JPH01240660A

JPH01240660A - スパッタ装置

Info

Publication number: JPH01240660A
Application number: JP6572088A
Authority: JP
Inventors: Yoshifumi Ogawa; 芳文小川; Naoyuki Tamura; 直行田村
Original assignee: Hitachi Ltd
Current assignee: Hitachi Ltd
Priority date: 1988-03-22
Filing date: 1988-03-22
Publication date: 1989-09-26

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】〔産業上の利用分野〕本発明は、スパッタ装置に係り、特にプリベーキング、
エツチング、スパッタ成膜等の処理を真空下で２１続的
に又は間欠的に実施するインライン型のスパッタ装置に
関するものである。

〔従来の技術〕

インライン型のスパッタ装置としては、例えば。

特開昭５８−７７２３９号公報に記載のような、トレー
に取付けられた試料なローラコンベヤにてスパッタ成膜
、エツチング等の処理域に搬送するようにしたものが知
られている。

〔発明が解決しようとする課題〕

上記従来技術では、プリベーキング、エツチング等の処
理域において、ローラコンベヤが加熱されて回転不良を
生じたり、エツチングされたりする不具合が生じ、試料
を安定して各処理域に搬送するのが内錐になるといった
問題を有している。

本発明の目的は、試料を安定して各処理域に搬送できる
インライン型のスパッタ装置を提供することにある。

〔課題を解決するための手段〕

上記目的は、スパッタ装置を、スパッタ成膜処理される
と共に該スパッタ成膜処理前に加熱処理。

−エツチング処理される試料が取付けられる試料取付手
段を１回動具を有し前記試料取付手段に取付けられた皿
記試料を前記処理域に連続的に又は間欠的に搬送する搬
送手段に電気絶縁、断熱手段を介して設けたものとする
二とにより、達成される。

〔作　　　用〕

試料取付手段に取付けられた試料は、例えば、加熱処理
される。この場合、試料と共に試料取付手段も、例えば
、試料の被処理面から水分を除去可能な潤度に加熱され
る。しかし、搬送手段は、電２絶級、Ｍ熱手段の機能に
より加熱を防止され。

従って、搬送手段の回動具が加熱されて回動不良を起こ
すのを防止できる。また、試料取付手段に取付けられた
試料は、例えば、高周波印加によりエツチング処理され
る。しかし、搬送手段は、電気絶縁、断熱手段の機能に
よりエツチングを抑制され、従って、搬送手段の回動具
がエツチングされる不都合を除去できる。

〔実　施　例〕

以下、本発明の一実施例を第１図により説明する。

第１図で、台車１０は、回動具、例えば、複数のコロ（
図示省略）によってレール加に、該レール美に案内され
て移動可能に設けられている。台車１０の、この場合、
上表面には、電気絶縁、断熱手段、例えば、セラミック
（アルミナ）製の絶縁材間が例けられている。パレット
荀は、絶縁材間に設ケられている。パレット荀は、この
場合、試料間な被処理面垂直姿勢で保持可能に絶縁材間
に設けられている。台車１０の、この場合、底面には、
ラック１１が形成されている。ラックＩＮこは、ピニオ
ン１２が一合させられている。ビニオン校の駆動軸１３
は、回転駆動装置（図示省略）に連結されている。ピニ
オン１２．レールｍ等は、加熱処理室。

エツチング室、スパッタ成膜室（図示省略）にそれぞれ
設けられている。各室は、仕切弁ωを介してそれぞれ隔
離可能に連設されている。仕切弁ωは１台車１０．該台
車ＩＯに絶縁材間を介して設けられたパレット切が通過
可能な開口を有している。

このような場合、ピニオン校、駆動軸１３は、各室−の
人口側と出口側とに少なくとも１個配設される。

また、台車１０は、隣接する室にスムーズに移動可能な
長さを有している。

第１図で、試料間は、この場合、形状が略方形であり、
パレット切に、この場合、１６個、被処理面垂直姿勢で
それぞれ取付けられる。このようにパレット伯に取付け
られた試料間は、例えば。

加熱処理室にて加熱処理され、これにより試料間の被処
理面の水分が除去される。このような加熱処理時におい
て試料間と共にパレット旬も加熱されるが、しかし、台
車１０は、絶縁材Ｉの機能によって加熱を防止される。

従って、コロおよびレール美の加熱も防止される。この
ような加熱処理完了後、ピニオン社は、駆動軸１３を介
して回転駆動装置により回転させられる。これと共に、
仕切弁ωは開弁される。ピニオンジの回転により台車１
０は、レール囚に案内され、開弁している仕切弁ωを介
して１例えば、エツチング室に搬送される。

仕切弁θを通過した台車１０はエツチング室のレール加
に受は取られ、エツチング室のピニオンＵを回転させる
ことでエツチング室螢こ搬入される。その後、開弁して
いる仕切弁ωは閉弁される。この状態で、エツチング室
にはエツチングガス、例えば、アルゴンガスが導入され
、また、ノくレット切には、高周波が印加される。これ
によりエツチング室内ではグロー放電が生じ、エツチン
グ室内のエツチングガスは、この放電によりプラズマ化
される。このプラズマにより試料間の被処理面はエツチ
ング処理され、試料（資）の被処理面にあるスパッタ成
膜にとりで不都合な不純物は除去されて試料間の被処理
面は清浄化される。しかし、台＊１０は、絶縁材間の機
能によりエツチングを抑制される。また、これと共に、
構造上、コロがプラズマに露呈されるのを抑制されるの
で、コロがエツチングされるといった不都合が除去され
る。このようなエツチング処理完了後、ピニオンｎは、
駆動軸１３を介して回転駆動装置により回転させられる
。

これと共に、仕切弁ωは開弁される。ピニオンＬの回転
により台車ｌＯは、レール加に案内され、開弁している
仕切弁ωを介して、例えば、スパッタ成膜室に搬送され
る。仕切弁ωを通過した台車１０はスパッタ成り室のレ
ールｍに受は取られ、スパッタ成膜室のビニオンジを回
転させることでスパッタ成膜室に搬入される。その後、
開弁している仕切弁（イ）は閉弁される。この状態で、
スパッタ成膜室では、スパッタ成膜処理が実施され、こ
れにより試料間の被処理面には膜が形成される。このよ
うにスパッタ成膜処理が完了した試料間は１例えば、真
空下で冷却された後に搬出室（図示省略）を介して系外
へ取り出される。

本実施例によれば、コロおよびレールの加熱が防止され
るので、コロの回転不良が生じるのを防止できる。また
、これと共に、コロがエツチングされる不都合を除去で
きる。従って、パレットに取付けられた試料を加熱処理
室、エツチング室。

スパッタ成膜室等各室に安定して搬送することができる
。

なお、上記一実施例において、搬送手段を被駆動部と該
被駆動部を、例えば、非接触にて駆動する駆動部とで構
成し、被駆動部を真空側に、駆動部を大気側にそれぞれ
設けるようにすれば、スパッタ成膜処理時におけるスパ
ッタ粒子の付着、それによる移動不都合を除去すること
ができ、インライン型のスパッタ装置において試料を更
に安定して各処理室モこ搬送することができる。また、
上記一実施例では、試料を被処理面垂直姿勢で取付。

保持可能にパレットを設けているが、このような試料の
取付姿勢に特に限定される必要はない。

〔発明の効果〕

本発明によれば、試料を各処理域に安定して搬送できる
インライン型のスパッタ装置を提供できる効果がある。

４、図面の簡単説明Ｍ１図は１本発明の一実施例のインライン型のスパッタ
装置の試料搬送部の斜視外観図である。

１０・・・・・・台車、１１・・・・・・ラック、校・
・・・・・ビニオン。

囚・・・・・・レール、３０・・・・・・絶縁材、切・
・・・・・パレット、父・・・・・・試料、■・・・・
・・仕切弁代理人　弁理士　　小　川　勝　男′Ｆ−＼
（、−：　　−Ａ＼、−“

Claims

【特許請求の範囲】

１、スパッタ成膜処理されると共に該スパッタ成膜処理
前に加熱処理、エッチング処理される試料が取付けられ
る試料取付手段を、回動具を有し前記試料取付手段に取
付けられた前記試料を前記処理域に連続的に又は間欠的
に搬送する搬送手段に電気絶縁、断熱手段を介して設け
たことを特徴とするスパッタ装置。