JPH01219392A - 遠心式高真空ポンプ - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 この発明は、半導体製造装置や各種分析装置、試験装置
などにおいてチャンバー内等を高真空に排気する必要が
ある場合に使用される高真空ポンプ、特に遠心作用を利
用した遠心式高真空ポンプに関する。

〔従来の技術〕

一般的に使用されている真空ポンプとしては、油回転ポ
ンプ、ターボ分子ポンプ、拡散ポンプ、クライオポンプ
等、各種の動作原理、型式によるものがあるが、本出願
人は、先に特願昭６２−０２３１５６号として、遠心作
用を利用した新規な遠心式高真空ポンプについて提案し
た。

この遠心式高真空ポンプは、第３図に示すように、吸気
口２及び排気口３を有する円筒状のケーシング１の内部
を軸方向に、その内周壁面に垂設された複数の隔壁４に
よって複数の室５に区画し、それら各室５にそれぞれロ
ータ６を、その前面と隔壁、４の背面またはケーシング
前壁９１の内面とを近接させて結膜した基本構成を有し
ている。そして、隣り合う室５同士は、各隔壁４の中央
部にそれぞれ形成された通気孔９２を介して互いに流路
連絡しており、また各ロータ６は、それぞれ回転駆動軸
７に同軸的に保持されており、さらに回転駆動軸７は回
転駆動源８に連結されている。ロータ６は、第４図に１
例を示すように、円形状厚板９３の前面側中央部に円形
状凹部９４を形成し、その凹部９４の周面から厚板９３
の周縁まで延びる複数本の溝９５を円周方向に等配した
円板から構成されている。溝９５は円板中心部から遠心
方向に向かって放物線状に延びた形状であり、一定深さ
で一定幅に刻設されており、これらの溝９５が通気路と
なる。また、第５図及び第６図に示したように、円形状
薄板９６の前面側に、その薄板９６の中心部から周縁ま
で翼板９７を複数枚円周方向に等配して固設した円板か
らロータ９を構成してもよい。翼板９７は一定の厚さを
有し、円板中心部から遠心方向に向かって放物線状に延
びた形状を有している。

そして、隣り合う翼板９７同士に挟まれた空間９８が通
気路となる。翼板９７の、薄板９６の表面からの高さは
、空間（通気路）９８の横断面積がロータの半径方向位
置に関係なく常に一定になるよう、中心部から周縁へ向
かって漸次低くなるようにしている。尚、図中の符号９
９は排気ガスの逆流を抑制するための案内翼板、１０１
は軸受部、１０２はシール部である。

以上のような構成の遠心式高真空ポンプは、回転駆動源
８により回転駆動軸７を回転させ、ケーシング１の各室
５において各ロータ６をそれぞれ回転させて、その際に
生じる遠心力により、ロータ６に形成されている複数の
通気路９５を通して、ロータ６の回転中心部からその周
辺部までの間で回転中心部はど低くなるガス分子の密度
分布を作り出し、その作り出された分子密度差をロータ
回転中有効に保持しながら多段排気を行なって、ケーシ
ング１の吸気口２と各室５との間で分子密度差を徐々に
大きくしてゆき、高真空を得ようとするものである。そ
して、その遠心式高真空ポンプは、製作が比較的容易で
あり、高真空から大気まで直接排気することも可能で、
またメンテナンスフリーである等といった数々の利点を
有するものである。

〔発明が解決しようとする問題点〕

ところで、特願昭６２−０２３１５６号明細書及び図面
において開示した遠心式高真空ポンプは、上述したよう
に多くの利点を有するものであるが、ロータ１段当りの
圧縮比を上げるにも自ずと限界があり、従って高真空を
得るためには、ロータ及びそのロータを収納する室を多
段に形成することが必要となる。しかしながら、ロータ
の段数が多くなればなるほど、各ロータを同軸的に保持
する回転駆動軸体の軸長が長くなり、それに伴ってその
軸受構造の設計が難しくなり、それをどのようにするか
といった検討が必要となってくる。また、ロータの段数
が多くなると、各ロータ間におけるバランスをとること
が難しくなるといった製作上の問題も出てくる。さらに
また、ロータ及び室の段数を増やすと、それだけポンプ
が大形化して不利である。

この発明は、以上の事情に鑑みてなされたものであり、
ロータ及び室の１段当りの圧縮比を向上させることを技
術的課題とし、もってロータ及び室の段数を増やすこと
なく高真空を得ることができる高真空ポンプを提供しよ
うとするものである。

〔問題点を解決するための手段〕

この発明は、上述した特願昭６２−０２３１５６号明細
書及び図面において開示した遠心式高真空ポンプにおけ
るロータの構成に一部改良を加えるとともに、そのロー
タを収納する室の構造を変更することにより上記課題を
達成した。

すなわち、まずロータについては、その後面側にも、円
形状薄板にその中央部から遠心方向に向かって周縁まで
複数枚の翼板を等配して固設し、もしくは円形状厚板に
その中央部から遠心方向に向かって周縁まで複数本の溝
を等配して刻設することにより複数の通気路を形成した
。

次に、上記ロータを収納する室については、中央部に回
転駆動軸体より大径の円形孔が形成された仕切壁を、隔
壁の前面またはケーシング後壁の内面と平行にかつ間隔
を設けてケーシングの内周壁面に垂設して、その仕切壁
と隔壁とで挾まれた空間を隔壁の通気孔に流路連絡する
連絡通路とし、かつその仕切壁の前記円形孔の内周縁面
と回転駆動軸体の外周面との間にラビリンスシールを介
装して両面間をシールした。

そして、ロータの直径より大径の円形孔を有する前方円
板部と、この前方円板部と平行にかつ間隔を設けて併設
され回転駆動軸体より大径の円形孔を有する後方円板部
と、ケーシングの内径より小径の短筒部とを一体的に形
成してなる仕切枠を、前方円板部の円形孔の内周縁面と
ロータの外周縁面とを対向させ、短筒部外周面とケーシ
ング内周壁面との間に間隔を設け、後方円板部の前面と
ロータの後面とを近接させかつ後方円板部の後面と前記
仕切壁とを平行にかつ両面間に間隔を設けて室内に配設
するとともに、前方円板部の円形孔内周縁面とロータ外
周縁面とをラビリンスシールを介装して両面間をシール
して、室内を後方円板部の円形孔を介して互いに流路連
絡した外室と内室とに画した。さらに、前記内室の周辺
部空間と前記連絡通路の周辺部空間とを連通管路により
連通させた構成とした。かかる構成により、ロータの前
面側周縁をロータの後面側中央部に連通し、かつ、ロー
タの後面側周縁をロータの側面側の隔壁の通気孔に連通
して、ガス分子がロータの回転によって受ける遠心力で
、ロータの前面側中央部から前面側周縁へ移動後、さら
にロータの後面側中央部から後面側周縁へ移動させられ
るようにし。

ロータの圧縮比を高めた。

〔作　　用〕

上記のように構成されたこの発明の遠心式高真空ポンプ
においては、回転駆動源に連結された回転駆動軸体が回
転すると、ケーシング内部の隔壁によって画された各室
に納設された各ロータが回転し、このロータの回転によ
り生じる遠心力によって、まず、ロータの前面側に形成
されている複数の通気路を通し、ロータの回転中心部か
ら遠心方向に向かってガス分子が再配列され、ロータの
回転中心部からその周辺部までの間で回転中心部に近く
なるほど低くなるガス分子の密度分布が生じる。ロータ
の通気路を通してロータの回転中心部とその周辺部との
間で作り出されたこの分子密度差は、ロータの前面と隔
壁の背面或いはケーシング前壁の内面とが近接している
ので、ロータ回転中有効に保持される。

ロータの前面側において周辺部に放出された排気ガスは
、外室を通って、仕切枠の後方円板部の円形孔から内室
に流入する。そして、この発明の高真空ポンプのロータ
には、その後面側にも複数の通気路が形成されているた
め、ロータの後面側においても、上記した前面側と同様
に、それら複数の通気路を介し、ロータの回転中心部か
ら遠心方向に向かってガス分子の密度分布が生じ、その
作り出された分子密度差は、ロータの後面と後方円板部
の前面とが近接しているため、ロータ回転中有効に保持
される。

内室内においてロータの周辺部に放出された排気ガスは
、連通管路を通って、連絡通路内に流動し、さらに連絡
通路を通り、隔壁中央部の通気孔を介して次の室に流動
する。尚、仕切枠の前方円板部の円形孔内周縁面とロー
タ外周縁面との間、及び仕切壁中央部の円形孔の内周縁
面と回転駆動軸体の外周面との間は、それぞれラビリン
スシールによってシールされているので、異なる流路中
の排気ガス同士が混ざり合うといったことがない。

このように１つの室内において１段のロータにより、そ
の前面側と後面側とで２度、遠心力による排気作用を受
けるので、１段当りの圧縮比を向上させることができる
。

そして、複数の室において多段排気が行なわれ、ケーシ
ングの吸気口と各室との間で分子数の差が徐々に大きく
なってゆき、排気ガスはケーシングの排気口から大気圧
下等へ排気される。

〔実施例〕

以下、この発明の好適な実施例について図面を参照しな
がら説明する６ 第１図は、この発明の１実施例を示し、遠心式高真空ポ
ンプからなる真空排気装置の全体構成を概略的に表わし
た正面断面図である。図に示すように、この装置は、２
つのポンプユニツ）−Ａ、Ｂから構成されていて、ポン
プユニットＡが本発明に係る遠心式高真空ポンプであり
、ポンプユニットＢは前記した従来の遠心式高真空ポン
プである。そして、この真空排気装置は、ケーシング４
８、このケーシング４８の内周壁面に垂設された複数の
隔壁４４．４４′、これら隔壁４４．４４′によってケ
ーシング４８の内部を画することにより形成された複数
の室５０．５０′にそれぞれ納設された複数のロータ３
４．３４’　、これらロータ３４．３４′をそれぞれ同
軸的に保持する回転駆動軸体４２、及びこの回転駆動軸
体４２を回転駆動する高周波モータ２０から構成されて
いる。ケーシング４８は、円筒状をなし、その上端中央
部に、管路を介して真空チャンバー等（いずれも図示せ
ず）と流路接続する吸気口２２が形成され、下端周縁部
に排気口２４が形成されている。隔壁４４．４４′は、
ケーシング４８の軸方向に、それぞれ等間隔（４４と４
４相互の間隔は、４４′　と４４′相互の間隔より広い
）で互いに平行になるよう連設されており、各隔壁４４
，４４１の中央部には通気孔５８．５８′が形成されて
いて、その通気孔５８．５８′を介して隣り合う室５０
．５０′同士が互いに流路連絡している。ロータ３４．
３４′には、後記するように、その前面側及び後面側に
それぞれ、円形状薄板にその中央部から遠心方向に向か
って周縁まで複数枚の翼板を等配して固設するか、或い
は円形状厚板にその中央部から遠心方向に向かって周縁
まで複数本の溝を等配して刻設することにより、複数の
通気路が形成されている。

図中、符号２８．３０は、回転駆動軸体１８の軸部１８
′の軸受部であり、３２はシール部、例えばラビリンス
シールである。

次に、ポンプユニットＡの一部を拡大して示した第２図
に基づき、ロータ及び室のそれぞれの構成についてさら
に詳しく説明する。尚、第２図においては、左半分を斜
視図として表わし、右半分を縦断面図として表わしてい
る。また、第１図においては、ポンプユニットＡにてロ
ータ３４が２段であったが、第２図においては、ロータ
３４が２段以上の場合の、中間のロータとして図示した
。

まず、このロータ３４は、円形状薄板３６の前面に、そ
の薄板３６の中央部から周縁まで翼板３８を複数枚円周
方向に等配して固設するとともに、薄板３６の後面にも
、その薄板３６の中央部から周縁まで翼板３８′　を複
数枚円周方向に等配して固設した円板から構成されてい
る。翼板３８．３８′は一定の厚さを有し、円板の中央
部から遠心方向に向かってそれぞれ放射状に延びた形状
を有している。そして、隣り合う翼板３８．３８′同士
に挟まれた空間４０ａ、４０ｂがそれぞれ通気路となる
。図中、符号４２は回転駆動軸体である。

次に、各隔壁４４によってケーシング４８の内部を画す
ることにより形成された室５０の構成を説明する。室５
０の内部は、まず、隔壁４４の前面側に、その隔壁４４
の前面と平行にかつ間隔を設けて仕切壁５２をケーシン
グ４８の内周壁面に垂設することにより、上記ロータ３
４が収納された空間と、仕切壁５２と隔壁４４とで挾ま
れた空間とに分割されている。仕切壁５２の中央部には
、回転駆動軸体４２より大径の円形孔５４が形成されて
おり、その円形孔５４の内周縁面と回転駆動軸体４２の
外周面との間には、ラビリンスシール５６が介装されて
おり、両面間をシールしている。仕切壁５２と隔壁４４
とで挾まれた空間は、隔壁４４の通気孔５８に流路連絡
しており、連絡通路６０となっている。

また、ロータ３４が収納された側の空間は、さらに、前
方円板部６４と、この前方円板部６４と平行にかつ間隔
を設けて併設された後方円板部６６と、ゲージング４８
の内径より小径の短筒部６８とを一体的に形成してなる
仕切枠６２によって外室７０と内室７２とに区画されて
いる。

前方円板部６４には、ロータ３４の直径より大径の円形
孔７４が形成されており、前方円板部６４は、その円形
孔７４の内周縁面とロータ３４の外周縁面とを対向させ
るとともに、ケーシング４８前壁と平行にかつ間隔を設
けて配置されている。そして、前方円板部６４の円形孔
７４内周縁面とロータ３４外周縁面とは、ラビリンスシ
ール７６を介してシールされている。尚、ロータ３４は
、その前面がケーシング４８の前壁の内面と近接するよ
うに配設されていて、その隙間を通って排気ガスが逆流
しないようにされている。また、排気ガスの逆流を防ぐ
ために、ロータ３４の外周端縁に対向して案内翼板（図
示せず）を配設するようにしてもよい。

また、後方円板部６６には、回転駆動軸体４２より大径
の円形孔７８が形成されており、この円形孔７８を介し
て外室７０と内室７２とは、互いに流路連絡している。

そして、後方円板部６６は、その前面とロータ３４の後
面とを近接させ、かつその後面と仕切壁５２とを平行に
かつ両面間に間隔を設けて配設されている。また、短筒
部６８は、その外周面とケーシング４８内周壁面との間
に間隔を設けて配置されている。そしてさらに、内室７
２と連絡通路６０とが、それぞれの周辺部空間において
連通管路８０によって互いに連通している。

尚、図中の符号２２はケーシング４８前壁の中央部に形
成されている吸気口である。

第１図に示した真空排気装置における動作について簡単
に説明する。高周波モータ２０によって回転駆動軸体４
２が回転させられると、回転駆動軸体４２に機械的に連
結されている全てのロータ３４．３４′　が同一方向に
回転する。これら各ロータ３４．３４′の回転により、
ガス分子に遠心力が作用する。すなわち、ロータ３４で
はロータ３４の前・後面、及びロータ３４′ではロータ
３４″の前面における各通気路４０ａ、４０ｂ、４０′
内において、ロータ３４．３４′の回転中心部からその
周辺部に向かう遠心方向にガス分子の密度分布ができ、
ロータ３４ではその前・後面において、かつロータ３４
′ではその前面においてロータ３４．３４′の中心部に
おける真空度がロータ３４．３４′の外周辺部における
真空度に比べて高められる。

そして、遠心力により通気路の外方端より一旦排出され
たガス分子は、逆戻りすることなく順次排気側の各室へ
移動してゆき、このような過程を繰り返すことにより徐
々に真空排気されて、最終的に吸気口２２に流路接続さ
れた真空チャンバー等において高真空が得られる。尚、
排気ガスは排気口２４から大気圧下等へ排気される。

次に、第２図に従って、ポンプユニットＡをなす本発明
に係る遠心式高真空ポンプにおいて、回転状態にあるロ
ータ等の作用についてさらに詳しく説明する。まず、ケ
ーシング前壁４８中央部の吸気口２２から第１段目の室
５０内に移動してきたガス分子は、第１段目のロータ３
４の回転から受けた遠心力により、そのロータ３４の前
面側に形成されている複数の通気路４０ａにおいて、ロ
ータ３４の回転中心部からその周辺部までの間でしだい
に高くなるガス分子の密度分布が生じる。ロータ３４の
通気路を通してロータ３４の回転中心部とその周辺部と
の間で作り出されたこの分子密度差は、ロータ３４の前
面とケーシング４８前壁の内面とが近接しているので、
ロータ回転中有効に保持される。　次に、ロータ３４の
前面側において周辺部に移動させられたガス分子のうち
、外室７０内を通って仕切枠６２の後方円板部６６の円
形孔７８へ移動したガス分子は、ロータ３４の後面側に
形成されている複数の通気路４０ｂにおいても、前面側
と同様に、ロータ３４の回転中′心部から遠心方向に向
かってしだいに高くなるガス分子の密度分布が生じる。

その作り出された分子密度差は、ロータ３４の後面と後
方円板部６６の前面とが近接しているため、ロータ回転
中有効に保持される。また、ロータ３４の外周縁面と前
方円板部６４の円形孔７４内周縁面とはラビリンスシー
ル７６を介してシールされているので、その間を通して
外室７０及び内室７２のガス分子同士が混ざり合うとい
ったことは起こらない。

そして、内室７２内においてロータ３４の後面側周辺部
に放出されたガス分子のうち、連通管路８０及び連絡通
路６０を通って、隔壁４４中央部の通気孔５８に移動し
たガス分子は次の室５０内にて、以上と同様に、次のロ
ータ３４によって再度遠心力を受ける。なお、仕切壁５
２中央部の円形孔５４の内周縁面と回転駆動軸体４２の
外周面との間もラビリンスシール５６によってシールさ
れているので、この部分を通して異なる流路中の排気ガ
ス同士が混ざり合うといったことはない。

この発明は以上説明したように構成されているが、この
発明の範囲は上記説明並びに図面の内容によって限定さ
れるものではなく、要旨を逸脱しない範囲で種々の変形
実施例をも包含し得る０例えば、ロータとしては、円形
状厚板の前面側中央部に円形状凹部を形成し、その凹部
の局面から厚板の周縁まで、一定深さで一定幅の複数本
の溝を円周方向に等配して刻設し、各溝を通気路とする
とともに、円形状厚板の後面側中央部にも円形状凹部を
形成し、がっ後面にも前面側の溝と同−深さで同一幅の
、正面から見て同一形状の溝を同一本数刻設することに
より通気路を形成したような構成であってもよい。

また、ロータの通気路を形成する翼板、或いは通気路と
なる溝の形状は、単なる放射状でなく、円板の中央部か
ら遠心方向に向がってそれぞれ同一方向に！曲しながら
延びた形状であってもよく、またそれ以外の形状であっ
てもよい。さらにまた、仕切枠の一部をなす短筒部は、
外室内を排気ガスが流れ易くするために断面を曲線状と
しても良い、等である。

〔発明の効果〕

この発明は以上説明したように構成されかつ作用するの
で、この発明の遠心式高真空ポンプによれば、ロータ及
び室の１段当りの圧縮比を向上させることができる結果
、ロータ及び室の段数を増やすことなく高真空を得るこ
とができる。そして、ロータ及び室の段数を少なくする
ことができることから、軸受構造の設計も比較的容易で
、製作に際して各ロータ間におけるバランスをとること
も比較的容易であり、さらに小形化することもできて有
利である。

【図面の簡単な説明】

第１図は、この発明の１実施例を示し、遠心式高真空ポ
ンプの全体構成を概略的に表わした正面断面図、第２図
はこの遠心式高真空ポンプの一部を拡大して示した図で
あって、左半分を斜視図として表わし、右半分を縦断面
図として表わしたもの、第３図は従来の遠心式高真空ポ
ンプの全体構成を概略的に表わした断面図、第４図はそ
のＩＶ−ＩＶ’断面図、第５図及び第６図はロータの別
の構成例を示し、第５図は正面から見た図、第６図はそ
のＶｌ−ＶＩ’断面図である。 ４８・・・ケーシング、　　４４・・・隔壁、５０・・
・室、　　　　　　　３４・・・ロータ、４２・・・回
転駆動軸体、 ２０・・・高周波モータ、　２２・・・吸気口、２４・
・・排気口、　　　　５８・・・通気孔、３６・・・円
形状薄板、　　３８．３８′・・・翼板、４０ａ、４０
ｂ・・・通気路、５２・・・仕切壁、５４．７４．７８
・・・円形孔、 ５６．７６・・・ラビリンスシール、 ６０・・・連絡通路、　　　６２・・・仕切枠、６４・
・・前方円板部、　　６６・・・後方円板部、６８・・
・短筒部、　　　　７０・・・外室、７２・・・内室、
　　　　　８０・・・連通管路。 第１図 第３図 第５図　　　　第６図

Claims (1)

1. 【特許請求の範囲】 １、吸気口（２２）と排気口（２４）を有する円筒状の
   ケーシング（４８）と、このケーシング（４８）の内周
   壁面に垂設されてそれぞれ中央部に通気孔（５８）が形
   成され、ケーシング（４８）の内部をその軸方向に、前
   記各通気孔（５８）を介して互いに流路連絡する複数の
   室（５０）に画する複数の隔壁（４４）と、前面側に、
   円形状薄板（３６）にその中央部から遠心方向に向かっ
   て周縁まで複数枚の翼板（３８）を等配して固設し、も
   しくは円形状厚板（３６）にその中央部から遠心方向に
   向かって周縁まで複数本の溝を等配して刻設することに
   より複数の通気路が形成され、前記ケーシング（４８）
   の各室（５０）にそれぞれ、前面と前記隔壁（４４）の
   背面またはケーシング前壁の内面とを近接させて納設さ
   れた複数のロータ（３４）と、これらロータ（３４）を
   同軸的に保持する回転駆動軸体（４２）と、この回転駆
   動軸体（４２）を回転駆動する回転駆動源（２０）とを
   備えてなる遠心式高真空ポンプにおいて、前記ロータ（
   ３４）の後面側にも、円形状薄板（３６）にその中央部
   から遠心方向に向かって周縁まで複数枚の翼板（３８’
   ）を等配して固設し、もしくは円形状厚板にその中央部
   から遠心方向に向かって周縁まで複数本の溝を等配して
   刻設することにより複数の通気路を形成するとともに、
   ロータ（３４）の後面側と隔壁（４４）との間にロータ
   （３４）の後面側を囲う仕切枠（６２）を設け、ロータ
   （３４）の前面側周縁をロータ（３４）の後面側中央部
   に連通し、かつロータ（３４）の後面側周縁をロータ（
   ３４）の後面側の隔壁（４４）の通気孔（５８）に連通
   することによって、ガス分子がロータ（３４）の回転に
   よって受ける遠心力で、ロータ（３４）の前面側中央部
   から前面側周縁へ移動後、さらにロータ（３４）の後面
   側中央部から後面側周縁へ移動させられるようにしたこ
   とによりロータの圧縮比を高めたことを特徴とする遠心
   式高真空ポンプ。 ２、請求項第１項に記載の遠心式高真空ポンプにおいて
   、仕切枠（６２）は、ロータ（３４）の直径より大径の
   円形孔（７４）を有する前方円板部（６４）と、この前
   方円板部（６４）と平行にかつ間隔を設けて併設され回
   転駆動軸体（４２）より大径の円形孔（７８）を有する
   後方円板部（６６）と、ケーシング（４８）の内径より
   小径の短筒部（６８）とを一体的に形成して構成すると
   ともに、ロータ（３４）の前面側周縁をロータ（３４）
   の後面側中央部に連通し、かつロータ（３４）の後面側
   周縁をロータ（３４）の後面側の隔壁（４４）の通気孔
   （５８）へ連通させるのは、回転駆動軸体（４２）より
   大径の円形孔（５６）が形成された仕切壁（５２）を、
   隔壁（４４）と平行にかつ間隔を設けてケーシング（４
   ８）の内周壁面に垂設して、その仕切壁（５２）と隔壁
   （４４）とで挾まれた空間を隔壁の通気孔（５８）に流
   路連絡する連絡通路（６０）とし、かつその仕切壁（５
   ２）の前記円形孔（５４）の内周縁面と回転駆動軸体（
   ４２）の外周面との間にラビリンスシール（５６）を介
   装して両面間をシールし、前方円板部（６４）の円形孔
   （７４）の内周縁面とロータ（３４）の外周縁面とを対
   向させ、短筒部（６８）外周面とケーシング（４８）内
   周壁面との間に間隔を設け、後方円板部（６６）の前面
   とロータ（３４）の後面とを近接させかつ後方円板部（
   ６６）の後面と仕切壁（５２）とを平行にかつ両面間に
   間隔を設けて配設するとともに、前方円板部（６４）の
   円形孔（７４）内周縁面とロータ（３４）外周縁面とを
   ラビリンスシール（７６）を介装して両面間をシールし
   て、後方円板部（６６）の円形孔（７８）へ流路連絡し
   、さらに内室（７２）と前記連絡通路（６０）とを連通
   管路（８０）によリ連通させたことを特徴とする遠心式
   高真空ポンプ。