JPH01238664A - 現像処理機構を有する処理装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 （産業上の利用分野） 本発明は例えばフォトマスクの現像処理工程など、温度
、湿度の管理を要する装置に付随して設けることができ
る恒温恒湿スポットチャンバーに関する。

（従来の技術） 例えばフォトマスク処理工程において、ポジレジストの
現像時の温度、湿度の管理は現像条件の重要なポイント
となっている。従来、このような場合の温度および湿度
の管理はフォトマスク処理装置全体を恒温恒湿チャンバ
ー内に収容しておこなわれていた。

（発明が解決しようとする課題） しかし、このような従来の温度、湿度管理方式は管埋す
べき空間が大きくなり、管理をよシ困難なものとするだ
けでなく、フォトマスクの現像、焼成、エツチング、剥
膜などをインライン方式で処理するフォトマスク自動処
理装置等、装置の長さ等が著るしく大きくなる場合には
対応が極めて困廟となる。

（ｎ題を屏決するための手段） 本発明は温度、湿度について管理すべき空間を可及的に
小さくすることができ、装置全体が著るしく大きくなる
インライン方式の場合にも適用することができる恒温恒
湿スポットチャンバーを提供することを目的とする。

この目的達成のため、本発明は以下の構成、即ち、上部
に配設された調節済みエアーを供給するエアー供給チャ
ンバーと、このエアー供給チャンバーの下方に除じんフ
ィルターを介して設けられ、温湿度制御を要する装＃を
部分を局部的に被冠、密閉する処理用チャンバーと、上
記エアー供給チャンバーに連設されたエアー吸い込み口
と、上記処理用チャンバーの下部に連設された排気口と
、一端が上記エアー吸い込み口と連通し、他端が温湿制
御装置と連通する第１のパイプ機構と、一端が上記排気
口と連通し、他端が上記温湿制御装置と連通ずる第２の
パイプ機構とを具備してなり、温度および湿度を所望レ
ベルに調節したエアーを循環させながら上記処理用チャ
ンバーに供給するようにした恒温恒湿スポットチャンバ
ーを提供する。

（作用） 本発明の恒温恒湿スヂットチャンパーは温湿度制御を必
要とする処理装置部分のみを局部的に被冠、密閉し、こ
れと別に分離して設けられた温湿制御装置と連通させる
ことにより、温度、湿度について予め調節されたエアー
を上記処理装置部分に絶えず供給することが可能となる
。

（実施例） 以下、本発明を図示の実施例を参照して説明する。

第１図は視像処理機構、焼成機構、エツチング機構、剥
膜機構等をインライン方式で接続してなるフォトマスク
自動処理装置１０の一部、即ち現像処理機構１部分を示
すものであって、この視像処理機構１の上部に本発明の
恒温恒湿ヌボットチャンパー２が載置、固定されている
。即ち、この恒温恒湿スポットチャンバー２は視像処理
機構１の処理部３及び被加工物供給部４を局部的に被冠
、密閉した状態で固定されている。

この恒温恒湿スＩットチャンパー２は第１図及び第２図
から明らかなように、天井部分に温度、湿度について予
め調節されたエアーを供給するためのエアー供給チャン
バー６と、このエアー供給チャンバー６の下方に除じん
フィルター７を介して連通ずる処理用チャンバー８とか
らなって−る。

この処理用チャンバー８には温湿度センサ−９が設けら
れていて、処理用チャンバ−８内部の温度、湿度に関す
る情報を絶えず、後述する温湿制御装置に伝達し、所望
レベルに温度及び湿度調節されたエアーがこの処理用チ
ャンバー８に供給されるようになっている。

エアー供給チャンバー６の一側には第２図に示す如くエ
アー吸い込み口１１が設けられていて、これに温湿制御
装置に接続されている・９イブ１２（第１のパイプ機構
）の一端が接続されている・処理用チャンバー８の下部
にも排気口１３が設けられていて、これに温湿制御装置
に接続されている・９イグＪ４（第２のパイｆ機構）の
一端が接続されている。除じんフィルター７としてはメ
ソシュタイプのものなど公知のものを適宜使用し得る。

次に、上記恒温恒湿スポットチャンバー２に供給するエ
アーの温度及び湿度をＮ節するための温湿制御装置につ
いての説明する。

第３図は温湿制御装置の一例を示す断面図でおって、第
１のハウジング１５と第２のハウジング１６とから構成
され、第１のハウジング１５内にはその底部に冷凍機１
６が配設されていて、その上方に冷却コイル１７、加湿
機１８、ヒータ１９および送風ファン２０が設けられて
いる。送風ファン２０は第１のハウジング１５の上部１
１１１面に設けられた吹出し口２１と連設されていて、
温度及び湿度について調節されたエアーをノやイブ１２
を介して恒温恒湿スポットチャンバー２内に導入するよ
うＫなっている。上記／−４，Ｅｌコイル１７よシやや
下方の側壁にもエアー吸い込み口２２が設けられていて
、パイｆｌ　４ｆ介して恒温恒湿スポットチャンバー２
の排気口１３と連通している。

第２のハウジング２３内には除湿機２４が設けられてい
て、第１のハウジング１５内のエアーを・母イブ２４に
よシ導入し、この除湿機２３に導いて除湿したのち、こ
れを／？イブ２５を介して再び第１のハウジング１５内
に戻すようになっている。

次に、この恒温恒湿スポットチャンバー２を操作につい
て説明すると、まず、その内部に設けられた温湿センサ
ー９により検出きれたエアーの温度、湿度についての情
報が温湿制御装置の制御機Ｉ１ｍ（図示しない）に伝達
され、これに基づいて、温湿制御装置のヒータ１９又は
冷ｉ！［機１６が作動し、同時に除湿機２４又は加湿機
１８が働き、第１のハウジング１５内のエアーの温度、
湿度が適当レベルに調節され、これが送風ファン２０に
より、・マイプ１２を介して恒温恒湿スポットチャンバ
ー２のエアー供給チャンバー６内に送られ、さらにフィ
ルター７により除じんされたのち、処理用チャンバー８
内に導入され、さらに排気口１３、・母イブ１４′ｔ−
介して再び第１の）・ウジフグ１５内に戻される。この
ようなエアー循環サイクルによって、現像処理機構１の
処理１６５３及び被加工物供給部４は常に一定の温湿度
ならびに清浄度に維持されることになる。

なお、上記実施例においてはフォトマスクの現像工程に
本発明の装置を適用した場合について説明したが、これ
に限らず、その他局部的に温度、湿度についての管理に
必要な装置に対しても適用し得ることは明らかであろう
。又、本発明の恒温恒湿スポットチャンバーと連通して
用いられる温湿制御装置についても上記実施例のものに
限らず、任意のものを利用することができよう。

ところで、上記恒温恒湿スポットチャンバー２はメンテ
ナンス上の便宜を図るため、その側面、前面、又は背面
を臓状に開閉自在にしてもよい。

（発明の効果） 以上祥述したように本発明の恒温恒湿スポットチャンバ
ーは温湿制御を必要とする部分のみ囲繞し、その内部の
温湿度の制御をおこなうよう圧したから、管理すべき空
間を可及的に小さくすることが可能となり、制御性、コ
ストの面で従来のものと比較して著るしく有利となるほ
か、インライン方式の大型の自動処理装置に対しても容
易に適応させることが可能となる。第１、第２チヤンバ
ーは一体型にしても効果は同じなので、スペース等の余
裕があれば一体型にしてもよい。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明罠係わる恒温恒温スポットチャンバ〜を
フォトマスクの現像処理装置罠適用した例を示す一部切
欠断面図、第２図は第１図のものを側方から見た場合の
状態を示す断面図、第３図は本発明の恒温恒湿スポット
チャンバーと連通させて用いられる温湿制御装置の一例
を示す断面図である。 図中、１・・・現像処理機構、２・・・恒温恒湿スポッ
トチャンバー、３・・・処理部、４・・・被加工物供給
部、６・・・エアー供給チャンバー、７・・・除じんフ
ィルター、８・・・処理用チャンバー、９・・・＠湿セ
ンサー、１１・・・吸い込み口、１２．１４・・・パイ
プ、１３・・・排気口、１５・・・第１のハウジング、
１６・・・第２のハウジング、１７・・・冷却コイル、
１８・・・加湿機、１９・・・ヒータ、２０・・・送風
ファン、２１・・・吸出し口、２２・・・吸い込み口、
２３・・・第２のノ＼ウジング、２４・・・除湿機。

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. 　上部に配設された調節済みエアーを供給するエアー供
   給チャンバーと、このエアー供給チャンバーの下方に除
   じんフィルターを介して設けられ、温湿度制御を要する
   装置部分を局部的に被冠、密閉する処理用チャンバーと
   、上記エアー供給チャンバーに連設されたエアー吸い込
   み口と、上記処理用チャンバーの下部に連設された排気
   口と、一端が上記エアー吸い込み口と連通し、他端が温
   湿制御装置と連通する第１のパイプ機構と、一端が上記
   排気口と連通し、他端が上記温湿制御装置と連通する第
   ２のパイプ機構とを具備してなり、温度および湿度を所
   望レベルに調節したエアーを循環させながら上記処理用
   チャンバーに供給するようにした恒温恒湿スポットチャ
   ンバー。