JPH01227346A - エレクトロンシャワー - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 本発明は半導体製造装置、特に半導体基板イオン注入装
置に関する。

〔従来の技術〕

従来、この種の半導体基板イオン注入装置においては、
半導体基板の帯電（チャージアップ）を解消するなめ、
エレクトロンシャワーが用いられている。第４図に示す
ように、エレクトロンシャワー（エレクトロンフラッド
）はフィラメント７の加熱により熱電子を発生させ、そ
の熱電子を網状電極３により引き出してリフレクタ８に
衝突させ、２次電子を生成させている。従来、網状電極
３は第３図に示すように、目電極素子３ａと電極本体６
とが一体構造になっていた。

〔発明が解決しようとする課題〕

上述した従来のエレクトロンシャワーの網状型［！３は
一体構造になっているため、網状電極３が損傷を受ける
と、網状電極３毎交換しなければならず、コスト高とな
り、不経済であった。

本発明の目的は前記課題を解消したエレクトロンシャワ
ーを提供することにある。

〔発明の従来技術に対する相違点〕

上述した従来のエレクトロンシャワーの網状電極３が一
体構造であるのに対し、本発明は網状電極が分割構造で
あるという相違点を有する。

〔課題を解決するための手段〕

上記目的を達成するため、本発明のエレクトロンシャワ
ーにおいては、熱電子の引出効率を向上させる網状電極
を、熱電子が通過する開口部を有する電極本体と、該電
極本体の開口部に脱着可能に設置する綱目電極素子とか
らなる分割構造としたものである。

〔実施例〕

以下、本発明の一実施例を図により説明する。

第１図は本発明の一実施例を示す分割斜視図である。

図において、本発明に係る熱電子の引出効率を向上させ
る網状電’［！３は、中央部に熱電子が通過する開口部
１ａ、２ａをそれぞれ有する２枚の平行な板状電極本体
１，２と、該電極本体１．２の開口部１ａ、２ａに脱着
可能に設置する綱目電極素子３ａとからなる分割構造と
したものである。

向き合う一方の電極本体１の内面には凹部５を、他方の
電極本体２の内面には凹部５に嵌合する凸部４をそれぞ
れ設けである。

本発明は、綱目電極素子３ａを平行な板状電極本体１．
２の開口１ａ、２ａ内に配置し、凹部５と凸部４とを嵌
合し２枚の板状電極本体１．２を密着させ、電極本体１
，２の開口部口縁にて綱目電極素子３ａの周縁を挾持し
、取付はネジ７にてこれを第２図に示すようにエレクト
ロガン８に装着する。

綱目電極素子３ａを交換するにはネジ７を外して２枚の
電極本体１．２を開き、新たな綱目電極素子３ａを２枚
の電極本体１．２間に差し込み、これをエレクトロガン
８に装着する。

〔発明の効果〕

以上説明したように本発明は網状電極を綱目電極素子と
これを支持する電極本体とに分割することにより、綱目
電極素子が破損しても網状電極を一体ごと交換する必要
がなく、綱目電極素子のみを交換すれば何度でも再使用
でき、コスト低減の効果がある。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明の一実施例を示す分割斜視図、第２図は
エレクトロガンを示す図、第３図は従来例を示す図、第
４図はエレクトロンシャワーを示す構成図である。 １．２・・・電極本体 ｌａ、２ａ・・・電極本体の開口部 ３・・・網状電極　　　　　３ａ・・・綱目電極素子特
許出願人　　九州日本電気株式会社 第２図

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. １、イオン注入時に半導体基板の帯電を解消するエレク
   トロンシャワーにおいて、熱電子の引出効率を向上させ
   る網状電極を、熱電子が通過する開口部を有する電極本
   体と、該電極本体の開口部に脱着可能に設置する綱目電
   極素子とからなる分割構造としたことを特徴とするエレ
   クトロンシャワー。