JPH0124688B2 - - Google Patents
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- JPH0124688B2 JPH0124688B2 JP55177202A JP17720280A JPH0124688B2 JP H0124688 B2 JPH0124688 B2 JP H0124688B2 JP 55177202 A JP55177202 A JP 55177202A JP 17720280 A JP17720280 A JP 17720280A JP H0124688 B2 JPH0124688 B2 JP H0124688B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- sample
- belt conveyor
- positioning
- stopper
- fixed
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired
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- Special Conveying (AREA)
- Control Of Conveyors (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】
本発明は試料位置決め装置に関するものであ
る。
る。
例えば、半導体装置を製造するためのボンデイ
ング装置においては、試料を治具に整然と位置決
め載置し、この試料をコレツト等で真空吸着して
ボンデイング部に直接、又はボンデイング部へ送
り出すための搬送装置に移し換えることが行われ
ている。このように、従来は試料を治具にセツト
して位置決めしなければならなく、作業性が非常
に悪い欠点があつた。
ング装置においては、試料を治具に整然と位置決
め載置し、この試料をコレツト等で真空吸着して
ボンデイング部に直接、又はボンデイング部へ送
り出すための搬送装置に移し換えることが行われ
ている。このように、従来は試料を治具にセツト
して位置決めしなければならなく、作業性が非常
に悪い欠点があつた。
本発明は上記背景に立つてなされたもので、作
業性に優れた試料位置決め装置を提供することを
目的とする。
業性に優れた試料位置決め装置を提供することを
目的とする。
以下、本発明を図示の実施例により説明する。
第１図は本発明になる試料位置決め装置の一実
施例を示す正面断面図、第２図は第１図の２−２
線矢視図、第３図は第１図の３−３線断面図、第
４図は第１図の４−４線断面図である。本実施例
は、試料を搬送するベルトコンベア機構と、位置
決めストツパー退避機構と、試料幅寄せ機構とよ
りなる。
施例を示す正面断面図、第２図は第１図の２−２
線矢視図、第３図は第１図の３−３線断面図、第
４図は第１図の４−４線断面図である。本実施例
は、試料を搬送するベルトコンベア機構と、位置
決めストツパー退避機構と、試料幅寄せ機構とよ
りなる。
まず、ベルトコンベア機構について説明する。
試料１０を搬送するベルトコンベア１１は、ロー
ラ１２（図には１個のみ示した）間に掛け渡され
て矢印Ａ方向に図示しない駆動装置で移動する。
試料１０を搬送するベルトコンベア１１は、ロー
ラ１２（図には１個のみ示した）間に掛け渡され
て矢印Ａ方向に図示しない駆動装置で移動する。
次に位置決めストツパー退避機構について説明
する。第１図、第２図に示すように、ローラ１２
側のスタンド１３の上面には、下面中央部に一定
幅の溝が形成された案内板１４が固定されてお
り、この案内板１４の溝とスタンド１３の上面で
形成される案内溝１５にスライドベース１６がベ
ルトコンベア１１の移動方向にスライド可能に嵌
挿されている。前記スライドベース１６のベルト
コンベア１１側の端部には試料１０に当接するよ
うにベルトコンベア１１上に位置決め部１７ａを
有する位置決めストツパー１７が固定されてい
る。またスライドベース１６の後端には下面に溝
１８ａが形成された連結軸支持板１８が固定さ
れ、この連結軸支持板１８に連結軸１９が固定さ
れている。またスタンド１３の取付部１３ａに固
定された支軸２０にスイングアーム２１の一端が
回動自在に軸支され、このスイングアーム２１の
他端に形成したＵ字形の溝２１ａが前記連結軸１
９に嵌挿されている。またスイングアーム２１に
固定したばね掛け２２とスタンド１３とにばね２
３が掛けられ、スイングアーム２１はばね２３に
よりワーク搬送方向と逆方向に付勢されている。
またスタンド１３には位置決めストツパー１７の
位置を調整するためにスイングアーム２１に対向
するようにストツパー調整ねじ２４が螺合され、
更に位置決めストツパー１７を移動（退避）させ
るためにスイングアーム２１に対向してプツシユ
プルソレノイド２５が取付けられている。
する。第１図、第２図に示すように、ローラ１２
側のスタンド１３の上面には、下面中央部に一定
幅の溝が形成された案内板１４が固定されてお
り、この案内板１４の溝とスタンド１３の上面で
形成される案内溝１５にスライドベース１６がベ
ルトコンベア１１の移動方向にスライド可能に嵌
挿されている。前記スライドベース１６のベルト
コンベア１１側の端部には試料１０に当接するよ
うにベルトコンベア１１上に位置決め部１７ａを
有する位置決めストツパー１７が固定されてい
る。またスライドベース１６の後端には下面に溝
１８ａが形成された連結軸支持板１８が固定さ
れ、この連結軸支持板１８に連結軸１９が固定さ
れている。またスタンド１３の取付部１３ａに固
定された支軸２０にスイングアーム２１の一端が
回動自在に軸支され、このスイングアーム２１の
他端に形成したＵ字形の溝２１ａが前記連結軸１
９に嵌挿されている。またスイングアーム２１に
固定したばね掛け２２とスタンド１３とにばね２
３が掛けられ、スイングアーム２１はばね２３に
よりワーク搬送方向と逆方向に付勢されている。
またスタンド１３には位置決めストツパー１７の
位置を調整するためにスイングアーム２１に対向
するようにストツパー調整ねじ２４が螺合され、
更に位置決めストツパー１７を移動（退避）させ
るためにスイングアーム２１に対向してプツシユ
プルソレノイド２５が取付けられている。
最後に試料幅寄せ機構について説明する。第１
図、第３図、第４図に示すように、装置枠体３０
の上面にはベルトコンベア１１の下面に沿つて上
板部３０ａが形成されている。この上板部３０ａ
の下面にはモータ３１が固定されたモータ取付板
３２が固定されており、前記モータ３１の出力軸
に半回転停止カム３３、位置カム３４が固定され
ている。そして、半回転停止カム３３に対応して
半回転検出器３５がモータ取付板３２に固定され
ている。この半回転停止カム３３と半回転検出器
３５の関係は、周知の技術であり、例えば半回転
停止カム３３の180度の位置に穴又はマーク等を
設け、この半回転停止カム３３の回転により穴又
はマーク等が半回転検出器３５に位置すると、モ
ータ３１が停止する。即ち、半回転停止カム３３
が半回転するとモータ３１が停止する。また位置
カム３４の両側にはモータ取付板３２に固定され
た支柱３５Ａ，３５Ｂが配設され、この支柱３５
Ａ，３５Ｂに回動自在に設けられたスイングアー
ム３６Ａ，３６Ｂには前記位置カム３４に対応し
てローラ３７Ａ，３７Ｂが設けられている。また
前記上板部３０ａの下面には下方が開口したコ字
状の支持板４０が固定されており、この支持板４
０には２本のスライド軸４１Ａ，４１Ｂが平行に
固定されている。前記スライド軸４１Ａ，４１Ｂ
にはそれぞれスライドブロツク４２Ａ，４２Ｂが
軸受４３（スライド軸４２Ａ側の軸受は図示せ
ず）を介して摺動自在に設けられている。また前
記スライドブロツク４２Ａにはスライド軸４１Ｂ
を挾持するように軸受４３Ａ１，４３Ａ２が回転
自在に取付けられた軸４４Ａ１，４４Ａ２が固定
されており、これによりスライドブロツク４２Ａ
の回り止めを防止している。また同様にスライド
ブロツク４２Ｂにもスライド軸４１Ａを挾持する
ように軸受４３Ｂ１，４３Ｂ２が回転自在に取付
けられた軸４４Ｂ１，４４Ｂ２が固定され、スラ
イドブロツク４２Ｂの回り止めを防止している。
前記軸４４Ａ１の先端部はスイングアーム３６Ａ
の上端に形成されたＵ字形の溝に挿入され、また
同様にスライドブロツク４２Ｂに固定された軸４
５がスイングアーム３６Ｂの上端に形成されたＵ
字形の溝に挿入されている。またスライドブロツ
ク４２Ａにはばね掛け４６が固定されており、こ
のばね掛け４６と軸４４Ｂ１にばね４７が掛けら
れ、このばね４７によりスイングアーム３６Ａ，
３６Ｂに取付けられたローラ３７Ａ，３７Ｂは位
置カム３４に圧接している。また前記位置カム３
４は軸対称に形成されているので、位置カム３４
が回転すると、スイングアーム３６Ａ，３６Ｂは
支柱３５Ａ，３５Ｂを支点として互いに逆方向、
即ち相対向する方向及び離反する方向に回動す
る。また前記スライドブロツク４２Ａ，４２Ｂの
下面にはベルトコンベア１１の側方より上方に伸
びた支持板４８Ａ，４８Ｂが固定されており、こ
の支持板４８Ａ，４８Ｂの上面にはベルトコンベ
ア１１の移動方向に直角な長溝４９ａ，４９ｂが
形成された位置修正アームホルダー４９Ａ，４９
Ｂが前記長溝４９ａ，４９ｂを通してボルト５０
により固定されている。また位置修正アームホル
ダー４９Ａ，４９Ｂの内側にはベルトコンベア１
１の端部側に沿つて位置修正アーム５１Ａ，５１
Ｂが固定されており、この位置修正アーム５１
Ａ，５１Ｂは位置決めストツパー１７に当接した
試料１０のみ位置修正するようにストツパー部１
７ａ側の内側はわずか突出した突出部５１ａ，５
１ｂ（第２図参照）が形成されている。
図、第３図、第４図に示すように、装置枠体３０
の上面にはベルトコンベア１１の下面に沿つて上
板部３０ａが形成されている。この上板部３０ａ
の下面にはモータ３１が固定されたモータ取付板
３２が固定されており、前記モータ３１の出力軸
に半回転停止カム３３、位置カム３４が固定され
ている。そして、半回転停止カム３３に対応して
半回転検出器３５がモータ取付板３２に固定され
ている。この半回転停止カム３３と半回転検出器
３５の関係は、周知の技術であり、例えば半回転
停止カム３３の180度の位置に穴又はマーク等を
設け、この半回転停止カム３３の回転により穴又
はマーク等が半回転検出器３５に位置すると、モ
ータ３１が停止する。即ち、半回転停止カム３３
が半回転するとモータ３１が停止する。また位置
カム３４の両側にはモータ取付板３２に固定され
た支柱３５Ａ，３５Ｂが配設され、この支柱３５
Ａ，３５Ｂに回動自在に設けられたスイングアー
ム３６Ａ，３６Ｂには前記位置カム３４に対応し
てローラ３７Ａ，３７Ｂが設けられている。また
前記上板部３０ａの下面には下方が開口したコ字
状の支持板４０が固定されており、この支持板４
０には２本のスライド軸４１Ａ，４１Ｂが平行に
固定されている。前記スライド軸４１Ａ，４１Ｂ
にはそれぞれスライドブロツク４２Ａ，４２Ｂが
軸受４３（スライド軸４２Ａ側の軸受は図示せ
ず）を介して摺動自在に設けられている。また前
記スライドブロツク４２Ａにはスライド軸４１Ｂ
を挾持するように軸受４３Ａ１，４３Ａ２が回転
自在に取付けられた軸４４Ａ１，４４Ａ２が固定
されており、これによりスライドブロツク４２Ａ
の回り止めを防止している。また同様にスライド
ブロツク４２Ｂにもスライド軸４１Ａを挾持する
ように軸受４３Ｂ１，４３Ｂ２が回転自在に取付
けられた軸４４Ｂ１，４４Ｂ２が固定され、スラ
イドブロツク４２Ｂの回り止めを防止している。
前記軸４４Ａ１の先端部はスイングアーム３６Ａ
の上端に形成されたＵ字形の溝に挿入され、また
同様にスライドブロツク４２Ｂに固定された軸４
５がスイングアーム３６Ｂの上端に形成されたＵ
字形の溝に挿入されている。またスライドブロツ
ク４２Ａにはばね掛け４６が固定されており、こ
のばね掛け４６と軸４４Ｂ１にばね４７が掛けら
れ、このばね４７によりスイングアーム３６Ａ，
３６Ｂに取付けられたローラ３７Ａ，３７Ｂは位
置カム３４に圧接している。また前記位置カム３
４は軸対称に形成されているので、位置カム３４
が回転すると、スイングアーム３６Ａ，３６Ｂは
支柱３５Ａ，３５Ｂを支点として互いに逆方向、
即ち相対向する方向及び離反する方向に回動す
る。また前記スライドブロツク４２Ａ，４２Ｂの
下面にはベルトコンベア１１の側方より上方に伸
びた支持板４８Ａ，４８Ｂが固定されており、こ
の支持板４８Ａ，４８Ｂの上面にはベルトコンベ
ア１１の移動方向に直角な長溝４９ａ，４９ｂが
形成された位置修正アームホルダー４９Ａ，４９
Ｂが前記長溝４９ａ，４９ｂを通してボルト５０
により固定されている。また位置修正アームホル
ダー４９Ａ，４９Ｂの内側にはベルトコンベア１
１の端部側に沿つて位置修正アーム５１Ａ，５１
Ｂが固定されており、この位置修正アーム５１
Ａ，５１Ｂは位置決めストツパー１７に当接した
試料１０のみ位置修正するようにストツパー部１
７ａ側の内側はわずか突出した突出部５１ａ，５
１ｂ（第２図参照）が形成されている。
更に、前記機構の他に、第１図に示すようにベ
ルトコンベア１１の上方には、位置決めストツパ
ー１７に当接する試料１０の有無を検出するため
の投光器６０Ａ、受光器６０Ｂよりなる検出器６
０が配設され、更に位置決めされた試料１０を吸
着移送するために図示しない手段で上下動及び水
平動するコレツト６１が配設されている。
ルトコンベア１１の上方には、位置決めストツパ
ー１７に当接する試料１０の有無を検出するため
の投光器６０Ａ、受光器６０Ｂよりなる検出器６
０が配設され、更に位置決めされた試料１０を吸
着移送するために図示しない手段で上下動及び水
平動するコレツト６１が配設されている。
次にかかる構成よりなる本装置の作用について
説明する。ベルトコンベア１１上を不整然に送ら
れてくる試料１０がストツパー部１７ａに位置す
ると、検出器６０が作動し、ベルトコンベア１１
は一定量移動して停止する。このようにベルトコ
ンベア１１が一定量移動することによつて不整然
に送られてくる試料１０はストツパー部１７ａに
当てられてストツパー部１７ａと平行になる。ベ
ルトコンベア１１が停止すると、その信号によつ
てモータ３１が作動し、半回転停止カム３３及び
位置カム３４が半回転する。まず、半回転停止カ
ム３３及び位置カム３４の1/4回転により、位置
カム３４に圧接するローラ３７Ａ，３７Ｂを介し
てスイングアーム３６Ａ，３６Ｂが支柱３５Ａ，
３５Ｂを支点として内側に回動する。スイングア
ーム３６Ａ，３６Ｂが内側に回動すると、軸４４
Ａ１，４５を介してスライドブロツク４２Ａ，４
２Ｂがスライド軸４１Ａ，４１Ｂに沿つて内側に
摺動し、支持板４８Ａ，４８Ｂ及び位置修正アー
ムホルダー４９Ａ，４９Ｂを介して位置修正アー
ム５１Ａ，５１Ｂが第２図及び第３図に２点鎖線
に示すようにそれぞれ内側に移動し、ストツパー
部１７ａに当接している試料１０は位置修正アー
ム５１Ａ，５１Ｂの突出部５１ａ，５１ｂで左右
の位置が修正される。この時、その外の試料は位
置修正アーム５１Ａ，５１Ｂによつて単に幅寄せ
されるだけである。更に半回転停止カム３３及び
位置カム３４が1/4が回転すると、今度は前記と
逆方向にスイングアーム３６Ａ，３６Ｂは作動
し、位置修正アーム５１Ａ，５１Ｂは元の位置に
復帰する。これによりストツパー部１７ａに当接
した試料１０の位置修正が終る。前記のように半
回転停止カム３３が半回転すると、半回転停止カ
ム３３の半回転（180度）の位置に設けられた穴
又はマーク等を半回転検出器３５が検出し、モー
タ３１は停止する。
説明する。ベルトコンベア１１上を不整然に送ら
れてくる試料１０がストツパー部１７ａに位置す
ると、検出器６０が作動し、ベルトコンベア１１
は一定量移動して停止する。このようにベルトコ
ンベア１１が一定量移動することによつて不整然
に送られてくる試料１０はストツパー部１７ａに
当てられてストツパー部１７ａと平行になる。ベ
ルトコンベア１１が停止すると、その信号によつ
てモータ３１が作動し、半回転停止カム３３及び
位置カム３４が半回転する。まず、半回転停止カ
ム３３及び位置カム３４の1/4回転により、位置
カム３４に圧接するローラ３７Ａ，３７Ｂを介し
てスイングアーム３６Ａ，３６Ｂが支柱３５Ａ，
３５Ｂを支点として内側に回動する。スイングア
ーム３６Ａ，３６Ｂが内側に回動すると、軸４４
Ａ１，４５を介してスライドブロツク４２Ａ，４
２Ｂがスライド軸４１Ａ，４１Ｂに沿つて内側に
摺動し、支持板４８Ａ，４８Ｂ及び位置修正アー
ムホルダー４９Ａ，４９Ｂを介して位置修正アー
ム５１Ａ，５１Ｂが第２図及び第３図に２点鎖線
に示すようにそれぞれ内側に移動し、ストツパー
部１７ａに当接している試料１０は位置修正アー
ム５１Ａ，５１Ｂの突出部５１ａ，５１ｂで左右
の位置が修正される。この時、その外の試料は位
置修正アーム５１Ａ，５１Ｂによつて単に幅寄せ
されるだけである。更に半回転停止カム３３及び
位置カム３４が1/4が回転すると、今度は前記と
逆方向にスイングアーム３６Ａ，３６Ｂは作動
し、位置修正アーム５１Ａ，５１Ｂは元の位置に
復帰する。これによりストツパー部１７ａに当接
した試料１０の位置修正が終る。前記のように半
回転停止カム３３が半回転すると、半回転停止カ
ム３３の半回転（180度）の位置に設けられた穴
又はマーク等を半回転検出器３５が検出し、モー
タ３１は停止する。
次に試料位置修正信号でコレツト６１が下降
し、試料１０に真空吸着する。続いて試料を吸着
した信号でプツシユプルソレノイド２５が働いて
スイングアーム２１をばね２１の付勢力に抗して
押すと、スイングアーム２１は支軸２０を中心と
してスタンド１３から離れる方向に回動し、連結
軸１９を介してスライドベース１６及び位置決め
ストツパー１７を試料１０から離れる方向に退避
させる。次いで試料１０を吸着した状態でコレツ
ト６１は上昇する。この場合、既に位置決めスト
ツパー１７は試料１０より離れた状態にあるの
で、試料１０と位置決めストツパー１７との接触
抵抗がなく、真空吸着ミスが生じない。このため
確実にコレツト６１で吸着して他の装置に移し換
えることができる。コレツト６１が上昇すると、
プツシユプルソレノイド２５は復帰し、スイング
アーム２１はばね２３の付勢力で回動してストツ
パー調整ねじ２４に当接し、位置決めストツパー
１７は元の状態に復帰する。そして、再びベルト
コンベア１１は駆動し始める。
し、試料１０に真空吸着する。続いて試料を吸着
した信号でプツシユプルソレノイド２５が働いて
スイングアーム２１をばね２１の付勢力に抗して
押すと、スイングアーム２１は支軸２０を中心と
してスタンド１３から離れる方向に回動し、連結
軸１９を介してスライドベース１６及び位置決め
ストツパー１７を試料１０から離れる方向に退避
させる。次いで試料１０を吸着した状態でコレツ
ト６１は上昇する。この場合、既に位置決めスト
ツパー１７は試料１０より離れた状態にあるの
で、試料１０と位置決めストツパー１７との接触
抵抗がなく、真空吸着ミスが生じない。このため
確実にコレツト６１で吸着して他の装置に移し換
えることができる。コレツト６１が上昇すると、
プツシユプルソレノイド２５は復帰し、スイング
アーム２１はばね２３の付勢力で回動してストツ
パー調整ねじ２４に当接し、位置決めストツパー
１７は元の状態に復帰する。そして、再びベルト
コンベア１１は駆動し始める。
このように、ベルトコンベア１１上に試料１０
を不整然と置くのみで前記試料１０は位置決めス
トツパー１７でベルトコンベア１１の流れ方向の
位置が決められ、その後ベルトコンベア１１の両
側端側に配設された一対の位置修正アーム５１
Ａ，５１Ｂがベルトコンベア１１の内側方向に移
動して試料１０を幅寄せすると共に、位置決めス
トツパー１７に当接した試料１０のベルトコンベ
ア１１の幅方向の位置を修正するので、試料の位
置決めが自動的に行われる。
を不整然と置くのみで前記試料１０は位置決めス
トツパー１７でベルトコンベア１１の流れ方向の
位置が決められ、その後ベルトコンベア１１の両
側端側に配設された一対の位置修正アーム５１
Ａ，５１Ｂがベルトコンベア１１の内側方向に移
動して試料１０を幅寄せすると共に、位置決めス
トツパー１７に当接した試料１０のベルトコンベ
ア１１の幅方向の位置を修正するので、試料の位
置決めが自動的に行われる。
なお、位置決めストツパー１７はコレツト６１
が上昇する直前に退避させるようにしたが、退避
させない機構でもよい。しかし、位置決めストツ
パー１７を退避させると、前記の如く試料１０を
確実に吸着できる特徴を有する。
が上昇する直前に退避させるようにしたが、退避
させない機構でもよい。しかし、位置決めストツ
パー１７を退避させると、前記の如く試料１０を
確実に吸着できる特徴を有する。
以上の説明から明らかな如く、本発明になる試
料位置決め装置によれば、試料位置決めの自動化
が図れ、作業能率が著しく向上する。また一対の
位置修正アームは位置カムに追従して動き、位置
修正アームはばねの力で試料に当接するので、試
料には無理な力が加わらなく、試料を変形させる
こともない。また一対の位置修正アームは、ベル
トコンベアの送り方向と直角な方向にスライド可
能に設けられた一対のスライドブロツクに設けら
れ、試料の幅方向にスライドする構造であるの
で、試料の幅がバラツキ又は大きさが変つても、
常に試料の中心点は一定で変動しなく、また何ら
調整することを必要としない。また試料の大きさ
が変つても常に位置修正アームが試料に接触する
部分は同じであり、片当りすることもなく、正確
に位置決めできる。
料位置決め装置によれば、試料位置決めの自動化
が図れ、作業能率が著しく向上する。また一対の
位置修正アームは位置カムに追従して動き、位置
修正アームはばねの力で試料に当接するので、試
料には無理な力が加わらなく、試料を変形させる
こともない。また一対の位置修正アームは、ベル
トコンベアの送り方向と直角な方向にスライド可
能に設けられた一対のスライドブロツクに設けら
れ、試料の幅方向にスライドする構造であるの
で、試料の幅がバラツキ又は大きさが変つても、
常に試料の中心点は一定で変動しなく、また何ら
調整することを必要としない。また試料の大きさ
が変つても常に位置修正アームが試料に接触する
部分は同じであり、片当りすることもなく、正確
に位置決めできる。
第１図は本発明になる試料位置決め装置の一実
施例を示す正面断面図、第２図は第１図の２−２
線矢視図、第３図は第１図の３−３線断面図、第
４図は第１図の４−４線断面図である。 １０……試料、１１……ベルトコンベア、１７
……位置決めストツパー、５１Ａ，５１Ｂ……位
置修正アーム。
施例を示す正面断面図、第２図は第１図の２−２
線矢視図、第３図は第１図の３−３線断面図、第
４図は第１図の４−４線断面図である。 １０……試料、１１……ベルトコンベア、１７
……位置決めストツパー、５１Ａ，５１Ｂ……位
置修正アーム。
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 １ 試料を送るベルトコンベアと、このベルトコ
ンベアで送られてくる試料が当接するようにベル
トコンベア送り方向に対向してベルトコンベア上
方に配設された位置決めストツパーと、ベルトコ
ンベアの両側端側上方にそれぞれベルトコンベア
に沿つて設けられ位置決めストツパーに当接した
試料を挟持する形ちで位置決めする一対の位置修
正アームと、この一対の位置修正アームがそれぞ
れ固定されベルトコンベアの送り方向と直角な方
向にスライド可能に設けられた一対のスライドブ
ロツクと、回転駆動されて前記一対のスライドブ
ロツクを互いに逆方向に往復動させる輪郭を有す
る位置カムと、前記スライドブロツクが前記位置
カムの輪郭に追従して動くように付勢する該スラ
イドブロツク間に張設されたばねと、前記位置カ
ムを回転駆動させるモータとからなる試料位置決
め装置。 ２ 位置決めストツパーはベルトコンベアの送り
方向に往復動可能で、試料位置決め後に追従する
ように構成してなる特許請求の範囲第１項記載の
試料位置決め装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP17720280A JPS57102428A (en) | 1980-12-17 | 1980-12-17 | Sample positioning apparatus |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP17720280A JPS57102428A (en) | 1980-12-17 | 1980-12-17 | Sample positioning apparatus |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS57102428A JPS57102428A (en) | 1982-06-25 |
| JPH0124688B2 true JPH0124688B2 (ja) | 1989-05-12 |
Family
ID=16026954
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP17720280A Granted JPS57102428A (en) | 1980-12-17 | 1980-12-17 | Sample positioning apparatus |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS57102428A (ja) |
Families Citing this family (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH01121024U (ja) * | 1988-02-08 | 1989-08-16 |
Family Cites Families (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5340075B2 (ja) * | 1972-12-06 | 1978-10-25 | ||
| JPS5235669U (ja) * | 1975-09-05 | 1977-03-14 | ||
| JPS5232511A (en) * | 1975-09-09 | 1977-03-11 | Fuji Electric Co Ltd | Interpole winding of dc machine |
-
1980
- 1980-12-17 JP JP17720280A patent/JPS57102428A/ja active Granted
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS57102428A (en) | 1982-06-25 |
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