JPH01230228A - 半導体装置の製造方法及び半導体製造装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 ［産業上の利用分野］ 本発明は、半導体装置の製造方法及び半導体製造装置に
関し、特に半導体基板（半導体ウェハー）の不純物拡散
、酸化等の熱処理に用いる熱処理用ボートに関するもの
である。

［従来の技術］ 半導体基板（半導体ウェハー）の不純物拡散。

酸化等の熱処理に当たっては、半導体ウェハーの熱処理
用ウェハーボートを用いる。

第４図及び第５図に、従来の一般的な半導体製造装置の
ウェハー熱処理用ボートの側面及び平面説明図を示す。

図において、９はウェハー１０の熱処理用ボートの出し
入れのための操作棒、３はウェハーボート本体であり、
１１はウェハーボート本体３と操作棒９を掛合するため
の掛合部であり、ウェハーボート本体３と固定接続しで
ある。６は炉心管、１０はウェハーである。

上記ウェハーボート本体３を用いて、ウェハー１０の熱
処理工程を行う方法は、第４図及び第５図に示すように
、ウェハー１０をウェハーホード本体３上に設置し、操
作棒９をウェハーボート本体３の一端の掛合部１１に掛
合して、ウェハーボート本体３を炉心管６内に挿入し所
定の時間、拡散または酸化を施す。

その後、操作棒９でウェハーボート本体３を炉心管６内
より引き出し、熱処理工程を終了する。

［発明が解決しようとする課題］ しかしながら、以上述べた従来の半導体製造装置におい
ては、ウェハーボート本体３を用いて、ウェハー１０の
熱処理を高温で行う場合、ウェハーボート本体３と炉心
管６が接着してしまうことがある。

そのため、操作棒９で水平方向に力を加えて引き出すだ
けでは、接着してしまったウェハーボート本体３と炉心
管６は、剥離せず操作棒９が破損したり、ウェハーボー
ト本体３が炉心管６に接着したまま動いてしまったりす
るという問題がある。

本発明は、以上述べた問題点を解消するためになされた
ものであり、ウェハーボート本体３と炉心管６が接着し
てしまっても、操作棒９で引き出すだけでウェハーボー
ト本体３と炉心管６が剥離し、操作棒９の破損や炉心管
６の移動が起こらない、熱処理用ウェハーボートからな
る半導体装置の製造方法及び半導体製造装置を提供する
ことを目的とするものである。

［課題を解決するための手段］ 本発明の第１は、 半導体装置の製造方法において、 （ａ）ウェハーを搭載したウェハーボートを炉内に挿入
する工程、 （ｂ）前記ウェハーに熱処理を施す工程、（ｃ）熱処理
終了後、一度前記ウェハーボートを上に持ち上げる工程
、 （ｄ）次いで該ウェハーボートを取り出す工程、以上（
ａ）工程〜　（ｄ）工程からなることを特徴とする半導
体装置の製造方法であり、 本発明の第２は、 半導体製造装置において、 ウェハーを搭載したウェハーボートと、後部下方にカム
部が形成され、前記ウェハーボートに回動可能に軸支さ
れた可動部材とからなり、前記ウェハーボートの可動時
に前記可動部材が回動され、前記ウェハーボートの支持
台に前記可動部材のカム部が摺接することにより前記ウ
ェハーボートを上昇させることを特徴とする半導体製造
装置である。

［作用コ 本発明では、ウェハーボート本体と炉心管が接着した場
合、水平方向に引いただけでは剥離しないが、垂直方向
に力を加えてウェハーボート本体が持ち上がるようにす
れば、簡単に剥離させることが出来ることに着目しなさ
れたものである。

即ち、後部下方にカム部が形成され、ウェハーボート本
体に回動可能に軸支された可動部材を介して、操作棒で
水平方向に引くと可動部材が回動し、ウェハーボート本
体の支持台に可動部材のカム部が摺接することにより、
ウェハーボート本体を上昇させるようにし、操作棒で引
き出すだけてウェハーボート本体と炉心管を剥離出来る
ようにしたものである。

従って、炉心管とウェハーボート本体が接着を起こして
も容易に剥離出来、操作棒の破損や炉心管のずれを防止
出来る等の作用効果を奏するものである。

次に本発明の実施例について述べる。

［実施例コ 第１図〜第２図は、この発明の実施例を示す熱処理用ウ
ェハーボートの側面説明図、第３図は、同じ〈実施例を
示す熱処理用ボートの平面説明図である。　図において
、１は可動部材、２は取付は軸、３はウェハーボート本
体、４はストツバ−１５は可動部材先端部、６は炉心管
、７は可動部材下端部、８はカム部、９は操作棒、１０
はウェハーである。

まず図に示すように、ウェハー１０を搭載したウェハー
ボート本体３と、ウェハーボート本体３の前端部に、後
部下方にカム部８が形成され、ウェハーボート本体３に
回動可能に取り付は軸２に軸支されたＬ字形の石英製の
可動部材１とからなり、ウェハーボート本体３の可動時
に、可動部材１が回動され、ウェハーボート本体３の支
持台に可動部材１のカム部８が摺接することにより、ウ
ェハーボート本体３を上昇させるようにするものである
。

可動部材１はＬ字形の角の部分てウェハ−ボート本体３
と取付は軸２によって接続して、角の部分から一方の可
動部材先端部５を第３図に示す如く、輪状にし、他の一
方の可動部材下端部７はカム状で、長さが取付は軸２か
ら炉心管６の底面より例えば５〜２０ｍｍ長くなるよう
にする。

第１図は、ウェハーボート本体３を、操作棒９により矢
視する如く、炉心管６内へ挿入している状態か又はウェ
ハー９の熱処理を行っている状態を示すものである。

この状態では可動部材１は、ストッパー４によって止ま
るまで左回転をしており、可動部材下端部７は、ウェハ
ーボート本体３の下端よりも高くなるようにする。

次に第２図は、ウェハ−ボート本体３を、操作棒９によ
り矢視する如く、引き出している状態を示すものである
。

ウェハー１０の熱処理中にウェハーボート本体３と炉心
管６とが接着してしまった場合、引き出し動作が硲まり
操作棒９が動き始めると、可動部材１が回転を始め可動
部材下端部７が炉心管６に接触した後ウェハーボート本
体３の前端部が持ち上げられるようにする。

この動作によりウェハーボート本体３と炉心管６とが接
着していても剥離させることが出来る。

第２図の状態になると、ウェハーボート本体３は移動を
始め、炉心管６の外へ引き出される。

尚、本半導体製造方法においては、本実施例に示すごと
く、ウェハーボート本体３の前端部に、後部下方にカム
部８が形成され、ウェハーボート本体３に回動可能に、
取り付は軸２に軸支されたＬ字形の石英製の可動部材１
によりウェハーボート本体３の一端を上昇せしめてウニ
ノー−ポート本体３と炉心管６とを剥離させたが、別に
設けた上昇装置により操作棒９の先端を上昇せしめて剥
離させても良い。

以上の如く、本発明では、可動部材１を介して操作棒９
により、ウェハーボート本体３に垂直方向に力を加える
ことにより、ウェハーボート本体３と炉心管６とが接着
していても剥離させることが出来るものである。

［発明の効果コ 本発明の半導体装置の製造方法及び半導体製造装置によ
れば、熱処理によって炉心管とウェハ−ボート本体が接
着しても、操作棒で水平に引き出すたけで剥離させるこ
とが出来、簡便なものである。　従って、炉心管とウェ
ハーボート本体が接着を起こしても操作棒の破損や炉心
管送のずれを防止できる等の効果を奏する。

【図面の簡単な説明】

第１図〜第２図は、この発明の実施例を示す側面説明図
、第３図は、同じ〈実施例を示す平面説明図、第４図及
び第５図は、夫々従来の熱処理用ウェハーボートの側面
及び平面説明図である。 図において、１：可動部材、２：取付は軸、３：ウェハ
ーボート本体、４：ストッパー、５：可動部材先端部、
６：炉心管、７：可動部材下端部、８：カム部、９：操
作棒、１０：ウェハー、１１：掛合部である。

Claims (2)

【特許請求の範囲】
1. （１）半導体装置の製造方法において、 （ａ）ウェハーを搭載したウェハーボートを炉内に挿入
   する工程、 （ｂ）前記ウェハーに熱処理を施す工程、 （ｃ）熱処理終了後、一度前記ウェハーボートを上に持
   ち上げる工程、 （ｄ）次いで該ウェハーボートを取り出す工程、以上（
   ａ）工程〜（ｄ）工程からなることを特徴とする半導体
   装置の製造方法。
2. （２）半導体製造装置において、 ウェハーを搭載したウェハーボートと、後部下方にカム
   部が形成され、前記ウェハーボートに回動可能に軸支さ
   れた可動部材とからなり、前記ウェハーボートの可動時
   に前記可動部材が回動され前記ウェハーボートの支持台
   に前記可動部材のカム部が摺接することにより前記ウェ
   ハーボートを上昇させることを特徴とする半導体製造装
   置。