JPH01240657A - 差圧シール装置 - Google Patents
差圧シール装置Info
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- JPH01240657A JPH01240657A JP63063704A JP6370488A JPH01240657A JP H01240657 A JPH01240657 A JP H01240657A JP 63063704 A JP63063704 A JP 63063704A JP 6370488 A JP6370488 A JP 6370488A JP H01240657 A JPH01240657 A JP H01240657A
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- Japan
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- differential pressure
- guide roll
- roll
- sealing
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Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
（産業上の利用分野）
長尺薄帯例えば冷延ないし熱延鋼帯のような長尺材を連
続的に送給する間に、真空蒸着、イオンブレーティング
、スパッタリングなどのいわゆるドライブレーティング
法によって表面被覆を施す際には、複数の圧力差のある
空間領域相互（以下差圧室と呼ぶ）によって、ドライブ
レーティング領域に至る間に、順次真空度をあげ、つい
で下げていくエア・トウ・エア（Ａｉｒ−ｔｏ−Ａｉｒ
）方式が用いられ、このような差圧室相互間における圧
力差を維持しつつ長尺材の連続的な通過を誘導する、差
圧シールを必要とし、ここに適切な差圧シールを有利に
実現することができる、差圧シール装置を提案しようと
するものである。
続的に送給する間に、真空蒸着、イオンブレーティング
、スパッタリングなどのいわゆるドライブレーティング
法によって表面被覆を施す際には、複数の圧力差のある
空間領域相互（以下差圧室と呼ぶ）によって、ドライブ
レーティング領域に至る間に、順次真空度をあげ、つい
で下げていくエア・トウ・エア（Ａｉｒ−ｔｏ−Ａｉｒ
）方式が用いられ、このような差圧室相互間における圧
力差を維持しつつ長尺材の連続的な通過を誘導する、差
圧シールを必要とし、ここに適切な差圧シールを有利に
実現することができる、差圧シール装置を提案しようと
するものである。
（従来の技術）
エア・トウ・エア方式に関してすでに多数の提案を見る
ことができ、たとえば米国特許第２３８４５００号、同
２９７２３３０号、同２９９６４１０号明細書をはじめ
、三菱重工技法Ｖｏ１．２１（１９８４） Ｎｏ、 ６
のｐ１２５〜１３１、真空；第３０巻、 （１９８７）
。
ことができ、たとえば米国特許第２３８４５００号、同
２９７２３３０号、同２９９６４１０号明細書をはじめ
、三菱重工技法Ｖｏ１．２１（１９８４） Ｎｏ、 ６
のｐ１２５〜１３１、真空；第３０巻、 （１９８７）
。
第１０号の２７７５〜７８５、日新製鋼技報第５１号；
（１９８４） 、 ｐ ９３〜１０１、などのように
、近年来の精密工作技術の進歩と相まって、実用化が進
められつつある。これらのシール法のうちの、とくに最
後に引用した文献には、通板の向きにわずかに軸心をず
らせた一対のロール間に挟んで長尺材を各ロール周面に
沿わせるようにして、シール面積を拡大することが、ま
た最近に至って特開昭６２−１３５７２号公報では、一
対の通板ロールに、長尺材を囲うシールバーとアダプタ
ーとを組合せて、その囲いの内部にて差圧を維持する試
みが提案されているが、何れにあっても、一対のロール
間に長尺材を挟圧して通板するので、被処神物は、その
表、裏面で曲げ応力、圧縮応力が働き、さらには大きな
張力も受ける。
（１９８４） 、 ｐ ９３〜１０１、などのように
、近年来の精密工作技術の進歩と相まって、実用化が進
められつつある。これらのシール法のうちの、とくに最
後に引用した文献には、通板の向きにわずかに軸心をず
らせた一対のロール間に挟んで長尺材を各ロール周面に
沿わせるようにして、シール面積を拡大することが、ま
た最近に至って特開昭６２−１３５７２号公報では、一
対の通板ロールに、長尺材を囲うシールバーとアダプタ
ーとを組合せて、その囲いの内部にて差圧を維持する試
みが提案されているが、何れにあっても、一対のロール
間に長尺材を挟圧して通板するので、被処神物は、その
表、裏面で曲げ応力、圧縮応力が働き、さらには大きな
張力も受ける。
このような張力や局部的な面圧の作用は、製品の品質に
悪影響を及ぼし、例えば一方向性珪素鋼板にエア・トウ
・エア方式を適用した際に磁気特性の劣化を起こすこと
がわかった。
悪影響を及ぼし、例えば一方向性珪素鋼板にエア・トウ
・エア方式を適用した際に磁気特性の劣化を起こすこと
がわかった。
また、最近ではこのような問題に加え、とくに上記珪素
鋼板の如き脆い長尺薄帯を対象とした場合に、連続通板
時の該薄帯の振動による、シール装置本体との接触等に
より、仮割れが発生し易いことが指摘されるようになっ
た。
鋼板の如き脆い長尺薄帯を対象とした場合に、連続通板
時の該薄帯の振動による、シール装置本体との接触等に
より、仮割れが発生し易いことが指摘されるようになっ
た。
（発明が解決しようとする課題）
この発明の目的は、長尺薄帯のエア・トウ・エア方式に
よる処理に適合して、製品品質の劣化や板割れを生じる
うれいなしに、有効な差圧シールを実現することができ
る、差圧シール装置を提案することろにある。
よる処理に適合して、製品品質の劣化や板割れを生じる
うれいなしに、有効な差圧シールを実現することができ
る、差圧シール装置を提案することろにある。
（課題を解決するための手段）
この発明は、圧力差のある空間領域相互間にわたり、該
圧力差を維持しつつ長尺薄帯の連続的な通過を誘導する
差圧シールにおいて、上記空間領域相互間の境界にて、
長尺薄帯の巻きがけ案内を司る単一のガイドロールと、
上記長尺薄帯の周囲を囲むように配設され、その対向す
る一方の面の側の一部が上記ロール上の薄帯面に近接し
、かつ、同薄帯面に沿った形状に形成され、対向する他
方の側の一部が上記ロール外周面に近接し、かつ、該先
端が上記ロール外周面に沿った形状に形成されるととも
に、上記ロール外面に沿った形状に形成され、かつ、該
先端部が上記ロール外面に近接し、上記対向する両部分
をほぼ気密に保つように接続する側面構造を有するシー
リングアタチメントからなり、該シーリングアタッチメ
ントは上記単一のガイドロールの対向面に真空ポンプの
如き吸引手段と連通ずる開口を少な（とも１つ備えた差
圧シール装置であり、またこの発明は吸引手段と連通ず
る開口に代えて単一のガイドロールとともに同期回転す
るシールロール又は単一のガイドロールに係合する摺動
部材を備えた差圧シール装置である。
圧力差を維持しつつ長尺薄帯の連続的な通過を誘導する
差圧シールにおいて、上記空間領域相互間の境界にて、
長尺薄帯の巻きがけ案内を司る単一のガイドロールと、
上記長尺薄帯の周囲を囲むように配設され、その対向す
る一方の面の側の一部が上記ロール上の薄帯面に近接し
、かつ、同薄帯面に沿った形状に形成され、対向する他
方の側の一部が上記ロール外周面に近接し、かつ、該先
端が上記ロール外周面に沿った形状に形成されるととも
に、上記ロール外面に沿った形状に形成され、かつ、該
先端部が上記ロール外面に近接し、上記対向する両部分
をほぼ気密に保つように接続する側面構造を有するシー
リングアタチメントからなり、該シーリングアタッチメ
ントは上記単一のガイドロールの対向面に真空ポンプの
如き吸引手段と連通ずる開口を少な（とも１つ備えた差
圧シール装置であり、またこの発明は吸引手段と連通ず
る開口に代えて単一のガイドロールとともに同期回転す
るシールロール又は単一のガイドロールに係合する摺動
部材を備えた差圧シール装置である。
さて第１図にこの発明に従う差圧シール装置の事例を示
す。図中１は長尺薄帯、２はガイドロール、３はシーリ
ングアタッチメントであって、４は第１差圧室、５は第
２差圧室、６は第３差圧室で、これらの圧力差のある空
間領域相互間にわたって該圧力差を維持しつつ長尺薄帯
１を大気圧ｐ０下から添数字の順の圧力ｐに真空度を高
めるが、ここで差圧の値が最も高いｐａ Ｐ＋の空間
領域相互間に、この差圧シール装置を用いた場合につい
て説明する。
す。図中１は長尺薄帯、２はガイドロール、３はシーリ
ングアタッチメントであって、４は第１差圧室、５は第
２差圧室、６は第３差圧室で、これらの圧力差のある空
間領域相互間にわたって該圧力差を維持しつつ長尺薄帯
１を大気圧ｐ０下から添数字の順の圧力ｐに真空度を高
めるが、ここで差圧の値が最も高いｐａ Ｐ＋の空間
領域相互間に、この差圧シール装置を用いた場合につい
て説明する。
該領域相互間の境界に相当する差圧室ケーシング７の入
側にて、ガイドロール２を軸受は支持し、このガイドロ
ール２の外周に長尺薄帯１を予め設定された巻付き接触
角θにて巻きがけする。
側にて、ガイドロール２を軸受は支持し、このガイドロ
ール２の外周に長尺薄帯１を予め設定された巻付き接触
角θにて巻きがけする。
シーリングアタッチメント３は、ガイドロールの外周を
ほぼ半周にわたって取囲み、長尺薄帯１の巻きがけ域を
除いてガイドロール２の外周面に対し極く微小なすき間
δ、を形成する凹円弧状シール面ｓ１と、巻きかけ域に
て長尺薄帯１の背面並びに両側縁に対してやはり掻く微
小なすき間δ２とδ８．δ３′を直接形成する第２の凹
円弧状シール面Ｓ２及び第２の凹円弧状シール面Ｓ２の
奥でこれに連なってガイドロール２の接線方向に、長尺
薄帯“ｌの断面寸法に比しはるかに大きく開口するスリ
ットｔをそなえ、各凹円弧状シール面ＳＩ＋８２には吸
引手段（図示せず）に配管Ｐを介して連通し該手段の作
動によってシール面とガイドロールの間に形成されるす
き間より流入する空気の吸引を司る開口３ａ、３ｂを形
成しである。シーリングアタッチメントの外観を第２図
（ａ）に、またガイドロール２に面する凹円弧状シール
面ＳＩ＋８２をわかり易く第２図（ｂ）にそれぞれ図解
した。
ほぼ半周にわたって取囲み、長尺薄帯１の巻きがけ域を
除いてガイドロール２の外周面に対し極く微小なすき間
δ、を形成する凹円弧状シール面ｓ１と、巻きかけ域に
て長尺薄帯１の背面並びに両側縁に対してやはり掻く微
小なすき間δ２とδ８．δ３′を直接形成する第２の凹
円弧状シール面Ｓ２及び第２の凹円弧状シール面Ｓ２の
奥でこれに連なってガイドロール２の接線方向に、長尺
薄帯“ｌの断面寸法に比しはるかに大きく開口するスリ
ットｔをそなえ、各凹円弧状シール面ＳＩ＋８２には吸
引手段（図示せず）に配管Ｐを介して連通し該手段の作
動によってシール面とガイドロールの間に形成されるす
き間より流入する空気の吸引を司る開口３ａ、３ｂを形
成しである。シーリングアタッチメントの外観を第２図
（ａ）に、またガイドロール２に面する凹円弧状シール
面ＳＩ＋８２をわかり易く第２図（ｂ）にそれぞれ図解
した。
また第３図（ａ） （ｂ）に、上記開口に代えて、シー
ルロール及び摺動部材をそれぞれ配置した例を示す。図
中８は、単一のガイドロールと同期回転する補助用のシ
ールロール（以下補助シールロールという）、９はシー
ル用の摺動部材であり、これらは何れもガイドロール２
に接して、シーリングアタッチメント３とガイドロール
２の間で形成されるすき間をなくし、高い差圧を維持で
きる仕組になっている。ここに、補助シールロール８、
摺動部材９は、とくに凹円弧状シール面ｓ２に配置した
例として示したが、通板中長尺薄帯Ｉに面圧がかかって
も品質特性が劣化するうれいのないものを対象とする場
合においては、凹円弧状シール面Ｓ１にも併せて配置す
ることができる。
ルロール及び摺動部材をそれぞれ配置した例を示す。図
中８は、単一のガイドロールと同期回転する補助用のシ
ールロール（以下補助シールロールという）、９はシー
ル用の摺動部材であり、これらは何れもガイドロール２
に接して、シーリングアタッチメント３とガイドロール
２の間で形成されるすき間をなくし、高い差圧を維持で
きる仕組になっている。ここに、補助シールロール８、
摺動部材９は、とくに凹円弧状シール面ｓ２に配置した
例として示したが、通板中長尺薄帯Ｉに面圧がかかって
も品質特性が劣化するうれいのないものを対象とする場
合においては、凹円弧状シール面Ｓ１にも併せて配置す
ることができる。
なお上掲第１図に示した例で、差圧室４，５間及び５．
６間の差圧（Ｐ＋ Ｐｚ） （ｐｚ ｆ”＋）は、
上述のＣＰｏ ＦＩＧ’）に比しはるかに小さいこと
もあって、軸心を通板方向にずらせたロール対によるロ
ールシールを用いた場合を示している。
６間の差圧（Ｐ＋ Ｐｚ） （ｐｚ ｆ”＋）は、
上述のＣＰｏ ＦＩＧ’）に比しはるかに小さいこと
もあって、軸心を通板方向にずらせたロール対によるロ
ールシールを用いた場合を示している。
（作 用）
長尺薄帯１は強い面圧を受けることがないように単一の
ガイドロール２に巻きかけされ、大気圧ｐ０から第１差
圧室４内の圧力Ｐ＋へと送り進められ、このとき開口３
ａを有する凹円弧状シール面ｓ１及び開口３ｂを有する
凹円弧状シール面ｓ２においであるいは補助シールロー
ル８又は摺動部材９を備えた該シール面ｓ１および／ま
たは８２面において有効な差圧シールが成就される。
ガイドロール２に巻きかけされ、大気圧ｐ０から第１差
圧室４内の圧力Ｐ＋へと送り進められ、このとき開口３
ａを有する凹円弧状シール面ｓ１及び開口３ｂを有する
凹円弧状シール面ｓ２においであるいは補助シールロー
ル８又は摺動部材９を備えた該シール面ｓ１および／ま
たは８２面において有効な差圧シールが成就される。
なお、シーリングアタッチメント３の凹円弧状シール面
Ｓ ｌ＋ ５２に形成する開口は、その数やサイズ、断
面形状はいかようであってもよく、上記開口の代わりに
とくに摺動部材９を配置する場合にはテフロン、硬質ゴ
ム、カーボン部材等を用いるのが好ましい。
Ｓ ｌ＋ ５２に形成する開口は、その数やサイズ、断
面形状はいかようであってもよく、上記開口の代わりに
とくに摺動部材９を配置する場合にはテフロン、硬質ゴ
ム、カーボン部材等を用いるのが好ましい。
また、第４図（ａ） （ｂ）に示すように、シーリング
アタッチメント３の凹円弧状シール面Ｓ１および／また
はｓ２に溝状又は窪み状の凹部１０を設け、長尺薄帯１
の通板中その領域における空気流の乱れによってその抵
抗を増大させることは開口３ａ。
アタッチメント３の凹円弧状シール面Ｓ１および／また
はｓ２に溝状又は窪み状の凹部１０を設け、長尺薄帯１
の通板中その領域における空気流の乱れによってその抵
抗を増大させることは開口３ａ。
３ｂの吸引と併せてより高い差圧シールを実現するのに
有効である。
有効である。
さらに第４図（ａ） （ｂ）に示すシーリングアタッチ
メント３の如きにおいては、凹円弧状シール面ｓ。
メント３の如きにおいては、凹円弧状シール面ｓ。
に、凹部１０を有する開口３ｂ、あるいは開口３ｂを設
ける代わりに、上述したような補助シールロール８ある
いは摺動部材９を設けることもできる。
ける代わりに、上述したような補助シールロール８ある
いは摺動部材９を設けることもできる。
（実施例）
上掲第１図に示した差圧シール装置を適用し、ここに板
厚０．２５ｍｍ、板幅５００ｍｍの鋼板をラインスピー
ド１０ｍ／ｍｉｎにて通板させ、２０〜ｐ８間の差圧状
況を調査した。なおシーリングアタッチメント３の開口
３ａおよび３ｂに連通ずる吸引装置（真空ポンプ）は圧
動吸引ポンプの１７５の能力で運転した。その結果をシ
ーリングアタッチメントに開口を有しない比較例の結果
とともにに表−１に示す。
厚０．２５ｍｍ、板幅５００ｍｍの鋼板をラインスピー
ド１０ｍ／ｍｉｎにて通板させ、２０〜ｐ８間の差圧状
況を調査した。なおシーリングアタッチメント３の開口
３ａおよび３ｂに連通ずる吸引装置（真空ポンプ）は圧
動吸引ポンプの１７５の能力で運転した。その結果をシ
ーリングアタッチメントに開口を有しない比較例の結果
とともにに表−１に示す。
表−１から明らかなように、この発明によれば極めて高
い差圧を維持できることが確かめられた。
い差圧を維持できることが確かめられた。
（発明の効果）
この発明の差圧シール装置は、単一のガイドロールに、
吸引手段と連通ずる開口を有するアタッチメントあるい
は、補助シールロール又は摺動部材を有するアタッチメ
ントを併用した仕組になるので、品質劣化の原因となる
局部面圧を生じさせたり振動等のうれいなしに高い差圧
シールが実現でき、とくに超鉄損一方向性珪素鋼板に対
しドライブレーティング皮膜の形成を行うときに用いて
好適なばかりでなく、局部面圧が製品品質に影響し易い
軟鋼などに対しても適用し得るのはいうまでもない。
吸引手段と連通ずる開口を有するアタッチメントあるい
は、補助シールロール又は摺動部材を有するアタッチメ
ントを併用した仕組になるので、品質劣化の原因となる
局部面圧を生じさせたり振動等のうれいなしに高い差圧
シールが実現でき、とくに超鉄損一方向性珪素鋼板に対
しドライブレーティング皮膜の形成を行うときに用いて
好適なばかりでなく、局部面圧が製品品質に影響し易い
軟鋼などに対しても適用し得るのはいうまでもない。
第１図は、この発明に従う差圧シール装置の構成説明図
、 第２図（ａ）、［有］）は要部の外観図、第３図（ａ）
（ｂ）はこの発明に従う他の差圧シール装置の構成説
明図、 第４図（ａ） （ｂ）は要部の外観図である。 １・・・長尺薄帯 ２・・・ガイドロール３
・・・シーリングアタッチメント ３ａ、３ｂ・・・開口 ４，５．６・・・差圧室
７・・・ケーシング ８・・・補助シールロー
ル９・・・摺動部材 １０・・・凹部ｓ、・
・・凹円弧状シール面 ｓ２・・・第２の凹円弧状シール面 ｔ・・・スリット 特許出願人 川崎製鉄株式会社 第２図 （ａ） （ｂ） 第３図 （ａ） （ｂ）
、 第２図（ａ）、［有］）は要部の外観図、第３図（ａ）
（ｂ）はこの発明に従う他の差圧シール装置の構成説
明図、 第４図（ａ） （ｂ）は要部の外観図である。 １・・・長尺薄帯 ２・・・ガイドロール３
・・・シーリングアタッチメント ３ａ、３ｂ・・・開口 ４，５．６・・・差圧室
７・・・ケーシング ８・・・補助シールロー
ル９・・・摺動部材 １０・・・凹部ｓ、・
・・凹円弧状シール面 ｓ２・・・第２の凹円弧状シール面 ｔ・・・スリット 特許出願人 川崎製鉄株式会社 第２図 （ａ） （ｂ） 第３図 （ａ） （ｂ）
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 １、圧力差のある空間領域相互間にわたり、該圧力差を
維持しつつ長尺薄帯の連続的な通過を誘導する差圧シー
ルにおいて、 上記空間領域相互間の境界にて、長尺薄帯の巻きがけ案
内を司る、単一のガイドロールと、 上記長尺薄帯の周囲を囲むように配設され、その対向す
る一方の面の側の一部が上記ロール上の薄帯面に近接し
、かつ、同薄帯面に沿った形状に形成され、 対向する他方の側の一部が上記ロール外周面に近接し、
かつ、該先端が上記ロール外周面に沿った形状に形成さ
れるとともに、 上記ロール外面に沿った形状に形成され、 かつ、該先端部が上記ロール外面に近接し、上記対向す
る両部分をほぼ気密に保つように接続する側面構造を有
するシーリングアタッチメントからなり、 該シーリングアタッチメントは上記単一のガイドロール
の対向面に、吸引手段と連通する開口を少なくとも１つ
備えたことを特徴とする差圧シール装置。 ２、請求項１記載の差圧シール装置において、吸引手段
と連通する開口に代えて、単一のガイドロールとともに
同期回転するシールロール又は、単一のガイドロールに
係合する摺動部材を備えることを特徴とする差圧シール
装置。
Priority Applications (4)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP63063704A JPH0735581B2 (ja) | 1988-03-18 | 1988-03-18 | 差圧シール装置 |
| DE19883851087 DE3851087T2 (de) | 1987-05-20 | 1988-05-18 | Differentialdruck-Dichtungsapparatur und Verfahren. |
| EP19880107959 EP0291952B1 (en) | 1987-05-20 | 1988-05-18 | Differential pressure sealing apparatus and method |
| US07/590,503 US5192585A (en) | 1987-05-20 | 1990-09-26 | Differential pressure sealing apparatus and method |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP63063704A JPH0735581B2 (ja) | 1988-03-18 | 1988-03-18 | 差圧シール装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH01240657A true JPH01240657A (ja) | 1989-09-26 |
| JPH0735581B2 JPH0735581B2 (ja) | 1995-04-19 |
Family
ID=13237030
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP63063704A Expired - Lifetime JPH0735581B2 (ja) | 1987-05-20 | 1988-03-18 | 差圧シール装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0735581B2 (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2021081019A (ja) * | 2019-11-20 | 2021-05-27 | 株式会社カネカ | シール装置、真空装置、成膜装置及び多層フィルム製造方法 |
Citations (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5773025A (en) * | 1980-10-27 | 1982-05-07 | Shin Etsu Chem Co Ltd | Apparatus for continuous vacuum treatment |
| JPS58131470A (ja) * | 1982-01-29 | 1983-08-05 | Fuji Photo Film Co Ltd | ロ−ラ−式シ−ル装置 |
| JPS6217471U (ja) * | 1985-07-18 | 1987-02-02 |
-
1988
- 1988-03-18 JP JP63063704A patent/JPH0735581B2/ja not_active Expired - Lifetime
Patent Citations (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5773025A (en) * | 1980-10-27 | 1982-05-07 | Shin Etsu Chem Co Ltd | Apparatus for continuous vacuum treatment |
| JPS58131470A (ja) * | 1982-01-29 | 1983-08-05 | Fuji Photo Film Co Ltd | ロ−ラ−式シ−ル装置 |
| JPS6217471U (ja) * | 1985-07-18 | 1987-02-02 |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2021081019A (ja) * | 2019-11-20 | 2021-05-27 | 株式会社カネカ | シール装置、真空装置、成膜装置及び多層フィルム製造方法 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0735581B2 (ja) | 1995-04-19 |
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