JPH01220303A - 非酸化性の鋼製厚膜導体 - Google Patents

非酸化性の鋼製厚膜導体

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JPH01220303A
JPH01220303A JP63277191A JP27719188A JPH01220303A JP H01220303 A JPH01220303 A JP H01220303A JP 63277191 A JP63277191 A JP 63277191A JP 27719188 A JP27719188 A JP 27719188A JP H01220303 A JPH01220303 A JP H01220303A
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acid
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Jerry I Steinberg
ジェリー アイ スタインバーグ
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Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 本発明は、窒素中火入れ可能(f 1reable)で
非酸化性の、はんだ付けが容易な銅製厚膜導体に関する
〔従来の技術〕
ハイブリッドマイクロエレクトロニクス工業においては
、卑金属導体インクの開発が盛んである。
貴金属と比して、銅はコストを低下させるばかりでなく
、貴金属製同等製品の大部分よりも、−段と電気特性に
すぐれている。銅を採用することは、わずかの理由、す
なわち適合した抵抗体の入手可能性、新たな資本設備投
資の必要性、及び加工の困難性といった理由で遅れてい
た。本発明は、これらの問題点のうち後者を解決しよう
とするものである。
シウタ(Siuta)の米国特許第4514321号及
び同第4540604号は、酸化銅の還元剤を含有する
銅組成物を開示している。
グルエル(Grier、 Sr、)の米国特許第407
2771号は、過酸化の銅粒子に基く導体組成物に関す
る。
レリック (Re11ick)の米国特許第43234
83号は、マイクロ波用導体を成形するのに有用な、フ
リットのない銅製導体組成物に関する。
ボロン(Bolon)らの米国特許第3988647号
は、酸化物を含まない銅粒子を用いた銅製導体組成物を
開示している。
ホフマン()1offman)の米国特許第40705
18は、鉛及びビスマスを含有しないフリットを含む銅
製導体に関する。
ミッチェル(Mitchell)の米国特許第4172
919号は、ビスマス高含有のガラスを含む銅製導体類
に関する。
松下電気工業−の日本国特許第62−2405号は、銅
粉、酸化マンガン、酸化銅及びガラスを含む、銅製厚膜
導体用組成物を開示する。
パターリン(Pa t terson)の米国特許第3
929674号は、硼化アルミニウム及び/又は他の硼
化物若しくは珪化物を含有した場合によりすぐれた特性
を示す貴金属(Pt 、 Pd 、 Au 、 Ag 
)製の銅製厚膜導体用組成物に関する。
ホロピッ7 (Horowitz)の米国特許第409
0009号は、Pd/Ag製の電気導体、及び無機バイ
ンダーに関する。該バインダーは、導体/抵抗の界面で
の汚染を減じるため、酸化ビスマスを含有してはならな
い。
ホロビー17 ()lorowitz)の米国特許第4
0(11146号は、(a)銀、若しくは銀とPt S
Pd 、Auの混合物、又はPt5Pd SAu及びA
gの1以上とCuとの合金を含む金属粉、及び(b)酸
化ビスマス及び銅及び/又は鉛の酸化物を含有する、ガ
ラスを含まない無機バインダー、とを含む電気導体に関
する。
ハイデルベルグ(Heidelberg)の米国特許第
3881914号は、酸化銅の還元剤として、リンを含
有する酸を使用することに関する。
従前には、多数回の火入れ後にも良好な接着性、良好な
はんだ付は性、及び良好な伝導性という特性を、さらに
非酸化性という性質とあわせて一度にもちあわせた銅製
導体はなかった。
火入れされた導体は、さらにその表面に加工が施される
間に環境条件で通常は変化、すなわち酸化を受ける。こ
れは引き続くはんだ付は等の操作や、最終的な構成部品
取り付は時に問題となる。
従前には、高価な貴金属類が、短時間には酸化を受けな
いので銅のかわりに用いられた。その代わりに銅を用い
る場合には、きわめて迅速に加工する必要があった。
〔発明が解決しようとする課題〕
本発明の目的は、°良好な接着性を有し、はんだ付は可
能で、かつ環境条件、約50℃の高温での長期間の保存
後、若しくは湿気に短時間さらされた後でもはんだ付は
性が低下しない、銅製厚膜導体を提供することにある。
本発明の他の目的は、銅粒子の完全焼結を可能にし、従
って粒子界面の数を減じ、さらにそれが該銅の好ましか
らざる酸化の防止につながるような、銅製厚膜導体を提
供することにある。
〔課題を解決するための手段〕
上記の意図及び目的とするところ、及び他の利点は、本
発明、すなわち非酸化性の銅製厚膜導体であって、(a
)金属銅粉及び酸化銅粉を含む銅、(b)硼素マンガン
化合物、(c)無機リン酸を含有する酸及び(d)有機
ビヒクルを含み、該硼素マンガン化合物が総導体重量に
対して0゜5から1.5重量%の範囲であり、かつ該リ
ン酸含有量が金属銅粉重量に対し50ないし300pp
mである導体に関する本発明により提供される。
本発明は、室温条件で長期に、若しくは50℃で72時
間経過しても、又は85%RH/85℃で24時間後に
も酸化傾向がなく、はんだ付は可能な清浄な金属表面を
有する、火入れされた銅製フィルムを提供することによ
り、従来の技術の問題点を克服するのに役立つのである
。該組成物は、さらにアルミナ支持体に対して、長時間
経過後(150℃)にも良好な接着性を有する。
火入れされた銅製フィルムにこの特性を与える鍵になる
物質は、硼化マンガン(MnB2)若しくは硼酸マンガ
ン、及びヒポ亜リン酸(H(H,P[12) )若しく
はオル」リン酸(H2PO,)の様な無機リン酸を含有
する酸である。
本発明の厚いフィルム用インクは、細く粉砕された以下
の粒子、すなわち (a)  無機リン酸含有の酸で単層コーティングされ
た、金属銅、 (b)酸化第−銅若しくは酸化第二銅、(c)  IJ
I化マンガン若しくは硼酸マンガン、及ヒ(d)  以
下に示す様な他の添加剤ニガラス製フリット類、酸化ビ
スマス、二酸化鉛、酸化アンチモン若しくは貴金属粉 を含有する。上記成分は、すべてを機ビヒクル中に分散
される。
銅粉の物理的性質は、火入れされたフィルムが、接着性
、はんだ付は性及び高伝導性といった鍵となる特性を有
するのに重要である。銅粉の酸化物含量は、米国特許第
4514321号に記載されている様に、有機ビヒクル
が適切に焼き切れる(burnout)のに重要である
典型的な粒度(セジグララ、sed igraph)は
以下の通りである: 90%が4〜9.0ミクロンより小さく、50%が2〜
7.0ミクロンより小さく、10%が1〜3.0ミクロ
ンより小さい。
該表面積(ペットモノソルブ、BET MONOSOR
B)は0.50から1.20M”/gの範囲とすること
ができる。ベットモノソルブは粉体の表面積を測定する
方法である。その方法は、吸収されたガスで粉体を一層
に被うのに必要はガス体積を測定し、該分子の直径から
表面積を計算することから成る。
タップ(tap)密度は2.5から4.2g/cm”の
範囲とすることができる。
該酸化銅粉の含有量は、導体組成物の総重量に対し、4
ないし10重量%、好ましくは5乃至8重量%の範囲と
することができる。
該金属銅粉は、無機リン酸を答有する酸の単層が被覆さ
れていることが好ましい。該金属銅粉の総量の少なくと
も70%が、その表面に無機リン酸を被覆していること
が好ましい。
該銅酸化物粉末の物理的特性は、良好な接着性、はんだ
付は性及びビヒクルの焼き切りに重要である。900℃
の焼き付は温度で、銅酸化物はアルミナ支持体と反応し
てCuAj!Oaを形成することができ、その結果接着
性の結合を生じる。銅酸化物が少なすぎると接着性が劣
化し、一方多すぎるとはんだ付は性が悪化する。本発明
においては、該銅酸化物粉末は酸化第2銅の形態の粉末
であることが好ましい。本化合物は、窒素雰囲気中、約
700℃の温度でCu2Oに分解する 遊離される酸素は有機ビヒクルの焼き切り(酸化)に役
立ち、その部分の大気を低還元状態にする。
これは、該導体がロードベルト(loaded bel
ts)の様な加工条件に敏感ではなくなるということを
意味しているのである。
該銅酸化物の粒度の好ましい範囲は以下の通りである。
90%が3.0〜8.0ミクロンより小さく、50%が
1.5〜4.0ミクロンより小さく、10%が1.0〜
2.5ミクロンより小さい。
該銅酸化物の好ましい表面積の範囲は、2ないし5m’
/gである。
該硼素マンガン化合物、例えば硼化マンガン若しくは硼
酸マンガンは、無機リン酸と協力して、火入れされたフ
ィルムに非酸化性の表面と接着性を与える。本発明に用
いられるマンガン硼素化合物の量は、導体組成物の総重
量に対して0.5ないし1.5重量%、好ましくは導体
組成物の総重量に対して0.7ないし1.2%である。
X線回折分析によれば、窒素雰囲気中で900℃で火入
れした後には、MnB2が銅酸化物を金属銅に還元して
いることが示されている。この結果に基づけば、以下の
反応が起きていると推察される。
MnBz+3CuO−+6Cu+Mn+B2O3特別の
反応性理論に拘泥するのではないが、該マンガンは、銅
フィルムに含浸するのに役立つ液層焼結補助剤として作
用するものと思われる。同時に、該リン酸は以下のタイ
プの反応に携わるものと思われる。
2 H(H4F 02) + Cu20−2Cu+Pz
Oi”2H*O↑ 若しくは 3HzP04 →3HtO+P10@ 該P20.及びB!0.の両者は、優れたガラス成型剤
であるが、組み合わされて低融点ガラスを形成し、以下
の2つの鍵となる役割をはたすものと思われる。すなわ
ち、 (1)  CuzOを溶解し、その結果CuA1!on
の生成速度を加速し、 (2)導体表面に移り、保護層を形成する。
この保護層は、火入れされた導体表面の酸化を防止する
。はんだ付は工程で容易に溶解し、清浄な銅表面がはん
だでぬれる様にできる。
該硼素マンガン化合物の表面積は、好ましくは0、5な
いし3.0m”/gである。
リン酸類や亜リン酸類の様な、いかなるリン酸でも、所
望の効果を得ることができる。銅酸化物の還元剤となる
こと、また、コーティング剤として銅粉に添加された場
合には火入れ前、及び厚いフィルム用インクに混入され
る前に銅粉を酸化から防止することから、亜リン酸類が
好ましい。
以下のリン酸類及び亜リンMW4を本発明で用いること
ができる。
ユl敢皿        皿工Z敢皿 ヒポ H4Pt0h・2H20ヒポH(H!PO□)メ
タ HPO,メタHPO□ オルトH3P0.        オルトHz (HP
Oz)ジフルオロHtPOtFt     ピロHaP
zOiリン酸の含有量は、金属銅粉重量に対して、好ま
しくは50ないし300ppn+であり、特に好ましく
は70ないし150ppmである。
本発明で用いることができる他の無機添加剤は、例えば
銀、ガラスフリフト、酸化ビスマス、酸化鉛等、銅製厚
膜導体を製造する技術に於て周知の添加剤ならばいかな
るものでもよい。その様な添加物の物理的性状は重要で
はない。
本発明で用いられるガラスフリフトは、厚いフィルム用
インクで通常用いられるものである。それらは、典型的
には、ZnO,BizOz+ al、o、、 CdO+
Te0z+ Cub、 Cu2O,Ti0z+ Naz
O,Cab、 SrO及びBaOの様な改質剤が添加さ
れた鉛硼珪酸系のものである。
本発明で用いられる他の添加剤の例としては、例えばN
ip、 MgO,MnO,ZnO及びCdOの様に、ア
ルミナ支持体と共にスピネル(spinel)型化合物
を形成し、接着を促進する酸化物を挙げることができる
が、これらに限定されることはない。本発明に用いるこ
とができる他の添加剤は、PbO及びBi2O3の様な
、ガラス溶融剤として作用するものである。pbo、若
しくはBad、 Ba (NOz) z又はPb(NO
z)zの様な、有機ビヒクルの焼結を補助する物質も、
本発明で添加剤として用いることができる。
本発明に用いられる好適な有機ビヒクルとしては、かな
り低い温度(約400℃ないし500℃)で完全に揮発
する有機ビヒクルを挙げることができる。この基準に適
合する不活性液体は、いかなるものでも使用できる。
種々の有機溶媒を、増粘剤及び/又は安定化剤及び/又
は他の添加剤と共に、若しくはそれら無しに、本発明で
用いることができる。本発明で用いることができる有機
溶媒の例としては、8ないし15個の炭素原子数を有す
るアルコール類及びアルコールのエステル類を挙げるこ
とができる。
その様なアルコール類の例としては以下のもの、すなわ
ちアルコール類 “テキサノール(TEXANOL)”
及びテルピネオールを挙げることができるが、これらに
限定されることはない。本発明で用いることができる他
の有機溶媒としては、パイン油の様なテルペン類;ジブ
チル、ジオクチル、ジメチル若しくはジブチルエチルの
様なフタル酸エステル類を挙げることができる。該ビヒ
クルの主要な使用目的は、印刷工程の間で、スクリーン
の透過を補助することにある。これらの有機溶媒は、イ
ンクを増粘してその結果透過性を下げて引き続く印刷上
の問題を引きおこす揮発性を最小限にし、スクリーン上
に数時間留まっていられる様に、充分に低い蒸気圧を有
するものでなければならない。
該有機溶媒は、それら単独でも、若しくは特に組みあわ
せて用いる場合にも、溶解し、若しくは(村脂をゲル化
するものでなければならない。該樹脂は、アルクリ酸エ
ステル樹脂及び/又はエチルセルロースが好ましいが、
適切な有機溶媒と併用する場合に良好なスクリーン印刷
特性を与えるものならば、いかなる樹脂も本発明で用い
ることができる。
以下に本発明を実施例で説明するが、本発明はこれらに
限定されることはない。
(実施例) 実施例1ないし5及び比較例1ないし7を第1表にまと
めて示した。以下は、本実施例の簡単な要約である。
実施例の一般的手順 実施例中で用いた無機物の粉体は、まずホバー) (H
obart)遊星形ミキサーを用い、その後三本ロール
練り機を用いて、機械的に有機媒体中に分散した。分散
の程度は、ベグマンゲージを用いて測定した。本装置は
、鋼のブロック中にある深さ25ミクロンから0に変化
する溝から構成されている。インクを液溝に吹きかける
。インクの凝集塊の大きさがその溝の深さよりも大きい
部分では、刃を引きよせるとペースト中にひっかき傷が
生じる。典型的には、よく分散されたペーストでは、1
2ミクロンより下で50%ポイント(液溝が半分ひっか
き傷で被・われだ場合と定義される)となる。
上記分散インクを、ひき続いてアルミナ基板上にスクリ
ーン印刷した。溶媒を除くために110゜〜130℃で
約10分間乾燥した後、該部品をベルト炉に入れた。該
ベルト炉は、通常900℃±10℃を頂点とする、調節
された温度分布を有する。総火入れ時間は40ないし7
0分間継続した。
上記炉には、銅を著しい酸化から守るために、典型的に
はN2である非酸化性雰囲気を1〜2Qppmの酸素と
ともに入れた。該火入れ工程は、個々の粉体を焼結、若
しくは密にする様に行われ、接着性、はんだ付は性及び
伝導性の様な目的とする特性を持つようにするために化
学反応を引きおこすのである。
火入れ後、該部品の緒特性を試験した。接着性は、20
個のゲージ−錫前処理ワイヤーを80ミルX80ミルの
パッドに、′アルファ611”フラックス(“アルファ
611”はアルファメタルズ(Alpha Metal
s)インコーホ1/−,ド、シャーシーシティ−1−ユ
ーンヤージー、米国、の商品名である)を用いて220
℃から230℃までの温度で、62 Sn/ 36  
Pb/ 2 Ag若しくは63  Sn/ 37 Pb
はんだ中、10秒間はんだ浸漬して接着することにより
測定した。
その後、該ワイヤーを基板から90°の角度に曲げて、
基板からはずれるまで引っばった。ワイヤーをはずすの
に必要は力を接着性とした。経時接着性は、はんだ付け
した部品をオーブン中で150℃に100時間置装た後
、上記と同様に測定した。
はんだ付は性は、はんだ中に該部品を浸漬し、該部品を
融解したはんだの上で10秒間予備加熱し、その後10
秒間該はんだ中に浸して、測定した。該部品を取り出し
、清浄してその後検査した。
はんだ付は性は80X80ミルパツドの上に得られるは
んだ被覆のパーセントで測定した。
火入れした該銅部品の表面を150℃で48時間の経時
処理前に及び後に目視で検査した。色が変わっていない
場合には、部品は酸化していなかった。赤茶色、若しく
は変色が生じた場合には、部品は酸化されたものとした
実施例1 本実施例は、無機リン酸をコーティングした銅粉、Mn
B2を用いたものである。
表面の酸化はなく、卓越したはんだ付は性と接着性を示
した。
比較例1 何らのコーティングもしていない銅粉、MnB2を用い
た。
接着性が悪く、表面は酸化された。
比較例2 有機剤コーティングを施した銅粉、MnB2を用いた。
接着性が悪く、表面は酸化された。
比較例3 銅粉に無機リン酸をコーティングし、MnB。
を用いなかった。
実施例1、及び比較例1ないし3により、無機リン酸の
コーティング及びMnB、が、3種の特性、すなわちは
んだ付は性、接着性及び表面の非酸化性のすべての特性
に必要であることが明らかである。
比較例4 無機リン酸をコーティングした銅粉とBを用いた。
接着性が悪く、表面は酸化された。
比較例5 無機リン酸をコーティングした銅粉とM n B 2を
用いた。
表面は酸化された。
比較例6 無機リン酸をコーティングした銅粉とNi3Bを用いた
表面は酸化された。
比較例4ないし6より、MnBzのみが非酸化表面を与
えることがわかる。
比較例7 無機リン酸をコーティングした銅粉、大量の(2%)M
nB2を用いた。
接着性が悪かった。
本比較例は、MnB2の上限を示したものである。
実施例2 無機リン酸をコーティングした銅粉、M n B 2、
Agを用いた。
卓越したはんだ付は性、接着性及び表面の非酸化性を示
した。
実施例3 無機リン酸をコーティングした銅粉、MnBz、ガラス
フリットを用いた。
良好なはんだ付は性、接着性、表面の非酸化性を示した
実施例4 無機リン酸をコーティングした銅粉、MnBz、PbO
□を用いた。
卓越したはんだ付は性、接着性及び表面の非酸化性を示
した。
実施例2ないし4は、他の添加剤を用いることができる
という事実を示した。
実施例5 無機リン酸をコーティングした銅粉を80%、コーティ
ングしていない銅粉を20%とMnB、を用いた。
卓越した接着性、はんだ付は性を示した。
実施例5は、無機リン酸コーティングされた銅粉がわず
か80%でさえ、卓越した特性が得られることを示した
ものである。
上記詳細な説明及び特許請求の範囲は、実施例により裏
付けられるが、これらに限定されることはなく、また本
発明の目的及び範囲を変更することなく種々の修飾及び
変更をすることもできる。

Claims (13)

    【特許請求の範囲】
  1. (1)非酸化性の銅製厚膜導体であって、 (a)金属銅粉及び酸化銅粉を含む銅、 (b)硼素マンガン化合物、 (c)無機リン酸を含有する酸、及び (d)有機ビヒクル を含み、該硼素マンガン化合物が総導体重量に対して0
    .5から1.5重量%の範囲であり、かつ該リン酸含有
    量が金属銅粉重量に対し50ないし300ppmである
    導体。
  2. (2)該硼素マンガン化合物が、硼化マンガン及び硼酸
    マンガンから成る群より選ばれる、請求項1記載の銅製
    厚膜導体。
  3. (3)該酸化銅粉が、酸化第一銅及び酸化第二銅から成
    る群より選ばれる、請求項1記載の銅製厚膜導体。
  4. (4)該金属銅粉が1層の該無機リン酸を含有する酸で
    コーティングされた、請求項3記載の銅製厚膜導体。
  5. (5)総金属銅の少なくとも70%が、該無機リン酸で
    コーティングされた、請求項4記載の銅製厚膜導体。
  6. (6)該酸化銅が、総導体重量に対して4から10重量
    %の範囲である、請求項3記載の銅製厚膜導体。
  7. (7)該酸化銅が、総導体重量に対して5から8重量%
    の範囲である、請求項3記載の銅製厚膜導体。
  8. (8)該金属銅粉の表面積が0.50ないし1.20m
    ^2/gであり、かつタップ密度が2.5ないし4.2
    g/cm^2である、請求項3記載の銅製厚膜導体。
  9. (9)該酸化銅の表面積が2ないし6m^2/gである
    、請求項3記載の銅製厚膜導体。
  10. (10)該無機リン酸を含有する酸が、ヒポ亜リン酸、
    メタ亜リン酸、オルト亜リン酸、ピロ亜リン酸、ピポリ
    ン酸、メタリン酸、オルトリン酸及びジフルオロリン酸
    から成る群から選ばれる、請求項1記載の銅製厚膜導体
  11. (11)該硼素マンガン化合物の表面積が0.5ないし
    3.0m^2/gである、請求項1記載の銅製厚膜導体
  12. (12)該硼素マンガン化合物が総導体重量に対して0
    .7から1.2重量%の範囲である、請求項1記載の銅
    製厚膜導体。
  13. (13)該リン酸含有量が、該金属銅粉重量に対して7
    0ないし150ppmある、請求項1記載の銅製厚膜導
    体。
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