JPH01225181A - トルクセンサ - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 【発明の目的】

（産業上の利用分野） 本発明は、被測定軸に加えられるトルクを検出するのに
利用される磁歪式のトルクセンサに関するものである。 （従来の技術） 従来より、この種の磁歪式のトルクセンサとしては、例
えば、第４図に示す構造のものがある。 第４図に示す磁歪式のトルクセンサ２１は、磁気ひすみ
効果を持つ磁性体からなる被測定軸２２の外周部に、当
該被測定軸２２との間に間隙２３をおいて、例えばパー
マロイ等の高透磁率材料より形成されたヨーク２４を配
設し、このヨーク２４には、前記被測定軸２２を磁路の
一部とする磁気回路を形成する励磁手段としての励磁コ
イル２５と、前記被測定軸２２を通る磁歪成分を検出す
る検出手段としての検出コイル２６とを設けた構造をな
すものである。 このような構造をもつ磁歪式のトルクセンサ２１は、励
磁コイル２５に通電することにより。 当該励磁コイル２５から発せられた磁束が、被測定軸２
２→間隙２３→ヨーク２４→間隙２３→被測定軸２２を
通る磁気回路が形成され、このとき、検出コイル２６に
は、誘導起電力が生じる。 前記誘導起電力が生じる状態において、被測定軸２２に
ねじりトルクが加わると、この被測定軸２２の磁気ひず
み効果によって、当該被測定軸２２目体の透磁率が変化
するため、前記磁気回路を通る磁束密度に変化が生じ、
自己、誘導により検出コイル２６に発生する誘導起電力
が変化して、この誘導起電力の変化を検出することによ
って。 例えば第５図に示すようなトルク−出力特性が得られ、
前記被測定軸２２に加えられたねじりトルクを検出する
ことができる。 （発明が解決しようとする課題） しかしながら、第４図に示すような構造の磁歪式のトル
クセンサ２１において、被測定軸２２として通常の機械
構造用鋼（ＪＩＳ　　ＳＣ。 Ｓｅｒ、ＳＣＭ、ＳＮＣＭなど）から製作されているも
のを用いた場合には、磁気ひずみ効果の検出量が小さく
、第５図に示す出力特性図において感度を示す角度θが
小さいことから、十分な検出感度を得ることができない
とともに、同じく第５図に示す出力特性図においてヒス
テリシスを示す幅りが大きくなり、正確なトルクの検出
が行い難いという問題点を有しており、十分な検出感度
でかつヒステリシスが小さい状況で、被測定軸に加えら
れているトルクの検出を行ううえでの課題となっていた
。 （発明の目的） 本発明は、上述した従来の問題点に着目してなされたも
ので、十分な検出感度を得ることができるとともに、ヒ
ステリシスが小さく、静止軸や回転軸などの被測定軸に
加えられるトルクの検出を正確に行うことができるトル
クセンサを提供することにより、上記課題を解決するこ
とを目的とするものである。

【発明の構成】

（２題を解決するための手段） 本発明は、被測定軸と、前記被測定軸を磁路の一部とす
る磁気回路を形成する励磁手段と、前記被測定軸を通る
磁歪成分を検出する検出手段を備えたトルクセンサにお
いて、前記被測定軸の少なくとも磁歪を検出する部分が
、下記（Ａ）〜（Ｃ）に示す特性、 （Ａ）飽和磁歪λｓが、 ｏ、５ｘｉｏ−’≦１λｓ１≦１５Ｘ１０−６であるこ
と、 ＣＢ）飽和磁歪入Ｓと結晶磁気異方性定数Ｋ。 （Ｊ／ｍ３）との比が。 ＩＫｌ／入Ｓ１≧６Ｘ１０８　（Ｊ／ｍ３）であって、
かつ ねじり応力に対する弾性限τＥ　（Ｋ　ｇ　ｆ　／　ｍ
　ｍ２）が、 τ８≧２０　（Ｋｇｆ／ｍｍ２） であること、および／または ねじり応力に対する０、２％耐力τ　　（Ｋｇｆｏ、２ ７ｍｍ２）が。 τｏ、２≧４０　（Ｋｇｆ／ｍｍ２） であること。 （Ｃ）保磁力ＨＣ，（Ｏｅ）が ５　　（Ｏｅ）　　≦Ｈｃ≦５０（Ｏｅ）であること、
および／または 初透磁率用、が、 １０≦ル、≦１００ であること、および／または 最大透磁率ル　が。 ５０≦ル　≦２５０ であること。 のうちの少なくとも一つを満足しているものとすること
により、上述した従来の課題を解決するための手段とし
たことを特徴としている。 本発明に係るトルクセンサは、上記のように、被測定軸
と、前記被測定軸を磁路の一部とする磁気回路を形成す
る励磁手段と、前記被測定軸に発生する磁歪成分を検出
する検出手段を備えた構造をなすものであるが、この場
合、例えば、前記励磁手段と検出手段は、それぞれ別個
のコイルすなわち励磁コイルと検出コイルとから形成し
て励磁と検出とを行うようにした構成とすることができ
、あるいは共通のコイルから形成して当該コイルの透磁
率変化によるインタフタンス変化を検出するようにした
構成とすることもできる。さらに、被測定軸には、その
軸心方向に対して所定の角度をなす凹凸状部を形成して
、形状的な磁気異方性を付与するようになすこともでき
るが、このような構造のものに限定されることなくその
他種々の構造のものを採用することが可能である。 本発明に係る磁歪式のトルクセンサでは、被測定軸とじ
て、少なくともその一部、とくに磁路を形成する部分、
もしくは被測定軸の全体が、上述した特定の磁気的特性
、ａ械的性賀を有する素材を用いることを特徴とするも
のであり、以下に、その理由について述べる。 まず、飽和＆ｉ歪入Ｓは、材料によって大きさが変化し
、その値が大きいほど感度は高くなるので、この飽和磁
歪λｓは０．５Ｘ１０’６以上とすることが望ましい、
しかし、１５Ｘ１０−’を超えると感度は向上するが、
後述する飽和磁歪入Ｓと結晶磁気異方性定数に＋　　（
Ｊ／ｍ’）との比１に、／入Ｓ１の値が小さくなってヒ
ステリシスを生じやすくなるので、この飽和磁歪λｓは
１５　Ｘ　１０−６以下であることが望ましく、したが
って、０．５Ｘ１０−’≦１λｓ１≦１５×１０１とし
た。 つぎに、結晶磁気異方性定数Ｋｓ　　（Ｊ／ｍ’）は、
結晶質の磁性体が本来もっている磁気的な異方性の大き
さであり、材料の成分や結晶構造、金属組織によって種
々変化する。この結晶磁気異方性定数に、は、外部から
印加される応力（トルクセンサの場合にはねじり応力）
に従って変化し、この結晶磁気異方性定数ＫＫと飽和磁
歪λｓとの比ｌＫ＋／入Ｓ１の値が、ヒステリシスを生
じさせることなく印加することが可能な最大印加応力に
相当する。そこで、材料によって決まるＩＫ＋／入Ｓ１
入信１相当する応力を超えて印加すると、センサ出力曲
線が直線からはずれて、ヒステリシスを生じることにな
る０例えば、自動車のドライブシャフトのように大きな
トルクが印加される場合には、このＩＫ＋／入Ｓ１入信
１さは８Ｘ１０’　　（Ｊ／ｍ３）以上であることが望
ましい。 また、印加される応力の最大がｌＫｔ／λｓ１に相当す
る応力以内であっても、素材のねじり応力に対する弾性
限τ　（Ｋｇｆ／ｍｍ２）が小さいと、自動車のドライ
ブシャフトのように大きなトルクが印加された場合には
塑性変形を引き起こし、ヒステリシスを生じさせる。し
たがって、このような不具合を避けるためには、ねじり
応力に対する弾性限τＥは２０Ｋｇｆ／ｍｍ２以上、お
よび／またはねじり応力に対する０、２％耐力で０．２
は４０Ｋｇｆ／ｍｍ２以上であることが望ましい、ここ
で、一般的には弾性限τＥを正確に求めることは困難で
あるので、０．２％耐力で０．２を求めるのがよい。 さらに、上述した飽和磁歪入Ｓの大きさが、０．５Ｘ１
０−’≦１人ｓｌ≦１５　Ｘ　ｌ　Ｏ−’、飽和磁歪入
Ｓと結晶磁気異方性定数に、との比の大きさが、ｌＫ１
／λｓ１≧６Ｘ１０８（Ｊ／ｍ３）を満たすためには、
より一般的な磁気的性質の評価では、保磁力Ｈｃが５（
Ｏｅ）≦Ｈｃ≦５０（Ｏｅ）、初透磁率１がｌＯ≦ＩＬ
ｉ≦１００．最大透磁率ル。が５ｏ≦ＩＬｍ≦２５０の
うちの少なくともいずれかを満たすことが必要である。 （実施例） ｉ１図はこの発明の実施例におけるトルクセンサを示し
ている。 図に示すトルクセンサ１は、その全体が後出の第１表に
示す磁気的性質１機械的性質を有するＦｅ系合金から成
る被測定軸２を用いており、この被測定軸２の表面には
、当該被測定軸２の軸心方向に対し所定の角度をなす凹
状部３ａ、３ｂおよび凸状部４ａ、４ｂが適宜なる間隔
をもって当該被測定軸２と一体に形成してあり、これら
凹状部３ａ、３ｂおよび凸状部４ａ、４ｂによって形状
磁気異方性を持つようにしである。 この場合、荊記一方の凹状部３ａおよび凸状部４ａと、
他方の凹状部３ｂおよび凸状部４ｂとは、軸心方向に対
し同じ傾斜角度（例えばこの実施例では４５゛）でかつ
互いに反対方向に傾斜した状態で一対をなすものとして
設けである。 また、このトルクセンサ１は、前記被測定軸２のほかに
、当該被測定軸２に形成した一方の凹状部３ａおよび凸
状部４ａと、他方の凹状部３ｂおよび凸状部４ｂに対向
して配置させた一対のコイル５ａ、５ｂを有しており、
前記コイル５ａ。 ５ｂの外側に、かつ被測定軸２との間で間隙６をおいて
、高透磁率材料よりなる円筒状のヨーク７を設けた構造
をなすものである。この場合、コイル５ａ、５ｂは、被
測定軸２を磁路の一部とする磁気回路を形成する励磁手
段と、前記被測定軸２を通る磁歪成分を検出する検出手
段とに共通して使用されるものとなっている。 このような構造のトルクセンサ１において、コイル５ａ
、５ｂは、第２図に例示するように、抵抗１１．１２と
組合わされてブリッジ回路を構成し、このブリッジ回路
にバランス用の可変抵抗１３を設けると共に、ブリッジ
回路の接続点Ａ、Ｃ間には励磁用発振器１４を接続して
励磁方向を同一方向に合わせ、接続点Ｂ、Ｂ’間には差
動増幅器１５を接続して、出力端子１６．１７より検出
出力を取り出すことができるようにしである。 次に、前記第１図に示したトルクセンサ１を第２図に示
した電気回路に接続した場合の動作について説明する。 まず、作動に際しては、励磁用発振器１４より、コイル
５ａ、５ｂに一定振幅（Ｖ）および周波数（ｆ）の交流
を通電する。この通電によって、被測定軸２→間隙６→
ヨーク７→間隙６→被測定軸２を磁路とする磁力線が、
コイ、ル５ａ。 ５ｂを取り囲むように発生する。 ところで１通電する交流の周波数（ｆ）を高くすると、
被測定軸２にはうず電流が増加する。 そして、うず電流の分布は被測定軸２の中心に近いほど
強く、表面では零となる。そのため、表面での磁化は外
部磁場の変化に追従できても、内側になると磁化の変化
は妨げられるようになる。 したがって、前記の磁力線は被測定軸２の表面部分を流
れ、被測定軸２には凹状部３ａ、３ｂが、当該被測定軸
２の軸心方向と所定の角度をなすように形成しであるた
め、これが磁気抵抗となり、凸状部４ａ、４ｂを主体に
流れることになる。それゆえ、前記凹状部３ａ、３ｂお
よび凸状部４ａ、４ｂによる形状磁気異方性の効果が現
われる。 上記凹状部３ａ、３ｂおよび凸状部４ａ、４ｂの軸心方
向に対する角度は、一方の凹状部３ａおよび凸状部４ａ
と他方の凹状部３ｂおよび凸状部４ｂとが互いに逆方向
でかつ等しい角度を有するものとしているが、前記角度
が最も望ましいのは、被測定軸２にトルクが印加された
場合の主応力方向、すなわち、右４５＠方向および左４
５゜方向をなすようにすることである。この理由は、前
記磁力線は主応力方向を主体に流れ、かつ凸状部４ａ、
４ｂは被測定軸２の最表面部であるから最もひずみが大
きいところであり、このひずみによる磁性体の透磁率変
化を最も効果的にひき出すことができるためである。 そして、被測定軸２に対して第１図に示すＴ方向にトル
クが印加されると、一方の凸状部４ａは右４５°方向に
形成されているため、最大引張応力＋σが作用し、反対
に、他方の凸状部４ｂは左４５°方向に形成されている
ため、最大圧縮応力−σが作用する。 ここで、被測定軸２が正の磁気ひずみ効果を有していれ
ば、一方の凸状部４ａの透磁率はトルク零のときに比べ
て増大し、逆に、他方の凸状部４ｂの透磁率はトルク零
のときに比べて減少する。 したがって、一方のコイル５ａのインダクタンスは増大
し、他方のコイル５ｂのインダクタンスは減少するので
、第２図に示したブリッジ回路のバランスがくずれ、出
力端子１６．１７間にトルクに対応した出力が生じる。 また、トルクが逆方向に印加された場合には、前述した
のと逆の作用により、一方のコイル５ａのインダクタン
スは減少し、他方のコイル５ｂのインダクタンスは増大
するので、第２図に示したブリッジ回路のバランスがく
ずれ、出力端子１６．１７間にトルクに対応した出力が
生じる。 これをさらに具体的に説明すれば、コイル５ａ、５ｂの
インダクタンスをそれぞれＬ１＋Ｌ２とし、抵抗１１．
１２の抵抗値をＲとし、励磁用発振器１４の電圧を７９
周波数をｆとしたときに、ブリッジ回路Ａ−Ｂ−Ｃを流
れる電流をｉｌ、回路Ａ−Ｂ’−Ｃを流れる電流を１２
とすると、 となり。 Ｂ点の電位ｖ１は、　ｖ、＝ｔ、争１’ｉＢ′点の電位
ｖ２は、ｖ２＝１２・Ｒ となる。 ソコテ、　Ｂ−Ｂ’　ｆ）’ａ位ＭハＩ　Ｖ＋　−Ｖ２
　１で表わされ、これを差動増幅器１５で求めることに
よりトルクの検出を行う。 本発明の実施例におけるトルクセンサ１では、凹状部３
ａ、３ｂおよび凸状部４ａ　、４ｂをその傾きが反対で
ある一対のものとし、それぞれにコイル５ａ、５ｂを対
向させて、前記凹状部３ａ。 ３ｂおよび凸状部４ａ、４ｂにおける磁性変化の差をブ
リッジ回路により検出するようにしているので、被測定
軸２の透磁率が温度によって変化したとしても、出力の
零点は動かないものとすることができ、トルクの検出精
度を高いものとすることが可能である。 この実施例において、被測定軸２は、Ｆｅを主成分とし
、Ｃ，Ｓｉ　、Ｍｎ、Ｎｉ　、Ｃｒ。 ＭＯなどの元素を含むＦｅ系合金を素材としている。 そこでまず、各成分のものについて５０Ｋｇずつをそれ
ぞれ真空誘導炉中で溶製したのち、鍛造し、焼ならし熱
処理を行なったあと被測定軸２となる形状に機械加工を
施し、次いで第１表に示す条件で浸炭焼入れ焼戻し、焼
入れ焼戻しなどの熱処理を行って被測定軸２を作製した
。 これらの被測定軸２は、直径が２０ｍｍの軸の表面部分
に、軸心方向に対し所定の角度（この実施例では４５°
）を有する幅２ｍｍ、段差Ｉｎｍの凹状部３ａ、３ｂお
よび凸状部４ａ、４ｂが一体に形成しである構造をなす
ものである。 次に、上記各被測定軸２を用いた第１図に示した構造の
トルクセンサ１において、第２図に示した電気回路図の
励磁発振器１４より、コイル５ａ、５ｂに対して周波数
３０ＫＨｚ、電流１００ｍＡの交流を供給することによ
って、被測定軸２→間隙６→ヨーク７→間隙６→被測定
軸２を磁路とする磁気回路を形成させておき、この状態
で左右回転方向にそれぞれ３０Ｋｇｆ１１ｍのトルクを
印加した際の前記被測定軸２の透磁率変化をコイル５ａ
、５ｂにおいてインダクタンス変化として交流ブリッジ
により検出し、このときの各トルクセンサーの出力感度
（第３図の角度θ）およびヒステリシス（第３図の幅ｈ
）を調べた。これらの結果を同じく第１表に示す。 また、センサ出力特性を調べた被測定軸と同じ材質のも
のについて、ｒｉ１気的性質１機械的性質を調べた。こ
れらのうち、悠和磁歪入Ｓは歪ゲージ法により測定し、
結晶磁気異方性定数に！はトルク法によってδ１１足し
た。また、保磁力Ｈｃ、初透磁率ｇ０．最大透磁率ル　
は磁気リング試験片を１　　　　　　　　　　　　　　
　　　　　ｍ用い、Ｂ−Ｈ曲線を描くことにより読みと
った。 なお、初透磁率ｐ、は磁界Ｈが５０ｅときの透磁率をμ
、−とじた。また、ねじり応力はひずみゲージの貼付に
よりせん新店カーひずみ曲線を描き、この曲線が直線か
らはずれる点を弾性限τ。 とし、０．２％の永久ひずみを生じるときのせん新店力
をτ。、２とした。これらの結果もあゎわせて第１表に
示す。 第１表に示すように、０．５Ｘ１０へｂ≦１人ｓ１≦１
５　Ｘ　１０−’であるもの、ＩＫ＋／λｓ１≧６ＸＩ
Ｏ８（Ｊ／ｍ３）でかつτ　≧２０　（Ｋｇｆ／ｍｍ２
）および／またはＩＫ１／入Ｓ１≧６Ｘ１０ｒ′　（Ｊ
／ｍ３）でかつτ０．２≧４０　（Ｋｇｆ／ｍｍ２）で
あるもの、５≦Ｈｃ≦５０（Ｏｅ）および／または１０
≦ｐ、≦１００および／または５０≦弘　≦２５０であ
る被側定軸２を用いた本発明例Ｎｏ、　１〜６の場合に
は、ヒステリシスは１０％以下となっている。そしてな
かでも磁気的性質９機械的性質の両方を満足する本発明
例Ｎｏ、　　１〜５の場合にはヒステリシスが７％以下
となっている。 しかし、飽和磁歪１λｓ１が１５Ｘ１０−’を超え、悠
和磁歪入Ｓと結晶磁気異方性定数との比ＩＫ１／λｓ１
が６Ｘ１０８　（Ｊ／ｍ３）より小さく、保磁力Ｈｃが
５（Ｏｅ）より小さく。 初透磁率ル、が１００を超え、最大透磁率延　が１　　
　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　
　　　　　　　　　　ｍ２５０を超える比較例Ｎｏ、　
７の場合には、感度は高いもののヒステリシスは２０％
と大きくなっている。また、飽和磁歪１λｓ１が０．５
Ｘ１０−６より小さく、弾性限τ　が２０（Ｋｇｆ／ｍ
ｍ２）より小さく、０．２％耐力で０．２が４０　（Ｋ
ｇｆ／ｍｍ’　）より小さく、保磁力Ｈｃが５（Ｏｅ）
より小さく、初透磁率ル、がｌＯＯを超え、最大透磁率
ル　が２５０を超える比較例Ｎｏ、　８の場合には感度
も低く、ヒステリシスも１５％と大きくなっている。 なお、と記実施例では、コイル５ａ、５ｂが励磁手段用
のコイルと検出手段用のコイルとに共通使用されたトル
クセンサーを例にとって説明したが、そのほか、第４図
に例示したトルクセンサ２１のように、被測定軸２２の
外周部に、当該被測定軸２２との間に間隙２３をおいて
、高透磁率材料からなるヨーク２４を配設し、このヨー
ク２４には、励磁手段としての励磁コイル２５と検出手
段としての検出コイル２６とを各々設けた構造をなすも
のとすることもでき、特に限定されない。

【発明の効果】

以上説明してきたように１本発明は、被測定軸と、前記
被測定軸を磁路の一部とする磁気回路を形成する励磁手
段と、前記被測定軸を通る磁歪成分を検出する検出手段
を備えたトルクセンサにおいて、前記被測定軸の少なく
とも磁歪を検出する部分が、下記（Ａ）〜（Ｃ）に示す
特性、（Ａ）飽和磁歪λｓが。 ０．５Ｘ１０−’　　≦　１　λ　Ｓ　１　≦　１５Ｘ
１０　−らであること。 （Ｂ）飽和磁歪入ｓと結晶磁気異方性定数に１（Ｊ／ｍ
３）との比が。 １に１／入ｓｌ≧６Ｘ１０８　（Ｊ／ｍ３）であって、
かつ ねじり応力に対する弾性限τ　（Ｋｇｆ／ｍｍ２）が、 τ　≧２０　（Ｋｇｆ／ｍｍ２） であること、および／または ねじり応力に対する０、２％耐力τ　　（Ｋｇｆｏ、２ ／ｍｍ２）が、 τ０．２≧４０　（Ｋｇｆ／ｍｍ２） であること、 （Ｃ）保磁力Ｈｅ（Ｏｅ）が ５（Ｏｅ）≦Ｈｅ≦５０（Ｏｅ） であること、および／または 初透磁率ル、が、 １Ｏ≦鉢、≦１００ であること、および／または 最大透磁率用　が、 ５０≦μ　≦２５０ であること。 のうちの少なくとも一つを満足しているものであるから
、被測定軸の強度を十分に確保したうえで、当該トルク
センサの出力感度を十分良好なものにすることが可能で
あるとともに、ヒステリシスを小さなものにすることが
可能であり、トルクの検出を正確に実施することができ
るようになる。 そして、特に動力伝達軸のような負荷の大きい回転軸そ
れ自体を被測定軸として使用し、当該回転軸に加えられ
るトルクを検出する場合において１回転軸の強度を十分
に確保したうえで、トルクセンサの検出感度を大きなも
のにすることができると同時に、ヒステリシスを小さな
ものにすることができ、トルクの検出をきわめて簡便な
構成にしてしかも正確に行うことができるという非常に
優れた効果がもたらされる。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明が適用されるトルクセンサの構造例を示
す軸方向断面説明図、第２図は第１図のトルクセンサに
接続する電気回路の構成を例示する説明図、第３図は第
１図のトルクセンサの出力特性を示すグラフ、第４図（
ａ）（ｂ）はトルクセンサの他の構造例を示す各々軸方
向説明図および軸直角方向説明図、第５図は第４図のト
ルクセンサの出力特性を示すグラフである。 １．２１・・・トルクセンサ、２．２２・・・被測定軸
。 ”ｉｎ、５ｂ・・・コイル〔励磁手段および検出手段〕
、２５・・・励磁コイル（励磁手段）、２６・・・検出
コイル〔検出手段〕。 ＠３図 第４図（ａ）　　　　第４図（ｂ） 第５図

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. （１）被測定軸と、前記被測定軸を磁路の一部とする磁
   気回路を形成する励磁手段と、前記被測定軸を通る磁歪
   成分を検出する検出手段を備えたトルクセンサにおいて
   、前記被測定軸の少なくとも磁歪を検出する部分が、下
   記（Ａ）〜（Ｃ）に示す特性、 （Ａ）飽和磁歪λｓが、 ０．５×１０＾−＾６≦｜λｓ｜≦１５×１０＾−＾６
   であること、 （Ｂ）飽和磁歪λｓと結晶磁気異方性定数Ｋ＿１（Ｊ／
   ｍ＾３）との比が、 ｜Ｋ＿１／λｓ｜≧６×１０＾８（Ｊ／ｍ＾３）であっ
   て、かつ ねじり応力に対する弾性限τ＿Ｅ（Ｋｇｆ／ｍｍ＾２）
   が、 τ＿Ｅ≧２０（Ｋｇｆ／ｍｍ＾２） であること、および／または ねじり応力に対する０．２％耐力τ＿０＿．＿２（Ｋｇ
   ｆ／ｍｍ＾２）が、 τ＿０＿．＿２≧４０（Ｋｇｆ／ｍｍ＾２）であること
   、 （Ｃ）保磁力Ｈｃ（Ｏｅ）が ５（Ｏｅ）≦Ｈｃ≦５０（Ｏｅ） であること、および／または 初透磁率μ＿ｉが、 １０≦μ＿ｉ≦１００ であること、および／または 最大透磁率μ＿ｍが、 ５０≦μ＿ｍ≦２５０ であること、 のうちの少なくとも一つを満足していることを特徴とす
   るトルクセンサ。