JPH01245532A - ワイヤクランプ機構 - Google Patents
ワイヤクランプ機構Info
- Publication number
- JPH01245532A JPH01245532A JP63072731A JP7273188A JPH01245532A JP H01245532 A JPH01245532 A JP H01245532A JP 63072731 A JP63072731 A JP 63072731A JP 7273188 A JP7273188 A JP 7273188A JP H01245532 A JPH01245532 A JP H01245532A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- wire
- piezoelectric element
- clamp
- movable plate
- clamp plate
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
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Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10W—GENERIC PACKAGES, INTERCONNECTIONS, CONNECTORS OR OTHER CONSTRUCTIONAL DETAILS OF DEVICES COVERED BY CLASS H10
- H10W72/00—Interconnections or connectors in packages
- H10W72/071—Connecting or disconnecting
- H10W72/0711—Apparatus therefor
-
- H—ELECTRICITY
- H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10W—GENERIC PACKAGES, INTERCONNECTIONS, CONNECTORS OR OTHER CONSTRUCTIONAL DETAILS OF DEVICES COVERED BY CLASS H10
- H10W72/00—Interconnections or connectors in packages
- H10W72/071—Connecting or disconnecting
- H10W72/0711—Apparatus therefor
- H10W72/07168—Means for storing or moving the material for the connector
-
- H—ELECTRICITY
- H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10W—GENERIC PACKAGES, INTERCONNECTIONS, CONNECTORS OR OTHER CONSTRUCTIONAL DETAILS OF DEVICES COVERED BY CLASS H10
- H10W72/00—Interconnections or connectors in packages
- H10W72/071—Connecting or disconnecting
- H10W72/075—Connecting or disconnecting of bond wires
- H10W72/07502—Connecting or disconnecting of bond wires using an auxiliary member
Landscapes
- Wire Bonding (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔発明の目的〕
（産業上の利用分野）
この発明はワイヤボンディング装置、コイル巻線機、溶
接機等に装備されるワイヤクランプ機構に関するもので
ある。
接機等に装備されるワイヤクランプ機構に関するもので
ある。
（従来の技術）
半導体の組立などに使用するワイヤボンディング装置は
、ワイヤをクランプして繰出したり前記ワイヤに張力を
付加したりなどするワイヤクランプ機構を備えている。
、ワイヤをクランプして繰出したり前記ワイヤに張力を
付加したりなどするワイヤクランプ機構を備えている。
この従来のワイヤクランプ機構としては、クランプ可動
板の開閉駆動源にモータを用いる特開昭８２−１１９９
３２号公報に開示のもの、クランプ可動板の開閉駆動源
にソレノイドを用いる添附図面第３図に示したような構
造のものが知られている。
板の開閉駆動源にモータを用いる特開昭８２−１１９９
３２号公報に開示のもの、クランプ可動板の開閉駆動源
にソレノイドを用いる添附図面第３図に示したような構
造のものが知られている。
第３図に示した従来のワイヤクランプ機構は、先端にワ
イヤ挟持片６を有し中間支軸１ａを回動支点としてソレ
ノイド５により開き方向に作動されるクランプ可動板１
と、このクランプ可動板１に対向する固定板３と、先端
にクランプ可動板１のワイヤ挟持片６と対向するワイヤ
挟持片７を有しワイヤクランプ時の衝撃を緩和する間隙
をもって前記固定板３に取付けられた板バネ２と、クラ
ンブ可動板１を閉じ方向に付勢する圧縮バネ４とを具備
し、ワイヤ挟持片６．７の間に挿通されたワイヤＷをク
ランプ可動板１の閉じ作用でワイヤ挟持片６．７間に挟
持してクランプするように構成されている。
イヤ挟持片６を有し中間支軸１ａを回動支点としてソレ
ノイド５により開き方向に作動されるクランプ可動板１
と、このクランプ可動板１に対向する固定板３と、先端
にクランプ可動板１のワイヤ挟持片６と対向するワイヤ
挟持片７を有しワイヤクランプ時の衝撃を緩和する間隙
をもって前記固定板３に取付けられた板バネ２と、クラ
ンブ可動板１を閉じ方向に付勢する圧縮バネ４とを具備
し、ワイヤ挟持片６．７の間に挿通されたワイヤＷをク
ランプ可動板１の閉じ作用でワイヤ挟持片６．７間に挟
持してクランプするように構成されている。
（発明が解決しようとする課題）
前記従来のワイヤクランプ機構は、クランプ可動板１の
開閉をモータやソレノイド等で行なうので、クランプ機
構が大型で重くなり、ワイヤボンディング装置に利用す
る場合（ツールアームの先端に固定して使用する）には
、ＤＣモータ等のアーム駆動源の負荷が大きくなって、
装置全体のインデックス時間が遅くなるという問題があ
る。
開閉をモータやソレノイド等で行なうので、クランプ機
構が大型で重くなり、ワイヤボンディング装置に利用す
る場合（ツールアームの先端に固定して使用する）には
、ＤＣモータ等のアーム駆動源の負荷が大きくなって、
装置全体のインデックス時間が遅くなるという問題があ
る。
しかも、前記従来のワイヤクランプ機構は一定のクラン
プ力しか出すことができず、クランプ力の変更の際には
クランプ機構そのものを変更しなければならない問題が
あった。
プ力しか出すことができず、クランプ力の変更の際には
クランプ機構そのものを変更しなければならない問題が
あった。
この発明の目的はクランプ力を容易に変更でき、しかも
インデックス時間の高速化に有効な小型・軽量で応答性
の速いワイヤクランプ機構を提供することにある。
インデックス時間の高速化に有効な小型・軽量で応答性
の速いワイヤクランプ機構を提供することにある。
（課題を解決するための手段）
この発明は前記の目的を達成するために、一対のワイヤ
挟持片の間に挿通されるワイヤをクランプ可動板の閉じ
作用によってクランプするようにしたワイヤクランプ機
構において、クランプ可動板の開閉駆動源として電圧の
印加により長さ方向に微小変位する圧電素子を用い、こ
の圧電素子とクランプ可動板との間に圧電素子の微小変
位量をてこの原理で拡大してクランプ可動板を開き方向
または閉じ方向に作動させるリンク機構を設けると共に
、クランプ可動板を閉じ方向または開き方向に付勢する
弾性体と、この弾性体を調整しワイヤクランプ力を変更
させるクランプ力制御部を設けたことを特徴とする。
挟持片の間に挿通されるワイヤをクランプ可動板の閉じ
作用によってクランプするようにしたワイヤクランプ機
構において、クランプ可動板の開閉駆動源として電圧の
印加により長さ方向に微小変位する圧電素子を用い、こ
の圧電素子とクランプ可動板との間に圧電素子の微小変
位量をてこの原理で拡大してクランプ可動板を開き方向
または閉じ方向に作動させるリンク機構を設けると共に
、クランプ可動板を閉じ方向または開き方向に付勢する
弾性体と、この弾性体を調整しワイヤクランプ力を変更
させるクランプ力制御部を設けたことを特徴とする。
（作用）
前記構成のワイヤクランプ機構は、圧電素子に電圧を印
加すると、この圧電素子が長さ方向に微小変位し、この
圧電素子の微小変位量がリンク機構で数十倍に拡大され
てクランプ可動板を開き方向または閉じ方向に作動させ
る。また、圧電素子の電源駆動部をＯＦＦにすると、圧
電素子は元の長さに瞬時に復帰し、これと同時にクラン
プ可動板が弾性体の付勢力で閉じ方向または開き方向に
作動する。そして、クランプ可動板が閉じた時に一対の
ワイヤ挟持片でワイヤを挟んでクランプし、またクラン
プ可動板が開いた時に前記ワイヤのクランプを解除する
ようになる。
加すると、この圧電素子が長さ方向に微小変位し、この
圧電素子の微小変位量がリンク機構で数十倍に拡大され
てクランプ可動板を開き方向または閉じ方向に作動させ
る。また、圧電素子の電源駆動部をＯＦＦにすると、圧
電素子は元の長さに瞬時に復帰し、これと同時にクラン
プ可動板が弾性体の付勢力で閉じ方向または開き方向に
作動する。そして、クランプ可動板が閉じた時に一対の
ワイヤ挟持片でワイヤを挟んでクランプし、またクラン
プ可動板が開いた時に前記ワイヤのクランプを解除する
ようになる。
（実施例）
以下、この発明の第１の実施例を第１図に従い説明する
。図中１は先端にワイヤ挟持片６を有したクランプ可動
板、３はクランプ可動板１に離間して対向する固定板、
２は先端にクランプ可動板１のワイヤ挟持片６と対向す
るワイヤ挟持片７を有しワイヤクランプ時の衝撃を緩和
する間隙をもって前記固定板３に取付けられた板バネで
、この板バネ先端のワイヤ挟持片７とクランプ可動板１
先端のワイヤ挟持片６との間に挿通されるワイヤＷをク
ランプ可動板１の閉じ作用でクランプするように構成さ
れている。
。図中１は先端にワイヤ挟持片６を有したクランプ可動
板、３はクランプ可動板１に離間して対向する固定板、
２は先端にクランプ可動板１のワイヤ挟持片６と対向す
るワイヤ挟持片７を有しワイヤクランプ時の衝撃を緩和
する間隙をもって前記固定板３に取付けられた板バネで
、この板バネ先端のワイヤ挟持片７とクランプ可動板１
先端のワイヤ挟持片６との間に挿通されるワイヤＷをク
ランプ可動板１の閉じ作用でクランプするように構成さ
れている。
ＩＯはクランプ可動板１の開閉駆動源としての圧電素子
で、この圧電素子ｌＯは固定部１１内に固定され、外部
の電源駆動部１２より電圧の印加すると、長さ方向に僅
かに伸びるように微小変位する。１３はこの圧電素子Ｉ
Ｏの微小変位量を、てこの原理を利用して数十倍例えば
３０倍位に拡大し、クランプ可動板１を開き方向に作動
させるリンク機構で、このリンク機構１３は弾性変形可
能な切欠ヒンジ部Ａ、Ａ’ 、Ｂ、Ｂ’ を支点として
図示矢印方向にリンク作動される一対の差動リンク１３
ａ 、 １３ｂで構成されている。１４はクランプ可動
板１を閉じ方向に付勢する引張バネ等の弾性体、１５は
この弾性体１４の弾性力を調整しワイヤクランプ力を変
更させるクランプ力制御部である。
で、この圧電素子ｌＯは固定部１１内に固定され、外部
の電源駆動部１２より電圧の印加すると、長さ方向に僅
かに伸びるように微小変位する。１３はこの圧電素子Ｉ
Ｏの微小変位量を、てこの原理を利用して数十倍例えば
３０倍位に拡大し、クランプ可動板１を開き方向に作動
させるリンク機構で、このリンク機構１３は弾性変形可
能な切欠ヒンジ部Ａ、Ａ’ 、Ｂ、Ｂ’ を支点として
図示矢印方向にリンク作動される一対の差動リンク１３
ａ 、 １３ｂで構成されている。１４はクランプ可動
板１を閉じ方向に付勢する引張バネ等の弾性体、１５は
この弾性体１４の弾性力を調整しワイヤクランプ力を変
更させるクランプ力制御部である。
而して、前記構成のワイヤクランプ機構は、固定部１１
に固定された圧電素子ＩＯを電源駆動部１２からの電圧
印加により長さ方向に微小変位させると、差動リンク１
３ａ 、 １３ｂが切欠ヒンジ部Ａ、Ａ’ 。
に固定された圧電素子ＩＯを電源駆動部１２からの電圧
印加により長さ方向に微小変位させると、差動リンク１
３ａ 、 １３ｂが切欠ヒンジ部Ａ、Ａ’ 。
Ｂ、Ｂ’を支点にして図示矢印で示す方向にリンり作動
し、このリンク作動で圧電素子１０の微小変位量か数十
倍に拡大されて、クランプ可動板１を開き方向に作動さ
せる。
し、このリンク作動で圧電素子１０の微小変位量か数十
倍に拡大されて、クランプ可動板１を開き方向に作動さ
せる。
前記ワイヤＷをクランプする場合は、クランプ可動板１
の開き状態で圧電素子１０の電源駆動部１２をＯＦＦに
すると、圧電素子１０が元の長さに瞬時に復帰すると同
時にクランプ可動板１が弾性体■４で引張られて閉じ、
クランプ可動板１の復元力と弾性体■４の付勢力とで決
定されたクランプ力でワイヤＷをワイヤ挟持片６，７の
間に挟んでクランプする。なお、このワイヤクランプ時
の衝撃は板バネ２により吸収されるので、衝撃によって
前記ワイヤＷが変形したりすることもない。
の開き状態で圧電素子１０の電源駆動部１２をＯＦＦに
すると、圧電素子１０が元の長さに瞬時に復帰すると同
時にクランプ可動板１が弾性体■４で引張られて閉じ、
クランプ可動板１の復元力と弾性体■４の付勢力とで決
定されたクランプ力でワイヤＷをワイヤ挟持片６，７の
間に挟んでクランプする。なお、このワイヤクランプ時
の衝撃は板バネ２により吸収されるので、衝撃によって
前記ワイヤＷが変形したりすることもない。
第２図は本発明の第２の実施例に係わる両開き式のワイ
ヤクランプ機構を示すもので、図中１゜１′は開閉可能
な一対のクランプ可動板であり、一方のクランプ可動板
１の先端にはワイヤ挟持片６か固定され、他方のクラン
プ可動板１′の先端部にはクランプ可動板１のワイヤ挟
持片６と対向するワイヤ挟持片７を有した仮バネ２がワ
イヤクランプ時の衝撃を緩和する間隙をもって取付けら
れ、この板バネ先端のワイヤ挟持片７とクランプ可動板
１先端のワイヤ挟持片６との間に挿通されるワイヤＷを
クランプ可動板１，１′の閉じ作用 −でクランプする
ように構成されている。
ヤクランプ機構を示すもので、図中１゜１′は開閉可能
な一対のクランプ可動板であり、一方のクランプ可動板
１の先端にはワイヤ挟持片６か固定され、他方のクラン
プ可動板１′の先端部にはクランプ可動板１のワイヤ挟
持片６と対向するワイヤ挟持片７を有した仮バネ２がワ
イヤクランプ時の衝撃を緩和する間隙をもって取付けら
れ、この板バネ先端のワイヤ挟持片７とクランプ可動板
１先端のワイヤ挟持片６との間に挿通されるワイヤＷを
クランプ可動板１，１′の閉じ作用 −でクランプする
ように構成されている。
ｌＯはクランプ可動板１．１′の開閉駆動源としての圧
電素子で、この圧電素子ｌＯは前記実施例と同様に固定
部ｌｌ内に固定され、外部の電源駆動部１２より電圧を
印加すると、長さ方向に僅かに伸びるように微小変位す
る。１３はこの圧電素子１０の微小変位量を、てこの原
理を利用して数十倍に拡大し、クランプ可動板１．１′
を開き方向に作動させるリンク機構で、このリンク機構
１３は弾性変形可能な切欠ヒンジ部Ａ−Ｃ，Ａ’ 〜Ｃ
′を支点として図示矢印方向に同じ動き量でリンク作動
される一対の共動リンク１３ｃ 、 １３ｄで構成され
ている。
電素子で、この圧電素子ｌＯは前記実施例と同様に固定
部ｌｌ内に固定され、外部の電源駆動部１２より電圧を
印加すると、長さ方向に僅かに伸びるように微小変位す
る。１３はこの圧電素子１０の微小変位量を、てこの原
理を利用して数十倍に拡大し、クランプ可動板１．１′
を開き方向に作動させるリンク機構で、このリンク機構
１３は弾性変形可能な切欠ヒンジ部Ａ−Ｃ，Ａ’ 〜Ｃ
′を支点として図示矢印方向に同じ動き量でリンク作動
される一対の共動リンク１３ｃ 、 １３ｄで構成され
ている。
１４はクランプ可動板１．１′を閉じ方向に付勢する弾
性体、１５はこの弾性体１４の弾性力を調整しワイヤク
ランプ力を変更させるクランプ力制御部である。
性体、１５はこの弾性体１４の弾性力を調整しワイヤク
ランプ力を変更させるクランプ力制御部である。
而して、前記構成のワイヤクランプ機構は、固定部１１
に固定された圧電素子ＩＯを電源駆動部１２からの電圧
印加により長さ方向に微小変位させると、共動リンク１
３ｃ 、 １３ｄが切欠ヒンジ部Ａ−Ｃ。
に固定された圧電素子ＩＯを電源駆動部１２からの電圧
印加により長さ方向に微小変位させると、共動リンク１
３ｃ 、 １３ｄが切欠ヒンジ部Ａ−Ｃ。
Ａ′〜Ｃ′を支点にして図示矢印で示す方向にリンク作
動し、このリンク作動で圧電素子ＩＯの微小変位量が数
十倍に拡大されて、クランプ可動板１゜１′を開き方向
に作動させる。
動し、このリンク作動で圧電素子ＩＯの微小変位量が数
十倍に拡大されて、クランプ可動板１゜１′を開き方向
に作動させる。
前記ワイヤＷをクランプする場合は、クランプ可動板１
，１′の開き状態で圧電索子１０の電源駆動部１２をＯ
ＦＦにすると、圧電素子１０が元の長さに瞬時に復帰す
ると同時にクランプ可動板１゜１′が弾性体１４で引張
られて閉じ、クランプ可動ｌｆ１．１’ の復元力と弾
性体１４の付勢力とで決定されたクランプ力でワイヤＷ
をワイヤ挟持片６゜７の間に挟んでクランプする（この
時の衝撃は板バネ２により吸収される）。
，１′の開き状態で圧電索子１０の電源駆動部１２をＯ
ＦＦにすると、圧電素子１０が元の長さに瞬時に復帰す
ると同時にクランプ可動板１゜１′が弾性体１４で引張
られて閉じ、クランプ可動ｌｆ１．１’ の復元力と弾
性体１４の付勢力とで決定されたクランプ力でワイヤＷ
をワイヤ挟持片６゜７の間に挟んでクランプする（この
時の衝撃は板バネ２により吸収される）。
なお、前記実施例では圧電素子が長さ方向に微小変位す
る際に、クランプ可動板が開くリンク機構になっている
が、圧電素子が長さ方向に微小変位する際に、クランプ
可動板が閉じるリンク機構としても実施可能である。こ
の場合には、クランプ可動板を弾性体で開き方向に付勢
し、この弾性体をクランプ力制御部で調整することによ
り、クランプ力を変更できるようにする。
る際に、クランプ可動板が開くリンク機構になっている
が、圧電素子が長さ方向に微小変位する際に、クランプ
可動板が閉じるリンク機構としても実施可能である。こ
の場合には、クランプ可動板を弾性体で開き方向に付勢
し、この弾性体をクランプ力制御部で調整することによ
り、クランプ力を変更できるようにする。
本発明のワイヤクランプ機構は、クランプ可動板の開閉
駆動源として電圧の印加により長さ方向に微小変位する
圧電素子を用い、この圧電素子の微小変位量をリンク機
構で拡大してクランプ可動板を作動させるように構成し
ているので、クランプ機構全体をインデックス時間の高
速化に有効な小型・軽量で応答性の速いものにすること
ができる。しかも、圧電素子を駆動源に用いたワイヤク
ランプ機構は、圧電素子によるクランプ力は一定である
が、クランプ可動板を付勢する弾性体をクランプ力制御
部で調整することにより、容易にクランプ力を変更する
ことができ、クランプ力の変更の際にクランプ機構その
ものを変更しなければならないという従来の問題を解消
することができる。
駆動源として電圧の印加により長さ方向に微小変位する
圧電素子を用い、この圧電素子の微小変位量をリンク機
構で拡大してクランプ可動板を作動させるように構成し
ているので、クランプ機構全体をインデックス時間の高
速化に有効な小型・軽量で応答性の速いものにすること
ができる。しかも、圧電素子を駆動源に用いたワイヤク
ランプ機構は、圧電素子によるクランプ力は一定である
が、クランプ可動板を付勢する弾性体をクランプ力制御
部で調整することにより、容易にクランプ力を変更する
ことができ、クランプ力の変更の際にクランプ機構その
ものを変更しなければならないという従来の問題を解消
することができる。
第１図は本発明の第１の実施例によるワイヤクランプ機
構をワイヤクランプ状態で示した平面図、第２図は本発
明の第２の実施例によるワイヤクランプ機構をワイヤク
ランプ状態で示した平面図、第３図は従来のワイヤクラ
ンプ機構をクランプ解除の状態で示した平面図である。 Ｗ・・・ワイヤ、１．１’ ・・・クランプ可動板、２
・・・板バネ、３・・・固定板、６．７・・・ワイヤ挟
持片、ＩＯ・・・圧電素子、１１・・・素子固定部、１
２・・・電源駆動部、１３・・・リンク機構、１３ａ
、 １３ｂ・・・差動リンク、Ｈｅ 、 １３ｄ−・・
共動リンク、Ａ−Ｃ，Ａ’ 〜Ｃ’ ・・・リンク支点
となる切欠ヒンジ部、１４・・・弾性体、１５・・・ク
ランプ力制御部。 出願人代理人 弁理士 鈴江武彦 第１図 第２図 第３図
構をワイヤクランプ状態で示した平面図、第２図は本発
明の第２の実施例によるワイヤクランプ機構をワイヤク
ランプ状態で示した平面図、第３図は従来のワイヤクラ
ンプ機構をクランプ解除の状態で示した平面図である。 Ｗ・・・ワイヤ、１．１’ ・・・クランプ可動板、２
・・・板バネ、３・・・固定板、６．７・・・ワイヤ挟
持片、ＩＯ・・・圧電素子、１１・・・素子固定部、１
２・・・電源駆動部、１３・・・リンク機構、１３ａ
、 １３ｂ・・・差動リンク、Ｈｅ 、 １３ｄ−・・
共動リンク、Ａ−Ｃ，Ａ’ 〜Ｃ’ ・・・リンク支点
となる切欠ヒンジ部、１４・・・弾性体、１５・・・ク
ランプ力制御部。 出願人代理人 弁理士 鈴江武彦 第１図 第２図 第３図
Claims (1)
- 一対のワイヤ挟持片の間に挿通されるワイヤをクラン
プ可動板の閉じ作用によってクランプするようにしたワ
イヤクランプ機構において、クランプ可動板の開閉駆動
源として電圧の印加により長さ方向に微小変位する圧電
素子を用い、この圧電素子とクランプ可動板との間に圧
電素子の微小変位量をてこの原理で拡大してクランプ可
動板を開き方向または閉じ方向に作動させるリンク機構
を設けると共に、クランプ可動板を閉じ方向または開き
方向に付勢する弾性体と、この弾性体を調整しワイヤク
ランプ力を変更させるクランプ力制御部を設けたことを
特徴とするワイヤクランプ機構。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP63072731A JPH01245532A (ja) | 1988-03-26 | 1988-03-26 | ワイヤクランプ機構 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP63072731A JPH01245532A (ja) | 1988-03-26 | 1988-03-26 | ワイヤクランプ機構 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH01245532A true JPH01245532A (ja) | 1989-09-29 |
Family
ID=13497793
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP63072731A Pending JPH01245532A (ja) | 1988-03-26 | 1988-03-26 | ワイヤクランプ機構 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH01245532A (ja) |
Cited By (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH0268942A (ja) * | 1988-09-02 | 1990-03-08 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | ワイヤクランプ方法及び装置 |
| US5746422A (en) * | 1995-09-13 | 1998-05-05 | Kabushiki Kaisha Shinkawa | Clamping device |
| KR100250869B1 (ko) * | 1996-02-15 | 2000-04-01 | 후지야마 겐지 | 와이어본딩장치용 와이어절단공급장치 |
| JP2002517910A (ja) * | 1998-06-09 | 2002-06-18 | ヘッセ・ウント・クニップス・ゲゼルシャフト・ミト・ベシュレンクテル・ハフツング | 部品を動かす送りユニット |
| US11004822B2 (en) * | 2016-08-23 | 2021-05-11 | Shinkawa Ltd. | Wire clamp apparatus calibration method and wire bonding apparatus |
| US11257781B2 (en) * | 2016-06-15 | 2022-02-22 | Shinkawa Ltd. | Method for calibrating wire clamp device |
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| JPS50106579A (ja) * | 1974-01-09 | 1975-08-22 | ||
| JPS57159034A (en) * | 1981-03-27 | 1982-10-01 | Hitachi Ltd | Wire clamping device |
-
1988
- 1988-03-26 JP JP63072731A patent/JPH01245532A/ja active Pending
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| JPS50106579A (ja) * | 1974-01-09 | 1975-08-22 | ||
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