JPH01239428A - 光照射処理装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 ［産業上の利用分野］ この発明は複数個の光源からなる光照射処理装置に関す
るものであり、各光源の光の強度を簡単にモニタする機
能を有する装置に関するものである。

［従来の技＄１ 光照射処理装置は、処理台に載置された被処理物に対し
て、光照射処理を行う装置であるか、複数の光源（以下
ランプという）を用いて行う装置の場合、処理台上の各
位ｎでの照度分布かほぼ均一であることか望ましいが、
各ランプの光の強度のバラツキやランプの経時変化等の
理由により照度分布を均一に保つことは難しい。その上
、光照射処理袋を内の照度分布を知るためには照度計を
用いて装置内の各位置の照度を測定しなければならない
か、密閉された空間である光照射処理袋ご内において光
照射処理か行われる時と同一状態で、照度を測定するた
めの適当な手段は従来なかった。

［発明が解決しようとする課題］ 上記のように、従来の光照射処理装置においては、装置
内の照度を測定する手段としては装置のカバーを取りは
ずすか、または被処理物の搬送口より照度計の受光器を
挿入するかして行うことか考えられるか、前者は光照射
処理が行われる時と同一条件て測定する場合とは異なる
のて、精度として問題があり、また被処理物の搬送口は
被処理物が半導体ウェハのように厚さの薄いものの場合
、光の漏れを防１トするために非常に狭くなっているの
で、この搬送口に受光器を挿入することは不可ｒオであ
る。そのため、処理室内の外壁に受光器を取付けること
等も考えられるか、光照射処理面てはないために測定の
精度としては好ましくない等の問題かあった。

この発明はかかる課題を解決するためになされたもので
、光照射処理面の複数位置での照度の測定か容易かつ高
精度に行うことがてき１合わせて各位置の照度分布や各
ランプの経時変化も知ることのてきる光照射処理装置を
提供することを目的とする。

［課題を解決するための手段］ 上記の目的を達成するために、この発明の光照射処理装
置は、前記複数個の光源をそれぞれモニタする複数個の
ハンドル状またはロット状のライトガイドか各光源から
それぞれ等価位置であり、かつ処理台内に埋込まれた構
成を有するものである。

［作用］ 上記の構成を有することにより、処理台」二の複数位置
での照度の測定か簡単に精度よく行うことができ、その
結果、各ランプの照度についてバラツキや経時変化等を
常にモニタすることかてきる。

［実施例］ 第１図はこの発明の一実施例である光照射処理装置の概
略を示す側断面図で、１はランプハウス、２ａ、２ｂは
ランプ、３ａ、３ｂはそれぞれランプ２ａ、２ｂのミラ
ー、４は処理台、５は被照射処理物（以下ワークという
）の搬送口、６は搬送口５のシャッタ、７ａ、７ｂは処
理台４に設けられ、光源であるランプ２ａ、２ｂから等
価位置に設けられた穴、８ａ、８ｂは各穴７ａ、７ｂ上
に設けられたゴミ除けの透光性材料である石英板、９ａ
、９ｂは穴７ａ、７ｂにそれぞれ埋込まれたハンドル状
またはロット状のライトガイド、１．０ａ、ｊｏｂはこ
れらライトガイド９ａ、９ｂから入射される光によって
照度を検知するための受光素子である。

尚、本実施例では２本のランプを使用するか、被処理物
の大きさや必要な光の強さに応じて、さらに多くのラン
プを用いてもよく、その場合はそれに従いライトガイド
９等も多くなる。

また、第２図は第１図の処理台４の主要部を拡大して示
した断面図で、７は穴、８は石英板、９はライトガイド
　ｌＯは受光素子である。

第１図、第２図において、複数のランプ２ａ。

２ｂからの光は、処理台４に設けられた穴７゜７ａ、７
ｂの石英板８．８ａ、８ｂを透過してライトガイド９．
９ａ、９ｂを介して受光素子１０．１０ａ、ｌＯｂによ
り照度が測定される。

この時、例えば受光素子１０ａ、１０ｂで測定した光の
強度をそれぞれＩａ、Ｉｂとすると、Ｔａ≧ｃ、　　　
　ｒｂ≧Ｃ。

てあって、かつ ＩＩａ　−Ｉｂｌ≦ＣＩ （但し、ｃｏは処理に要求される照度の下限値、Ｃ０は
各ランプの光出力のバラツキによる照度分布不均一の許
容誤差とする。また、Ｃｏ、Ｃ，の値は任意に設定でき
る）の時、それぞれのランプ２ａ、２ｂはほぼ正常な状
態て点灯しており、光照射処理の続行または開始に不都
合はないと判断される。

ところか、光の強度Ｉａ、ＩｂのいずれかかＣ８より小
さくなったり、また。

ｌ　１　ａ　−１ｂｌｏｃ　ｒ になった場合は、照度が不足していたり、照度分布か不
均一であることになり、処理続行または開始か不可と判
断される。

従って、速やかにランプを取換える等の手段を行って、
照度不足を解消したり照度分布の均一を図ることが行わ
れる。

尚、この実施例では石英板８から直接ライトガイド９に
光か入射する場合を示しているか、このゴミ除は用の石
英板８とライトガイド９の間に必要に応じて減光板、ま
たは光を均一に拡散したり減光したりしてライトガイド
に入射させるためのスリガラス等の光拡散板を設けるこ
とも可俺である。

さらに、ライトガイド９は被処理物により蔽れる位置で
も蔽れない位置でもどちらでも良く、蔽れる位置の場合
は実際の処理位置での照度かモニタできる利点かあり、
蔽れない位置の場合は処理中も常時モニタできる利点か
ある。

また、処理台４には必要に応じてワークを吸着するため
の真空吸引孔やヒータ、水冷パイプ、放熱フィン等を設
けることも回部である。

［発明の効果］ 以上説明したとおり、この発明は、処理台上の前記複数
個の光源に対する複数個の照度の等価位置に照度モニタ
用のハンドル状またはロッド状のライトガイドか埋込ま
れた構成を有するので、処理台上の照度が容易に高精度
にモニタできる。その上、それぞれのランプのバラツキ
、経時変化等による照度の低下や照度分布の不均一を常
時モニタすることができる。

【図面の簡単な説明】

第１図はこの発明の一実施例である光照射処理装置の概
略を示す側断面図、第２図は第１図の処理台の主要部を
拡大して示した断面図である。 図中。 ■、ランプハウス ２ａ、２ｂ：ランプ ３ａ、３ｂ：ミラー ４：処理台 ５：被照射処理物搬送口 ６：シャッタ ７．７ａ、７ｂ：穴 ８．８ａ、８ｂ：石英板 ９．９ａ、９ｂニライトガイド １０、ｌｏａ、ｆｏｂ：受光素子 代理人　弁理士　１）北　嵩　晴

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. 　処理台を有し、この処理台に載置された被処理物に複
   数個の光源からの光照射により処理を行う光照射処理装
   置において、前記複数個の光源をそれぞれモニタする複
   数個のバンドル状またはロッド状のライトガイドが各光
   源からそれぞれ等価位置であり、かつ処理台内に埋込ま
   れて設けられたことを特徴とする光照射処理装置。