JPH01225002A - アークランプ冷却方法 - Google Patents
アークランプ冷却方法Info
- Publication number
- JPH01225002A JPH01225002A JP63050716A JP5071688A JPH01225002A JP H01225002 A JPH01225002 A JP H01225002A JP 63050716 A JP63050716 A JP 63050716A JP 5071688 A JP5071688 A JP 5071688A JP H01225002 A JPH01225002 A JP H01225002A
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- JP
- Japan
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- arc lamp
- light emitting
- lamp
- rotation
- cooling air
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- Granted
Links
- 238000001816 cooling Methods 0.000 title claims abstract description 14
- 238000007664 blowing Methods 0.000 claims abstract description 3
- 230000005855 radiation Effects 0.000 claims description 4
- 229910001507 metal halide Inorganic materials 0.000 abstract description 10
- 150000005309 metal halides Chemical class 0.000 abstract description 10
- 230000005494 condensation Effects 0.000 abstract description 3
- 238000009833 condensation Methods 0.000 abstract description 3
- 230000002093 peripheral effect Effects 0.000 abstract 2
- 239000002184 metal Substances 0.000 description 6
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 4
- 238000000034 method Methods 0.000 description 4
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 3
- 238000006243 chemical reaction Methods 0.000 description 2
- 230000008961 swelling Effects 0.000 description 2
- 230000009172 bursting Effects 0.000 description 1
- 238000007796 conventional method Methods 0.000 description 1
- 238000005516 engineering process Methods 0.000 description 1
- 229910052736 halogen Inorganic materials 0.000 description 1
- 150000002367 halogens Chemical class 0.000 description 1
- 238000004904 shortening Methods 0.000 description 1
Landscapes
- Arrangement Of Elements, Cooling, Sealing, Or The Like Of Lighting Devices (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
本発明は、主として露光機の光源として使用されるアー
クランプ、特に効率良く発光させるために必要な温度の
範囲が限定されている１例えばメタルハライドアークラ
ンプ等に有効な冷却方法に関するものである。
クランプ、特に効率良く発光させるために必要な温度の
範囲が限定されている１例えばメタルハライドアークラ
ンプ等に有効な冷却方法に関するものである。
従来、露光機の光源として、 ２０ｍｍ〜３０ｍｍの短
発光長に、数キロワットの電力を送るメタルハライドア
ークランプが使用されている。このアークランプにおい
て、露光に適した紫外線を放射させるには１発光部を冷
却して管球内を一定気圧に保つ必要がある。この発光部
を冷却する手段として。
発光長に、数キロワットの電力を送るメタルハライドア
ークランプが使用されている。このアークランプにおい
て、露光に適した紫外線を放射させるには１発光部を冷
却して管球内を一定気圧に保つ必要がある。この発光部
を冷却する手段として。
従来５発光部の放射面と反対側をファンによって冷却し
ていた。
ていた。
しかし、こうした従来の方法であると１発光部の片側し
か冷却することが出来ない。その結果。
か冷却することが出来ない。その結果。
管球の内圧が高くなり、露光に必要な紫外線を放射させ
ることが困難であるだけでなく、管球が破裂したり、又
、いわゆるふくらしが発生する。さらに２発光部内に封
入されたメタルが冷却され。
ることが困難であるだけでなく、管球が破裂したり、又
、いわゆるふくらしが発生する。さらに２発光部内に封
入されたメタルが冷却され。
片側のみで凝縮して、ランプ照度の低下をおこしたり、
又、ハロゲンが凝縮して冷却された側の面が失透し、ラ
ンプの寿命を著しく縮めることになる。
又、ハロゲンが凝縮して冷却された側の面が失透し、ラ
ンプの寿命を著しく縮めることになる。
本胤明は、こうした問題に鑑み創案されたもので、主と
して短発光長のメタルハライドアークランプにおいて、
その発光部の全体を均等に冷却することによって温度お
よび内圧を一定に保ち、必要な露光 に適した紫外線を放射させると共に、破裂やふくらし等
の発生を防止して寿命の延長を図るための冷却方法を提
供するものである。
して短発光長のメタルハライドアークランプにおいて、
その発光部の全体を均等に冷却することによって温度お
よび内圧を一定に保ち、必要な露光 に適した紫外線を放射させると共に、破裂やふくらし等
の発生を防止して寿命の延長を図るための冷却方法を提
供するものである。
そのため、メタルハライドアークランプ１をその周方向
に回転させながら１発光部２の紫外線放射面の反対側に
冷却用の送風をすることとした。
に回転させながら１発光部２の紫外線放射面の反対側に
冷却用の送風をすることとした。
又、アークランプ１の回転を９周方向に対して正逆交互
にほぼ半回転させることとしても良い。
にほぼ半回転させることとしても良い。
本発明は、アークランプ１をその周方向に回転させなが
ら、その発光部２放射面の反対側に冷却風を当てること
としたので１発光部２はその全体が均等に冷却されるこ
ととなる。
ら、その発光部２放射面の反対側に冷却風を当てること
としたので１発光部２はその全体が均等に冷却されるこ
ととなる。
又、アークランプ１を周方向に対して正逆交互にほぼ半
回転させることとした場合においても。
回転させることとした場合においても。
発光部２の全域が均等に冷却されるものである。
第１図は２本発明方法によって冷却される短発光長のメ
タルハライドアークランプ１を示すものである。これは
、全長が約２３０ ｍｍ程度で、ロングアークとショー
トアークとの中間で１発光端子間の距離が３０ｍｍ程度
のいわゆるコンバク１−型である。
タルハライドアークランプ１を示すものである。これは
、全長が約２３０ ｍｍ程度で、ロングアークとショー
トアークとの中間で１発光端子間の距離が３０ｍｍ程度
のいわゆるコンバク１−型である。
第２図と第３図に１本発明の一実施例を示す。
これは、アークランプ１をその周方向に対して正逆交互
にほぼ半回転させると共に、固定したファン３から送風
し、ランプ１発光部２の全域に均等に冷却風を当てて均
一に冷却させるものである。
にほぼ半回転させると共に、固定したファン３から送風
し、ランプ１発光部２の全域に均等に冷却風を当てて均
一に冷却させるものである。
アークランプ１は、その一端が、モーター５の回転を半
回転運動に変換する変換機構６によって半回転運動を行
う保持具４に連結され、他端部が軸受けによって支持さ
れることによって９周方向に対して正逆交互にほぼ半回
転するものである。この場合の電力供給は、アークラン
プ１を正逆交互に半回転させるものなので２通常の接続
線を介して行うことが出来る。
回転運動に変換する変換機構６によって半回転運動を行
う保持具４に連結され、他端部が軸受けによって支持さ
れることによって９周方向に対して正逆交互にほぼ半回
転するものである。この場合の電力供給は、アークラン
プ１を正逆交互に半回転させるものなので２通常の接続
線を介して行うことが出来る。
第４図に他の実施例を示す。これは、アークランプ１を
その周方向の一方向に連続回転するものである。この場
合、アークランプ１に対する電力供給は接続線によるこ
とが出来ないので、第５図に示すようにアークランプ１
の端部に金具８を嵌合すると共に、その金具８に摺接す
るスナップリング７を用いて電力を供給している。
その周方向の一方向に連続回転するものである。この場
合、アークランプ１に対する電力供給は接続線によるこ
とが出来ないので、第５図に示すようにアークランプ１
の端部に金具８を嵌合すると共に、その金具８に摺接す
るスナップリング７を用いて電力を供給している。
尚９本発明方法は、メタルハライドアークランプに対す
る使用に限定されるものではなく、他のアークランプに
対する使用にも対応出来るものである。
る使用に限定されるものではなく、他のアークランプに
対する使用にも対応出来るものである。
このように２本発明方法によると、アークランプ１発光
部２の全体が均等に冷却されるので、露光に適した紫外
線を放射させることが出来ると共に、管球の破裂やふく
らし、あるいはメタル等の凝縮等も発生せず、メタルハ
ライドアークランプに優れた性能と長い寿命を与えると
いう、優れた効果を発揮するものである。
部２の全体が均等に冷却されるので、露光に適した紫外
線を放射させることが出来ると共に、管球の破裂やふく
らし、あるいはメタル等の凝縮等も発生せず、メタルハ
ライドアークランプに優れた性能と長い寿命を与えると
いう、優れた効果を発揮するものである。
第１図は本発明方法の対照となるメタルハライドアーク
ランプを示す断面図、第２図は本発明の４−一 一実施例を示す正面構成図、第３図はその側面構成図、
第４図は他の実施例を示す正面構成図、第５図は第４図
に示す実施例におりる電気接続の一実施例を示す構成図
である。 符号の説明 にメタルハライドアークランプ、 ２：発光部。 ３：ファン、 ４：保持具、 ５：モーター。 ６：変換機構、 ７：スナップリング。 ８：金具。 −６＝
ランプを示す断面図、第２図は本発明の４−一 一実施例を示す正面構成図、第３図はその側面構成図、
第４図は他の実施例を示す正面構成図、第５図は第４図
に示す実施例におりる電気接続の一実施例を示す構成図
である。 符号の説明 にメタルハライドアークランプ、 ２：発光部。 ３：ファン、 ４：保持具、 ５：モーター。 ６：変換機構、 ７：スナップリング。 ８：金具。 −６＝
Claims (2)
- （１）アークランプ（１）をその周方向に回転させると
共に、発光部（２）の紫外線放射面の反対側に冷却用の
送風をして成るアークランプ冷却方法。 - （２）アークランプ（１）の回転を、周方向に対して正
逆交互にほぼ半回転させて成る請求項１に記載のアーク
ランプ冷却方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP63050716A JPH01225002A (ja) | 1988-03-04 | 1988-03-04 | アークランプ冷却方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP63050716A JPH01225002A (ja) | 1988-03-04 | 1988-03-04 | アークランプ冷却方法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH01225002A true JPH01225002A (ja) | 1989-09-07 |
| JPH0532841B2 JPH0532841B2 (ja) | 1993-05-18 |
Family
ID=12866609
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP63050716A Granted JPH01225002A (ja) | 1988-03-04 | 1988-03-04 | アークランプ冷却方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH01225002A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2003060379A3 (en) * | 2001-12-21 | 2004-03-04 | Musco Corp | Apparatus and method for increasing light output over operational life of arc lamp |
Citations (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5665403A (en) * | 1979-11-02 | 1981-06-03 | Ushio Electric Inc | Bulb cooling method and device |
| JPS58196023A (ja) * | 1982-03-29 | 1983-11-15 | フユ−ジヨン・システムズ・コ−ポレ−シヨン | 深紫外線フオトリトグラフイ−を達成する方法及び装置 |
| JPS6126199A (ja) * | 1984-07-17 | 1986-02-05 | 松下冷機株式会社 | 自動販売機の商品搬出装置 |
-
1988
- 1988-03-04 JP JP63050716A patent/JPH01225002A/ja active Granted
Patent Citations (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5665403A (en) * | 1979-11-02 | 1981-06-03 | Ushio Electric Inc | Bulb cooling method and device |
| JPS58196023A (ja) * | 1982-03-29 | 1983-11-15 | フユ−ジヨン・システムズ・コ−ポレ−シヨン | 深紫外線フオトリトグラフイ−を達成する方法及び装置 |
| JPS6126199A (ja) * | 1984-07-17 | 1986-02-05 | 松下冷機株式会社 | 自動販売機の商品搬出装置 |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2003060379A3 (en) * | 2001-12-21 | 2004-03-04 | Musco Corp | Apparatus and method for increasing light output over operational life of arc lamp |
| US6929385B2 (en) | 2001-12-21 | 2005-08-16 | Musco Corporation | Apparatus and method for increasing light output over operational life of arc lamp |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0532841B2 (ja) | 1993-05-18 |
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