JPH04192428A - 製品とマガジンの物流方法 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 この発明は・例えば半導体製造装置におけるように、同
一形状の１品を複数個マガジンに収納し、そのマガジン
より嘔品を取出し処理を行う装置における製品とマガジ
ンの物流方法に関するものである。

〔従来の技術〕

従来・このように同一形状の製品が唄数１固収納された
マガジンから製品を取り出し処理を行う場合、装置にセ
ットされた製品が入ったマガジンより、製品が取り出さ
れて処理され、その処理された製品は、別に準備された
、製品の人っていない空マガジンに収納されるようにな
されている、丁なわち、第２図の具体例で示すように、
半導体製造装置の一つであるパリ取りめっき装置の場合
（ここで、パリ取りとに、半導体製造工程で樹脂封止し
たときに発生する樹脂パリを取る処理であり、めっきと
ｉｚ・樹脂封止半導体の外部リードのめつき処理をいう
）、製品（樹脂封止半導体フレーム、以下ＩＣフレーム
と呼ぶ）ｌが収納されたマガジン２より図示していない
インローダ−により、ＩＣフレーム１がパリ取りめっき
装置３に１フレームずつ投入され、この装置内で処理搬
送される（ここでＧゴ、搬送Ｓｔｔに図示していない）
。

そして、処理が終わった１０フレーム（外形に殆んど変
化していない）１に、別に準備された製品の人っていな
い空マガジン４に図示していないアウトローダにより収
納される＾なお図中矢印Ａ　＋１製品搬送方向を示す。

〔発明か解決しようとする課馴〕

し７）’　Ｌ、このように別に準備した空マガジンに製
品を収納する場合、製品の入ったマガジン以外に空のマ
ガジンが別に必要となり、製品の仕掛に応じた空マガジ
ンの準備や、その空マガジンの収納スペースか必要とな
る、 また、製品のロフト管理を考えた場合、マガジンに識別
（バーコード等）をつけても、製品の入ったマガジンと
別に準備されπ空マガジンの間に対応を取る作業が発生
する。また、処理条件など書き込み、読み出し可能なＩ
Ｃカード等ごマガジンに取付けた場合でも、そのカード
の付は替えが必要となり、これらは装置を自動化する上
で非常に困難なものとなるなどの問題点があった。

この発明に以上のような問題点を解決するためになされ
たもので、製品を収納するための別の空マガジンご節減
できるとともに、ロフト管理を行う場合においても、２
つのマガジン間の対応をとる必要性をなくし、かつＩＣ
カードなどの付は替え作業をなく丁ことができる、製品
とマガジンの物流方法を得ることを目的とするｎ 〔課題を解決下るための手段〕 この発明に係る製品とマガジンの物流方法に、初めに製
品が収納されてい＝マカジントｆｉＪ　Ｕ　マ：／Ｅジ
ンに処理された製品を収納下るようにしたものである。

〔作用〕

この発明によるマガジンと製品の物流方法においては、
製品の入ったマガジンと別に空のマガジンを準備する必
要がなくなる。

〔実施例〕

以下、この発明の一実施例を図について説明下る。第１
図において、１．２．３に上記従来例のものと相当部分
ごホしており、２ａにマガジン２Ｊ−リｌＣフレーム１
が取り出されり慢、矢印Ｂに示Ｔ、ｌ：うにアウトロー
ダ側へ搬送された空マガジンである。なお矢印ＡにＩＣ
フレーム１の搬送される方向を示している。

次ニ動作について説明下６．ＩＣフレーム１か収納され
たマガジン２．！：り図示していないインローダにより
ＩＣフレームがパリ取りめっき装置３に１フレームずつ
投入され、この装置３内にて処理搬送される（ここでは
、搬送装置は図示していない）。一方、ＩＣフレームか
収納さｔていたマガジン２からＩＣフレームか全て取り
出されたマガジンＧ；、矢印Ｂ方向に搬送（ｒｊ、送装
置は図示していない）され、７′ウドロ一ダ部の空マガ
ジン阻としてセントされる。

ここでパリ取りめっき装置に、処理工程が多く、少なく
とも１マガジン分のＩＣフレームＧ：ｒ　装置ｉｔ　内
に仕掛る。

パリ取りめっき処理の終つ７１：ＩＣフレーム（外形は
殆んど変化していない）に、２より搬送されてきり２ａ
の空マガジンに図示していないアウトローダにより収納
される。この時、この装置でに、取り田さｎ７ｍＩＣフ
レームの枚数を管理しており、その枚数収納されれば、
マガジンに払い出され、初めにＩＣフレームが収納され
ていたマガジンと同じマガジンに収納されたことになる
。なおこのとき複数のマガジンが空になっても脂番に収
納されるように管理しておく。

なお第１図の実施例に巧いて（＝、望マカジンσ）搬送
りを短かくするため、インローダ部とアウトローダ部を
近づけた装置になっているが、空マガジン搬送装置を長
く下れば、特にインロータ邪ドアウドローダ邪を近づけ
る必要にない、１まに、ここでに、半導体製造装置の一
つであるパリ取りめっき装置について例をあげているが
、１つのマガジンに収納される製品の数量が装置内に仕
掛る装置であれば、どのよう７２装置に用いてもよい。

〔発明の効果〕

以上のようにこの発明においてに、初めに製品が収納さ
れていたマガジンと同じマガジンに処理された製品Ｂ収
納することにより、別の空マガジンを準備する必要がな
く、空マガジンの収納スペースか不要となる。

また・製品のロフト管理をする場合、マガジンに識別（
バーコード等）をつけることで容易に管理ができ、処理
条件など書き込み、読み出し可能なＩＣカード等をマガ
ジンに取付け、付は暮え０ことなく使用でき、これらに
より装置の自動化が極めて容易に行えるなどの丁ぐれた
効果を奏する。

【図面の簡単な説明】

第１図にこの発明の一実施例に係るパリ取りめっき装置
の製品とマカジンの物流を示す配置説明図であり、第２
図に従来のパリ取りめっき装置の製品とマガジンの物流
を示す配置腕ＦＩＪ′Ｊ図である。 図中、１に製品（ＩＣフレーム）、２．２ａにマガジン
、３にパリ取りめっき装置である。

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. 　同一形状の製品が複数個収納されたマガジンから製品
   を取り出し処理を行う装置で、かつ１つのマガジンに収
   納される製品の数量が装置内に仕掛る装置において、初
   めに未処理の製品が収納されていたマガジンと同じマガ
   ジンに、処理された製品を収納することを特徴とする製
   品とマガジンの物流方法。