JPH01246000A - 真空プレス装置及び制御方法 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 【産業上の利用分野］ 本発明は、プリント基板等の被加工物を真空状ｆ８で熱
圧プレスした後冷圧プレスするよう構成された真空プレ
ス装置及びその制御方法に関する。

［従来技術及びその課題］ 一般に、ガラスエポキシ銅張基板等をプレス成形する方
法としては、加熱会冷却を一台のプレス装置で行なう方
法と、熱圧プレスと冷圧プレスとを夫々専用のプレス装
置として両プレス装置間を材料を移動させて成形する所
謂トランスファープレス（又はタンデムプレス）による
方法とがある。成形温度は、ガラスエポキシ基板の場合
でｉｓｏ℃〜２００℃である。

又、素材に含まれる水分の除去や成形中に発生するガス
を脱気する必要から真空状態で成形する所ｒＩ真空プレ
ス装置があるが、後者の場合では熱圧プレス装置のみを
真空状態として冷圧プレス装置は真空としないのが一般
的なものである。

ところで、たとえばテフロン基Ｊ！ｉ、等の如く３５０
℃〜４００℃という高温での成形では、この高温による
銅箔の酸化が大きな問題となる。即ち、このような高温
状態で酸素を含む雰囲気（大°　気中）に銅箔がさらさ
れるとたちまちその表面に酸化被１？Ｗが形成され、導
通不良による不良品となってしまうものである。

熱圧プレス装置のみを真空状だ１としたトランスファー
プレスでは、熱圧プレス装置から冷圧プレス装置への材
料の移動が高温状態で行なわれ、この移動の際に銅箔が
大気にさらされることとなる為、このような高温での成
形に使用することはできない、この為、材料をプレス装
置内に挿置した後真空状７ｇとして加熱・冷却を行なう
為に高温状態の銅箔が大気にさらされることのない加熱
冷却を一台のプレス装置で行なう真空プレス装置を用い
、プレス状態で熱板の温度を常温から徐々にと昇させ、
所定鉦度で所定時間加熱圧縮すると共に、徐冷して室温
まで冷却した後取り出すようにして製造されている。

しかし乍ら、上記の如き加熱・冷却を一台のプレス装置
で行なう真空プレス装置による成形では、材料の加熱冷
却の際そのｒＢ度にプレス装置（熱板）を加熱冷却しな
ければならず、このサイクルに時間を寅すると共に熱エ
ネルギのコストが高いという問題点がある。

［発明の目的］ 本ｆｆ１ｌｊＪは上記の如き事情に鑑み、銅箔の酸化を
防東できると共にその製造の各工程を同時に並列進行で
Ｓ、熱エネルギの損失を押さえ且つ生産性の向上が可能
な真空プレス装置及び制御方法の提供、を目的とする。

［課題を解決する為の手段］ ト記目的達成の為、本発明は、被加工物を供給する供給
機構と、被加工物を熱圧プレスする熱圧プレス機構と、
熱圧プレス済の被加工物を冷圧プレスする冷圧プレス機
構と、を相ｍに隣接し開閉扉を介して隔絶された真空室
にそれぞれ設置して真空トランスファープレス装置を構
成する一方、かかる真空トランスファープレス装置を、
冷圧プレス機構により冷圧プレスされた被加工物を前記
真空室外に取り出した後、前記熱圧プレス機構で熱圧プ
レスされた被加工物を前記供給機構により前記冷圧プレ
ス機構に移載すると共に、前記供給機構から前記熱圧プ
レスｍａに被加工物を供給し、その後前記供給機構と前
記熱圧プレス機構とを隔絶した状態で被加工物を真空室
外から前記供給機構に供給するよう作動制御するもので
ある。

［実施例］ 以ドに本１１．明の一実施例を図面に基づいて説明する
。

第１〜２図に示す真空プレス装置は、相互に隣接し開閉
扉ａ、ｂを介して隔絶された３つの真空室１〜３を１列
に並べ、真空室１から取り入れたプリント基板等の被加
工物ｌＯを熱圧プレスした後冷圧プレスして成形し、成
形終了後に真空室３から取り出すよう構成されており、
所謂トランスファープレス装置となっているものである
。

ここで、真空室１−３は、図示しない真空発生器により
内部空気を除去して真空状ｆｍとされるものであり、前
記開閉扉ａ、ｂは１図示しないアクチュエータにより真
空室１〜３の隔壁に沿ってスライドして隔壁の開口部を
閉塞するよう構成されている。

真空室ｌには、真空室外（大気側）から搬入された被加
工物１０を収納し、収納した被加工物ｌＯを隣接した真
空室２に供給（及び真空室２内の被加工物１０を真空室
３に移送）する供給機構４が設置されている。

真空室２には、被加工物１０を熱圧プレスする熱圧プレ
ス機構５が設置されており、真空室３には真空室２内の
熱圧プレス機構５で熱圧プレスされた被加工物１０を冷
圧プレスする冷圧プレス機構６が″設置されている。

供給機構４は、被加工物１０をａ置するローラ台４１ａ
を所定間隔で一ヒ下方向に複数段固定したｒＩＴ動フレ
ームを、真空室！内に固定した固定フレームに沿って上
下に移動自在に設けた被加工物収納部４１と、開閉扉ａ
にａ接する方向に移動自在に真空室ｌの天井に設けられ
た可動フレーム４２ａに、前記ローラ台４１ａの固定間
隔に対応させて抑圧部材４２ｂを固定して構成された搬
送部４２とからなる。

真空室１には、外部（大気側）に開放される開閉扉Ｃが
設けられており、この開閉扉Ｃの外側に設けられた供給
コンベア４３によって搬送され被加工物ｌＯは、開閉Ｊ
Ｊｉｃを開いた開口部を介して真空室ｌ内に搬入され、
前記ローラ台４１ａ上にａ置される。

また、真空室ｌと開閉扉ａを介して隣接する真空室２に
設置される熱圧プレスｌ＆構５は、図示しない固定盤と
油圧でＡｌ！＃動する可動ｆｉ５１との間に複数段のホ
ットプレート５２を配置して構成され、前記可動＠５１
ｔ−、、ｈ昇させることで前記複数段のホットプレート
５２を下側から順次可動盤５１上に載置して最終的には
固定盤との間に挟み、それぞれのホットプレート５２に
１ｌＬＨ！ｉｔ、た被加工物ｌＯを所定の圧力及び熱で
熱圧縮処理するものである。

真空室２と開閉扉すを介して隣接する真空室３に設置さ
れる冷圧プレス機構６は、前記熱圧プレス機構５と同様
に１図示しない固定盤と昇降動する。Ｔ動盤６１と、の
間に複数段のプレスプレート（コールドプレート）６２
を配置して構成され、前記０■動ｑ１６１を上昇させる
ことで前記複数段のプレスプレート６２に載置した被加
工物ｌＯを冷圧縮処理するものである。

また、真空室３には、前記開閉扉ａ、ｂと同様に構成さ
れて外＊（大気側）に開放される開閉扉ｄが設けられて
おり、真空室３の冷圧プレス機構６によって冷圧プレス
されて成形が終了した液加−■二物１０は、この開閉扉
ｄを開けることにより搬出される。

該開閉扉ｄの外側には、プレスプレート６２にａ置され
た被加工物ｌＯがそれぞれ移載される受取り機構８と、
この受取り機ＭＲ８へ被加工物１０を移載するための移
載Ｊ機構７と、前記受取りａ４ＩＪ８によって受取られ
た被加工物ｌＯを送出す送出コンベア９が設けられてい
る。

受取り機構８は、ホットプレート５２及びプレスプレー
ト６２に対応して＃ｉ数段に設けられたプレート８１が
固定された図示しない昇降フレームが、本体に固定され
た図示しない固定フレームに対して昇降自在に設置され
ている。

また、移載機構７は、移做方向に移動自在に支１．７さ
れた爪部材７１を、プレスプレート６２上面に載置され
た液加り物１０を保持するトレー板１１の下面にそれぞ
れ引っかけて、プレスプレート６２Ｆからプレート８１
上にまで移動させるものである。

上記の如く構成された真空トランスファープレス装置は
、図示しない制御装置により自動又は手動により下記の
如く作動制御されるものである。

まず、真空室３に設置された冷圧プレス機構６による冷
圧縮処理が終了した段階で、冷圧プレス機構６の可ｇＪ
＠６１を下方移動させて各プレスプレート６２の相互間
を開き、真空室３を大気側に開放する開閉扉ｄを開く、
そして、受取り機構８の昇降フレームをｈ方の所定位置
に昇降させた状態で、移ａ機構７を開閉扉ｄ側に移動さ
せて爪部材７１を各プレスプレート６２に載置された被
加工物１０を支持するトレー板１１の下面に引っかけ、
被加工物ｌＯを引Ｓ出してプレート８１ヒに移載する。

プレート８１に：、に移載された被加工物１ｏは、昇降
フレームを下方に移動させることにより最下部に位置す
るプレート８１にａ置された被加工物１０から順次送出
コンベア９によって後工程に向けて搬出される。

一方、開閉扉ｄを開いて処理済の被加工物１０が冷圧プ
レス機構６から取り除かれると、開閉扉ｄを閉じて再び
内部空気を吸引して真空室ｊ内を真空状態とする。

熱圧プレス機構５にょる熱圧プレス工程が終了すると、
可動ｇ１５１を下方移動させて各ホットプレート５２の
間を広げ、真空室３が真空状態となってから開１２（扉
ａ、ｂｔｔ同時に開き、真空室１〜３が真空状態を保っ
てＦＭ４閉扉ａ、ｂを介して連通されるようにする。

ここで、４１ｇ！送部４２のｔＪｒｉｈフレーム４２ａ
を開閉扉ａに接近する方向に移動させて、可動フレーム
４２ａに国定された抑圧部材４２ｂの先端で熱圧プレス
ａａ５のホットプレート５２に載置された熱圧プレス済
の被加工物１０を押圧して真空室２側に移動させ、冷圧
プレス機構６のブレスプレート６２上に移載する。

次に、抑圧部材４２ｂを図で右端部の初期位置に戻した
後、被加工物収納部４１を上、ｊｊ４させて、被加工物
収納部４１のローラ台４１ａに載置された処理前の被加
工物ｌＯを、やはり抑圧部材１５の先端で抑圧してホッ
トプレート５２上に移載する。

このようにして、熱圧プレ７ｍ構５と冷圧プレス機構６
とにそれぞれ被加工物ｌＯが供給されると、開閉扉ａ、
ｂを閉じて熱圧プレスと冷圧プレスとを同時進行させる
と共に、外部から真空室１内の供給機構４に被加工物ｌ
Ｏを補充する。

即ち、開閉扉Ｃを開けた状態で、被加工物収納ｆｉ４１
の可動フレームを固定フレームに沿って下方に移動させ
ながら、供給コンベア４３から開閉扉Ｃの開口を介して
順次ローテ台４１ａ上に処理前の被加工物ｌθをａ置す
る。そして、各ローラ４．１４１ａそれぞれに悪Ｊ’［
！前の被加工物１０が４１Ｌ置されると、開閉扉Ｃを閉
じて真空室ｌの内部空気を吸引して再び真空状態とする
。

開閉扉ａ、ｂを閉じた時点から熱圧プレス機構５及び冷
圧プレス機構６による圧締処理は進行させて良く、真空
室ｌへの被加工物ｌＯの供給と内部空気の除去は、被加
工物１０の熱圧プレス処理及び冷圧プレス処理と同時進
行されるものである。

尚、上記実施例では、材料の搬送方向を直線的として各
機構部を直列に配こして構成したが、各機構部の配置は
適宜変更可能なものであり、例えば、熱圧プレス機構と
冷圧プレス機構とを並列に配置すると共に両装置の前方
に供給機構と受取り機構とを一体とした供給取出し機構
を左右に移動Ｉ旧克に設置して構成しても良いものであ
る。

［発明の効果］ 以北説明したように１本発明によると、熱圧プレスへの
被加工物の搬入・搬出を真空中で行なうことにより銅箔
が酸化することがなく、又、熱圧プレスと冷圧プレスと
を同時進行させることができると共に、かかる被加工物
の処理時に供給機構に対する被／ＩＩＩｆ物の補給及び
供給機端部の真空化を行なうことができるものである。

その結果、熱板の加熱・冷却に要する時間が不要となる
と共に真空室の吸引を処理時間中に行なうことができ、
更に熱板の加熱・冷却による熱エネルギの損失も少なく
７合理的１つ低コストでのプレス作業が可能となるもの
である。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発ｒＪ１の一実施例を示す真空プレス装置の
平面図、：Ｒ２図は構成側面図である。

Claims (2)

【特許請求の範囲】
1. （１）被加工物を供給する供給機構と、被加工物を熱圧
   プレスする熱圧プレス機構と、熱圧プレス済の被加工物
   を冷圧プレスする冷圧プレス機構と、を相互に隣接し開
   閉扉を介して隔絶された真空室にそれぞれ設置して構成
   したこと、を特徴とする真空プレス装置。
2. （２）冷圧プレス機構により冷圧プレスされた被加工物
   を前記真空室外に取り出した後、前記熱圧プレス機構で
   熱圧プレスされた被加工物を前記供給機構により前記冷
   圧プレス機構に移載すると共に、前記供給機構から前記
   熱圧プレス機構に被加工物を供給し、その後前記供給機
   構と前記熱圧プレス機構とを隔絶した状態で被加工物を
   真空室外から前記供給機構に供給するよう作動制御する
   こと、を特徴とする請求項１記載の真空プレス装置の制
   御方法。