JPH01238470A

JPH01238470A - 直接駆動装置

Info

Publication number: JPH01238470A
Application number: JP63063374A
Authority: JP
Inventors: Toshio Ogiso; 敏夫小木曽
Original assignee: Hitachi Ltd
Current assignee: Hitachi Ltd
Priority date: 1988-03-18
Filing date: 1988-03-18
Publication date: 1989-09-22

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】〔産業上の利用分野〕本発明は高効率な電気・機械エネルギ変換が可能な圧電
体を用いた直接駆動装置に係り、特に高速・高精度な位
置決めの要求される直接駆動ロボットの関節軸駆動に好
適な直接駆動装置に関する。

〔従来の技術〕

従来の直接駆動装置及び回転駆動装置は、１）特公昭５
９−３０９１２号に記載のような傾斜振動片をディスク
面に高周波数で押し付け、その曲げ変形により発生する
力によりディスクを突き、摩擦力で駆動する装置が示さ
れていた。また、２）特開昭６０−６２８８０号に記載
のように傾斜振動片とディスク１を一体に形成し、ディ
スク１のねじり振動をディスク２に面接触で伝達させる
装置が示されていた。また、本出願外による３）特開昭
６０−２００７７６号に記載のように、一対の圧電体を
ベースに斜交配置し、各々の先端に各電圧体の変位を合
成する弾性部材を設け、先端に設けた摺動部材により被
駆動体を接触駆動する装置が示されていた。

また従来の直接駆動ロボットは例えば特開昭６１−１７
３８７５号に示すように電磁式直接駆動電動機を用いた
ものが示されていた。

〔発明が解決しようとする課題〕

直接駆動装置及び回転駆動装置については、上記従来技
術１）は、傾斜振動片でディスク面を突きながら力を発
生する方式であるため、面が損傷し、摩耗が激しいとい
う問題があった。また、被駆動体の移動方向を変えるた
めには、２列の傾斜振動片列、ディスクを設けて相り換
え操作を行わねばならず、機構が複雑になるという問題
があった。また、従来技術２）は従来技術１）の摩耗の
問題をディスク同士の面接触とすることにより改良して
いるが、被駆動体を正逆方向移動させる機構が複雑にな
るという問題があった。従来技術３）は、２ケの圧電体
を用いて、電気的に被駆動体の正逆方向移動を可能にで
きるという利点があり、摩耗の問題は１）、２）の中間
である。以上３ケの従来技術はいずれも一方向の被駆動
体の運動をうるように構成されているため、低速で被駆
動体を駆動するためには圧電体に低電圧を印加すること
となり、発生力も低下してしまうという問題があった０
本発明の目的は、２方向に変位可能な直接駆動装置によ
り低速・高トルクを発生しうる回転駆動装置を提供する
ことにある。

また、直接駆動ロボットに関する従来技術は、電磁式直
接駆動電動機を用いているため、十分な出力・自重比が
とれず、第２アームを第１アーム根元からスチールベル
トを介して駆動しており、直接駆動電動機の長所を十分
生かした使い方をしていない０本発明の更なる目的は、
上記直接駆動装置及び回転駆動装置を用いて軽量な関節
駆動装置を構成し、各関節に関節駆動装置を直接装着し
、高速・高精度な動作の可能な直接駆動ロボットを提供
することにある。

〔課題を解決するための手段〕

直接駆動装置に関する上記目的は、直接駆動装置を四角
すい状構造とし、厚み方向に変形する圧電体を各稜線に
設け、各圧電体の四角すいの頂部側に別の３ケの圧電体
の変位方向に自由度を有する四ツ又状弾性切り欠き部を
設け、その先端に摺動部材を設けることにより達成され
る。

回転駆動装置に関する上記目的は、上記直接駆動装置を
四角すいの底面が正方形となるように構成し、四角すい
底面の対角線方向が回転軸に対して半径方向及び円周方
向となるように固定体に配置し、直接駆動装置の摺動部
材をディスク面に押し付け、直接駆動装置を半径方向に
滑動可能で円周方向に拘束されるように固定体に配置す
ることにより達成される。

直接駆動ロボットに関する上記目的は、上記回転駆動装
置及び直接駆動装置をロボットの関節軸及び手首軸に直
接組み込むことにより達成される。

〔作用〕

直接駆動装置の動作について説明する。厚み方向変位圧
電体は厚み方向に対向して設けられた電極間に電圧を印
加することにより厚み方向変位をうろことができる８本
直接駆動装置は四角すい形状の各稜線に厚み方向変位圧
電体をその変位方向が稜線方向と一致するように設け、
その四角すい頂部側に弾性切り欠き部を設け、これは各
圧電体の四角すい頂部側に各圧電体とは別の３ケの圧電
体の変位方向に自由度を有しており、圧電体の変位を合
成し、摺動部材より被駆動体の接触平面の任意の方向に
摩擦移動力を与える。切り欠き部は、直交２方向のまわ
り対偶と等価であり、その対偶部長平方向には剛である
が、それと直交する平面方向には柔で自由度を有するた
め、２方向からの圧電体の変位を合成することが可能と
なる。圧電体を直接駆動装置の共振周波数で駆動した場
合は同一印加電圧でも他の周波数で駆動する場合と比し
て大きい振動変位が摺動部材で得られ、大きい力で被駆
動体を移動させることが可能となる６次に回転駆動装置
の動作について説明する。固定体は半径方向にリニアガ
イド部が設けられており、直接駆動装置は半径方向に滑
動可能であり、円周方向に拘束されるようディスク部（
回転体）に対して押圧設置されている。直接駆動装置は
半径方向の任意の位置に移動することが可能であり。

所定の位置で摩擦力により半径方向に静止できる。

この位置で円周方向にディスク部を摩擦駆動すると出力
軸の回転が得られる。圧電体への印加電圧が同一である
とし、摩擦駆動部ですべりが無いとすると同一の力及び
速度を移動体に伝えることができるため、直接駆動装置
が大半径位置にある場合は出力軸で低速・高トルク特性
が得られ、直接駆動装置が小半径位置にある場合は出力
軸で高速・低トルク特性をうることができる。直接駆動
装置の半径方向位置は任意に設定できるので半径位置検
出器を設は制御することにより無段変速動作が実現でき
る。

次に直接駆動ロボットの動作について説明する。

直接駆動ロボットは各関節軸（回転軸もしくは直動軸）
を回転軸については上記回転駆動装置により駆動し、直
動動作の要求される関節軸については、一方向へ被駆動
体を摩擦接触駆動可能な直接駆動装置を用いることによ
り直動動作が実現でき机〔実施例〕以下、本発明の詳細な説明する。直接駆動装置の実施例
を第１図〜第６図により説明する。第１図は本発明の直
接駆動装置の斜視図である。底辺が正方形である四角す
いの底辺にベース１、各稜線に同一寸法の厚み方向変位
形圧電体２８〜２ｄを設け、圧電体２ａ〜２ｄのベース
】−とは反対側の端部に弾性切り欠き部３を設け、四角
すい頂部に摺動部材よりなる駆動端部４を設けた０図中
圧電体２８〜２ｄに示した矢印は圧電体の電圧印加時の
変位方向を示し、矢印５は圧電体２ａ〜２ｄの変位によ
り生ずる駆動端部４の動作軌跡の例を示す。駆動端部４
の軌跡は、直接駆動装置の高さ方向、ベース面に平行な
平面方向のいずれ方向の変位成分も有することから、駆
動端部５に被駆動体をベース面と平行に押し付けること
により、被駆動体を摩擦力で移動させることができる。

次に本直接駆動装置の構造の詳細を第２図〜第５図を用
いて説明する。第２図は第１図のＡ−Ｂ部縦断面図であ
る。図示例では圧電体２ｂ、２ｄの長手方向のなす角を
９０°とし、圧電体駆動時の互いの干渉を小さくする構
成とした。図示例では２ａ、２ｃについてもその長手方
向のなす角を９０°としている。各圧電体２ａ〜２ｄは
ボルト６ａ〜６ｄによりベースト弾性切り欠き部３間に
締付けられている。これは、圧電体の材料である圧電セ
ラミックスが圧縮強度は強いが、引張強度は弱いことか
ら、あらかじめ圧縮力を加えておくことにより、大振幅
振動時にも圧電セラミックスの性能劣下を防ぐことがで
きるという長所がある。また、圧電体は締付力によりそ
の圧電体からみた直接駆動装置の共振周波数が変化する
ため、圧電体を共振周波数で駆動する場合、４ケの圧電
体に若干の性能のバラツキがあった場合も共振周波数を
ボルト締付力により揃えることができるという利点があ
る。第３図に厚み方向（図中大矢印）変位圧電体２の構
造例を示した。本圧電体は分極方向（図中小矢印）の逆
の圧電セラミックス薄板を電極を介して積層した構造と
なっており、°端子に電圧を印加すると全圧電セラミッ
クス薄板は厚み方向に伸縮いずれか同一の変位を示す、
圧電体２の中央には貫通穴があり、ボルト締結時に利用
する。第４図、第５図は１弾性切り欠き部３の各圧電体
２端部に設けられた切り欠き部の例を示したものである
。本直接駆動装置では、切り欠き部は軸方向は力の伝達
に用いられ、平面方向の２方向から荷重を受けるため、
軸方向には高剛性で平面方向の２方向に変位できる機構
が求められ、図示のように各方向ダブルリンク構成とす
ることにより思案点の発生を回避できる。従って、４本
の袴部を設け、切り欠き要素としては控部両側の外周全
体を切り欠く方式と捧部両側に２方向の切り欠き部を設
ける方式があり、各々第４図、第５図に示した。被駆動
体を高速で大きい力で移動させる場合は圧電体を駆動端
部で被駆動体移動方向に大きい変位の得られる振動モー
ドを有する直接駆動装置の共振周波数で駆動するのが高
効率である。

その場合の駆動端部軌跡を第６図を用いて説明する０図
示しない圧電体２ａ、２ｃ及びその端部に設けられてい
る切り欠き部は圧電体２ｂ、２ｄの変位方向と直交して
いるため、圧電体２ｂ、２ｄ電圧印加時にはほとんど変
位は生じないためここでは圧電体２ｂ、２ｄを含む平面
内で説明を行うこととする。圧電体２ｂを共振周波数で
駆動すると駆動端部４では破線５ｂに示すような軌跡が
得られ、被駆動体７に対する往復時の摩擦力の差から被
駆動体７を方向８ｂへ移動させる。圧電体２ｄを共振周
波数で駆動すると駆動端部４では破線５ｄに示すような
軌跡が得られ、被駆動体７を方向８ｄへ移動させる。圧
電体２ａ、２ｃを各々共振周波数で駆動した場合も同様
の現象がみられる。以上から本発明の本直接駆動装置は
各方向の圧電体を単独で共振周波数で駆動することしこ
より被駆動体を各方向に高速で移動させることができる
という利点がある。

次に本発明の直接駆動装置を用いた回転駆動装置の実施
例を第７図〜第１．０図を用いて説明する。

円筒回転体形回転ｗｉ！動装置を第７１Δ〜第９図を用
いて説明する。内筒回転体形回転駆動装置の縦断面を第
７図に示した。図中わかり易くするため直接駆動装置１
０周辺は断面をとらずに示した。第７図のＣ−Ｄ部断面
及びＥ−Ｆ部断面を第８図。

第９図に示した。第７図を用いて回転駆動装置の構造と
動作を説明する。直接駆動装置ＩＱａ。

１０ｂは、固定板底板１７ａ、１７Ｃ上に半径方向に設
けられたリニアガイドｌｌａ、ｌｌｂ上に半径方向に直
動可能に設けられたリニアガイドブロック２０ａ、２０
ｂにその圧電体変位方向が半径方向及び円周方向となる
様に結合設ｈ１されている。直接駆動装置１０ａ、１０
ｂは、固定体１７に対して軸受１３．．１−４を介して
回転可能に支持されている回転体１５に結合されている
ディスク１６ａ、１６ｂ表面にその駆動端部を押し付け
られている。直接駆動装置駆動端部とディスク１６ａ。

１６ｂは摩擦係数が大きく摩耗量の小さい材料の組み合
わせで構成されている。直接駆動装置とディスクの押し
付は力は適当な値を選ぶことにより最高効率の駆動が可
能となることから、固定体底板１７ａ、］、７ｃと固定
体側板１７ｂ間の締め代をボルト２６で締め付けること
により調整可能としている０回転体１５の固定体１７に
対する回転位置を検出するための位置検出器１９の回転
軸がカップリング１８を介して回転体１５の軸の連結さ
れている０次に、本回転駆動装置の動作について説明す
る。直接駆動装置１０ａ、１０ｂはベース１７ａ、１７
ｃに対して半径方向に移動可能であり１円周方向には拘
束されている。また、回転体１５は半径方向には拘束さ
れており、円周方向には回転可能である６以上から、圧
電体２ｂ、２ｄ’もしくは２ｄ、２ｂ’　を共振周波数
で駆動することにより直接駆動装置１０ａ、１０ｂはリ
ニアガイドｌｌａ、ｌｌｂ上を大半径方向もしくは小半
径方向に高速で移動可能となる。ある半径位置で圧電体
２ｂ、２ｄ、２ｄ’　、２ｂ’への電圧印加を止めると
摩擦力により直接駆動装置１０ａ。

１０ｂはその半径位置にロックされる。そこで、圧電体
２ａ、２ａ’もしくは２ｃ、２ｃ’　を共振周波数で駆
動すると直接駆動装置］、Ｏａ、１０ｂはディスク１６
ａ、１６ｂを円周方向両方向に接触駆動する。圧電体２
ａ、２ａ’　、２ｃ、２ｃ’への電圧印加を止めると回
転体１５はその位置でロックされる８本回転駆動装置は
圧電体無電圧印加時は摩擦力で回転方向半径方向にロッ
クされているため、メカニカルブレーキを除去すること
ができるという利点がある。直接駆動装置が半径方向に
移動しうろことの長所について次に述べる。

直接駆動装置は、圧電体にその共振周波数で同一振幅の
交流電圧を印加すると駆動端部で同一の力。

同一の振動速度を発生する。従って円周方向′ｗＡｌｌ
１３については、大半径位置では同一の印加電圧時に低
速・大トルクの発生が可能となり、小半径位置では高速
・低トルクの発生が可能となる。従って用途に応じて最
適な条件を選択して負荷を駆動できるという長所がある
。また、第７図では２ケの直接駆動装置によりディスク
を挾み付ける方式を示したが、１ケの直接駆動装置によ
りディスクを片側より駆動することも可能である。ただ
し、前者は後者に比して大形となるものの直接駆動装置
とディスクの確実な接触と高いトルクをうろことができ
る利点がある。また、第７図ではベース】−７の円周方
向に１対の直接駆動装置１０ａ。

１０　ｂを設ける例を示したが複数対設けることにより
出力トルクを複数倍にすることも可能である。

次に、本回転駆動装置の検出器等周辺部材について第８
図〜第１０図を用いて説明する。前述したように回転体
１５の回転位置は位置検出器１９により検出可能である
。直接駆動装置の半径方向位置は位置検出器２２と低接
スイッチ２４．２５を併用して絶対位置を検出する構成
とした。半径方向動作を行う際はまず原点復帰動作を行
う必要がある。原点復帰動作の手順を第１Ｑ図に示した
。

まず現在の初期位置が原点位Ｗ（第９図では原点センサ
２４ｂの検出位置（丸印で示した））より上領域にある
か下領域にあるかを原点センサ２４ｂを用いて検出する
。第９図で２４ａ、２４ｃはオーバラン検出用近接スイ
ッチであり、この位置を越えて直接駆動装置ｆ　１０　
ａが動作するとストッパー１．２ａ、１２ｂに衝突して
静止する構造となっている。従って０８≧Ｑ１となるよ
う構成することにより、直接駆動装置が原点位置より上
方にある場合は原点センサはドグ２３ａに覆ね才してお
り、下方にある場合は覆われていないため領域判別が可
能となりその境界で原点位置が検出できる。この例では
、位置検出器２２ａには基準信号発生位Ｗ　２７　ａが
原点位置よりやや下方に設けられている。従って、原点
センサ２４ｂはドグ２３ａが下降すると、覆われた状態
から覆われない状態に変化する位置（原点位置）を検出
し、その位置から更に下降すると基準借号発生位’ｌｉ
ｔ　２７　ａを位置検出器が検出し、その位置で電圧印
加を止めると停止する０位置検出器の基準信号発生位置
が検出できたのでその後はこの位置からの相対位置を位
置検出器２２ａを用いて検出することにより直接駆動装
置の半径方向の絶対方向を知ることができる。

以上の説明は１対の直接駆動装置の片側について述べた
が反対側についても同様の手順で半径方向絶対位置の検
出が可能となる。

次に外筒回転体形回転駆動装置の例を第１１図に示した
０本装置は固定体１７に設けられた円板状部材の両面の
半径方向にリニアガイドｌｌａ。

１１ｂを設け、リニアガイドブロック２０ａ。

２０ｂに直接駆動装置１０ａ、１０ｂが結合されている
。直接駆動装置１０ａ、ｉｏｂの駆動端部は回転体１５
ａ、１５ｃ内面に設けられたディスク１．６ａ、１６ｃ
に押し付けられている。動作原理は内筒回転体形と同様
であり、検出器も内筒回転体形について第８図、第９図
に示したものと同様のものを備えている。外筒回転体形
を用いた場合も直接駆動装置がディスクと接触する半径
が内情回転体形と同一の場合は発生１〜ルクは同一であ
る。回転駆動装置の取り付は部材の形状等がら内筒回転
体形と外筒回転体形のいずれがを選択でき、回転体を固
定体として利用し、固定体を回転体として利用すること
もできる。

次に本発明の直接駆動装置及び回転駆動装置を用いた直
接駆動ロボットの例を第１２図〜第１４図を用いて説明
する。その前に従来の電磁式直接駆動電動機を用いた直
接駆動ロボットの例を第１５図を用いて説明し、その特
徴及び欠点を明らかにする。現在高速・高精度の要求さ
れる組立作業に用いられている水平長関節形直接駆動ロ
ボットはその多くが第１アーム３０．第２アーム３１の
駆動は直接駆動電動機で行っているが、手首軸の駆動は
現在の電磁式直接駆動電動機が出方・自重比をあまり大
きくとれず重くなり負荷が増大するため、高速・低トル
ク電動機を用い、その出方を減速機、ボールネジを介し
て減速することにより行っている。第１５図はその例を
示している。

直接部！ｌ！ＩＪ電動機は発生トルクが大きいため、安
全性確保のためメカニカルブレーキ３８を設けるとブレ
ーキ容量として大きいものが要求され、ブレーキ３８ｂ
は直接駆動電動機３７ａの大きい負荷となる欠点がある
。また、手首機構も減速機４１゜ボールネジ３９．タイ
ミングベルト等用いるため機構が複雑となり、動作方向
の剛性があまり高くとれない欠点がある０本発明で述べ
た直接駆動装置及び回転駆動装置は圧電体を用いており
、圧電駆動装置は電磁式駆動装置と比して３倍程度の最
高出力・自重比が得られることが知られており（機械設
計第３１巻第１３号（１９８７年）第５６頁参照）、手
首軸も含めた全軸を上記装置で駆動すれば駆動装置の軽
量化と共に無電圧印加時は静止摩擦力による制動機能が
あるため、メカニカルブレーキの装着が必要なく更に軽
量化をはかることが可能となる。第１２図に第１５図相
当の直接駆動ロボットの各軸駆動装置を直接駆動装置及
び回転駆動装置に置き換えた例を示した。第１アーム３
０及び第２アーム３１の駆動は前述の回転駆動装置を用
いた。第１アーム駆動用回転駆動装［２８ａ下方にはフ
ァン２９ａを設けた。これにより圧電体の発熱による性
能変化及び性能劣化を防ぐことができ高効率の駆動を維
持することが可能となる。第２アーム３１先端の手首軸
駆動機構について説明する。出力＃（スプライン軸）３
５先端にはハンド３６が設けられている。スプライン軸
３５はスプライン軸受３４、同取付部材４２、ころがり
軸受を介して第２アーム３１に支持されている。スプラ
イン軸受取付部材４２にはディスク３３が結合されてお
り、ディスク３３はその下部にディスク３３半径方向に
移動可能に支持された直接駆動装置にナツトで押し付け
られており回転駆動袋［１２８ｃを構成している。回転
位置検出は位置検出器（例えばブラシレス・レゾルバ）
１９ｃで行う０本スプライン軸受取付部月４２と結合さ
れた筒体４０中に第１３図で示す圧電駆動装置が内蔵さ
れている。本圧電駆動装置は本発明の直接駆動装置が２
次元駆動を可能にしたものであるのに対し１次元駆動を
可能にしているものである。Ｇ−Ｈ部所面を第１４図に
示した。

本圧電駆動装置１０ａ’〜１０ｃ′駆動端部が３点接触
でスプライン軸３５側面に接触しており、ボルト・ナツ
ト４３ａ〜４３ｃにより押付力を調整可能としている。

圧電駆動装置１０ａ’〜１０ｃ’により構成される直接
駆動装置２８ｄによりスプライン軸３５は上下方向動作
を行う、上下方向の位置検出器Ｌ９ｄほか検出器は第９
図と同様の構成となっており、スプライン軸受取付部材
４２゜筒体４０と結合された板３２に設けられている。

本構成の直接駆動装置及び回転駆動装置を用いた直接駆
動ロボットでは従来の電磁式直接駆動電動機を用いた直
接駆動ロボットと比して関節駆動装置の軽量化、ブレー
キ除去による軽量化、各軸動作方向の高剛性化をはかる
ことができるという利点がある。

〔発明の効果〕

本発明によれば、出力自重比の大きい圧電体を用いた直
接駆動装置１ケで被駆動体を２方向に移動させることが
可能となり、その直接駆動装置を半径方向に滑動可能に
構成した回転駆動装置により負荷の大きさ、要求される
特性に整合する速度−トルク特性を有する回転駆動装置
をうろことができるので、直接駆動ロボットの関節駆動
装置を上記直接駆動装置、回転駆動装置を用いて構成す
ることにより、関節駆動装置の軽量化、ブレーキの除去
による関節部の軽量化がはかれ、直接駆動ロボットの高
速・高精度・高効率駆動が可能となる効果がある。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明の直接駆動装置の斜視図、第２図は第１
図のＡ−Ｂ部縦断面図、第３図は圧電体の斜視図、第４
図、第５図は弾性切り欠き部の斜視図、第６図は直接駆
動装置の動作説明図、第７図は本発明の内筒回転体形回
転駆動装置の縦断面図、第８図は第７図のＣ−Ｄ部縦断
面図、第９図は第７図のＥ　−Ｆ部縦断面図、第１０図
は直接駆動装置の半径方向原点復帰動作のフローチャー
ト、第１１図は外筒回転体形回転駆動装置の縦断面図、
第１２図は本発明の直接駆動ロボットの縦断面図、第１
３図は一方向移動形圧電駆動装置の構造図、第１４図は
第１２図のＧ　−Ｈ部所面図、第１５図は従来の直接駆
動ロボットの縦断面図。１・・・ベース、２・・・厚み方向変位圧電体、３・・
・弾性切り欠き部、４・・・駆動端部、５・・・駆動端
部変位方向、６・・・ボルト、７・・・被駆動体、８・
・・被駆動体移動方向、９・・・圧電体変位方向、１０
・・・直接駆動装置、１１・・・リニアガイド、１２・
・・ストッパー、１３．１４・・・軸受、１５・・・回
転体、１６・・・ディスク、１７・・・固定体、１８・
・・カップリング、１９・・・位置検出器、２０・・・
リニアガイドブロック、２１・・・コード板、２２・・
・位置検出器、２３・・・ドグ、２４．２５・・・近接
スイッチ、２６・・・ボルト、２７・・・基準信号発生
位置、２８ａ、２８ｂ、２８ｃ・・・回転駆動装置、２
８ｄ・・・直接駆動装置、２９・・・ファン、３０・・
・第１アーム、３１・・・第２アーム、３２・・・板、
３３・・・ディスク、３４・・・スプライン軸受、３５
・・・スプライン軸、３６・・・ハンド、３７ａ。３７ｂ・・・直接駆動電動機、３７ｃ、３７ｄ・・高速
・低トルク電動機、３８・・・ブレーキ、３９・・・ボ
ールネジ、４０・・・筒体５４１・・・減速機、４２・
・・スプライン軸受取付部材、４３・・・ボルト・ナツ
ト。ネ　ｌＩ２１￥１４−Ｉ１２１８ｓＣ６、−１丁、°“）レト第　６　口ノ・−・べ“−ス９　・−−ｌモニ　９帆坏２芝イＩＬ７１ｉ弓不　３　
区璃　　１０　　　　図一￥）Ｉｆ　　　図

Claims

【特許請求の範囲】１、複数の圧電体と、前記圧電体の電圧印加時の変位を
合成する弾性切り欠き部と、前記弾性切り欠き部先端に
設けられ被駆動体を接触移動させる摺動部材を有する直
接駆動装置において、前記直接駆動装置を四角すい状構
造とし、底面がベースをなし、４ヶの厚み方向に変位す
る前記圧電体をその変位方向が前記四角すい状構造の稜
線と一致するよう一端をベースに固定して設け、前記各
圧電体の他端に各々その他の３ヶの前記圧電体の変位方
向に自由度を有する四ッ又形弾性切り欠き部を連結し、
前記弾性切り欠き部先端の前記四角すいの頂部に摺動部
材を設けたことを特徴とする直接駆動装置。２、特許請求の範囲第１項記載の直接駆動装置を用いた
回転駆動装置において、前記直接駆動装置を固定体（も
しくは回転体）に、前記回転体（もしくは前記固定体）
と結合されたディスク部と押圧設置し、前記直接駆動装
置の前記四角すいの対角位置の稜線に設けられた１対の
前記圧電体の変位方向を前記ディスク部の円周方向と一
致するよう設け、他の１対の前記圧電体をその変位方向
が前記ディスク部の半径方向と一致するように設け、前
記直接駆動装置はその設置される固定体（もしくは回転
体）に対して半径方向に滑動可能に支持され、円周方向
に拘束支持されており、前記回転体と前記固定体は軸受
を介して回動可能に支持されていることを特徴とする回
転駆動装置。