JPH01235802A - フィクスチャ位置ずれ検出方法 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 本発明はフィクステヤ位置ずれを検出方法に関する。

〔従来の技術〕

従来のフィクスチャの位置ずれ検出方法は、テスタ本体
の接触子と、前記フィクスチャ内に付された前記フィク
ステヤが正しい位置に直かれた時にのみ前記接触子と接
触することのできる唯一の電極パターンとの接触または
非接触により位はずれを検出するものでおった。

次に従来のフィクスチャ位ｄずれ検出方法について１図
面を参照して詳細に説明する。

第４図は、従来の一例を説明するだめの斜視図、第５図
は第４図に示す位置決め用・＃を極パターンの詳細を示
す平面図である。

一つの接触子に相対する電極パターンは、唯一うである
。

被試験物５３はフィクステヤ５１に固定されテスト用ｉ
ｔ極パターン５６に接続される。このフィクスチャ５１
をテスタ本体５２に固定し、テスト用接触子５７が電極
パターン５６に接触することによって被試験物５３は、
テスタ本体５２と接続され、テストが行なわれる。従っ
て、フィクステヤとテスタ本体とが、正確に接続されな
ければならない。

このとき、フィクスチャの位置決めは本体側のガイド５
８と、フィクスチャ側のガイド穴５９によって、大まか
に行なわれるが、厳密には位置決め用電極パターン５４
と位置決め用接触子５５との≦気的接触を調べることに
よってなされる。

すなわち１位置決め用域極パターン５４と１位置次め用
接触子５５とが接触している場合１位置決めが完了して
いて、接触していない場合に、位置ずれをおこしている
として１位置ずれ検出を行なうというものでおる。

〔発明が解決しようとする課題〕

上述した従来のフィクステヤ位置ずれ検出方法は、′１
極パターンが１つなので１位置ずれの有無のみで、その
ずれ方向はわからずその結果位置決めが困難でおるとい
り欠点があった。

〔課題を解決するための手段〕

本発明のフィクスチャ位置ずれ検出方法は、複数の位置
ずれ検出用′電極パターンをフィクスチャに設ける手順
と、前記フィクステヤを位置ずれ検出用接触子を有する
テスタ本体に城付ける手順と。

前記位置ずれ検出用接触子が前記位置ずれ検出（極パタ
ーンのどの部分に接触しているかを調べることによシ位
置ずれ量２よび位置ずれ方向を求める手順とを含んで構
成される。

〔実施例〕

次に１本発明の実施例について、図面を参照して詳細に
説明する。

第１図は本発明の一実施例を説明するための斜視図、第
２図は第１図に示す位置ずれ検出用パターンの詳細を示
す平面図である。

位置ずれ検出用パターン２４は、中心部とＸＹ方向に分
割されている。被試験物２３はフィクスチャ２１に固定
され、テスト用−極パターン２６と接続される。

フィクステヤ２１はテスタ本体２２に固定さね。

テスト用接触子２７とテスト用−極パターン２６とが接
続されることによって被試験物のテストが可能となる。

このとき、ガイド２８とガイド穴２９によって概略位置
決めを行ない、厳密な位置合わせを位置ずれ検出用電極
パターン２４と位置ずれ検出用接触子の一気的接触状態
によって位置ずれを検出し行なう。

位置ずれ検出の方法を第３図（ａ）〜（ｄｌを用いて詳
細に説明する。第３図（ａ）は位置ずれ検出用成極パタ
ーン３１と同接触子３２とテスト用電極パターン３３と
同接触子３４との位置関係を示す図である。第３図（ｂ
）　、　（Ｃ）　、　（ｄｌは位置ずれ検出用′ＩＩＥ
極３１と同接触子２２の接触状態の例である。

第３図（ｂ）の場合、接触子４０は第５の電極３９と接
触している。従ってフィクスチャは、テスタ本体に対し
て第１０′域極３５の方向へずれていることがわかる。

また第３図ＴＣＩの場合、接触子４０は第２の電極３６
と４３の゛１極３７の２つに接触している。したがって
、フィクスチャはテスタ本体に対し、第４の１億３８と
第５の１Ｉｉｔ極３９間の方向へずれていることがわか
る。

第３図Ｆｄｌにおいて接触子４０は第１の電極３５に接
触していて位置合わせが完了していることがわかる。

以上のようにして１ｔ＃７Ａパターンのうちのどの電極
に接触しているかを見ることによって位置ずれ方向の検
出が可能となる。

〔発明の効果〕

本発明の位置ずれ検出方法は、分割した′４極を用いる
ことによシ、安価に位置ずれ方向を検出できるという効
果がある。

【図面の簡単な説明】

の詳細を示す平面図、第３図１ａｉｒｉ電極パターンと
接触子の部分の拡大図、第３図（ｂ）〜（ｄ）は電極と
接触子の接触状態を示す状態説明図、第４図は従来例の
一例を示す斜視図、第５図は第４図に示す位置決め用・
成極パターンの詳細を示す平面図であム２１・・・・・
・フィクスチャ、２２・・・・・・テスタ本体、２３・
・・・・・被試験物、２４・・・・・・位置ずれ検出用
電極パターン、２５・・・・・・位置ずれ検出用接触子
、２６・・・・・・テスト用電極パターン、２７・・・
・・・テスト用接触子％　２８・・・・・・ガイド、２
９・・・・・・ガイド穴、３１・・・・・・位置ずれ噴
出用′１極パターン、３２・・・・・・位置ずれ検出用
接触子、３３・・・・・・テスト用電極パターン、３４
・・・・・・テスト用接触子、３５・・・・・・第１の
成極、３６・・・・・・第２の成極、３７・・・・・・
第３の電極、３８・・・・・・第４の′電極、３９・・
・・・・第５の４極、４０・・・・・・接触子、５１・
・・・・・フィクステヤ、５２・・・・・・テスタ本体
、５３・・・・・・被試験物、５４・・・・・・位置決
め用電極パターン、５５・・・・・・位置決め用接触子
、５６・・・・・・テスト用電極パターン、５７・・・
・・・テスト用接触子、５８・・・・・・ガイド％５９
・・・・・・ガイド穴。

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. 複数の位置ずれ検出用電極パターンをフィクスチャに設
   ける手順と、前記フィクスチャを位置ずれ検出用接触子
   を有するテスタ本体に取付ける手順と、前記位置ずれ検
   出用接触子が前記位置ずれ検出電極パターンのどの部分
   に接触しているかを調べることにより位置ずれ量および
   位置ずれ方向を求める手順とを含むことを特徴とするフ
   ィクスチャ位置ずれ検出方法。