JPH01221892A - 多色発光ｅｌディスプレイ装置 - Google Patents
多色発光ｅｌディスプレイ装置Info
- Publication number
- JPH01221892A JPH01221892A JP63046192A JP4619288A JPH01221892A JP H01221892 A JPH01221892 A JP H01221892A JP 63046192 A JP63046192 A JP 63046192A JP 4619288 A JP4619288 A JP 4619288A JP H01221892 A JPH01221892 A JP H01221892A
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- phosphor
- multicolor
- display device
- layer
- striped
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- Granted
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Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
産業上の利用分野
本発明は、薄型多色発光ＥＬディスプレイ装置に関する
ものであり、とりわけ製造し易く、安定性が優れた多色
表示可能なＥＬディスプレイ装置に関する。
ものであり、とりわけ製造し易く、安定性が優れた多色
表示可能なＥＬディスプレイ装置に関する。
従来の技術
近年、コンピュータ端末などに用いるフラットディスプ
レイ装置として、薄型ＥＬディスプレイ装置が盛んに研
究されている。その中でもＥＬディスプレイ装置の多色
化の研究は、将来のディスプレイとしての位置付けを左
右するため、現在量も多くの力が注がれている。従来、
多色発光ＥＬディスプレイ装置は、フォトリソグラフィ
ー技術を用いて、蛍光体薄膜の形成、蛍光体薄膜上への
フォトレジストパターンの形成、および蛍光体薄膜の不
要部のエツチングによる除去を繰り返すことにより発光
色の興なる蛍光体薄膜を所望のパターンに配置すること
により形成されていた（特開昭６１−２６０５９４号公
報）。
レイ装置として、薄型ＥＬディスプレイ装置が盛んに研
究されている。その中でもＥＬディスプレイ装置の多色
化の研究は、将来のディスプレイとしての位置付けを左
右するため、現在量も多くの力が注がれている。従来、
多色発光ＥＬディスプレイ装置は、フォトリソグラフィ
ー技術を用いて、蛍光体薄膜の形成、蛍光体薄膜上への
フォトレジストパターンの形成、および蛍光体薄膜の不
要部のエツチングによる除去を繰り返すことにより発光
色の興なる蛍光体薄膜を所望のパターンに配置すること
により形成されていた（特開昭６１−２６０５９４号公
報）。
発明が解決しようとする課題
従来のフォトリソグラフィー技術を用いて同一基板状に
所望の形状に、互いに発光色が異なる複数種の発光体層
を形成した場合、フォトマスクの若干の位置ずれや、エ
ツチング量の若干の多少により異種蛍光体層の隣接部分
に凹部や凸部が生じ、その部分で電極断線や絶縁破壊が
長期駆動中に発生しやすいという問題点があった。
所望の形状に、互いに発光色が異なる複数種の発光体層
を形成した場合、フォトマスクの若干の位置ずれや、エ
ツチング量の若干の多少により異種蛍光体層の隣接部分
に凹部や凸部が生じ、その部分で電極断線や絶縁破壊が
長期駆動中に発生しやすいという問題点があった。
課題を解決するための手段
同一平面内に、発光色が異なる２種以上の蛍光体膜を配
置した多色発光ＥＬディスプレイ装置において、電界が
印加されない部分で発光色が異なる蛍光体膜が互いに重
なり合い、かつ重なり合う部分の蛍光体膜のエッヂ部は
テーパー形状を有する構成にする。
置した多色発光ＥＬディスプレイ装置において、電界が
印加されない部分で発光色が異なる蛍光体膜が互いに重
なり合い、かつ重なり合う部分の蛍光体膜のエッヂ部は
テーパー形状を有する構成にする。
作用
電界が印加されない部分で発光色が異なる蛍光体膜が互
いに重なり合い、かつ重なり合う部分の蛍光体膜のエッ
ヂ部はテーパー形状を有する構成にすることにより異種
蛍光体層の隣接部分に凹部や凸部が発生せず、そのため
長期間の駆動においても電極断線や絶縁破壊がな（安定
性が優れた多色ＥＬディスプレイ装置を実現できた。
いに重なり合い、かつ重なり合う部分の蛍光体膜のエッ
ヂ部はテーパー形状を有する構成にすることにより異種
蛍光体層の隣接部分に凹部や凸部が発生せず、そのため
長期間の駆動においても電極断線や絶縁破壊がな（安定
性が優れた多色ＥＬディスプレイ装置を実現できた。
実施例
第１図に本発明の多色発光ＥＬディスプレイ装置の一実
施例を説明するための断面図を示す。ガラス基板１上に
スパッタリング法により厚さ２００ｎｍの錫添加酸化イ
ンジウム（ＩＴＯ）薄膜を形成した。ＩＴＯ薄膜をホト
リソグラフィ技術を用いて加工することによりストライ
プ状の透明電極２を形成した。その上に、酸素を１０％
含むアルゴン雰囲気中で５ｒＴｉ（ｈセラミックターゲ
ットを高周波スパッタリングすることにより、厚さ３０
０ｎｍの第１絶縁体層３を形成した。第１絶縁体層３の
上にはｌ×１Ｏ−２Ｔｏｒｒの圧力で硫化水素を５％含
むアルゴン雰囲気中、２５０’Ｃの基板温度で、フッ化
テルビウム（ＴｂＦｓ ）を２モル％含むＺｎＳ焼結体
をターゲットとして高周波スパッタリングすることによ
り、厚さ５００ｎＩのｚｎＳ：Ｔｂ、Ｆがら成る蛍光体
膜を成膜した。その後フォトリソグラフィ技術を用いて
蛍光体膜上にレジストパターンを形成後、ボストベーク
温度を少し高（することによりレジストエッヂ部をテー
パー状にした。その後アルゴンイオンを用いてイオンビ
ームエツチングすることによりテーパー形状のエッヂを
有するストライブ状緑色蛍光体膜４を形成した。その上
に電子ビーム加熱真空蒸着法により、厚さ６００ｎｍの
ＣａＳ ： Ｅｕから成る蛍光体膜を成°膜し、緑色蛍
光体膜４を形成した場合と同様のフォトリソグラフィ技
術を用いてテーパー形状のエッヂを有するストライブ状
の赤色用蛍光体層５を形成した。さらにその上に電子ビ
ーム加熱真空蒸着法により、厚さ６００ｒｖ＋のＳｒＳ
：Ｃｅから成る蛍光体膜を成膜し、同様のフォトリソグ
ラフィ技術を用いてストライプ状の青色用蛍光体層６を
形成し、その後真空中５００℃で１時間熱処理を行った
。蛍光体層４．５．６の上には電子ビーム蒸着法により
厚さ２００ｎｍの酸化イツトリウム（Ｙｓ ０３ ）か
らなる第２絶縁体層７、および厚さ２００ｎｍのＡＩか
らなるストライプ状の背面電極８を順次形成した。
施例を説明するための断面図を示す。ガラス基板１上に
スパッタリング法により厚さ２００ｎｍの錫添加酸化イ
ンジウム（ＩＴＯ）薄膜を形成した。ＩＴＯ薄膜をホト
リソグラフィ技術を用いて加工することによりストライ
プ状の透明電極２を形成した。その上に、酸素を１０％
含むアルゴン雰囲気中で５ｒＴｉ（ｈセラミックターゲ
ットを高周波スパッタリングすることにより、厚さ３０
０ｎｍの第１絶縁体層３を形成した。第１絶縁体層３の
上にはｌ×１Ｏ−２Ｔｏｒｒの圧力で硫化水素を５％含
むアルゴン雰囲気中、２５０’Ｃの基板温度で、フッ化
テルビウム（ＴｂＦｓ ）を２モル％含むＺｎＳ焼結体
をターゲットとして高周波スパッタリングすることによ
り、厚さ５００ｎＩのｚｎＳ：Ｔｂ、Ｆがら成る蛍光体
膜を成膜した。その後フォトリソグラフィ技術を用いて
蛍光体膜上にレジストパターンを形成後、ボストベーク
温度を少し高（することによりレジストエッヂ部をテー
パー状にした。その後アルゴンイオンを用いてイオンビ
ームエツチングすることによりテーパー形状のエッヂを
有するストライブ状緑色蛍光体膜４を形成した。その上
に電子ビーム加熱真空蒸着法により、厚さ６００ｎｍの
ＣａＳ ： Ｅｕから成る蛍光体膜を成°膜し、緑色蛍
光体膜４を形成した場合と同様のフォトリソグラフィ技
術を用いてテーパー形状のエッヂを有するストライブ状
の赤色用蛍光体層５を形成した。さらにその上に電子ビ
ーム加熱真空蒸着法により、厚さ６００ｒｖ＋のＳｒＳ
：Ｃｅから成る蛍光体膜を成膜し、同様のフォトリソグ
ラフィ技術を用いてストライプ状の青色用蛍光体層６を
形成し、その後真空中５００℃で１時間熱処理を行った
。蛍光体層４．５．６の上には電子ビーム蒸着法により
厚さ２００ｎｍの酸化イツトリウム（Ｙｓ ０３ ）か
らなる第２絶縁体層７、および厚さ２００ｎｍのＡＩか
らなるストライプ状の背面電極８を順次形成した。
本実施例の多色ＥＬディスプレイ装置のストライプ状の
透明電極２とストライプ状の背面電極８との間に交流電
圧を印加することにより、これらの電極の交差部分の蛍
光体層を発光させることができ、ガラス基板１を通して
赤色、緑色、青色の三原色を用いて、カラー画像を表示
することができた。
透明電極２とストライプ状の背面電極８との間に交流電
圧を印加することにより、これらの電極の交差部分の蛍
光体層を発光させることができ、ガラス基板１を通して
赤色、緑色、青色の三原色を用いて、カラー画像を表示
することができた。
第２図は本発明の他の実施例を説明するための断面図を
示す。
示す。
本実施例では、第１絶縁体層１３の上には、■×１Ｏ−
２Ｔｏｒｒの圧力で硫化水素を５％含むアルゴン雰囲気
中２５０℃の基板温度で、ＴｂＦｓを２モル％含むＺｎ
Ｓ焼結体をターゲットとして高周波スパッタリングする
ことにより、厚さ５００ｎｍのＺｎＳ：Ｔｂ、Ｆから成
る蛍光体膜を成膜し、その上に７オトレジストによる蛍
光体膜の汚染を防ぐための酸化タンタルからなる厚さ１
００ｒｖの保護絶縁体層１９を形成した。その後フォト
リソグラフィ技術を用いて保護絶縁体層１９上にレジス
トパターンを形成後、ボストベーク温度を少し高くする
ことによりレジストエッヂ部をテーパー状にした。その
後アルゴンイオンを用いてイオンビームエツチングする
ことによりテーパー形状のエッヂを有するストライブ状
緑色蛍光体膜１４を形成した。その上に電子ビーム加熱
真空蒸着法により、厚さ６００ｎｍのＣａＳ：Ｅｕから
成る蛍光体膜と厚さ１００ｎｏ＋の酸化タンタルからな
る保護絶縁体層２０を形成し、緑色蛍光体膜１４を形成
した場合と同様のフォトリソグラフィ技術を用いてテー
パー形状のエッヂを有するストライブ状の赤色用蛍光体
層１５を形成した。このとき保護絶縁体層１９は、赤色
用蛍光体層１５をイオンビームエツチングする際のスト
ッパー層としても機能した。同様の手段によりテーパー
形状のエッヂを有するストライブ状の青色用蛍光体層１
６および保護絶縁体層２１を形成した。その後真空中５
００℃で１時間熱処理を行った。保護絶縁体層１９．２
０．２１の上には電子ビーム蒸着法により厚さ２００ｎ
ｍの酸化イツトリウム（Ｙ２０３ ）からなる第２絶縁
体層１７、および厚さ２００ｎｍのＡＩからなるストラ
イブ状の背面電極１８を順次形成した。
２Ｔｏｒｒの圧力で硫化水素を５％含むアルゴン雰囲気
中２５０℃の基板温度で、ＴｂＦｓを２モル％含むＺｎ
Ｓ焼結体をターゲットとして高周波スパッタリングする
ことにより、厚さ５００ｎｍのＺｎＳ：Ｔｂ、Ｆから成
る蛍光体膜を成膜し、その上に７オトレジストによる蛍
光体膜の汚染を防ぐための酸化タンタルからなる厚さ１
００ｒｖの保護絶縁体層１９を形成した。その後フォト
リソグラフィ技術を用いて保護絶縁体層１９上にレジス
トパターンを形成後、ボストベーク温度を少し高くする
ことによりレジストエッヂ部をテーパー状にした。その
後アルゴンイオンを用いてイオンビームエツチングする
ことによりテーパー形状のエッヂを有するストライブ状
緑色蛍光体膜１４を形成した。その上に電子ビーム加熱
真空蒸着法により、厚さ６００ｎｍのＣａＳ：Ｅｕから
成る蛍光体膜と厚さ１００ｎｏ＋の酸化タンタルからな
る保護絶縁体層２０を形成し、緑色蛍光体膜１４を形成
した場合と同様のフォトリソグラフィ技術を用いてテー
パー形状のエッヂを有するストライブ状の赤色用蛍光体
層１５を形成した。このとき保護絶縁体層１９は、赤色
用蛍光体層１５をイオンビームエツチングする際のスト
ッパー層としても機能した。同様の手段によりテーパー
形状のエッヂを有するストライブ状の青色用蛍光体層１
６および保護絶縁体層２１を形成した。その後真空中５
００℃で１時間熱処理を行った。保護絶縁体層１９．２
０．２１の上には電子ビーム蒸着法により厚さ２００ｎ
ｍの酸化イツトリウム（Ｙ２０３ ）からなる第２絶縁
体層１７、および厚さ２００ｎｍのＡＩからなるストラ
イブ状の背面電極１８を順次形成した。
本実施例の多色ＥＬディスプレイ装置のストライブ状の
透明電極１２とストライブ状の背面電極１８との間に交
流電圧を印加することにより、これらの電極の交差部分
の蛍光体層を発光させることができ、ガラス基板１１を
通して赤色、緑色、青色の三原色を用いて、カラー画像
を表示することができた。また、前記第１の実施例の多
色ＥＬディスプレイ装置と比較してより高輝度に安定に
発光し、再現性よく製造できた。
透明電極１２とストライブ状の背面電極１８との間に交
流電圧を印加することにより、これらの電極の交差部分
の蛍光体層を発光させることができ、ガラス基板１１を
通して赤色、緑色、青色の三原色を用いて、カラー画像
を表示することができた。また、前記第１の実施例の多
色ＥＬディスプレイ装置と比較してより高輝度に安定に
発光し、再現性よく製造できた。
前記２つの実施例では、蛍光体層の加工にイオンビーム
エツチングを用いたが、エツチング液やフォトレジスト
を選択することにより湿式エツチング法によってもテー
パー状のエッヂに加工できた。
エツチングを用いたが、エツチング液やフォトレジスト
を選択することにより湿式エツチング法によってもテー
パー状のエッヂに加工できた。
第２の実施例において保護絶縁体膜としては酸化タンタ
ルをもちいたが、他の酸化物薄膜や窒化珪素などの窒化
物薄膜を用いてもフォトレジストによる蛍光体膜の汚染
を防止する効果やエツチング時のストッパー層としての
効果があった。
ルをもちいたが、他の酸化物薄膜や窒化珪素などの窒化
物薄膜を用いてもフォトレジストによる蛍光体膜の汚染
を防止する効果やエツチング時のストッパー層としての
効果があった。
発明の効果
本発明によれば、製造し易（、安定性が優れた多色表示
可能なＥＬディスプレイ装置を提供することができ実用
的価値は大きい。
可能なＥＬディスプレイ装置を提供することができ実用
的価値は大きい。
第１図は本発明の１実施例を説明するための多色発光Ｅ
Ｌディスプレイ装置の断面図、第２図は本発明の他の実
施例を説明するための多色発光ＥＬディスプレイ装置の
断面図を示す。 １．１１・・・ガラス基板、２，１２・・・透明電極、
３，１３・・・第１絶縁体層、４，５゜６．１４．１５
．１６・・・蛍光体層、７．１７・・・第２絶縁体層、
８．１８・・・背面電極、１９．２０．２１・・・保護
絶縁体層。
Ｌディスプレイ装置の断面図、第２図は本発明の他の実
施例を説明するための多色発光ＥＬディスプレイ装置の
断面図を示す。 １．１１・・・ガラス基板、２，１２・・・透明電極、
３，１３・・・第１絶縁体層、４，５゜６．１４．１５
．１６・・・蛍光体層、７．１７・・・第２絶縁体層、
８．１８・・・背面電極、１９．２０．２１・・・保護
絶縁体層。
Claims (2)
- （１） 同一平面内に、発光色が異なる２種以上の蛍光
体膜を配置した多色発光ＥＬディスプレイ装置において
、電界が印加されない部分で発光色が異なる蛍光体膜が
互いに重なり合い、かつ重なり合う部分の蛍光体膜のエ
ッヂ部はテーパー形状を有することを特徴とする多色発
光ＥＬディスプレイ装置。 - （２） 少なくともテーパー形状のエッヂ部を除く蛍光
体膜上には、フォトレジストによる蛍光の体膜の汚染を
防ぐための薄膜が形成されていることを特徴とする請求
項１記載の多色発光ＥＬディスプレイ装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP63046192A JPH07118387B2 (ja) | 1988-02-29 | 1988-02-29 | 多色発光ｅｌディスプレイ装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP63046192A JPH07118387B2 (ja) | 1988-02-29 | 1988-02-29 | 多色発光ｅｌディスプレイ装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH01221892A true JPH01221892A (ja) | 1989-09-05 |
| JPH07118387B2 JPH07118387B2 (ja) | 1995-12-18 |
Family
ID=12740192
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP63046192A Expired - Fee Related JPH07118387B2 (ja) | 1988-02-29 | 1988-02-29 | 多色発光ｅｌディスプレイ装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH07118387B2 (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH04504923A (ja) * | 1987-05-20 | 1992-08-27 | プレイナー システムス インコーポレーテッド | 多色ｔｆｅｌパネルの形成方法 |
Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS61260594A (ja) * | 1985-05-15 | 1986-11-18 | 松下電器産業株式会社 | 多色発光ｅｌ素子の製造法 |
| JPS629995A (ja) * | 1985-07-08 | 1987-01-17 | Fuji Photo Film Co Ltd | 平版印刷版用版面保護剤 |
-
1988
- 1988-02-29 JP JP63046192A patent/JPH07118387B2/ja not_active Expired - Fee Related
Patent Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS61260594A (ja) * | 1985-05-15 | 1986-11-18 | 松下電器産業株式会社 | 多色発光ｅｌ素子の製造法 |
| JPS629995A (ja) * | 1985-07-08 | 1987-01-17 | Fuji Photo Film Co Ltd | 平版印刷版用版面保護剤 |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH04504923A (ja) * | 1987-05-20 | 1992-08-27 | プレイナー システムス インコーポレーテッド | 多色ｔｆｅｌパネルの形成方法 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH07118387B2 (ja) | 1995-12-18 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |