させながらガラス微粒子堆積体２を製造
した結果、両端のテーパ長（テーパ状の端部の長さ）が
それぞれ１２０ｍｍのガラス微粒子堆積体２が得られ
た。そして、前述の式（１）による有効割合ηは７６％
であって、また、ガラス微粒子の堆積収率は６５％であ
り、良質なガラス微粒子堆積体２を効率良く製造するこ
とができた。そして、このガラス微粒子堆積体２を焼結
炉で透明化し火炎研磨後に線引したところ、特性の安定
した大量の光ファイバが得られた。
【００６０】
【発明の効果】以上説明したように本発明によれば、次
のような効果を得ることができる。
【００６１】すなわち、出発材とバーナの噴付方向との
なす角を５０°〜８５°として出発材へのガラス微粒子
の噴き付けを行うことにより、出発材の外周に形成され
るガラス微粒子堆積体（光ファイバ母材）のテーパ状の
端部の表面にガラス微粒子が直角に近い角度で噴き付け
られることとなり、そのテーパ状の端部が出発材の軸方
向に沿って堆積し成長することが抑制される。このた
め、製造される光ファイバ母材のテーパ状の端部が短い
ものとなる。また、ガラス微粒子の堆積収率の低減も抑
えられる。従って、特性の安定した光ファイバが大量に
得られる良質な光ファイバ母材が効率良く製造できる。
【００６２】また、出発材とバーナとの相対移動に応じ
てガラス微粒子堆積体のテーパ状の各端部へガラス微粒
子が直角に噴き付けられるようにバーナの向きを変える
ことにより、光ファイバ母材であるガラス微粒子堆積体
の両端においてテーパ状の端部を短いものとすることが
でき、光ファイバ母材の品質が向上する。
【００６３】また、バーナを複数用いてそれらの各バー
ナの噴付方向のなす角を同一としてガラス微粒子の噴き
付けを行うことにより、光ファイバ母材であるガラス微
粒子堆積体が均一に効率良く製造できる。
【００６４】また、出発材に対するバーナの噴付方向を
制御して出発材に堆積するガラス微粒子堆積体の表面に
対してほぼ直角にガラス微粒子を噴き付けることによ
り、出発材の外周に形成されるガラス微粒子堆積体の表
面においてガラス微粒子が常に直角に近い角度で噴き付
けられることとなり、ガラス微粒子堆積体の両端がテー
パ状に成長することが確実に抑制される。このため、光
ファイバ母材であるガラス微粒子堆積体のテーパ状の両
端が短いものとなり、確実に良質な光ファイバ母材が製
造できる。
【００６５】また、出発材を垂直方向に配設することに
より、光ファイバ母材であるガラス微粒子堆積体を安定
して支持できるから、大型のガラス微粒子堆積体の製造
が可能となる。
【図面の簡単な説明】
【図１】光ファイバ母材の製造装置の全体概要図であ
る。
【図２】光ファイバ母材の製造時におけるガラス微粒子
の噴付工程の説明図である。
【図３】光ファイバ母材の製造時におけるガラス微粒子
の噴付工程の説明図である。
【図４】従来の光ファイバ母材の製造の説明図である。
【図５】製造した光ファイバ母材におけるテーパ長のデ
ータを示す図である。
【図６】製造した光ファイバ母材における有効割合と収
率のデータを示す図である。
【図７】実施形態２に係る光ファイバ母材の製造につい
ての説明図である。
【図８】実施形態３に係る光ファイバ母材の製造につい
ての説明図である。
【図９】実施形態３に係る光ファイバ母材の製造におけ
るバーナの角度制御を示す図である。
【図１０】従来技術の説明図である。
【符号の説明】
１…製造装置、２…ガラス微粒子堆積体（光ファイバ母
材）、３…出発材、４…バーナ、５…回転移動機構、６
…調整機構

Claims (9)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項１】 ガラス微粒子合成用バーナからガラス原
    料ガス、燃料ガス及び助燃性ガスを火炎と共に噴出さ
    せ、火炎加水分解反応または酸化反応によりガラス微粒
    子を生成して回転する棒状の出発材の外周へ噴き付けさ
    せると共に、その出発材と前記バーナとを相対的に往復
    移動させて、前記出発材の周りにガラス微粒子を付着堆
    積させて行う光ファイバ母材の製造方法において、 前記出発材と前記バーナの噴付方向とのなす角を５０°
    〜８５°として前記出発材への前記ガラス微粒子の噴き
    付けを行うことを特徴とする光ファイバ母材の製造方
    法。
  2. 【請求項２】 前記出発材と前記バーナの相対移動に応
    じて前記バーナの向きを変えることを特徴とする請求項
    １に記載の光ファイバ母材の製造方法。
  3. 【請求項３】 前記バーナを複数用い、それら各バーナ
    の前記噴付方向のなす角を同一として前記ガラス微粒子
    の噴き付けを行うことを特徴とする請求項１または２に
    記載の光ファイバ母材の製造方法。
  4. 【請求項４】 ガラス微粒子合成用バーナからガラス原
    料ガス、燃料ガス及び助燃性ガスを火炎と共に噴出さ
    せ、火炎加水分解反応または酸化反応によりガラス微粒
    子を生成して回転する棒状の出発材の外周へ噴き付けさ
    せると共に、その出発材とバーナとを相対的に往復移動
    させて、前記出発材の周りにガラス微粒子を付着堆積さ
    せて行う光ファイバ母材の製造方法において、 前記出発材に対する前記バーナの向きを制御して前記出
    発材に堆積するガラス微粒子堆積体の表面に対してほぼ
    直角に前記ガラス微粒子を噴き付けることを特徴とする
    光ファイバ母材の製造方法。
  5. 【請求項５】 前記出発材を垂直に配設することを特徴
    とする請求項１〜４のいずれかに記載の光ファイバ母材
    の製造方法。
  6. 【請求項６】 棒状の出発材を回転させる回転機構と、 ガラス原料ガス、燃料ガスおよび助燃性ガスを噴出して
    火炎加水分解反応または酸化反応によりガラス微粒子を
    生成し前記出発材の外周へそのガラス微粒子を噴き付け
    て堆積させるガラス微粒子合成用バーナと、 前記出発材と前記バーナを前記出発材の軸方向に沿って
    相対的に往復移動させる移動機構と、 前記出発材に対する前記バーナの噴付方向の調整を行う
    調整機構と、を備えた光ファイバ母材の製造装置。
  7. 【請求項７】 前記調整機構が前記出発材と前記バーナ
    の相対位置に応じて前記バーナの噴付方向のなす角を調
    整する機能を具備していることを特徴とする請求項６に
    記載の光ファイバ母材の製造装置。
  8. 【請求項８】 前記調整機構が前記バーナの噴付方向の
    なす角を前記出発材に堆積するガラス微粒子堆積体の表
    面に直角にガラス微粒子が噴き付けられるように調整す
    る機能を具備していることを特徴とする請求項６または
    ７に記載の光ファイバ母材の製造装置。
  9. 【請求項９】 前記回転機構が前記出発材を垂直に向け
    て配設可能とされていることを特徴とする請求項６〜８
    のいずれかに記載の光ファイバ母材の製造装置。
JP15846196A 1996-06-19 1996-06-19 光ファイバ母材の製造方法および製造装置 Pending JPH107429A (ja)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP15846196A JPH107429A (ja) 1996-06-19 1996-06-19 光ファイバ母材の製造方法および製造装置

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP15846196A JPH107429A (ja) 1996-06-19 1996-06-19 光ファイバ母材の製造方法および製造装置

Publications (1)

Publication Number Publication Date
JPH107429A true JPH107429A (ja) 1998-01-13

Family

ID=15672252

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP15846196A Pending JPH107429A (ja) 1996-06-19 1996-06-19 光ファイバ母材の製造方法および製造装置

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JPH107429A (ja)

Cited By (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
WO2002024591A1 (de) * 2000-09-21 2002-03-28 Heraeus Tenevo Ag Verfahren und vorrichtung zur herstellung eines zylinders aus dotiertem quarzglas
WO2004002911A1 (en) * 2002-06-28 2004-01-08 Lg Cable Ltd. Outside vapor deposition apparatus for making optical fiber preform and method for making optical fiber preform using the same
US6831603B2 (en) 2002-03-12 2004-12-14 Menache, Llc Motion tracking system and method
CN108395092A (zh) * 2018-05-24 2018-08-14 成都富通光通信技术有限公司 一种制备光纤预制棒的多喷灯沉积方法

Cited By (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
WO2002024591A1 (de) * 2000-09-21 2002-03-28 Heraeus Tenevo Ag Verfahren und vorrichtung zur herstellung eines zylinders aus dotiertem quarzglas
US6831603B2 (en) 2002-03-12 2004-12-14 Menache, Llc Motion tracking system and method
WO2004002911A1 (en) * 2002-06-28 2004-01-08 Lg Cable Ltd. Outside vapor deposition apparatus for making optical fiber preform and method for making optical fiber preform using the same
US7441417B2 (en) 2002-06-28 2008-10-28 Ls Cable Ltd. Outside vapor deposition apparatus for making optical fiber preform
CN108395092A (zh) * 2018-05-24 2018-08-14 成都富通光通信技术有限公司 一种制备光纤预制棒的多喷灯沉积方法
CN108395092B (zh) * 2018-05-24 2021-05-11 成都富通光通信技术有限公司 一种制备光纤预制棒的多喷灯沉积方法

Similar Documents

Publication Publication Date Title
JP3521681B2 (ja) 光ファイバ母材の製造方法
KR102545712B1 (ko) 광섬유용 다공질 유리 모재의 제조 방법 및 제조 장치
JPH10245242A (ja) 光ファイバ用多孔質ガラス母材製造装置
JP3946645B2 (ja) 光学用ガラスおよびその製造方法
JPH107429A (ja) 光ファイバ母材の製造方法および製造装置
JP2002338258A (ja) ガラス微粒子堆積体の製造方法及び装置
JP3396430B2 (ja) 光ファィバ母材の製造方法および光ファィバ母材を製造する装置
JP3953820B2 (ja) 光ファイバ多孔質母材の製造方法
JP2003206154A (ja) 光ファイバ多孔質母材製造用バーナ装置およびこれを用いた光ファイバ多孔質母材の製造方法
EP1044931A1 (en) Method and apparatus for manufacturing optical fiber base material
JP4614782B2 (ja) 光ファイバ用石英ガラス母材の製造方法
JP4097982B2 (ja) 光ファイバ用多孔質母材の製造方法
JPH1081537A (ja) 多孔質光ファイバ母材の製造方法
JP4398114B2 (ja) 凹凸の少ない光ファイバ用ガラス母材の製造方法
JP4495070B2 (ja) 光ファイバ用多孔質母材の製造方法
JP3917022B2 (ja) 光ファイバ用多孔質母材の製造方法
JP4530687B2 (ja) 光ファイバ用多孔質ガラス母材の製造方法
JP3575505B2 (ja) 光ファイバ母材の製造方法
JP3521415B2 (ja) 光ファイバ母材の製造方法
JP3003173B2 (ja) ガラス微粒子堆積体の製造方法
JP2004269285A (ja) ガラス微粒子堆積体の製造法
JP2000272929A (ja) 光ファイバ母材の製造方法
JP3381309B2 (ja) ガラス微粒子堆積体の製造方法
JP2002338257A (ja) ガラス微粒子堆積体製造装置及び製造方法
JPS6374932A (ja) 光フアイバ母材の製造方法