JPH0450652Y2 - - Google Patents

Description

【考案の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 この考案は、弾性表面波を用いた共振器に関す
るものである。

〔従来の技術〕

第８図は従来の弾性表面波共振器を示す図で、
第８図ａは平面図、第８図ｂは第８図ａのAA′を
通る平面による断面図、第８図ｃは第８図ｂの一
部断面図である。これらの図は、たとえば
proceedings of the IEEE，vol.67，No.１，Jan.，
1979，pp.147−158に示された図に相当し、これ
らの図において１は圧電体基板で弾性表面波の伝
ぱん媒体である。２はすだれ状電極、３は弾性表
面波の反射器として動作するグレーテイング、４
はグレーテイング３を形成するため、基板１の表
面に設けられた溝、５はリード線である。すだれ
状電極２は圧電体基板１上に蒸着した金属膜をエ
ツチング加工して形成される。

一方のすだれ状電極２に振動電圧を加えると、
圧電体基板１表面に加えられた振動電圧波形に対
応する弾性表面波が発生する。この弾性表面波振
動が基板１の表面に沿つて伝搬する。この伝搬に
当つて構４の入口と出口では伝搬媒体の特性が異
なるのでこれらの点で反射される。多くの溝４の
入口点及び出口点において反射された反射波がす
べて同位相で加わるような周波数（共振周波数と
いう）の反射波が最大の強さですだれ状電極２ま
で帰りここで電気振動に変換される。この共振周
波数から少し異なる周波数では、各溝４の入口点
及び出口点で反射波は互に少しずつ異なつた位相
で加わるため、全体としては反射波が相殺される
結果になる。すなわち、共振周波数においてだ
け、グレーテイング３で多重反射をくり返し定在
波が生じる。この定在波の波腹（loop）に当る位
置にすだれ状電極２を配置して誘起電圧を取り出
すと、低損失で、狭帯域な、すなわちＱの高い通
過特性を得ることができる。

〔考案が解決しようとする問題点〕

従来の弾性表面波共振器は以上のように構成さ
れているので、共振周波数は圧電体基板１上のす
だれ状電極２及びグレーテイング３の構造寸法に
よつて決定され、外部から共振周波数を微細に調
整することができないという問題点があつた。

この考案は上記のような問題点を解決するため
になされたもので、外部から共振周波数を微細に
調整することが可能な弾性表面波共振器を得るこ
とを目的としている。

〔問題点を解決するための手段〕

この考案ではグレーテイングによる弾性振動体
にすだれ状電極を介して電気回路を結合し、この
結合した電気回路の回路定数を調整することによ
つて共振周波数の微細調整を行つた。

〔作用〕

圧電気現象を介して電気振動に変換することの
できる弾性振動の振動回路を等価な電気回路で表
わすことは従来よく知られている方法である。し
たがつて弾性振動の存在するグレーテイングにす
だれ状電極を介して電気回路を結合し、その電気
回路定数を調整することにより、弾性振動の等価
回路である電気回路の回路定数を調整し、共振周
波数を微細に調整することができる。

〔実施例〕

以下この考案の実施例を図面について説明す
る。第１図はこの考案の一実施例を示す図面で、
第１図ａは平面図、第１図ｂは第１図ａのAA′断
面図、第１図ｃは第１図ｂのＢ部拡大図である。
これらの図面において第８図と同一符号は同一又
は相当部分を示し、６は外部電気回路である。ま
た、第１図においてすだれ状電極２は第８図に示
す２対のすだれ状電極２の他にグレーテイング３
に結合する２対のすだれ状電極２が設けられ、こ
れら２対のすだれ状電極は並列に外部電気回路６
に接続される。外部電気回路６はコイル、コンデ
ンサ、又はコイルとコンデンサを組み合せその回
路定数を変化することができるリアクテイブな素
子から構成される。

第１図に示す弾性表面波共振器における共振現
象は先に第８図について説明したと同様である
が、グレーテイング３の一部にすだれ状電極２を
介して外部電気回路６が結合されているため、グ
レーテイング３の部分の弾性表面波振動がその部
分のすだれ状電極２に振動電圧を誘起し、この振
動電圧によつて外部電気回路６に振動電流が流
れ、この振動電流によつてすだれ状電極２間の電
圧が定まり、この定まつた電圧によつて逆にその
部分のグレーテイング３に弾性表面波振動を発生
させることになるので、外部電気回路６の回路定
数を変化して其処に流れる振動電流を変化させる
グレーテイング３における弾性表面波振動の振動
位相が変化し、したがつて外部電気回路６の回路
定数を調整することにより共振周波数を微細に調
整することができる。

外部電気回路６に接続されるすだれ状電極２の
動作としては、先に説明したように、圧電体基板
１上を伝搬する弾性表面波振動のために、圧電体
基板１の圧電効果によつて圧電体基板１上に発生
している振動電圧を導出して外部電気回路６に加
え、かつ、すだれ状電極２間の振動電圧を圧電体
基板１に加えて表面弾性波振動を発生させること
ができればよいので、この動作が可能な範囲内
で、どのような位置にどのようなすだれ状電極を
形成して外部電気回路６に接続してもよい。以
下、第１図に示す実施例とは異なるこの考案の各
種の実施例について説明するが、この考案におい
て、外部電気回路６に接続されるすだれ状電極の
形状、構造及び配設位置は、以下に説明する実施
例に示されるものに限定されるものではない。

第２図はこの考案の他の実施例を示す平面図
で、第１図と同一符号は同一又は相当部分を示
し、第１図の実施例では外部電気回路６に結合す
るすだれ状電極２は溝４の部分を避けて設けた
が、第２図に示す実施例では溝４の部分に設け
た。

第３図はこの考案の他の実施例を示す平面図で
第１図と同一符号は同一又は相当部分を示し、こ
の実施例では外部電気回路６に接続されるすだれ
状電極２が溝４の一部にかかる位置に形成され
る。

第４図はこの考案の他の実施例を示す平面図で
第１図と同一符号は同一又は相当部分を示し、こ
の実施例では信号の入出力に用いられるすだれ状
電極２の部分にも溝４が設けられ、この部分でも
弾性表面波を反射するグレーテイングが形成され
ている。

第５図はこの考案の他の実施例を示す平面図
で、第４図と同一符号は同一又は相当部分を示
し、第４図の実施例ではすだれ状電極２は溝４を
避けて設けられているが、第５図の実施例ではす
だれ状電極２は溝４内に設けられる。

第６図はこの考案の他の実施例を示す平面図で
第１図と同一符号は同一又は相当部分を示し、こ
の実施例では外部電気回路６を２個設け、この２
個の外部電気回路６にそれぞれ接続されるすだれ
状電極２を設けた例である。

第７図はこの考案の他の実施例を示す平面図で
図において第１図と同一符号は同一又は相当部分
を示し、この実施例は１端子対の弾性表面波共振
器に対しこの考案を応用した場合の実施例を示し
ている。

第２図乃至第７図に示す実施例においても、第
１図に示す実施例と同じく、外部電気回路６の調
整により共振周波数を微細に調整できることは明
らかである。

なお、以上説明したすべての実施例ではすだれ
状電極２として電極の交差幅が一定のいわゆる正
規形のものを用いた場合について示したが、交差
幅に重み付けした、いわゆるアポダイズ形のもの
を用いてもよい。またグレーテイング３の溝４の
長さや幅や深さが各溝４ごとに異なる弾性表面波
共振器の構造もあるが、この考案はこのような構
造の弾性表面波共振器にも適用することができ
る。

〔考案の効果〕

以上のように、この考案によればグレーテイン
グ３の部分にすだれ状電極２を形成し、これを外
部電気回路６に接続し、外部電気回路６の回路定
数を変化することにより共振周波数を微調できる
ようにしたので、弾性表面波共振器の製作後にそ
の共振周波数を精密に調整することができるとい
う利点がある。

【図面の簡単な説明】

第１図はこの考案の一実施例を示す図、第２
図、第３図、第４図、第５図、第６図及び第７図
はそれぞれこの考案の他の実施例を示す平面図、
第８図は従来の弾性表面波共振器を示す図。 １は圧電体基板、２はすだれ状電極、３はグレ
ーテイング、４は溝、５はリード線、６は外部電
気回路。尚、図中同一符号は同一又は相当する部
分を示す。

Claims (1)

1. 【実用新案登録請求の範囲】 圧電体基板上に構成され、入力電気振動を圧電
   体基板上の弾性表面波振動に変換し、弾性表面波
   振動を出力電気振動に変換する第１のすだれ状電
   極と、上記圧電体基板上を伝搬する弾性表面波を
   反射するよう圧電体基板に形成されるグレーテイ
   ングとを有する弾性表面波共振器において、 上記グレーテイングを多数の溝から構成し、上
   記グレーテイングに結合する第２のすだれ状電極
   を、上記グレーテイングの上記第１のすだれ状電
   極に近い領域に形成し、上記第２のすだれ状電極
   に接続され、その回路定数を変化することができ
   る外部電気回路を備えたことを特徴とする弾性表
   面波共振器。