JPH01233318A - 位置検出器 - Google Patents
位置検出器Info
- Publication number
- JPH01233318A JPH01233318A JP63061069A JP6106988A JPH01233318A JP H01233318 A JPH01233318 A JP H01233318A JP 63061069 A JP63061069 A JP 63061069A JP 6106988 A JP6106988 A JP 6106988A JP H01233318 A JPH01233318 A JP H01233318A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- magnetic field
- magnetized
- resistance element
- ferromagnetic thin
- film resistance
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
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- Transmission And Conversion Of Sensor Element Output (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
産業上の利用分野
本発明は、強磁性薄膜抵抗素子（以下ＭＲ素子という）
を用い、磁界発生体から生じる磁気信号を読み取ること
で位置を検出する位置検出器に関するものである。
を用い、磁界発生体から生じる磁気信号を読み取ること
で位置を検出する位置検出器に関するものである。
従来の技術
従来この種の位置検出器は、第３図に示す構造になって
いた。ここで１は磁界発生体、２はＭＲ素子である。こ
の時、ＭＲ素子２は磁界発生体１から生ずる磁気信号３
のうち１ＭＲ素子２の面に平行な磁界成分を検知し電気
抵抗の変化に変えて位置検出を行なっていた。使用され
ているＭＲ素子２の構造を第４図に示す。ここで、ＭＲ
素子２は絶縁性基板４上に磁界検知パターン６を形成し
、その上に保護膜６を形成した構造であり、磁界検知パ
ターン６にはリード線７が接続されている。
いた。ここで１は磁界発生体、２はＭＲ素子である。こ
の時、ＭＲ素子２は磁界発生体１から生ずる磁気信号３
のうち１ＭＲ素子２の面に平行な磁界成分を検知し電気
抵抗の変化に変えて位置検出を行なっていた。使用され
ているＭＲ素子２の構造を第４図に示す。ここで、ＭＲ
素子２は絶縁性基板４上に磁界検知パターン６を形成し
、その上に保護膜６を形成した構造であり、磁界検知パ
ターン６にはリード線７が接続されている。
バイアス磁石８は磁界検知パターン６の長手方向に対し
、４６°又は０°にバイアス磁界がかかるように取り付
けられている。従って位置検出器におけるＭＲ素子２の
取り付けは着磁に対して、４６゜バイアスの時は％λ配
装、０°バイアスの時は％λ配装となっている。これは
、磁界検知パターン６の垂直方向の磁界の変化を検知す
るものである。
、４６°又は０°にバイアス磁界がかかるように取り付
けられている。従って位置検出器におけるＭＲ素子２の
取り付けは着磁に対して、４６゜バイアスの時は％λ配
装、０°バイアスの時は％λ配装となっている。これは
、磁界検知パターン６の垂直方向の磁界の変化を検知す
るものである。
第６図は回転磁界発生体の磁界の変化を検知するために
ＭＲ素子を取り付けたものである。ここで９は回転磁界
発生体である。ＭＲ素子２を回転磁界発生体９に取り付
けた場合は回転磁界発生体９から発生する磁気信号３を
検知することにより、回転角度を検出することができる
。この時のＭＲ素子２の取り付は及び検知方法は位置検
出器と同様である。
ＭＲ素子を取り付けたものである。ここで９は回転磁界
発生体である。ＭＲ素子２を回転磁界発生体９に取り付
けた場合は回転磁界発生体９から発生する磁気信号３を
検知することにより、回転角度を検出することができる
。この時のＭＲ素子２の取り付は及び検知方法は位置検
出器と同様である。
発明が解決しようとする課題
第３図において、ＭＲ素子２は磁界発生体１から発生す
る磁界のうち、検知パターン垂直方向の成分を検出して
いるため、磁界発生体１とＭＲ素子２とのギャップによ
りＭＲ素子２にかかる磁界の強さが変わり、特にギャッ
プが広くなると、ＭＲ素子２に印加される磁界が極端に
弱くなるため、ＭＲ素子２の出力電圧が小さくなるとい
う問題があった。また、この取り付は方法では、磁界発
生体１から発生する磁気信号３の強さがＮ−８間で徐々
に変化するため出力電圧も急峻な変化が得られなかった
。
る磁界のうち、検知パターン垂直方向の成分を検出して
いるため、磁界発生体１とＭＲ素子２とのギャップによ
りＭＲ素子２にかかる磁界の強さが変わり、特にギャッ
プが広くなると、ＭＲ素子２に印加される磁界が極端に
弱くなるため、ＭＲ素子２の出力電圧が小さくなるとい
う問題があった。また、この取り付は方法では、磁界発
生体１から発生する磁気信号３の強さがＮ−８間で徐々
に変化するため出力電圧も急峻な変化が得られなかった
。
本発明は急峻な出力電圧が得られるようにすることを目
的とする。
的とする。
課題を解決するための手段
本発明はこのような問題点を解決するため、等ピッチで
着磁された第１の着磁部とこの第１の着磁部と同一ポー
ル数で反極に着磁された第２の着磁部を持つ磁界発生体
を使用し、ＭＲ素子に磁界検知パターン長手方向に対し
４６°又は９００のバイアス磁界をかけたものを、磁界
検知パターン長手方向に磁界が印加されるように磁界発
生体の二つの着磁面の中央に配置したものである。
着磁された第１の着磁部とこの第１の着磁部と同一ポー
ル数で反極に着磁された第２の着磁部を持つ磁界発生体
を使用し、ＭＲ素子に磁界検知パターン長手方向に対し
４６°又は９００のバイアス磁界をかけたものを、磁界
検知パターン長手方向に磁界が印加されるように磁界発
生体の二つの着磁面の中央に配置したものである。
作用
上記の構成により位置検出器は、磁界発生体の二つの着
磁面の中央に配置されているため、ＭＲ素子の取り付は
ギャップを考慮することなく取り付けられ、取り付は時
の調整が簡単であり、出力電圧が安定している。また磁
界発生体からの発生磁界のうち、着磁された二面間に発
生する磁界についてＭＲ素子が検知するため、Ｎ−８極
の境界においても急峻な出力電圧が得られる。
磁面の中央に配置されているため、ＭＲ素子の取り付は
ギャップを考慮することなく取り付けられ、取り付は時
の調整が簡単であり、出力電圧が安定している。また磁
界発生体からの発生磁界のうち、着磁された二面間に発
生する磁界についてＭＲ素子が検知するため、Ｎ−８極
の境界においても急峻な出力電圧が得られる。
実施例
第１図は従来例第３図に対する本発明の一実施例である
。１１は磁界発生体で、等ピッチで着磁された第１の着
磁部１１＆と同一ポール数で反極に着磁された第２の着
磁部１１ｂとを有している。
。１１は磁界発生体で、等ピッチで着磁された第１の着
磁部１１＆と同一ポール数で反極に着磁された第２の着
磁部１１ｂとを有している。
この二つの着磁部間にＭＲ素子１２が配置されている。
ここでＭＲ素子１２は第４図のような構造でアシ、検知
パターン長手方向に対し４６°又は９０’にバイアス磁
界がかかるようにバイアス磁石が取り付けられている。
パターン長手方向に対し４６°又は９０’にバイアス磁
界がかかるようにバイアス磁石が取り付けられている。
この時位置検出器におけるＭＲ素子１２の取υ付けは、
着磁ピッチに対して４６°バイアスの時は％λ配装、９
０°バイアスの時はＺλ配装となっておシ、ＭＲ素子１
２は着磁された二つの着磁部間に発生する磁気信号１３
のうち、検知パターン長手方向の磁界を検知している。
着磁ピッチに対して４６°バイアスの時は％λ配装、９
０°バイアスの時はＺλ配装となっておシ、ＭＲ素子１
２は着磁された二つの着磁部間に発生する磁気信号１３
のうち、検知パターン長手方向の磁界を検知している。
そのため着磁された二つの着磁部間にＭＲ素子を取り付
けるだけで良く、ギャップ設定の問題は発生しない。
けるだけで良く、ギャップ設定の問題は発生しない。
また更に、ＭＲ素子１２の受ける磁界は着磁部間に発生
する磁気信号１３であるので、Ｎ−３間の境界において
も急峻な出力波形が得られる。
する磁気信号１３であるので、Ｎ−３間の境界において
も急峻な出力波形が得られる。
第２図は磁界発生体として回転磁界発生体を使用したも
ので従来例第６図に対する本発明の一実施例である。こ
の場合も前記位置検出器と同様な方法によシ、角度検出
を行なうことができる。
ので従来例第６図に対する本発明の一実施例である。こ
の場合も前記位置検出器と同様な方法によシ、角度検出
を行なうことができる。
発明の効果
以上の様に、磁界発生体の二つの着磁部の中央にＭＲ素
子が配置されているため、取り付はギャップによる出力
電圧の低下を考慮することなく取り付けられ、取り付は
時の調整が簡単であり、出力電圧が安定している。また
、出力波形も急峻な波形が得られるという効果を有して
いる。
子が配置されているため、取り付はギャップによる出力
電圧の低下を考慮することなく取り付けられ、取り付は
時の調整が簡単であり、出力電圧が安定している。また
、出力波形も急峻な波形が得られるという効果を有して
いる。
【図面の簡単な説明】
第１図及び第２図はそれぞれ本発明の一実施例による位
置検出器を示す概略構成図、第３図及゛び第６図はそれ
ぞれ従来の位置検出器を示す概略構成図、第４図は位置
検出及び角度検出センサとして使用されているＭＲ素子
の斜視図である。 １１・・・・・・磁界発生体、１１＆・・・・・・第１
の着磁部、１１ｂ・・・・・・第２の着磁部、１２・・
・・・・ＭＲ素子、１３・・・・・・磁気信号。 代理人の氏名 弁理士 中 尾 敏 男 ほか１名ＩＩ
−−−雇界発生体 第２図
置検出器を示す概略構成図、第３図及゛び第６図はそれ
ぞれ従来の位置検出器を示す概略構成図、第４図は位置
検出及び角度検出センサとして使用されているＭＲ素子
の斜視図である。 １１・・・・・・磁界発生体、１１＆・・・・・・第１
の着磁部、１１ｂ・・・・・・第２の着磁部、１２・・
・・・・ＭＲ素子、１３・・・・・・磁気信号。 代理人の氏名 弁理士 中 尾 敏 男 ほか１名ＩＩ
−−−雇界発生体 第２図
Claims (3)
- （１）等ピッチに着磁された第１の着磁部とこの第１
の着磁部と同一ポール数で反極に着磁された第２の着磁
部とを有する磁界発生体に、この磁界発生体から生じる
磁気信号を電気抵抗の変化に変えて位置検出を行なう強
磁性薄膜抵抗素子を取り付けた位置検出器。 - （２）強磁性薄膜抵抗素子を磁界発生体の二つの着磁
部の中央に配置し、かつ磁界感知部の長手方向を信号磁
界と平行に配置した請求項１記載の位置検出器。 - （３）強磁性薄膜抵抗素子として、磁界感知部にバイ
アス磁界をかけた請求項１記載の位置検出器。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP63061069A JPH01233318A (ja) | 1988-03-15 | 1988-03-15 | 位置検出器 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP63061069A JPH01233318A (ja) | 1988-03-15 | 1988-03-15 | 位置検出器 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH01233318A true JPH01233318A (ja) | 1989-09-19 |
Family
ID=13160485
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP63061069A Pending JPH01233318A (ja) | 1988-03-15 | 1988-03-15 | 位置検出器 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH01233318A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH03179215A (ja) * | 1989-12-07 | 1991-08-05 | Hitachi Ltd | 磁気エンコーダ |
| CN110940371A (zh) * | 2019-12-13 | 2020-03-31 | 浙江禾川科技股份有限公司 | 一种旋转磁电编码器的校准方法、装置及设备 |
-
1988
- 1988-03-15 JP JP63061069A patent/JPH01233318A/ja active Pending
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH03179215A (ja) * | 1989-12-07 | 1991-08-05 | Hitachi Ltd | 磁気エンコーダ |
| CN110940371A (zh) * | 2019-12-13 | 2020-03-31 | 浙江禾川科技股份有限公司 | 一种旋转磁电编码器的校准方法、装置及设备 |
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