JPH01247309A - マガジン移送装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 ［産業上の利用分野］ 本発明は、半導体部品等の組立、製造及び検査工程にお
いて用いられるリードフレーム、基板、キャリアプレー
ト等の試料を収納するマガジンの移送装置に関する。

［従来の技術〕 半導体部品は、組立、製造、検査工程の途中で運搬、取
扱いに便利なようにマガジンに収納される。特に、グイ
ボンダー、ワイヤボンダー等の自動作業においては、通
常、半導体部品はローダ側のマガジンから試料送り装置
に自動的に供給され、試料送り装置の途中でボンダー等
の加工装置で加工が施された後はアンローダ側のマガジ
ンに自動的に収納されるようにマガジンが必要不可欠で
ある。

ところで、従来、マガジンの交換作業を省くために、ロ
ーダ側のマガジンをアンローダ側に転送して使用するマ
ガジン移送装置が知られている。

この種のマガジン移送装置は、例えば特開昭５３−５２
０６６号公報及び特公閉６１−５７２５１号公報に示す
ように、ローダ側のマガジンを立体的にアンローダ側に
転送している。

［発明が解決しようとする課題］ Ｌ記従来技術は、マガジンを立体的、即ち試料送り装置
の下方又は北方を送るので１次のような不具合があった
。

試料送り装置の下方には試料送り装置及び加工装置の駆
動機構等が配設されるので、マガジンを０体的に送ると
、装置全体の高さが非常に高くなり、特に天井が低い工
場には設置できない場合が生じる。また試ネ４送り装置
の下方よりマガジンを送る場合には、試料送り装置の試
料送りレベルが目視できる位置より高くなり、試料の送
り状態及び加工状態が観察できなくなる。また試料送り
装置の北方よりマガジンを送る場合には、マガジンの送
り状態が観察できなくなる。更に装置の高さが非常に高
くなることにより、保守、点検にも困難性が伴う。

本発明の目的は、装置の高さを低く抑えることができる
マガジン移送装置を提供することにある。

［課題を解決するための手段］ 上記目的は、試料送り装置に供給する試料を充填したマ
ガジンを上下動させるローダ側エレベータ装置と、加工
が終って試料送り装置より送り出される試料を収納する
マガジンを上下動させるアンロータ側エレベータ装置と
、ロータ側エレベータ装置より試料送り方向と直角に平
面的に配設され、ローダ側エレベータ装置よりマガジン
を受け取って送るローダ側マガジン移送装置と、アンロ
ーダ側エレベータ装置より前記ローダ側マガジン移送装
置と同方向に配設され、アンローダ側エレベータ装置へ
マガジンを送るアンローダ側マガジン移送装置と、ロー
ダ側マガジン移送装置よりマガジンを受け取ってアンロ
ーダ側マガジン移送装置へマガジンを送るマガジン転送
装置とから構成することにより達成される。

［作用］ ローダ側エレベータ装置上のマガジン内の試料が全て試
料送り装置に送り出されると、この空のマガジンはロー
ダ側エレベータ装置上よリローダ側マガジン移送装置が
受け取ってマガジン転送装置側へ送る６次にマガジン転
送装置はローダ側マガジン移送装置よりマガジンを受け
取り、アンローダ側マガジン移送装置側へ送る。その後
、アンローダ側マガジン移送装置がマガジン転送装置よ
りマガジンを受け取り、マガジン転送装置とアンロータ
側エレベータ装置との途中まで移送して待機する。そし
て、アンローダ側エレベータ装置上のマガジン内へ全て
の試料が収納され、このマガジンがアンロータ側エレベ
ータ装置より搬出された後、アンローダ側マガジン移送
装２により空のマガジンがアンローダ側エレベータ装置
へ受け渡しされる。このようにして、ローダ側エレベー
タ装置δ上のマガジンはアンロータ側エレベータ装置に
転送される。

［実施例］ 以下、本発明の一実施例を図により説明する。

第１図は本発明の一実施例であるマガジン移送装置の全
体構成を示す概略上面図、第２図は第１図の要部詳細平
面図である。試料ｌを送る試料送り装ｇ！１２の途中に
は、試料１に加工を施すボンダー等の加工装置３が配設
されている。これらの装置は公知であり、また本発明の
要旨ではないので、以下その詳細説明は省略する。

本実施例のマガジン移送装置は、試料送り装置２に供給
する試料ｌを充填したマガジン４を上下動させるローダ
側エレベータ装ｆｉｌＯと、加工が終って試料送り装２
１２より送り出される試料１を収納するマガジン４を上
下動させるアンローダ側エレベー　タ９１１４０と、ロ
ータ側エレベータ装置１０より試料送り方向と直角に平
面的に配設され、ローダ側エレベータ装置１０よりマガ
ジン４を受け取って送るローダ側マガジン移送装Ｆａ５
０と、アンローダ側エレベータ装置１４０より前記ロー
ダ側マガジン移送装置５０と同方向に配設され、アンロ
ータ側エレベータ装２１４０へマガジン４を送るアンロ
ーダ側マガジン移送装置７０と、ローダ側マガジン移送
装置５０よりマガジン４を受け取ってアンローダ側マガ
ジン移送装ｆｉ７０へマガジン４を送るマガジン転送装
２１８０とから構成されている。

従って、ローダ側エレベータ装置１０上のマガジン４内
の試料ｌが全て試料送り装置２に送り山されると、この
空のマガジン４はローダ側エレベータ装置１０．、Ｌ、
よりローダ側マガジン移送装置５０が受け取ってマガジ
ン転送装置ａｏ側へ送る。

次にマガジン転送装置８０はローダ側マガジン移送装′
ｊ！１５０よりマガジン４を受け取り、アンローダ側マ
ガジン移送装置７０側へ送る。その後、アンローダ側マ
ガジン移送装′１ａ７０がマガジン転送装ｇ！１８０よ
りマガジン４を受け取り、マガジン転送装置８０とアン
ローダ側エレベータ装置４０との途中まで移送して待機
する。そして、アンローダ側エレベータ装置４０上のマ
ガジン４内に試料１が満杯に収納され、このマガジン４
がアンローダ側エレベータ装置４０より搬出された後、
アンローダ側マガジン移送装置７０により空のマガジン
４がアンローダ側エレベータ装置４０へ受け渡しされる
。このようにして、ローダ側エレベータ装置１０上の空
のマガジン４はアンローダ側エレベータ装置４０に転送
される。

次に前記した各装置１０．４０．５０．７０．８０の詳
細な構造について説明する。

ローダ側エレベータ装置１０（第２図、第３図、第６図
、主として第６図を参照） ベース板１１には支持板１２が固定されており、この支
持板１２には２個のガイド支持板１３が対向して固定さ
れている。このガイド支持板１３の内側にはマガジン４
の四隅をガイドする４個のガイド板１４が固定されてい
る。また一方のガイド支持板１３には下から２番目のマ
ガジン４をクランプするシリンダ１５が取付けられてい
る。

また前記支持板１２と反対側におけるベース板ｌｌ上に
は底板２０が固定され、この底板２０の両側には側板２
１が固定され、更に側板２１上には天板２２が固定され
ている。底板２０と天板２２には垂直に配設された送り
ねじ２３が回転自在に支承されており、この送りねじ２
３には雌ねじ２４が螺合されている。また底板２０と天
板２２とには送りねじ２３と平行に配設されたガイド棒
２５が固定されており、このガイド棒２５には雌ねじ２
４に固定されたガイドブツシュ２６が上下動自在に嵌挿
されている。雌ねじ２４にはマガジン受け支持板２７が
固定されており、このマガジン受け支持板２７には前記
ガイド板１４の内側に位置するように隙間を持って配設
されたマガジン受け部２７ａを有する。

前記送りねじ２３の上端側には歯車３０が固定されてお
り、この歯車３０は天板２２に固定された軸３１に回転
自在に支承された歯車３２に噛合している。また前記天
板２２にはモータ３３が固定されており、このモータ３
３の出力軸に固定された歯車３４が前記歯車３２に噛合
している。

従って、モータ３３が回転すると、歯車３４．３２．３
０を介して送りねじ２３が回転し、この送りねじ２３に
螺合した雌ねじ２４と一体のガイドブツシュ２６及びマ
ガジン受け部２７ａが上下動し、マガジン４を一ヒ下動
させることができる。

アンローダ側エレベータ装置４０（第２図、第４図、第
７図、主として第７図を参照） アンローダ側エレベータ装置４０は前記ローダ側エレベ
ータ装２１１０と殆ど同じ構造よりなるので、ローダ側
エレベータ装置１０と同じ部材には同じ番号を付し、ま
た両者を区別するためにその番号の後に符号Ａを付し、
その説明は省略する。

ローダ側エレベータ装置１０のマガジン受け部２７ａは
、マガジン４より試料ｌが送り出される毎にｌピッチ下
降させられたが、アンローダ側エレベータ装置４０のマ
ガジン受け部２７ａＡは、マガジン４に試料１が収納さ
れる毎にｌピッチ上昇させられように逆の動作を行う。

またアンローダ側エレベータ装置４０には、マガジン４
内に試料１が全て収納された後に、マガジン４を送り出
すシリンダ４１が設けられており、このシリンダ４１に
ブツシャ板４２が固定されている。また天板２２Ａ上に
はボスト４３を介してマガジン受台４４が固定されてい
る。

ロータ側マガジン移送装置５０（第２図、第３図、第５
図、第８図、主として第８図を参照）ベース板１１」二
には、ローダ側エレベータ装置１０のカイトブツシュ２
６側に支持板５１が、ローダ側エレベータ装置ｌＯより
離れた位置に支持板５２がそれぞれ固定され、これら支
持板５１．５２の両側りには試料ｌの送り方向と直角に
伸びた２木のガイドレール５３が固定されている。この
ガイドレール５３１：には台１ｌｊ５４が載置されてい
る。

台・１（５４はｌｌｒ動台５５を有し、この可動台５５
の下面には２本のガイドレール５３の外側にそれぞれ位
置するように２個のローラ支持板５６が固定されている
。ローラ支持板５６には、ガイドレール５３の側面に位
置する位置決め板５７を介してローラ５８ががイドレー
ル５３上に！！ホされるように回転自在に支承されてい
る。また可動台５５上にはローダ側エレベータ装置１０
のマガジン受け部２７ａ間に位置するようにマガジン載
置台５９が固定されており、このマガジン載置台５９の
ローダ側エレベータ装置１０側の側面にはマカジン押し
板６０が固定されている。

また前記一方の支持板５１の中央側面にはプーリ支持板
６１が固定され、このプーリ支持板６１にはプーリ６２
が回転自在に支承されている。また前記他方の支持板５
２側のベース板１１上にはモータ６３が固定されている
。そして、モータ６３の出力軸に固定されたプーリ６４
と前記プーリ６２とにはベルト６５が巻回され、このベ
ルト６５の両端は前記可動台５５に固定されている。

アンローダ側マガジン移送装置７０（第２図、第４図、
第５図、第９図、主として第９図を参照） アンローダ側マガジン移送装置７０は前記ローダ側マガ
ジン移送装置５０と殆ど同じ構造よりなるので、ローダ
側マガジン移送装置５０と同じ部材には同じ番号を付し
、また両者を区別するためにその番号の後に符号Ａを付
し、その説明は省略する。

しかし、ローダ側マガジン移送装置５０の台車５４と同
じでは、マガジン転送袋２２８０よりマガジン４を受け
取ることができないので、アンローダ側マガジン移送装
置７０の台車５４Ａのマガジン載置台５９Ａ上には爪支
持板７１が固定され、この爪支持板７１には爪７２が回
動自在に支承されている。爪７２はマガジン転送装置８
０側がテーパに形成され、ばね７３で付勢されている。

マガジン転送装置８０（第２図、第３図、第４図、第５
図、第１０図、主として第１０図を参照） ベース板１１、ＩＩＡには支持板８１．８２がそれぞれ
固定され、これら支持板８１．８２の両側上にはローダ
側マガジン移送装２１５０及びアンローダ側マガジン移
送装置７０と直角方向に伸びた２本のガイドレール８３
が固定されている。このガイドレール８３上には台車８
４が載置されている。

台車８４は可動台８５を有し、この可動台８５の下面に
は２木のガイドレール８３の外側にそれぞれ位置するよ
うに２個のローラ支持板８６が固定されている。ローラ
支持板８６には、ガイドレール８３の側面に位置する位
置決め板８７を介してローラ８８がガイドレール８３４
１に載置されるように回転自在に支承されている。また
可動台８５上にはローダ側マガジン移送装置５０のマガ
ジン載は台５９間に位置し、かつマガジン載置台５９の
上面よりわずかに高くマガジンＱｉ？を台８９が固定さ
れており、このマガジンａ置台８９のローダ側マガジン
移送装否５０側にはマガジン４がスムーズにマガジン載
置台８９に乗り−Ｌげられるようにテーパ８９ａが形成
されている。また可動台８５には前記テーパ８９ａ形成
側と反対側にストッパ９０が固定されている。また両側
のマガジン載置台８９の側方にはマガジン４を案内する
ガイド板９１が固定されている。

また前記一方の支持板８１の中央側面にはプーリ支持板
９２が固定され、このプーリ支持板９２にはプーリ９３
が回転自在に支承されている。また他方の支持板８２側
のベース板１１Ａ上にはモータ９４が固定されている。

そして、モータ９４の出力軸に固定されたプーリ９５と
前記プーリ９３とにはベルト９６が巻回され、このベル
ト９６の両端はｆｉｎ記可動台８５に固定されている。

次に作用について説明する。まず、試料１の送出及び収
納について説明する。初めに、試料ｌを積上げ充填した
マカジン４をローダ側エレベータ装置１０のガイド坂１
４に複数個か挿入してマガジン受け部２７ａ、ｌ：に積
載する。この状態においては、マガジン受け部２７ａは
上昇位置にある。

そして、モータ３３が起動して歯車３４を回転させると
、歯車３２．３０を介して送りねじ２３が回転し、雌ね
じ２４．即ちマガジン受け部２７ａが下降させられてマ
ガジン４が共に下降し、マガジン４内の最下位の試料ｌ
が試料送り装置２の案内路レベルに位置する。

そして、最下位の試料ｌが図示しないブツシャで試料送
り装置２上に送り出され、この試料ｌが試料送り装置２
により加工装置３に送られ、ここで加工が行われる。最
下位の試料ｌが送り出されると、モータ３３が再び起動
してマガジン４は次の試＄１１が試料送り装置２の案内
路レベルと同じレベルに達するまでＦ降させられ、下か
ら２番［−１の試料１を送り出す用意が完了する。以下
、マガジン４より試料ｌが送り出される毎にこの動作が
繰り返される。

）ｉｊ記のように加工装置３で加工が終了した試料１は
試料送り装置２で送られ、アンローダ側エレベータ装置
４０のマガジン４内に収納される。ここで、アンローダ
側エレベータ９５’７４０のマガジン４は最上位の溝が
試料送り装５！１２の案内路レベルに位置されており、
マガジン４に試本ｉｌが収納される毎にモータ３３Ａが
回転して前記ロータ側エレベータ装置１０の場合と逆に
マガジン４は１ピツチ上昇させられる。

前記のようにしてアンローダ側エレベータ装置４０のマ
ガジン４内に試料ｌが満杯に収納されると、シリンダ４
１が作動してブツシャ板４２が前進及び後退する。これ
により、マガジン４はマガジン受台４４上に送り出され
る。その後モータ３３Ａが起動してマガジン受け部２７
ａＡは下降させられ、マガジン受け部２７ａＡの上面は
アンロータ側マガジン移送装置７０の台車５４Ａのマガ
ジン・載置台５９Ａの上面よりわずかに下方に位置させ
られ、空マガジン４を受け入れする準備が完でする。

次にマガジン４の転送について説明する。前記のように
ローダ側エレベータ装置１０の一番下のフカジン４中の
全ての試料ｌを送り出し終ると、シリンダ１５が作動し
て下から２番目のマガジン４をクランプする。その後モ
ータ３３が再び起動してマガジン受け部２７ａが下降さ
せられる。なお、この状態においては、ローダ側マガジ
ン移送装置５０の台車５４はローダ側エレベータ装置ｌ
Ｏのマガジン受け部２７ａの下方に位置している。そこ
で、前記のようにマガジン受け部２７ａが下降させられ
ると、一番下の空のマガジン４のみが下降させられ、こ
のマガジン４はローダ側マガジン移送装２１５０のマガ
ジンａＦ１１台５９．ｔ：に載置される０次にローダ側
マガジン移送装置５０のモータ６３が起動してプーリ６
４．ベルト６５を介して台車５４がマガジン転送装置？
１８０側へ移動すると、マガジン押し板６０によってマ
ガジン受け部２７ａ上の空マガジン４はマガジン受け部
２７ａより取り除かれ、台ｊｌ’ｔ５４によってマガジ
ン転送装２１８０側へ搬出される。

このようにマガジン受け部２７ａ上の空マガジン４が搬
出されると、次はモータ３３がｌｔｉ記と逆方向に回転
してマガジン受け部２７ａは旧昇させられ、シリンダ１
５で保持されたマガジン４を支持する位置に位こする。

その後シリンダ１５が作動してマガジン４のクランプを
解除し、そのマガジン４がマガジン受け部２７ａへａ置
される。以後、このマガジン受け部２７ａ上のマガジン
４は前記した動作によって処理される。

一方、前記のように台車５４がマガジン転送装設８０側
へ移動すると、台車５４上のマガジン４は台車８４のマ
ガジン載置台８９のテーパ８９ａに沿ってマガジン載置
台８９に乗り上げられ、マガジンａ置台８９上に載置さ
れ、台車５４からマガジン載置台８９ヘマガジン４は受
け渡しされる、その後ローダ側マガジン移送装置５０の
モータ６３が逆転し、台車５４はローダ側エレベータ装
置ｌＯのマガジン受け部２７ａの下方に位置して待機す
る。

台車５４がローダ側エレベータ装置ｌＯ側へ移動すると
、マガジン転送装置８０のモータ９４が起動し、プーリ
９５、ベルト９６を介して台車８４はアンローダ側マガ
ジン移送装置７０側へ移動する。この状態においては、
アンローダ側マガジン移送装置７０の台車５４Ａはマガ
ジン転送装置８０とアンローダ側エレベータ装置４０の
中間に位置している。

台車８４がアンローダ側マガジン移送装２１７０側へ移
動して停止すると、アンローダ側マガジン移送装置７０
のモータ６３Ａが起動してプーリ６４Ａ、ベル）６５Ａ
を介して可動台５５Ａがマガジン転送装置８０側へ移動
する。これにより、爪７２が台車８４上のマガジン４に
当って回動し、爪７２はマガジン４の下面をすベリなが
ら通過する。そして、爪７２がマガジン４の側面外に位
置すると、爪７２はばね７３の付勢力で復帰し、マガジ
ン４の側面に係合する状態となる。

次にモータ６３Ａが逆転し、台車５４Ａはアンローダ側
エレベータ装置４０側へ移動する。これにより、爪７２
がマガジン４に係合してマガジン４をマガジン転送装置
８０の台車８４より取り除き、マガジン４は台車５４Ａ
によってアンローダ側マガジン移送装置７０のマガジン
受け部２７ａＡの上方に位置させられる０台車５４Ａが
アンローダ側エレベータ装置４０側に移動して台車８４
よりマガジン４が取り除かれると、モータ９４が逆転し
て台車８４はローダ側マガジン移送装置５０側に移動し
、次の空マガジン４を受け入れる状態となる。

前記のように、台車５４Ａ上のマガジン４がマガジン受
け部２７ａＡの上方に位置させられると、モータ３３Ａ
が起動してマガジン受け部２７ａＡが上昇させられ、マ
ガジン受け部２７ａＡはアンローダ側マガジン移送装Ｆ
ａ７０の台車５４Ａより受け取り、マガジン４の最上位
の溝が試料送り装置２の案内路レベルに位置させられ、
試料１の収納の準備が完了する。これにより、ローダ側
マガジン移送装は５０からアンローダ側マガジン移送装
置７０への空マガジン４の転送が完了する。

このように、空マガジン４を転送するローダ側マガジン
移送装置５０、アンローダ側マガジン移送装置７０、マ
ガジン転送装置８０は平面的に配置されているので、装
置の高さを低く抑えることができる。

なお、ローダ側マガジン移送装置５０、アンローダ側マ
ガジン移送装置ｉ！２７０、マガジン転送装置８０はモ
面的に配置されているので、設置面積は広くなるように
嬰、われるが、これらの装２１５０．７０．８０は試料
送り装置２及び加工装置３の駆動機構の上方に配設する
ことができるので、特に設置面積が増えることもない。

［発明の効果］ 以上の説明から明らかなように、本発明によれば、装置
の高さを低く抑えることができるので、天井が低い工場
にも設置できる。また試料送り装置及びマガジン移送装
置は高くならないので、試料の送り状態及び加工状態を
容易に観察できると共に、保守１点検も容易に行える。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明の一実施例であるマガジン移送装置の全
体構成を示す概略平面図、第２図は第１図の要部詳細平
面図、 第３図は第２図の左側面一部断面図、第４図は第２図の
右側面一部断面図、第５図は第２図のエレベータ装置を
除いた正面図、第６図はローダ側エレベータ装置を示し
、（ａ）は平面図、（ｂ）は駆動機構部の断面図、第７
図はアンローダ側エレベータ装置を示し、（ａ）は平面
図、（ｂ）は駆動機構部の断面図、第８図はローダ側マ
ガジン移送装置を示し、（ａ）は平面図、（ｂ）は正面
図、（Ｃ）は側面図、第９図はアンローダ側マガジン移
送装置を示し、（ａ）は平面図、（ｂ）は正面図、（Ｃ
）は側面図、第１θ図はマガジン転送装置を示し、（ａ
）は平面図、（ｂ）は正面図、（Ｃ）は側面図である。 ｌ：試料、２：試料送り装置、４：マガジン、ｌＯ：ロ
ーダ側エレベータ装置、 ４０：アンロータ側エレベータ装δ、 ５０：ローダ側マガジン移送装置。 ７０：アンローダ側マガジン移送装と、８０：マガジン
転送装鐙。 第１図 ４：マ刀°°シン ｌＯ：ローｙ゛臂１エレベータ嫉１ ８ｏ：マカ°°シ“ン軌遣ズ置 鼎 ？−虐 ミ　１ 第７図 （ｂ） １Ａ 第８図 ５ｏ：　ロータイ礎゛１１力番゛ン乃送装工第８図

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. （１）試料送り装置に供給する試料を充填したマガジン
   を上下動させるローダ側エレベータ装置と、加工が終っ
   て試料送り装置より送り出される試料を収納するマガジ
   ンを上下動させるアンローダ側エレベータ装置と、ロー
   ダ側エレベータ装置より試料送り方向と直角に平面的に
   配設され、ローダ側エレベータ装置よりマガジンを受け
   取って送るローダ側マガジン移送装置と、アンローダ側
   エレベータ装置より前記ローダ側マガジン移送装置と同
   方向に配設され、アンローダ側エレベータ装置へマガジ
   ンを送るアンローダ側マガジン移送装置と、ローダ側マ
   ガジン移送装置よりマガジンを受け取ってアンローダ側
   マガジン移送装置へマガジンを送るマガジン転送装置と
   から構成されていることを特徴とするマガジン移送装置
   。