JPH01220910A - 弾性表面波共振装置 - Google Patents
弾性表面波共振装置Info
- Publication number
- JPH01220910A JPH01220910A JP4605488A JP4605488A JPH01220910A JP H01220910 A JPH01220910 A JP H01220910A JP 4605488 A JP4605488 A JP 4605488A JP 4605488 A JP4605488 A JP 4605488A JP H01220910 A JPH01220910 A JP H01220910A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- surface acoustic
- acoustic wave
- electrode
- wave resonator
- excitation
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Landscapes
- Surface Acoustic Wave Elements And Circuit Networks Thereof (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
［発明の目的］
（産業上の利用分野）
本発明は、弾性表面波共振装置に関する。
（従来の技術）
近年、ＶＨＦ、ＵＨＦ帯用の発振子や狭帯域フィルタと
して、弾性表面波共振装置の開発が進められている。
して、弾性表面波共振装置の開発が進められている。
これは、第３図に示すように、圧電基板１上に一対の櫛
歯電極２ａ、２ｂを交差してなる励振電極（インターデ
ィジタル電極）２を形成するとともに、この励振電極２
の両側にこれを挟むようにグレーティング反射器３を形
成して成り、励振電極２から励振され圧電基板１上を両
方向に伝搬する弾性表面波が、グレーティング反射器３
の間で繰返し反射され定在波を生じるように構成されて
いる。
歯電極２ａ、２ｂを交差してなる励振電極（インターデ
ィジタル電極）２を形成するとともに、この励振電極２
の両側にこれを挟むようにグレーティング反射器３を形
成して成り、励振電極２から励振され圧電基板１上を両
方向に伝搬する弾性表面波が、グレーティング反射器３
の間で繰返し反射され定在波を生じるように構成されて
いる。
ところで、このような共振装置を電圧制御発振器の発振
子として利用する場合には、広帯域での可変を可能にす
るため、容量比が小さく低インピーダンスのものが望ま
れ、そのために励振電極２における櫛歯電極２ ａ ｓ
２ ｂの電極指の交差長を長くする必要がある。
子として利用する場合には、広帯域での可変を可能にす
るため、容量比が小さく低インピーダンスのものが望ま
れ、そのために励振電極２における櫛歯電極２ ａ ｓ
２ ｂの電極指の交差長を長くする必要がある。
、一般に、励振電極２の各電極指の交差長が一定のもの
は正規型の弾性表面波共振装置と呼ばれており、このよ
うなタイプのものでは、交差長を長くすると、基本モー
ド以外に高次横モードが生じ、これが共振周波数の高域
側でスプリアスとして悪影響を及ぼすという問題があっ
た。
は正規型の弾性表面波共振装置と呼ばれており、このよ
うなタイプのものでは、交差長を長くすると、基本モー
ド以外に高次横モードが生じ、これが共振周波数の高域
側でスプリアスとして悪影響を及ぼすという問題があっ
た。
このような問題を解決するために、最近は、第３図に示
したように、励振電極２において櫛歯電極２ａ、２ｂの
交差長が一方のグレーティング反射器３に向って次第に
短くなるように、かつ交差部の外形が余弦曲線を描くよ
うに、アボダイズ法によって電極指の重み付けを行った
弾性表面波共振装置が開発されている。
したように、励振電極２において櫛歯電極２ａ、２ｂの
交差長が一方のグレーティング反射器３に向って次第に
短くなるように、かつ交差部の外形が余弦曲線を描くよ
うに、アボダイズ法によって電極指の重み付けを行った
弾性表面波共振装置が開発されている。
そして、このような弾性表面波共振装置においては、励
振電極２における励振効率を中心部で最大となるように
変えることによって、弾性表面波エネルギー分布を基本
モードと一致させ、高次横モードが発生しないように構
成されている。また交差長の短い部分では、弾性表面波
の位相が乱れないように、励振には寄与しないダミー電
極４がｗＪｍ電極２ ａ ｓ ２ ｂの電極指と対向し
て設けられており、伝搬する弾性表面波が一定の面積の
金属膜を経験するように構成されている。
振電極２における励振効率を中心部で最大となるように
変えることによって、弾性表面波エネルギー分布を基本
モードと一致させ、高次横モードが発生しないように構
成されている。また交差長の短い部分では、弾性表面波
の位相が乱れないように、励振には寄与しないダミー電
極４がｗＪｍ電極２ ａ ｓ ２ ｂの電極指と対向し
て設けられており、伝搬する弾性表面波が一定の面積の
金属膜を経験するように構成されている。
さらに従来から、第４図に示すように、櫛歯電極２ａ％
２ｂの交差部の外形が励振電極２の中心から両側に向
って対称的な余弦曲線を描くように重み付けを行った弾
性表面波共振装置も知られている。
２ｂの交差部の外形が励振電極２の中心から両側に向
って対称的な余弦曲線を描くように重み付けを行った弾
性表面波共振装置も知られている。
しかしながら、このような第３図および第４図にそれぞ
れ示された弾性表面波共振装置においては、正規型の弾
性表面波共振装置で現われていた高次横モードのスプリ
アスは抑制されるが、第５図に示すように、励振電極２
の端部とグレーティング反射器３との間に非対称な電界
がかかるため、非対称的な高次横モードが励振されてし
まうという問題があった。そしてこのよ、うな高次横モ
ードの励振は、第６図の共振子における通過特性を表わ
すグラフで示すように、共振周波数近傍の高域側で、か
つ正規型で励振された高次横モードのスプリアスより共
振周波数に近い周波数の位置に、スプリアス（Ｓ）を発
生させ、特性を低下させていた。そのため、このような
弾性表面波共振装置を電圧制御発振器の発振子として使
用し、インダクタンス領域すなわち共振−反共振周波数
間を利用する場合には、前述のスプリアス（Ｓ）がある
ために正規型よりさらに周波数可変幅が狭くなってしま
うという問題があった。
れ示された弾性表面波共振装置においては、正規型の弾
性表面波共振装置で現われていた高次横モードのスプリ
アスは抑制されるが、第５図に示すように、励振電極２
の端部とグレーティング反射器３との間に非対称な電界
がかかるため、非対称的な高次横モードが励振されてし
まうという問題があった。そしてこのよ、うな高次横モ
ードの励振は、第６図の共振子における通過特性を表わ
すグラフで示すように、共振周波数近傍の高域側で、か
つ正規型で励振された高次横モードのスプリアスより共
振周波数に近い周波数の位置に、スプリアス（Ｓ）を発
生させ、特性を低下させていた。そのため、このような
弾性表面波共振装置を電圧制御発振器の発振子として使
用し、インダクタンス領域すなわち共振−反共振周波数
間を利用する場合には、前述のスプリアス（Ｓ）がある
ために正規型よりさらに周波数可変幅が狭くなってしま
うという問題があった。
（発明が解決しようとする課題）
上述したように、従来からの弾性表面波共振装置におい
ては、共振周波数の高域側の近傍でスプリアスが生じる
ため、電圧制御発振器に使用した場合に、広帯域の周波
数可変ができないという問題があった。
ては、共振周波数の高域側の近傍でスプリアスが生じる
ため、電圧制御発振器に使用した場合に、広帯域の周波
数可変ができないという問題があった。
本発明はこのような問題を解決するためになされたもの
で、高次横モードのスプリアスの発生が抑制され広帯域
周波数可変が可能な電圧制御発振器用弾性表面波共振装
置を提供することを目的とする。
で、高次横モードのスプリアスの発生が抑制され広帯域
周波数可変が可能な電圧制御発振器用弾性表面波共振装
置を提供することを目的とする。
［発明の構成］
（課題を解決するための手段）
本発明の弾性表面波共振装置は、圧電基板と、この圧電
基板上に形成された複数の電極指からなる櫛歯電極を交
差してなる励振電極と、前記基板上に形成され前記励振
電極を挟むように配置されたグレーティング反射器とか
らなる弾性表面波共振装置において、前記グレーティン
グ反射器に最も近い前記励振電極では、交差長が最大に
なるように電極指の重み付けがなされ、かつ前記交差部
と対向してダミー電極を配置したことを特徴としている
。
基板上に形成された複数の電極指からなる櫛歯電極を交
差してなる励振電極と、前記基板上に形成され前記励振
電極を挟むように配置されたグレーティング反射器とか
らなる弾性表面波共振装置において、前記グレーティン
グ反射器に最も近い前記励振電極では、交差長が最大に
なるように電極指の重み付けがなされ、かつ前記交差部
と対向してダミー電極を配置したことを特徴としている
。
（作 用）
本発明の弾性表面波共振装置においては、櫛歯電極の交
差長が最もグレーティング反射器に近い電極で最大にな
るように重み付けがなされているので、励振電極の一方
の櫛歯電極からの電極指が電極開口長の大部分を塞ぐこ
とになる。したがって、このような励振電極とグレーテ
ィング反射器との間で非対称的な励振が生じることがな
く、高次横モードのスプリアスが抑制される。
差長が最もグレーティング反射器に近い電極で最大にな
るように重み付けがなされているので、励振電極の一方
の櫛歯電極からの電極指が電極開口長の大部分を塞ぐこ
とになる。したがって、このような励振電極とグレーテ
ィング反射器との間で非対称的な励振が生じることがな
く、高次横モードのスプリアスが抑制される。
また圧電基板上の櫛歯電極交差部に対向する位置に、ダ
ミー電極が配置されているので、伝搬する弾性表面波の
位相が乱れることがない。
ミー電極が配置されているので、伝搬する弾性表面波の
位相が乱れることがない。
（実施例）
以下、本発明の実施例の詳細を図面に基づいて説明する
。
。
第１図は本発明の弾性表面波共振装置の一実施例を示す
正面図である。
正面図である。
同図において、符号５はＬＩＴａＯ３、ＬＩＮｂｏ ３
あるいは水晶等からなる圧電基板を示し、この圧電基板
５上には、複数の電極指（ＢＱＩ）からなる櫛歯電極６
ａ、６ｂを交差してなる励振電極６が、Ａβ等の蒸着膜
のフォトエツチング法によって形成されており、この励
振電極６の両側にはそれぞれグレーティング反射器７が
同様な方法によって形成されている。
あるいは水晶等からなる圧電基板を示し、この圧電基板
５上には、複数の電極指（ＢＱＩ）からなる櫛歯電極６
ａ、６ｂを交差してなる励振電極６が、Ａβ等の蒸着膜
のフォトエツチング法によって形成されており、この励
振電極６の両側にはそれぞれグレーティング反射器７が
同様な方法によって形成されている。
そしてグレーティング反射器７の線幅は、それぞれ弾性
表面波の波長λのｌ／４の寸法となっており、このよう
な指が波長λの１／２のピッチで配列されている。また
、励振電極６における櫛歯電極の交差長は、中心からグ
レーティング反射器７に近付くにしたがって両側に対称
的に長くなり、両端で最大になるように構成されており
、交差部の外形が余弦曲線の一部を描くような電極指の
形状となっている。
表面波の波長λのｌ／４の寸法となっており、このよう
な指が波長λの１／２のピッチで配列されている。また
、励振電極６における櫛歯電極の交差長は、中心からグ
レーティング反射器７に近付くにしたがって両側に対称
的に長くなり、両端で最大になるように構成されており
、交差部の外形が余弦曲線の一部を描くような電極指の
形状となっている。
さらに櫛歯電極６ａ、６ｂ間の交差部以外の部分には、
弾性表面波の位相の乱れを防ぐために、交差した電極指
と対向してそれぞれダミー電極８が配置されている。
弾性表面波の位相の乱れを防ぐために、交差した電極指
と対向してそれぞれダミー電極８が配置されている。
このように構成された実施例の弾性表面波共振装置にお
いては、励振電極６の最端の電極指がそれぞれ最も長く
、電極開口部の大部分の長さを占有して延出しているの
で、この励振電極６とグレーティング反射器７との間で
非対称的な励振が引起こされることがなく、高次横モー
ドによるスプリアスの発生が抑制される。したがって、
この弾性表面波共振装置を電圧制御発振器の発振子とし
て使用した場合には、これをインダクタンスとして利用
することができる領域が広がり、周波数の可変幅を拡大
することができる。
いては、励振電極６の最端の電極指がそれぞれ最も長く
、電極開口部の大部分の長さを占有して延出しているの
で、この励振電極６とグレーティング反射器７との間で
非対称的な励振が引起こされることがなく、高次横モー
ドによるスプリアスの発生が抑制される。したがって、
この弾性表面波共振装置を電圧制御発振器の発振子とし
て使用した場合には、これをインダクタンスとして利用
することができる領域が広がり、周波数の可変幅を拡大
することができる。
第２図は本発明の他の実施例を示すもので、励振電極６
における櫛歯電極は、中心から所定の位置まで両側に対
称的に交差長が減少しており、再び端部に向かって交差
長が増大するように重み付けがなされ、中心および両端
で交差長が最大になり、かつ交差部の外形が余弦曲線を
描くようにアボダイズ法によって電極指の重み付けを行
っている。
における櫛歯電極は、中心から所定の位置まで両側に対
称的に交差長が減少しており、再び端部に向かって交差
長が増大するように重み付けがなされ、中心および両端
で交差長が最大になり、かつ交差部の外形が余弦曲線を
描くようにアボダイズ法によって電極指の重み付けを行
っている。
このような構成の弾性表面波共振装置にすることにより
、電気機械の結合度の強い部分に交差長の長い櫛歯電極
が位置するため、励振効率が良く、共振子の性能を劣化
させることなく高次横モードによるスプリアスの発生を
抑制できる。
、電気機械の結合度の強い部分に交差長の長い櫛歯電極
が位置するため、励振効率が良く、共振子の性能を劣化
させることなく高次横モードによるスプリアスの発生を
抑制できる。
なお、以上の実施例では励振電極６とグレーティング反
射器７とを電気的に絶縁した構造のものについて説明し
たが、本発明はこのような構造に限定されず、励振電極
の最端部の電極指側のブスバーとグレーティング反射器
のショートブスバーを電気的に接続した構造としてもよ
い。
射器７とを電気的に絶縁した構造のものについて説明し
たが、本発明はこのような構造に限定されず、励振電極
の最端部の電極指側のブスバーとグレーティング反射器
のショートブスバーを電気的に接続した構造としてもよ
い。
このような構造の共振装置では、励振電極の端部の電極
指とグレーティング反射器が同電位となるため、これら
の間に励振が起こらず、高次横モードのスプリアスが完
全に抑制される。
指とグレーティング反射器が同電位となるため、これら
の間に励振が起こらず、高次横モードのスプリアスが完
全に抑制される。
さらに本発明の弾性表面波共振装置においては、グレー
ティング反射器を各反射電極指がショートブスバーで接
続されていない形状としても、同様な効果をあげること
ができる。
ティング反射器を各反射電極指がショートブスバーで接
続されていない形状としても、同様な効果をあげること
ができる。
［発明の効果］
以上の説明から明らかなように、本発明の弾性表面波共
振装置によれば、高次横モードのスプリアスの発生がな
い共振を生起することができる。
振装置によれば、高次横モードのスプリアスの発生がな
い共振を生起することができる。
したがって、これを電圧制御発振器の発振子として利用
した場合には、広帯域の周波数の可変が可能となる。
した場合には、広帯域の周波数の可変が可能となる。
第１図は本発明の弾性表面波共振装置の一実施例を示す
平面簡略図、第２図は本発明の弾性表面波共振装置の他
の実施例を示す平面簡略図、第３図および第４図はそれ
ぞれ従来の弾性表面波共振装置の平面簡略図、第５図は
従来の弾性表面波共振装置における励振エネルギー分布
のモードを説明するための図、第６図は従来の弾性表面
波共振装置における励振エネルギーの通過特性を示すグ
ラフである。 １．５・・・・・・・・・圧電基板 ２ａｑ ２ｂｑ ６ａ、 ６ｂ−・・櫛歯電極２．６・
・・・・・・・・励振電極 ３．７・・・・・・・・・グレーティング反射器４．８
・・・・・・・・・ダミー電極 出願人 株式会社 東芝 代理人 弁理士 須 山 佐 − 慎３図 第４図
平面簡略図、第２図は本発明の弾性表面波共振装置の他
の実施例を示す平面簡略図、第３図および第４図はそれ
ぞれ従来の弾性表面波共振装置の平面簡略図、第５図は
従来の弾性表面波共振装置における励振エネルギー分布
のモードを説明するための図、第６図は従来の弾性表面
波共振装置における励振エネルギーの通過特性を示すグ
ラフである。 １．５・・・・・・・・・圧電基板 ２ａｑ ２ｂｑ ６ａ、 ６ｂ−・・櫛歯電極２．６・
・・・・・・・・励振電極 ３．７・・・・・・・・・グレーティング反射器４．８
・・・・・・・・・ダミー電極 出願人 株式会社 東芝 代理人 弁理士 須 山 佐 − 慎３図 第４図
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 圧電基板と、この圧電基板上に形成された複数の電極指
からなる櫛歯電極を交差してなる励振電極と、前記基板
上に形成され前記励振電極を挟むように配置されたグレ
ーティング反射器とからなる弾性表面波共振装置におい
て、 前記グレーティング反射器に最も近い前記励振電極では
、交差長が最大になるように電極指の重み付けがなされ
、かつ前記交差部と対向してダミー電極を配置したこと
を特徴とする弾性表面波共振装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP4605488A JPH01220910A (ja) | 1988-02-29 | 1988-02-29 | 弾性表面波共振装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP4605488A JPH01220910A (ja) | 1988-02-29 | 1988-02-29 | 弾性表面波共振装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH01220910A true JPH01220910A (ja) | 1989-09-04 |
Family
ID=12736309
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP4605488A Pending JPH01220910A (ja) | 1988-02-29 | 1988-02-29 | 弾性表面波共振装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH01220910A (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2012084953A (ja) * | 2010-10-07 | 2012-04-26 | Panasonic Corp | 弾性波素子と、これを用いた分波器 |
| JP2013538500A (ja) * | 2010-08-12 | 2013-10-10 | エプコス アクチエンゲゼルシャフト | 周波数の温度依存性が低減した、弾性波で動作する素子、およびその製造方法 |
| JP2015109688A (ja) * | 2015-01-15 | 2015-06-11 | スカイワークス・パナソニック フィルターソリューションズ ジャパン株式会社 | 分波器 |
-
1988
- 1988-02-29 JP JP4605488A patent/JPH01220910A/ja active Pending
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2013538500A (ja) * | 2010-08-12 | 2013-10-10 | エプコス アクチエンゲゼルシャフト | 周波数の温度依存性が低減した、弾性波で動作する素子、およびその製造方法 |
| US9160303B2 (en) | 2010-08-12 | 2015-10-13 | Epcos Ag | Component working with acoustic waves having reduced temperature coefficient of frequencies and method for producing same |
| JP2012084953A (ja) * | 2010-10-07 | 2012-04-26 | Panasonic Corp | 弾性波素子と、これを用いた分波器 |
| JP2015109688A (ja) * | 2015-01-15 | 2015-06-11 | スカイワークス・パナソニック フィルターソリューションズ ジャパン株式会社 | 分波器 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| KR100679195B1 (ko) | 탄성 표면파 공진자 및 탄성 표면파 필터 | |
| EP0897218B1 (en) | Surface acoustic wave filter | |
| US5977686A (en) | Surface acoustic wave filter | |
| JP3863712B2 (ja) | 弾性表面波共振器 | |
| US5010269A (en) | SAW resonator having a broad bandwidth | |
| US4249146A (en) | Surface acoustic wave resonators utilizing harmonic frequencies | |
| JP3950611B2 (ja) | 弾性表面波共振器 | |
| US4742319A (en) | Surface-acoustic-wave resonator | |
| JP3651291B2 (ja) | 弾性表面波装置 | |
| US11606079B2 (en) | Transducer structure for source suppression in saw filter devices | |
| US6346761B1 (en) | Surface acoustic wave device capable of suppressing spurious response due to non-harmonic higher-order modes | |
| JP3890740B2 (ja) | 弾性表面波導波路構造及びそれを用いたデバイス | |
| JPH05347535A (ja) | 弾性表面波フィルタ装置 | |
| US6335584B1 (en) | Edge reflection type surface acoustic wave device | |
| JP3322413B2 (ja) | 表面波共振器 | |
| JPH10261935A (ja) | 弾性表面波素子 | |
| JPH0832397A (ja) | 弾性表面波装置 | |
| JPH0728195B2 (ja) | 弾性表面波共振子 | |
| CN119543877B (zh) | 一种温度补偿型声表面波谐振器及滤波器 | |
| JP2753352B2 (ja) | 弾性表面波二重モードフィルタとそれを用いた通信装置 | |
| JP3098423B2 (ja) | 弾性表面波フィルタ | |
| JPH0450652Y2 (ja) | ||
| JPH0452005B2 (ja) | ||
| EP3796555A1 (en) | Transducer structure for an acoustic wave device | |
| JPH08125490A (ja) | 多重モード弾性表面波フィルター |