JPH01237617A - fθレンズ - Google Patents

fθレンズ

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JPH01237617A
JPH01237617A JP6492288A JP6492288A JPH01237617A JP H01237617 A JPH01237617 A JP H01237617A JP 6492288 A JP6492288 A JP 6492288A JP 6492288 A JP6492288 A JP 6492288A JP H01237617 A JPH01237617 A JP H01237617A
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Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 (発明の分野) 本発明は光ビームを光偏向器により偏向して被走査面上
を走査させる光走査装置において用いられるfθレンズ
に関し、特に詳細にはレンズ設計が行ない晶<、かつ光
°の利用効率も高いfθレンズに関するものである。
(従来の技術) 従来より、光ビームを光偏向器により偏向して被走査面
上を走査させる光走査装置においては走査レンズとして
fθレンズが用いられている。すなわち、回転多面鏡、
ガルバノメータミラーといった光偏向器により、光ビー
ムは等角速度で反射偏向されるが、被走査面は、回転軸
が偏向方向と平行なドラム上に配されたり、偏向方向と
垂直な方向に搬送される平坦なシート状物であったりす
るのが一般的であり、いずれも偏向方向については平坦
となっているので、偏向器の偏向速度(偏向角速度)と
被走査面上での光ビームの走査速度を比例させるために
は、上記光ビームの被走査面上での移動量を偏向角θに
比例させる特性を有するfθレンズを光偏向器と被走査
面との間に設ける必要がある。
上記fθレンズは、通常複数のレンズが組み合わせられ
てなり、特開昭53−137831号には負の屈折力を
有するレンズと正の屈折力を有するレンズの2枚からな
るfθレンズが開示されており、また特開昭58−21
711号には2枚の負の屈折力を有するレンズと1枚の
正の屈折力を有するレンズの3枚のレンズからなるfθ
レンズが開示されている。
(発明が解決しようとする課題) しかしながら、2枚のレンズからなるfθレンズは、レ
ンズ枚数が少ないため、fθレンズ全体としての収差を
小さく抑えるようにレンズの設計をすることが難しく、
レンズ設計の自由度が小さいという不都合がある。一方
3枚のレンズからなるfθレンズは、レンズの面数が多
くなるため、レンズ面上で反射される光が多く生じて光
の利用効率が低下するとともに、fθレンズを構成する
レンズは通常1つずつレンズマウントに取り付けられる
ようになっているので、レンズの取り付けが面倒である
という問題がある。
本発明は上記の問題点に鑑みてなされたものであり、レ
ンズ設計の自由度が大きく、光のロスが少なく、さらに
組立作業も容易なfθレンズを提供することを目的とす
るものである。
(課題を解決するための手段) 本発明のfθレンズは、光偏向器側から順に配された、
正または負の屈折力を有する第1のレンズ、および正の
屈折力を有する第2のレンズからなり、第1のレンズと
第2のレンズのいずれか一方が、2枚のレンズを貼り合
わせて形成されていることを特徴とするものである。
なお、従来、レンズは鏡胴に組入れる構造で組立てる事
により、比較的容易に組立精度を出せた。
しかし最近、装置の小型化の要求のために、レンズを短
冊型にカットし、レンズ本体をコンパクト化するのが通
例になっている。その場合、第1および第2のレンズは
、それぞれレンズマウントに固定されて光走査装置内に
組み入れられるので、レンズの両面が曲率を有している
と、マウント側もレンズの曲率に合わせた加工を施され
る必要が生じ、マウントの加工に手間がかかる他、曲率
を有する面をマウントに取り付ける場合には取り付は位
置の精度を高めることが難しくなる。そこで上記第1の
レンズの第2のレンズ側の面、および上記第2のレンズ
の第1のレンズ側の面のいずれか一方または両方を平坦
な面とすれば、平坦な面を有するレンズのレンズマウン
トへの取り付けが容易になり、またレンズの性能を損う
こともないので好ましい。
(作  用) 上記のように本発明のfθレンズは、見かけ上は2枚の
レンズからなっているので、光ビームがレンズ面上で反
射される割合は従来の2枚のレンズからなるfθレンズ
と同等となり、fθレンズに入射した光ビームを効率的
に走査光として用いることができる。一方、本発明のf
θレンズは3枚のレンズが組み合わせられているので、
3枚のレンズの性能をそれぞれ調整してfθレンズ全体
の収差を少なくすることができ、レンズ設計の自由度を
従来の3枚組のfθレンズと同等に高めることができる
。従って本発明のfθレンズは、従来の2枚組のfθレ
ンズと、従来の3枚組のfθレンズの欠点を解消し、そ
の長所を併せ持ったものとなる。
(実 施 例) 以下、図面を参照して本発明の実施例について説明する
第1図は本発明の一実施例によるfθレンズを備えた光
走査装置の斜視図であり、第2図はその側面図である。
光源1から発せられた光ビーム2は、ビームエキスパン
ダ3により所望のビーム径に拡大された後、矢印A方向
に回転する回転多面鏡4に平行な光束として入射する。
回転多面鏡4により反射偏向された光ビーム2は光路上
に配されたfθレンズ7を通過した後矢印C方向に一定
速度で搬送される(副走査される)被走査面8上を矢印
B方向に主走査せしめられる。上記fθレンズ7は回転
多面m4により等角速度で偏向される光ビーム2を平坦
な被走査面8上で集束させて等速で走査させるレンズで
あり、回転多面鏡4側に配された、負の屈折力を有する
第1のレンズ5と被走査面8側に配された、正の屈折力
を有する第2のレンズ6とからなっている。また、第1
のレンズは2つのレンズ部5A、5Bを接合することに
より形成されており、レンズ部5Bの第2のレンズ側の
面、および第2のレンズの第1のレンズ側の面はそれぞ
れ平坦になっている。
上記のような屈折力を有する2組のレンズからなるfθ
レンズを用いれば、光ビームを被走査面8上で等速で走
査させ、高精度な2次元走査を実現することができる。
以下に上記fθレンズの各レンズの実施例を示す。なお
、r1〜r、は、第2図に示す、fθレンズの各レンズ
のレンズ面の曲率半径、dl +  d2 r  da
はそれぞれレンズ部5A、5B、第2のレンズ6の軸上
肉厚、daは、第1のレンズ5と第2のレンズ6の軸上
における空気間隔、doは偏向点からrlのレンズ面ま
での間隔、d5は「5のレンズ面から走査点までの間隔
、’! +  02 r  n3はそれぞれレンズ部5
A。
5B、および第2のレンズ6の屈折率でありf1+f2
は第1のレンズおよび第2のレンズの焦点距離、fQ、
はfθレンズ全体の焦点距離、dは近軸薄肉での第1の
レンズおよび第2のレンズの主点間隔となっている。
なお、第2図に示すfθレンズの各レンズは上記「1〜
’5 +  do ””d5を説明するために便宜的に
図示したものであり、以下に示す第1〜第6実施例のf
θレンズにおける具体的なレンズの形状は、それぞれ第
5図(a)〜第1O図(a)に示す。
また第1〜第6実施例のfθレンズの収差図は、それぞ
れ第5図(b)〜第10図(b)に示す。なお、ここで
fθ性とは (Hは像面上で振れ角θの時の高さ)で定義される値で
ある。また光ビームの波長は632.8 rrn、回転
多面鏡によるビーム偏向角は±15″、長さの単位はm
である。
第1実施例 do−3,44 rl −−22,81dl −0,81nl−1,13
67084r2−583.60   dz 4.11 
 nz −1,51509r3− ”     da−
3,01 r a −”     d a −2,20n 3−1
.79883r5−−23.465   d5−118
.00f、−33,889d −5,445 f 2−29474 f免−99,942 第2実施例 do−3,50 rl =−17,43dl −2,20nl −1,7
4056rz =−50,92dz −1,18nz 
−1,51509r3 ” (X)     da −
0,75r4 ” 00     d4−1.9!If
  n3−1.79883r 5 =−19,25d 
5 =115.29fl−26,432d  −4,0
40f 2−24.101 f QJ−100,009 第3実施例 do−3,50 rl =−18,82dl −1,32nl−1,56
670r2−33.68    dz−0,99nz 
−1,51509rs −ood3−2.10 rl ”’ 00     d4−1.75  n3−
1.79883r 5 =−21,77d 5−114
.50f、−31,242d −4,531 f2−27.257 f Q、、−100,000 第4実施例 do 鴫3.50 rs  ”−14,50dt  =1.82   nt
  −1,74058r 2−−18.89    d
 z−0,75n 2 =1.51509r3 ” 0
0       d3 ml、30r4 ” ”   
   d4−0.75   n3−1.68445r 
5  =−16,08d 5 −113.95f s 
 −−25,971d  −3,623f2暉23.4
93 f 9J−100,001 第5実施例 do −3,5 rl −−B4J[i      dl4.55   
 nl −1,)4056rz−−87,12dz−0
,75nz−1,5150913−a  oo    
    d 3 4Q、IQr4  m  oa   
      d4  mo、75    n3  ml
、88445r 5  ”−43,99d 5 −11
4.78f 1−−124.075    d  口1
8.309f 2−63.543 f 9.j−100,000 第6実施例 do−3,50 rl  =−23,79dl  −0,75nt  −
1,74058r2−13.25   dz −0,7
5n2=1.51509r3 ” 00     d3
−4.1Br4−00     d4−0.75  n
3 ml、79883r5 =−27,99d5−10
8.48f、−71,981d −8,088 f 2−45.393 f 9J−99,999 なお、上記各実施例のように負の屈折力を有する第1の
レンズを2つのレンズ部からなるものとした場合には、
第2のレンズの屈折率n、は、光ビームの波長が632
.8 runであるとすると、1.55≦03≦1.9
7の範囲内にあるようにするのが望ましい。n、が1.
55より小さいとfθレンズのfθ性が低下し、また1
697より大きいと通常の光学ガラスからは硝材選択が
できなくなるという不都合がある。ただし、屈折率がこ
れより大きいガラスができればそのかぎりではない。
ところで本発明のfθレンズは、第3図に示すように負
の屈折力を有する第1のレンズ15を1枚のレンズから
なるものとし、正の屈折力を有する第2のレンズ1Bを
2枚のレンズ部18A、 18Bからなるものとしても
よい。かかるタイプのレンズ系からなるfθレンズ17
の実施例を第7〜第10実施例として以下に示す。なお
、「1′〜「5′は、第3図に示す、fθレンズのレン
ズ面の曲率半径、di ’ +  d3 ’ +  d
4′はそれぞれ第1のレンズ15、レンズ部L6A、I
BBの軸上肉厚、d2′は第1のレンズと第2のレンズ
の軸上における空気間隔 d、l偏向点から「1′のレ
ンズ面までの間隔、d、′はr、/のレンズ面から走査
点までの間隔、nl ’ +  n2/ l  n3/
 はそれぞれ第1の、レンズ15およびレンズ部16A
、18Bの屈折率であり’1’+f2′は第1のレンズ
および第2のレンズの焦点距離、f9J′はfθレンズ
全体の焦点距離、d′は近軸薄肉での第1および第2の
レンズの主点間隔となっている。
なお、第3図に示すfθレンズの各レンズは上記、、/
 〜r5 / 、do/ 〜d5/を説明するために便
宜的に図示したものであり、以下に示す第7〜第1O実
施例のfθレンズにおける具体的なレンズの形状は、そ
れぞれ第11図(a)〜第14図(a)に示す。また第
7〜第10実施例のfθレンズの収差図は、それぞれ第
11図(b)〜第14図(b)に示す。
ここで光ビームの波長は632.8 rm、回転多面鏡
による光ビーム偏向角は±15@、長さ単位は履である
第7実施例 do’−3,00 r 1’ −−21,03d l’ −1,08n 1
’ −1,51509rzl −oa        
 d z’ −4,32r 31 # 00     
d 3’ −1,59n 2’ −1,51509r4
’−−346,50d4’−2,00n3’−1,79
883r s’ −−26,54d s’ −117,
67f、’−40,827d’−7,222f 2’−
34,115 f l’−99,957 第8実施例 d 、’ −3,0 r 1’ −−14,94d l’ −1,10n 1
’ −1,51509j21m 00     d2−
o、9゜r 3’ −oo     d 3I−2,1
On 2I−1,51509r シ=−241.41 
  dシー2.2On 3’−1,79883r5″−
20,02d 5’=l14.7[if 、’−28,
999d’ −4,270f z’−25,790 r 9J′−99,999 第9実施例 do’−3,00 r 1’ =−14,92d 1’ −1,10n 1
’−1,51509rz’−oo      d2’−
0,95r 31− oo      d 3’ −2
,18n 2’ −1,56870r4’−−210,
22d4’−2,20n3’−1,79883r 5′
−−20,07d 5’ −114,92f1’−28
,973d’−4,314f 2’ −25,809 f免’−99,999 第1O実施例 d、’−3,00 r 1’ −−14,85d 1’ =1.10  n
 1’ −1,51509r2′−oo     dz
’−1,10r31−oo     d3’−2,15
n2’−1,61656r4’−178,31d4’−
2,20n3’=1.79883r5’−20,10d
5’−115,33f l’−28,832d’ −4
,412f 21−25.804 t rf、−ta9.999 なお、本発明のfθレンズは、第2図に示したタイプと
第3図に示したタイプのいずれについても、全系の焦点
距離をfとしたとき第1のレンズ5 (15)の焦点距
離f、(f1’)は−0,72f≦f1(f1’)≦−
0,28fの範囲内にあるのが望ましい。fl (f1
’)が上記範囲より大きいとfθ性が悪くなり(2,5
%以上)、上記範囲より小さいと前述した主点間隔d 
(d’ )を大きくしないとfθ性を良好に保てなくな
るのでレンズ間隔が空いてレンズ径が大きくなってしま
うという不都合がある。また第2のレンズ6 (16)
の焦点距離f2 (f2′)は0.24 f≦f2 (
f2’)≦0.45fの範囲内にあるのが望ましい。f
z(fz’)が上記範囲より小さいとfθ性が悪くなり
、上記範囲より大きいと上記主点間隔d (d’ )を
大きくしなければならないという不都合がある。さらに
上記主点間隔d (d’ )は0.039 f Sd 
(d”)< 0.18 fの範囲内にあるのが望ましい
。d (d’ )が上記範囲より小さいとfo性が悪く
なり、上記範囲より大きいと上述のようにレンズの径が
太きくなってしまうという不都合がある。
なお、上述した第1〜第1O実施例において、第1のレ
ンズと第2のレンズ側の面と、第2のレンズの第1のレ
ンズ側の面はいずれも平坦となっているが、これらの面
にも適宜曲率を設けてもよい。
また本発明のfθレンズは、第4図に示すように正の屈
折力を有する第1のレンズ25を1枚のレンズからなる
ものとし、正の屈折力を有する第2のレンズ2Bを2枚
のレンズ部26A、26Bからなるものとしてもよい。
かかるタイプのレンズ系からなるfθレンズ27の実施
例を第11実施例として以下に示す。なお、r 、 j
〜r 、 jは、第4図に示す、fθレンズのレンズ面
の曲率半径、d1′。
d3’+d4′はそれぞれ第1のレンズ25、レンズ部
28A、 28Bの軸上肉厚、d2′は第1のレンズと
第2のレンズの軸上における空気間隔、d。
″偏向点からrl’のレンズ面までの間隔、d。
′は「5′のレンズ面から走査点までの間隔、nエ r
  nZ ’ r  n3′はそれぞれ第1のレンズ2
5およびレンズ部2OA、 2[iBの屈折率でありf
l′。
f2′は第1のレンズおよび第2のレンズの焦点距離、
fQ、’はfθレンズ全体の焦点距離、d′は近軸薄肉
での第1および第2のレンズの主点間隔となっている。
なお、第3図に示すfθレンズの各レンズは上記r 、
 I〜r5″+dO′〜d5″を説明するために便宜的
に図示したものであり、以下に示す第11実施例のfθ
レンズにおける具体的なレンズの形状は、第15図(a
)に示す。また第11実施例のfθレンズの収差図は、
それぞれ第15図(b)に示す。
第11実施例 d 、’ −15,00 r 1’ −−208,28d 1ダー2.90  n
 1’ −1,88833r zター80.27   
d 2#−4,00r 、Q−00d 3”m2.18
    n z’ −1,79885r 44−31.
8B    d 4e ”3.00  n 3e−1,
71022r5”−−92,70d5’−97,28f
 1−IRQ、13   d’−6,88f z”−2
04,08 t gニー9ta、91 第1〜第1O実施例までは第ルンズが負の屈折力を持っ
ており、第U実施例は第ルンズが正の屈折力を持ってい
る。両者を比較した場合節ルンズが負の屈折力を持つも
のの方がペッツパル和が小さくなり像面わん曲を小さく
することができて好ましい。
(発明の効果) 以上説明したように本発明のfθレンズによれば、第1
または第2のレンズを2つのレンズを貼り合わせて形成
することにより、見かけ上のレンズ面を少なくして光の
利用効率を高めることができるとともに、合わせて3枚
のレンズによりfθレンズ全体の収差を補正することが
できるので、レンズの設計の自由度が大きくなる。
特に第ルンズを負にしたものは像面わん曲が小さくおさ
えられており、また第ルンズの第2レンズ側の面および
/または前記第2レンズの第2レンズ側の面が平坦なも
のは前記レンズの高精度取付けとコストダウンが可能に
なる。
【図面の簡単な説明】
第1図は本発明の一実施例によるfθレンズを備えた光
走査装置の概要を示す斜視図、第2図は上記装置の側面
図、 第3図、第4図は本発明の他の実施例によるfθレンズ
の側面図、 第5図(a)、(b) 、第6図(a)、(b) 、第
7図(a)。 (b)、第8図(a)、(b) 、第9図(a)、(b
) 、第10図(a)、(b) 、第11図(a)、(
b) 、第12図(a)、(b) 、第13図<a)、
 (b)第14図(a)、(b) 、第15図(a)、
(b)は、それぞれ本発明の実施例によるfθレンズの
構成を示す概略図および収差図である。 2・・・光ビーム  4・・・回転多面鏡5、15.2
5・・・第1のレンズ 5A、 5B、 18A、 16B、28 A、28 
B・・・レンズ部 6・・・第2のレンズ 7・・・fθレンズ  8・・・被走査面第1図 第5図 第6図 (b) 第7図 (Q) (b) 第8図 1−/ml イ橡iわん曲 −ゝ    テンストーレ1ン    
   「e41第11図 (b) 1&tわんf)k  hml    デイスト−ジン 
       fθJlf第12図 +6 4tJohLJ  ””     ”?”<ストーsa
ンf G +l’1第13図 (b) (Jj)(iu)フン1m   ”””    +−<
7+−=*>        ”””’第14路! (a) 1武 (b) イ徽釦わん曲 ・m−・    省7)−’>a、’″
′−1fθ)IL 第15図 FS (b)

Claims (1)

  1. 【特許請求の範囲】 1)光ビームを等角速度で偏向する光偏向器と偏向方向
    において表面が平坦な被走査面の間に設けられ、前記光
    ビームを前記被走査面上で集束させて等速で走査させる
    fθレンズにおいて、 前記光偏向器側から順に配された、正または負の屈折力
    を有する第1のレンズ、および正の屈折力を有する第2
    のレンズからなり、前記第1のレンズと前記第2のレン
    ズのいずれか一方が、2枚のレンズを貼り合わせて形成
    されていることを特徴とするfθレンズ。 2)前記第1のレンズが負の屈折力を有し前記第1のレ
    ンズの前記第2のレンズ側の面および/または前記第2
    のレンズの前記第1のレンズ側の面が平坦であることを
    特徴とする請求項1記載のfθレンズ。
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