JPH0122951B2 - - Google Patents
Info
- Publication number
- JPH0122951B2 JPH0122951B2 JP56214039A JP21403981A JPH0122951B2 JP H0122951 B2 JPH0122951 B2 JP H0122951B2 JP 56214039 A JP56214039 A JP 56214039A JP 21403981 A JP21403981 A JP 21403981A JP H0122951 B2 JPH0122951 B2 JP H0122951B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- laser light
- plane
- comb
- optical axis
- lens
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired
Links
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01B—MEASURING LENGTH, THICKNESS OR SIMILAR LINEAR DIMENSIONS; MEASURING ANGLES; MEASURING AREAS; MEASURING IRREGULARITIES OF SURFACES OR CONTOURS
- G01B11/00—Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques
- G01B11/30—Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques for measuring roughness or irregularity of surfaces
- G01B11/303—Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques for measuring roughness or irregularity of surfaces using photoelectric detection means
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Length Measuring Devices By Optical Means (AREA)
- Image Input (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】
(1) 発明の技術分野
本発明は、物体の形状を読み取るためのパター
ン読取り装置に関する。
ン読取り装置に関する。
(2) 従来技術と問題点
従来物体の凹凸を検知する方法としては光ビー
ムの反射方向を調べる三角測量法や物体の表面に
針を突き当て針の動きにより表面の凹凸を知る探
針法がある。しかし両者とも高速に物体の凹凸を
検知することはできない。
ムの反射方向を調べる三角測量法や物体の表面に
針を突き当て針の動きにより表面の凹凸を知る探
針法がある。しかし両者とも高速に物体の凹凸を
検知することはできない。
(3) 発明の目的
本発明の目的は物体のレーザー光を用いて、物
体より反射した光を再結像させる円筒状のレンズ
と、そのレンズの光軸方向に複数の検知器を設
け、検知器の出力を比較判定することにより物体
の形状、凹凸を高速に検知する装置を提供するこ
とにある。
体より反射した光を再結像させる円筒状のレンズ
と、そのレンズの光軸方向に複数の検知器を設
け、検知器の出力を比較判定することにより物体
の形状、凹凸を高速に検知する装置を提供するこ
とにある。
(4) 発明の構成
上記目的を達成するための本発明は、ステージ
上に載置される物体をレーザー光スポツト走査す
る、レーザー光源と、該レーザー光源からのレー
ザー光を偏向走査する回転ミラーと、該レーザー
光源と該回転ミラーとの間に設置されるハーフミ
ラーと、該回転ミラーで偏向走査されるレーザー
光をスポツトに絞る第１のレンズと、該物体で反
射され該第１のレンズ該回転ミラーを経て該ハー
フミラーで反射されたレーザー光を結像する円筒
レンズと、該円筒レンズの光軸に対しΘ傾けて平
行設置される該スポツト走査の高さを位置に変換
する複数の光検知器とを有するものであり、 ステージ上に載置される物体をレーザー光スポ
ツト走査するレーザー光源と、該レーザー光源か
らのレーザー光を偏向走査する回転ミラーと、該
レーザー光源と該回転ミラーとの間に設置される
ハーフミラーと、該回転ミラーで偏向走査される
レーザー光をスポツトに絞る第１のレンズと、該
物体で反射され該第１のレンズ、該回転ミラーを
経て該ハーフミラーで反射されたレーザー光を結
像する円筒状レンズと、該円筒状レンズの中心軸
を含む光軸面と該光軸面に垂直で、かつ、該中心
軸とのなす角度がθである傾斜面の該光軸面と該
傾斜面の交線上に設置される該スポツト走査の高
さを位置に変換する複数の光検知器とを有するこ
とを特徴とする。
上に載置される物体をレーザー光スポツト走査す
る、レーザー光源と、該レーザー光源からのレー
ザー光を偏向走査する回転ミラーと、該レーザー
光源と該回転ミラーとの間に設置されるハーフミ
ラーと、該回転ミラーで偏向走査されるレーザー
光をスポツトに絞る第１のレンズと、該物体で反
射され該第１のレンズ該回転ミラーを経て該ハー
フミラーで反射されたレーザー光を結像する円筒
レンズと、該円筒レンズの光軸に対しΘ傾けて平
行設置される該スポツト走査の高さを位置に変換
する複数の光検知器とを有するものであり、 ステージ上に載置される物体をレーザー光スポ
ツト走査するレーザー光源と、該レーザー光源か
らのレーザー光を偏向走査する回転ミラーと、該
レーザー光源と該回転ミラーとの間に設置される
ハーフミラーと、該回転ミラーで偏向走査される
レーザー光をスポツトに絞る第１のレンズと、該
物体で反射され該第１のレンズ、該回転ミラーを
経て該ハーフミラーで反射されたレーザー光を結
像する円筒状レンズと、該円筒状レンズの中心軸
を含む光軸面と該光軸面に垂直で、かつ、該中心
軸とのなす角度がθである傾斜面の該光軸面と該
傾斜面の交線上に設置される該スポツト走査の高
さを位置に変換する複数の光検知器とを有するこ
とを特徴とする。
(5) 発明の実施例
第１図は本発明の一実施例を示す図でレーザー
１より出力された光はレンズ２で広げられ、回転
ミラー３により偏向された後、レンズ４により絞
られ、XYステージ５に乗せられた物体６をスポ
ツト走査する。この時物体６で反射された光の一
部はレンズ４を通り、回転ミラー３により振り戻
され、もと来た光路を戻つて行く。そしてハーフ
ミラー７により、その一部は円筒レンズ８により
スリツト９上に結像される。ハーフミラーで反射
されるレーザー光の円筒状レンズの中心軸を含む
光軸面と光軸面に垂直で、かつ、円筒状レンズの
中心軸とのなす角度がθである傾斜面上にスポツ
ト走査の高さを位置に変換する複数の光検知器を
配置した例を示す。スリツト９は第２図ａ，ｂに
示す様に円筒レンズ８の光軸に対しθ傾けてあ
る。尚、第２図ａは平面図、第２図ｂは第２図ａ
の矢印方向から見た図である。第１図のａ、ｂ両
点から反射された光に注目すると、レンズ４より
遠いａ点からの反射は、ｂ点からの反射光が結像
する面b′に比べ、円筒レンズ８に近いa′面で結像
し、この結果、スリツト９上の点Ｐ１を強い光が
通過し、その点に置かれた光検知器１０′から強
い信号が出力される。一方ｂ点からの反射光は
b′面で結像し、スリツト９上のＰ２点を強い光が
通過し、その点にある光検知器１０″から強い信
号が出力される。
１より出力された光はレンズ２で広げられ、回転
ミラー３により偏向された後、レンズ４により絞
られ、XYステージ５に乗せられた物体６をスポ
ツト走査する。この時物体６で反射された光の一
部はレンズ４を通り、回転ミラー３により振り戻
され、もと来た光路を戻つて行く。そしてハーフ
ミラー７により、その一部は円筒レンズ８により
スリツト９上に結像される。ハーフミラーで反射
されるレーザー光の円筒状レンズの中心軸を含む
光軸面と光軸面に垂直で、かつ、円筒状レンズの
中心軸とのなす角度がθである傾斜面上にスポツ
ト走査の高さを位置に変換する複数の光検知器を
配置した例を示す。スリツト９は第２図ａ，ｂに
示す様に円筒レンズ８の光軸に対しθ傾けてあ
る。尚、第２図ａは平面図、第２図ｂは第２図ａ
の矢印方向から見た図である。第１図のａ、ｂ両
点から反射された光に注目すると、レンズ４より
遠いａ点からの反射は、ｂ点からの反射光が結像
する面b′に比べ、円筒レンズ８に近いa′面で結像
し、この結果、スリツト９上の点Ｐ１を強い光が
通過し、その点に置かれた光検知器１０′から強
い信号が出力される。一方ｂ点からの反射光は
b′面で結像し、スリツト９上のＰ２点を強い光が
通過し、その点にある光検知器１０″から強い信
号が出力される。
この様にして、スポツト走査したある点の高さ
が瞬時に光検知器の位置に変換されるので、高速
に物体の凹凸情報を読み取ることができる。
が瞬時に光検知器の位置に変換されるので、高速
に物体の凹凸情報を読み取ることができる。
第３図に本発明の他の実施例を示す。第１図の
スリツト９の代りに第４図に詳細構造を示す光検
知器３１を複数個平行に並べる。この検知器３１
は両側を導体３２にはさまれたcds等の非線形な
感度特性を有する光導電体３３から成る。この検
知器に集中された光３４が当たることより大きな
導電性を示すことから並列に並べられた検知器の
うち最も抵抗の低い検知器を探すことにより物体
の凹凸を読み取ることができる。この方式によれ
ばレンズ８と検知器３１面との軸合せが容易とな
る。
スリツト９の代りに第４図に詳細構造を示す光検
知器３１を複数個平行に並べる。この検知器３１
は両側を導体３２にはさまれたcds等の非線形な
感度特性を有する光導電体３３から成る。この検
知器に集中された光３４が当たることより大きな
導電性を示すことから並列に並べられた検知器の
うち最も抵抗の低い検知器を探すことにより物体
の凹凸を読み取ることができる。この方式によれ
ばレンズ８と検知器３１面との軸合せが容易とな
る。
(6) 発明の効果
以上説明したように本発明によれば、物体の凹
凸を高速に検知することができる。
凸を高速に検知することができる。
第１図は、本発明の一実施例を示す図、第２図
ａ，ｂは第１図の詳細図、第３図は本発明の他の
実施例を示す図、第４図は第３図の詳細図であ
る。 ８：円筒状レンズ、９：スリツト、１０：光検
知器、３３：非線形光導電体。
ａ，ｂは第１図の詳細図、第３図は本発明の他の
実施例を示す図、第４図は第３図の詳細図であ
る。 ８：円筒状レンズ、９：スリツト、１０：光検
知器、３３：非線形光導電体。
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 １ ステージ上に載置される物体をレーザー光ス
ポツト走査するレーザー光源と、該レーザー光源
からのレーザー光を偏向走査する回転ミラーと、
該レーザー光源と該回転ミラーとの間に設置され
るハーフミラーと、該回転ミラーで偏向走査され
るレーザー光をスポツトに絞る第１のレンズと、
該物体で反射され該第１のレンズ、該回転ミラー
を経て該ハーフミラーで反射されたレーザー光を
結像する円筒状レンズと、該円筒状レンズの中心
軸を含む光軸面と該光軸面に垂直で、かつ、該中
心軸とのなす角度がθである傾斜面の該光軸面と
該傾斜面の交線上に設置される該スポツト走査の
高さを位置に変換する複数の光検知器とを有する
ことを特徴とするパターン読取り装置。 ２ 上記ハーフミラーと上記複数の光検知器との
間に上記傾斜面上に上記光軸面と該傾斜面の交線
方向にスリツトを設けたことを特徴とする特許請
求の範囲第１項記載のパターン読取り装置。 ３ 基板上に、互いに平行に形成された複数本の
光導電体パターンと、該複数本の光導電体パター
ンの各々の一方の側を挟む第１のくしば状電極と
各々の他方の側を挟む第２のくしば状電極とによ
り複数の光検知器が構成され、該第１のくしば状
電極と該第２のくしば状電極間の最も電気抵抗の
低い光検知器位置からレーザー光の集光位置を検
出する光検知器を、上記傾斜面上に設置したこと
を特徴とする特許請求の範囲第１項記載のパター
ン読取り装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP21403981A JPS58114175A (ja) | 1981-12-26 | 1981-12-26 | パタ−ン読取り装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP21403981A JPS58114175A (ja) | 1981-12-26 | 1981-12-26 | パタ−ン読取り装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS58114175A JPS58114175A (ja) | 1983-07-07 |
| JPH0122951B2 true JPH0122951B2 (ja) | 1989-04-28 |
Family
ID=16649257
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP21403981A Granted JPS58114175A (ja) | 1981-12-26 | 1981-12-26 | パタ−ン読取り装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS58114175A (ja) |
Families Citing this family (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS629860U (ja) * | 1985-06-28 | 1987-01-21 | ||
| WO1990009004A1 (fr) * | 1989-01-31 | 1990-08-09 | Yoshiro Yamada | Procede et appareil de traitement d'images |
Family Cites Families (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS4898032U (ja) * | 1972-02-23 | 1973-11-20 |
-
1981
- 1981-12-26 JP JP21403981A patent/JPS58114175A/ja active Granted
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS58114175A (ja) | 1983-07-07 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| US5076692A (en) | Particle detection on a patterned or bare wafer surface | |
| US5608530A (en) | Inspection device for measuring a geometric dimension of a part | |
| US5270794A (en) | Fine structure evaluation apparatus and method | |
| US5576831A (en) | Wafer alignment sensor | |
| US4355904A (en) | Optical inspection device for measuring depthwise variations from a focal plane | |
| US4677302A (en) | Optical system for inspecting printed circuit boards wherein a ramp filter is disposed between reflected beam and photodetector | |
| US6428171B1 (en) | Height measuring apparatus | |
| EP0178037B1 (en) | Compact laser scanning system | |
| US4817074A (en) | Method and apparatus for detecting the focusing state and positioning accuracy of a light beam directed onto an optical disk tracking guide in an optical recording system | |
| US4296316A (en) | Optical focusing device | |
| JPH07111403B2 (ja) | 光学式検査装置および検査方法 | |
| JPS6234097B2 (ja) | ||
| JPH04319615A (ja) | 光学式高さ測定装置 | |
| US5029261A (en) | Apparatus for detecting position of light beam on object surface by comparing detection beams split near focal point | |
| US20020180959A1 (en) | Optical system for detecting surface defects and disk tester and disk testing method utilizing the same optical system | |
| CN112649445A (zh) | 一种检测设备及方法 | |
| JPH06242391A (ja) | 光走査型画像読取装置 | |
| US6317200B1 (en) | Positional measurement with normalized signal processing | |
| JPS58114175A (ja) | パタ−ン読取り装置 | |
| JP3040131B2 (ja) | 球体表面の傷検査装置 | |
| JP2003097924A (ja) | 形状測定装置および測定方法 | |
| JPS59225320A (ja) | 走査ビ−ム径測定装置 | |
| JPH07182666A (ja) | 光ピックアップシステム | |
| JP3507262B2 (ja) | 表面検査装置 | |
| JP2671915B2 (ja) | 表面検査装置用の位置検出器 |