JPH01243348A - 蛍光表示パネル - Google Patents
蛍光表示パネルInfo
- Publication number
- JPH01243348A JPH01243348A JP6984888A JP6984888A JPH01243348A JP H01243348 A JPH01243348 A JP H01243348A JP 6984888 A JP6984888 A JP 6984888A JP 6984888 A JP6984888 A JP 6984888A JP H01243348 A JPH01243348 A JP H01243348A
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- insulating substrate
- filament
- display panel
- glass
- light
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
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- Cathode-Ray Tubes And Fluorescent Screens For Display (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
（産業上の利用分野）
本発明は９例えば計測器、車搭載メータまたは自動事務
機器の端末機等に用いられて文字表示、グラフィック表
示する蛍光表示パネルに関するものである。
機器の端末機等に用いられて文字表示、グラフィック表
示する蛍光表示パネルに関するものである。
（従来技術）
この種の蛍光表示パネルの一例としてストライプ状の溝
が設けられこの溝内に透明電極と蛍光発光層とが設けら
れた透明な正面絶縁基板と、この正面絶縁基板に相対し
て固定され同様のストライプ状溝が設けられこの溝内に
制御電極が設けられた背面絶縁基板と、正面絶縁基板と
背面絶縁基板との間にフリットガラスによってシールし
つつ挟まれたフィラメントとから成っているものがあり
、フィラメントは正面及び背面の絶縁基板の間に封止ガ
ラスを介して取付けられたタングステン細線から成って
いる。
が設けられこの溝内に透明電極と蛍光発光層とが設けら
れた透明な正面絶縁基板と、この正面絶縁基板に相対し
て固定され同様のストライプ状溝が設けられこの溝内に
制御電極が設けられた背面絶縁基板と、正面絶縁基板と
背面絶縁基板との間にフリットガラスによってシールし
つつ挟まれたフィラメントとから成っているものがあり
、フィラメントは正面及び背面の絶縁基板の間に封止ガ
ラスを介して取付けられたタングステン細線から成って
いる。
〔発明が解決しようとする課８〕
しかし、この従来技術の蛍光表示パネルはガラス基板の
ストライプ状溝によって形成される画素間の無色透明な
ガラス隔壁が存在するために１つの画素から放射された
光がガラス基板周辺のガラス隔壁内に入射し隔壁または
基板内を進行し、隣接する。または遠くの非点灯画素内
に出射し、この際、隔壁、蛍光体及び導電膜との接触面
で発光し１表示の品質が損なわれる欠点があった。また
、高精度の画素を得るために、ガラス基板の隔壁を０．
２ｍｍ程度にすると、正面と背面との絶縁基板を突き合
わせることが困難となって作業性が低下し、更にフィラ
メントであるタングステン細線の熱膨張係数が４４ ｘ
１０−’／”Ｃであってガラス基板の熱膨張係数８０
〜１００ ｘ ｌ Ｏ−’／’Ｃと著しく異なるために
タングステン細線のフィラメントはフリットガラスシー
ル部で応力がかかり易くこの部分でクラックが生ずる欠
点があった。
ストライプ状溝によって形成される画素間の無色透明な
ガラス隔壁が存在するために１つの画素から放射された
光がガラス基板周辺のガラス隔壁内に入射し隔壁または
基板内を進行し、隣接する。または遠くの非点灯画素内
に出射し、この際、隔壁、蛍光体及び導電膜との接触面
で発光し１表示の品質が損なわれる欠点があった。また
、高精度の画素を得るために、ガラス基板の隔壁を０．
２ｍｍ程度にすると、正面と背面との絶縁基板を突き合
わせることが困難となって作業性が低下し、更にフィラ
メントであるタングステン細線の熱膨張係数が４４ ｘ
１０−’／”Ｃであってガラス基板の熱膨張係数８０
〜１００ ｘ ｌ Ｏ−’／’Ｃと著しく異なるために
タングステン細線のフィラメントはフリットガラスシー
ル部で応力がかかり易くこの部分でクラックが生ずる欠
点があった。
本発明の目的は、上記の欠点を回避し９画素からの発光
が鮮明であり、且つ生産性が高く。
が鮮明であり、且つ生産性が高く。
フィラメントのシール性を損なうことがない蛍光表示パ
ネルを提供することにある。
ネルを提供することにある。
（課題を解決するための手段）
本発明は、上記の課題を解決するために、ストライプ状
の溝が設けられこの溝内に透明電極と蛍光発光層とが設
けられた透明な正面絶縁基板と、この正面絶縁基板に相
対して固定され同様のストライプ状溝が設けられこの溝
内に制御電極が設けられた背面絶縁基板と、正面絶縁基
板と背面絶縁基板との間に挟まれたフィラメントとから
成る蛍光表示パネルにおいて、正面絶縁基板は光吸収性
を有する不純物化合物を含有するガラスから成り、且つ
フィラメントは正面と背面との絶縁基板のストライプ状
溝に合わせた格子状のスペーサシートに形成されこのス
ペーサシートはフィラメントと同程度の熱膨張係数を有
する絶縁された材料から成っていることを特徴とする蛍
光表示パネルを提供するものである。
の溝が設けられこの溝内に透明電極と蛍光発光層とが設
けられた透明な正面絶縁基板と、この正面絶縁基板に相
対して固定され同様のストライプ状溝が設けられこの溝
内に制御電極が設けられた背面絶縁基板と、正面絶縁基
板と背面絶縁基板との間に挟まれたフィラメントとから
成る蛍光表示パネルにおいて、正面絶縁基板は光吸収性
を有する不純物化合物を含有するガラスから成り、且つ
フィラメントは正面と背面との絶縁基板のストライプ状
溝に合わせた格子状のスペーサシートに形成されこのス
ペーサシートはフィラメントと同程度の熱膨張係数を有
する絶縁された材料から成っていることを特徴とする蛍
光表示パネルを提供するものである。
（作用）
このようにガラス基板は光吸収性の不純物化合物を含有
しているので隣接する画素の間て光が漏れることがなく
１画素が鮮明となり、またフィラメントは格子状のスペ
ーサシートにこのシートに近い熱膨張係数を有する薄膜
金属層から成っているので繰り返しのヒートショックを
受けてもクラックを生ずることがない。
しているので隣接する画素の間て光が漏れることがなく
１画素が鮮明となり、またフィラメントは格子状のスペ
ーサシートにこのシートに近い熱膨張係数を有する薄膜
金属層から成っているので繰り返しのヒートショックを
受けてもクラックを生ずることがない。
（実施例）
本発明の実施例を図面を参照して詳細に説明すると、第
１図は本発明に係る蛍光表示パネル１０を示し、この蛍
光表示パネルｌＯは、ストライプ状の溝１２が設けられ
たガラスから成る正面絶縁基板１４と、この正面絶縁基
板１４に相対して固定され同様のストライプ状溝１６が
設けられ同じくガラスから成る背面絶縁基板１８とを備
えている。
１図は本発明に係る蛍光表示パネル１０を示し、この蛍
光表示パネルｌＯは、ストライプ状の溝１２が設けられ
たガラスから成る正面絶縁基板１４と、この正面絶縁基
板１４に相対して固定され同様のストライプ状溝１６が
設けられ同じくガラスから成る背面絶縁基板１８とを備
えている。
正面絶縁基板１４の各溝１２内にはＩＴＯ（Ｉｎ２０コ
・５ｎＯ２）から成る透明電極２０とその上のｚｎＯ
：ｚ（緑）、ＹｚＯ＊Ｓ：ＥＵ（赤）、ＺｎＳ：Ａｇ（
青）等の蛍光発光層２２とが設けられている。また、背
面絶縁基板１８の溝１６内にはアルミニウム薄膜の制御
電極２４が設けられている。正面及び背面の絶縁基板１
４．１８は、酸化ニッケル、酸化コバルト等の光吸収性
（着色性）の不純物化合物を微量含有して透過率を例え
ば５７％以下に低下させたガラスから成９ている。この
ようにすると、ガラス基板は光吸収性の不純物化合物に
よりて隣接する画素の間で光が漏れることがなく。
・５ｎＯ２）から成る透明電極２０とその上のｚｎＯ
：ｚ（緑）、ＹｚＯ＊Ｓ：ＥＵ（赤）、ＺｎＳ：Ａｇ（
青）等の蛍光発光層２２とが設けられている。また、背
面絶縁基板１８の溝１６内にはアルミニウム薄膜の制御
電極２４が設けられている。正面及び背面の絶縁基板１
４．１８は、酸化ニッケル、酸化コバルト等の光吸収性
（着色性）の不純物化合物を微量含有して透過率を例え
ば５７％以下に低下させたガラスから成９ている。この
ようにすると、ガラス基板は光吸収性の不純物化合物に
よりて隣接する画素の間で光が漏れることがなく。
画素が鮮明となる。
また、フィラメント２６は、正面と背面との絶縁基板１
４．１８のストライプ状溝１２．１６に合わせた格子状
のタンタル製のスペーサシート２８に形成されこのスペ
ーサシート２８と同程度の熱膨張係数を有する薄膜タン
グステン層３０から成９ている。スペーサシート２８は
、ガラス製絶縁基板１４．１８に圧着する際に変形した
り破壊したりすることがなく、また絶縁基板１４．１８
のストライプ状溝１２．１６に合せて格子状に形成され
ているのでストライプの縦方向に電子が放散して点灯し
ている画素から隣りの画素の蛍光発光層に電子が移行す
ることがなくなる、その上タンタル製のスペーサシート
２８は熱膨張係数が７０ ｘ １０−’／”Ｃと小さく
、ガラス製絶縁基板の熱膨張係数である８ ０ ｘ １
０−’／’Ｃに近く、製造工程での加熱冷却の熱歪によ
ってクラックを生ずることがなくなるので好ましい、尚
、スペーサシート２８はタンタルの代わりに同様の性質
を有するモリブデンであってもよい、一方、フィラメン
トをこのように薄膜に形成すると、従来の懸架方式の細
線に比べて画素数が多くなっても位置決めが容易である
上に引き留めが容易であるので好ましい。
４．１８のストライプ状溝１２．１６に合わせた格子状
のタンタル製のスペーサシート２８に形成されこのスペ
ーサシート２８と同程度の熱膨張係数を有する薄膜タン
グステン層３０から成９ている。スペーサシート２８は
、ガラス製絶縁基板１４．１８に圧着する際に変形した
り破壊したりすることがなく、また絶縁基板１４．１８
のストライプ状溝１２．１６に合せて格子状に形成され
ているのでストライプの縦方向に電子が放散して点灯し
ている画素から隣りの画素の蛍光発光層に電子が移行す
ることがなくなる、その上タンタル製のスペーサシート
２８は熱膨張係数が７０ ｘ １０−’／”Ｃと小さく
、ガラス製絶縁基板の熱膨張係数である８ ０ ｘ １
０−’／’Ｃに近く、製造工程での加熱冷却の熱歪によ
ってクラックを生ずることがなくなるので好ましい、尚
、スペーサシート２８はタンタルの代わりに同様の性質
を有するモリブデンであってもよい、一方、フィラメン
トをこのように薄膜に形成すると、従来の懸架方式の細
線に比べて画素数が多くなっても位置決めが容易である
上に引き留めが容易であるので好ましい。
絶縁基板１４．ｔｓは、第１図に示すように、その溝１
２．１６が相対するように、また両絶縁基板１４．１８
の間にフィラメント２６が挟まるようにして合わせて図
示していないパネル端部において熱間プレスによって一
体化される。尚、ガラス製絶縁基板１４．１８の合わせ
目には予めガラスフリットを塗布し、仮焼きされて熱間
圧着を容易にしている。また、この熱間圧着は絶縁基板
１４．１８の内部が１Ｏ−６Ｔｏｒｒ程度に真空となる
ように真空引きしながら行なわれる。
２．１６が相対するように、また両絶縁基板１４．１８
の間にフィラメント２６が挟まるようにして合わせて図
示していないパネル端部において熱間プレスによって一
体化される。尚、ガラス製絶縁基板１４．１８の合わせ
目には予めガラスフリットを塗布し、仮焼きされて熱間
圧着を容易にしている。また、この熱間圧着は絶縁基板
１４．１８の内部が１Ｏ−６Ｔｏｒｒ程度に真空となる
ように真空引きしながら行なわれる。
次に１本発明の具体例をのべると、正面絶縁基板は酸化
コバルト、酸化ニッケルを微量含有して透過率が５７％
程度の厚みが４ｍｍのガラス板からなり、このガラス板
にフォトリソグラフィー、エツチングを行なって深さが
０．３ｍｍ幅が０．６ｍｍのストライプ状溝な０．２ｍ
ｍの間隔で形成した。透明電極はこの溝の底にＩＴＯを
イオンビームスパッタリング法によって形成し、また蛍
光発光層はこの透明電極の上に各構内毎に３本（色）形
成した。尚、各１本の発光層の幅は０．１２ｍｍであっ
た。
コバルト、酸化ニッケルを微量含有して透過率が５７％
程度の厚みが４ｍｍのガラス板からなり、このガラス板
にフォトリソグラフィー、エツチングを行なって深さが
０．３ｍｍ幅が０．６ｍｍのストライプ状溝な０．２ｍ
ｍの間隔で形成した。透明電極はこの溝の底にＩＴＯを
イオンビームスパッタリング法によって形成し、また蛍
光発光層はこの透明電極の上に各構内毎に３本（色）形
成した。尚、各１本の発光層の幅は０．１２ｍｍであっ
た。
一方、フィラメントを形成すべきスペーサシートは２０
ＩＬｍ厚みのタンタル袈のシートにフォトリソグラフィ
ーによって０．２ｍｍ幅のレジストパターンを形成し、
弗化水素酸系エツチング液を用いてエツチングを行ない
０．５ｍｍｘｏ、５ｍｍの画素パターンを有する格子状
とする。このようにして格子状に形成されたスペーサシ
ート上にゾルゲル法によってＳｉｎ、を約ＩＢｍ厚にコ
ーティングし９次いでポリアミド樹脂をスクリーン印刷
して格子のメツシュを塞ぐ、フィラメントはこのシート
に−ｔｏｏｖ程度のバイアス電圧をかけてＤＣスパッタ
リング法によってタングステン膜を３ｐｍの厚みに形成
し、ＸｅＦ、を主成分とするプラズマエツチング法によ
って形成される。ポリアミド樹脂はエツチング後溶媒で
抽出し除去する。このようにして形成されたフィラメン
トは電気泳動法によって（Ｂａ、Ｓｒ、Ｃａ）Ｏの電子
放射物質を被覆する。
ＩＬｍ厚みのタンタル袈のシートにフォトリソグラフィ
ーによって０．２ｍｍ幅のレジストパターンを形成し、
弗化水素酸系エツチング液を用いてエツチングを行ない
０．５ｍｍｘｏ、５ｍｍの画素パターンを有する格子状
とする。このようにして格子状に形成されたスペーサシ
ート上にゾルゲル法によってＳｉｎ、を約ＩＢｍ厚にコ
ーティングし９次いでポリアミド樹脂をスクリーン印刷
して格子のメツシュを塞ぐ、フィラメントはこのシート
に−ｔｏｏｖ程度のバイアス電圧をかけてＤＣスパッタ
リング法によってタングステン膜を３ｐｍの厚みに形成
し、ＸｅＦ、を主成分とするプラズマエツチング法によ
って形成される。ポリアミド樹脂はエツチング後溶媒で
抽出し除去する。このようにして形成されたフィラメン
トは電気泳動法によって（Ｂａ、Ｓｒ、Ｃａ）Ｏの電子
放射物質を被覆する。
また、背面絶縁基板は正面絶縁基板と同様に透過率を下
げる酸化ニッケル、酸化コバルトを微量含有する厚みが
４ ｍ ｍのガラス板から成り、このガラス板には化学
エツチング法によって幅が０．６ｍｍで深さが０．３ｍ
ｍのストライプ状溝が形成され、この溝の底に制御電極
として各溝毎に幅が０．１２ｍｍの３本のアルミニウム
膜が形成される。
げる酸化ニッケル、酸化コバルトを微量含有する厚みが
４ ｍ ｍのガラス板から成り、このガラス板には化学
エツチング法によって幅が０．６ｍｍで深さが０．３ｍ
ｍのストライプ状溝が形成され、この溝の底に制御電極
として各溝毎に幅が０．１２ｍｍの３本のアルミニウム
膜が形成される。
最後に、正面ガラス板とフィラメントと背面ガラス板と
を相互に位置決めし重ね合せてガラス射出し内部を１０
−”Ｔｏｒｒ程度に真空引きしつつ固定する。
を相互に位置決めし重ね合せてガラス射出し内部を１０
−”Ｔｏｒｒ程度に真空引きしつつ固定する。
この具体例では、既にのべたように、フィラメントがス
ペーサシート上に薄膜状に形成されているので位置決め
が容易であり、このため例えば画素数が６４０ｘ４００
のように多くなっても位置合せに要する時間は従来の１
分に対して約１７３乃至１１５程度短縮することができ
た。また、隣接する画素への光の漏れがなく。
ペーサシート上に薄膜状に形成されているので位置決め
が容易であり、このため例えば画素数が６４０ｘ４００
のように多くなっても位置合せに要する時間は従来の１
分に対して約１７３乃至１１５程度短縮することができ
た。また、隣接する画素への光の漏れがなく。
従来では点灯画素から１〜２画素離れた部分で発光が見
られたが１本発明の具体例ではそのような現象は観察さ
れなかった。更に１例えば。
られたが１本発明の具体例ではそのような現象は観察さ
れなかった。更に１例えば。
１００ｍｍｘ１００ｍｍ以上の大画面では従来では８０
℃から一３０℃のヒートショックを１００回与えると、
３０個のクラックが発生したが１本発明の具体例ではこ
れはみられなかった、また、従来のフィラメント懸架方
式では作業上１本／画素が限界であったが９本発明ては
第１図に示すように３本／画素が可能となって高精細の
フルカラーパネルを実現することができた。
℃から一３０℃のヒートショックを１００回与えると、
３０個のクラックが発生したが１本発明の具体例ではこ
れはみられなかった、また、従来のフィラメント懸架方
式では作業上１本／画素が限界であったが９本発明ては
第１図に示すように３本／画素が可能となって高精細の
フルカラーパネルを実現することができた。
（発明の効果）
本発明によれば、上記のように、ガラス基板は光吸収性
の不純物化合物を含有しているので隣接する画素の間で
光が漏れることがなく、従って画素が鮮明となり、また
フィラメントは格子状のスペーサシートにこのシートと
同じ熱膨張係数を有する薄膜金属層から虞っているので
綴り返しのヒートショックを受けてもクラックを生ずる
ことがなく、従ってシール性の高し）表示パネルを得る
ことができる実益がある。
の不純物化合物を含有しているので隣接する画素の間で
光が漏れることがなく、従って画素が鮮明となり、また
フィラメントは格子状のスペーサシートにこのシートと
同じ熱膨張係数を有する薄膜金属層から虞っているので
綴り返しのヒートショックを受けてもクラックを生ずる
ことがなく、従ってシール性の高し）表示パネルを得る
ことができる実益がある。
第１図は本発明に係る蛍光表示パネルの一部の断面図、
第２図はフィラメントの一部の拡大斜視図である。 １０−−−−一蛍光表示パネル、１２．１６−−−−−
ストライプ状溝、１４．１８−−−−−ガラス製の正面
及び背面絶縁基板、２０−−一一一透明電極、２２−−
−−−蛍光発光層。 ２４−一−−−制御電極、２６−−−−−フイラメント
２８−−−ｍ−格子状スペーサシート。
第２図はフィラメントの一部の拡大斜視図である。 １０−−−−一蛍光表示パネル、１２．１６−−−−−
ストライプ状溝、１４．１８−−−−−ガラス製の正面
及び背面絶縁基板、２０−−一一一透明電極、２２−−
−−−蛍光発光層。 ２４−一−−−制御電極、２６−−−−−フイラメント
２８−−−ｍ−格子状スペーサシート。
Claims (1)
- ストライプ状の溝が設けられ前記溝内に透明電極と蛍光
発光層とが設けられた透明な正面絶縁基板と前記正面絶
縁基板に相対して固定され同様のストライプ状溝が設け
られ前記溝内に制御電極が設けられた背面絶縁基板と前
記正面絶縁基板と背面絶縁基板との間に挟まれたフィラ
メントとから成る蛍光表示パネルにおいて、前記正面絶
縁基板は光吸収性を有する不純物化合物を含有するガラ
スから成り、且つ前記フィラメントは前記正面と背面と
の絶縁基板のストライプ状溝に合わせた格子状のスペー
サシートに形成され前記スペーサシートは前記フィラメ
ントと同程度の熱膨張係数を有する絶縁された材料から
成っていることを特徴とする蛍光表示パネル。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP6984888A JPH01243348A (ja) | 1988-03-25 | 1988-03-25 | 蛍光表示パネル |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP6984888A JPH01243348A (ja) | 1988-03-25 | 1988-03-25 | 蛍光表示パネル |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH01243348A true JPH01243348A (ja) | 1989-09-28 |
Family
ID=13414639
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP6984888A Pending JPH01243348A (ja) | 1988-03-25 | 1988-03-25 | 蛍光表示パネル |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH01243348A (ja) |
-
1988
- 1988-03-25 JP JP6984888A patent/JPH01243348A/ja active Pending
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