JPH01247600A - 酸化物超電導材の製造方法 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 「産業上の利用分野」 本発明は、磁気浮上列車、核融合炉、単結晶引上装置、
磁気分離装置、医療装置、磁気推進船等に用いられる超
電導マグネットコイルや電力輸送用等に使用される超電
導線、ジョセフソン素子などの超電導回路材、磁気シー
ルド等に用いられる酸化物超電導材の製造方法に関する
。

「従来の技術」 最近に至り、常電導状態から超電導状態へ遷移する臨界
温度（Ｔｃ）が液体窒素温度を超える値を示す酸化物超
電導体が種々発見されている。この種の酸化物超電導体
は、一般式Ａ　−Ｂ　−Ｃｕ−０（ただし、ＡはＹ、Ｓ
ｃ、Ｌａ、Ｙｂ、Ｅｒ、Ｅｕ、Ｈｏ、Ｄｙ等の周期律表
ＩＩＩａ族元素の１種以上を示し、ＢはＢｅ。

Ｍｇ、　Ｃａ、　Ｓ　ｒ、Ｂ　ａ等の周期律表Ｉｌａ族
元素の１種以上を示す）で示される酸化物であり、液体
ヘリウムで冷却することが必要であった従来の合金系あ
るいは金属間化合物系の超電導体と比較して格段に有利
な冷却条件で使用できることから、実用」ニ極めて有望
な超電導材料として研究かなされている。

ところで従来、金属やセラミックスの基材上に上記酸化
物超電導体からなる厚膜を形成する方法としては、酸化
物超電導粉末にパインオイルなどの適宜な溶剤や有機バ
インダーを加えて印刷用材料を作成し、この印刷用材料
を基材上にスクリーン印刷する方法が考えられている。

また、この印刷用材料と同様に作成した塗装液を基材表
面にスプレー塗装する方法や、この塗装液中に基材を浸
漬して引き上げ、その表面に塗装膜を形成する方法が考
えられている。

さらに、スパッタリング法や゛蒸着法などの薄膜形成方
法を用いて基材の表面に酸化物超電導体層を成膜する方
法が考えられている。

［発明が解決しようとする課題」 しかしながら、上記スクリーン印刷法においては、基材
の形状が平板や円筒などの単純な形状の基材にのみ適用
され、線材やテープを含め複雑な形状の基材に適用させ
ることができない問題があつた。また、このスクリーン
印刷法では、膜厚が２００μｍ以上の超電導厚膜の形成
が困難な問題があった。

また、上記塗装法および浸漬法にあっては、複雑な形状
の基材に適用できない問題があった。また、基材表面に
均一な膜厚の酸化物超電導体を形成できない問題があっ
た。さらに、基材表面に塗装層を形成した後、熱処理を
施して塗装層に含まれる酸化物超電導体の焼結を行う際
、塗装層中に含まれるバインダーなどの樹脂の燃焼とと
もに、酸化物超電導体が剥離し易い問題があった。

また、上記スパッタリング法などの薄膜形成方法におい
ては、形成される膜厚が数μｍ程度であるために、膜厚
が２００μｍ以上の酸化物超電導厚膜の形成が困難な問
題があった。また、真空中などの特定の雰囲気中で成膜
を行うために、基（才の大きさが製造装置内に収容可能
なものに限定され、大面積の基材に適用できない問題が
あった。

さらに、成膜速度が低いために、比較的厚い酸化物超電
導層を形成する場合には成膜に長時間を要する問題があ
った。

本発明は、上記問題に鑑みてなされたもので、基材の表
面に緻密な厚膜状の酸化物超電導体を短時間で形成する
ことができ、臨界電流密度などの超電導特性が優れ、か
つ機械強度が高い酸化物超電導材を効率よく製造する方
法の提供を目的とする。

「課題を解決するための手段〕 上記目的を達成するために、本発明の酸化物超電導体の
製造方法においては、Ａ　−Ｂ　−Ｃｕ−０系（ただし
、ＡはＹ、Ｓｃ、Ｌａ、Ｙｂ、Ｅｒ、Ｅｕ、ｌ−１ｏ、
Ｄｙ等の周期律表ＩＩＩａ族元素の１種以上を示し、Ｂ
（よりｅ、Ｍｇ、Ｃａ、Ｓ　ｒ、Ｂａ等の周期律表ＩＩ
ａ族元素の１種以上を示す。）の酸化物超電導体を具備
してなる酸化物超電導材の製造方法１こおいて、上記酸
化物超電導体の粉末または酸化物超電導体の前駆体粉末
をメチルエチルケトンとアセトンの混合液中に分散させ
た電着液中で、少なくとも表面部分に導電性を有する基
（４を陰極として電気泳動電着を行って、該基材の表面
に酸化物超電導体を構成する元素を含む電着層を形成し
、この後熱処理を施すものである。

「作用　」 基材の表面に、電気泳動電着により酸化物超電導体の粉
末または酸化物超電導体の前駆体粉末を電着して酸化物
超電導体を構成する元素を含む電着層を形成し、この後
熱処理を施すことにより、基材の表面に緻密な超電導体
層が均一な状態で形成される。

「実施例」 第１図ないし第４図は、本発明の製造方法をＹ−Ｂ　ａ
−Ｃｕ−０系超電導材の製造方法に適用した例を説明す
るための図である。この例による超電導材の製造方法で
は、まず丸線状の基材ｌを、電着槽２に収容された電着
液３中に挿入し、電気泳動電着を行って、その表面に電
着層４を形成して超電導素材５を作成する。

この例において使用される基材ｌとしては、融点８００
℃以上でかつ耐酸化性の良好な、貴金属、・Ｔｉ、Ｔａ
、Ｚｒ、ｌ１ｒＳＶ、Ｎｂ、Ｗ、Ｃｕ等の単体金属やＣ
ｕ−Ｎ　ｉ合金、Ｃｕ−Ａ　Ｉ系合金、Ｎ　ｉ−Ａ　Ｉ
系合金、Ｔｉ−Ｖ系合金、モネルメタル、ステンレス、
クロメル、アａメル、カンタルなどの金属基材や、石英
ガラス、ジルコニア（Ｙ　Ｓ　Ｚも含む）、アルミナ（
サファイアも含む）、チタン酸ストロンチウムなどのチ
タン酸化合物、マグネノア、酸化チタン等のセラミック
ス基材の表面に、無電解メツキ法、スパッタリング法、
イオンブレーティング法、真空蒸着法などの薄膜形成手
段を用いてＡｇ５Ｎ　ｉ、Ｃｕなどの金属被覆を施した
基材が好適に使用される。

上記電着液３は、Ｙ　（Ｂ　ａｔＧ　ｕ＋０　？−Ｘな
る組成比の超電導粉末を、メチルエチルケトンとアセト
ンの混合液（以下分散媒という。）中に分散させたもの
が使用される。この分散媒ｉｌｌの超電導粉末の濃度は
１〜５００ｇの範囲とすることが望ましい。超電導粉末
の濃度を５００９／１２以上とすると、基材表面に超電
導粉末が緻密かつ均一な状態で電着されな（なり、また
超電導粉末の濃度をＩｙ／（１以下とすると電着効率が
悪くなる。また分散媒中に超電導粉末を分散さ仕るには
、超音波撹拌を行うことが望ましく、更に分散媒中に少
量の水、ゼラチン、デンプン、電解質などを添加して撹
拌操作を行っても良い。このとき、分散媒中に含まれる
水分量は３ｖｏ１．％以下に設定する必要がある。

該分散媒中の水分量が　３　　ｖｏｌ、％以下であると
、水の電解によるガスの発生が起こらず、また超電導粉
末の分散状態も良好となる。水分量が３ｖｏｌ。

５以上であると、超電導粉末の凝集が起こり、分散媒中
に超電導粉末を均一に分散させることができなくなる。

なお、メチルエチルケトンとアセトンの混合液からなる
分散媒におけるメチルエチルケトンとアセトンの混合比
率は特に限定されることなく、あらゆる混合比率の分散
媒を用いて同等の電気泳動電着を行うことかできる。ま
た電着液３には、必要に応じて酸化チタン等の酸化物超
電導体の焼結助剤となる材料が添加される。

この超電導粉末は、粒径５０μ−以下のものが使用され
、特に粉末粒子の沈降を防止し、均一に分散させるため
に粒径３０μｍ以下の粉末が好適に使用される。この超
電導粉末を作成する方法としては、例えば、Ｙ、０３と
、Ｂ　ａ　ＣＯｓと、ＣｕＯの各原料粉末を、Ｙ　：Ｂ
ａ：Ｃｕ＝　ｌ　：２　：３　（モル比）となるように
均一に混合して混合粉末とし、次いでこの混合粉末を大
気中あるいは酸素雰囲気中、５００〜１０００℃で１〜
数十時間仮焼して仮焼粉末とし、次いでこの仮焼粉末に
、圧粉成形−加熱−粉砕の一連の操作を１回あるいは２
回以上繰り返し行って、Ｙ　−Ｂ　ａ−Ｃｕ−０系超電
導粉末を作成する粉末混合法が好適である。この仮焼粉
末成形後に行う加熱は、酸素雰囲気中、８００〜１００
０℃で１〜数十時間とするのが望ましい。また粉砕処理
は自動乳鉢、ボールミルなど一般の粉砕処理装置を用い
て行うことができ、更に分散媒を加えてボールミル粉砕
を行う湿式粉砕処理を用いても良い。なお、超電導粉末
の作成方法は上記粉末混合法に限定されることなく、共
沈法やゾルゲル法を用いても良い。また、電着液３中の
超電導粉末の代わりに、上述の仮焼粉末を用いても良い
。

そして、第１図に示す電気泳動装置によって基材ｌの表
面に電着層４を形成するには、基材１を電着液３内に挿
入するとともに、この基材ｌを陰極とし、この基材ｌと
電着槽２内に配設された陽極６との間に電圧を印加する
。この電気泳動電着では定電圧法、定電流法のいずれも
可能であり、さらに電流波形は直流の他、基材ｌが一時
的にせよ陰極となるようなパルス、交直重畳、断続など
の電流波形とすることが可能である。定電圧法を用いる
場合には１■以上の電圧を印加すれば良く、また定電流
法を用いる場合には電流密度を１〜５００　ｍＡ／　ｃ
ｍ”の範囲とするのが望ましい。なお、陽極６としては
、白金板、ステンレス板、炭素電極など通常の電極材料
を使用することができる。

またこの陽極６の表面積は、基材１の表面積よりも大き
くすることが望ましい。

上記のように、陰極となる基材ｌと陽極６間に電圧を印
加することにより、電着液３中に分散している超電導粉
末はプラスに帯電し、陰極である基材ｌの表面に電着さ
れる。そして基材ｌの表面には超電導粉末からなる緻密
な電着層４が形成され、第２図に示す超電導素材５とな
る。電着槽２内で所定の厚さの電着層４が形成された超
電導素材５は、電着槽２から引き上げられ、次いで熱風
による乾燥処理を行って、表面部分に残留する分散媒を
除去する。

次に、この超電導素材５に熱処理を施す。この熱処理は
、超電導素材５を大気中あるいは酸素雰囲気中、８００
〜１０００℃で数十分〜数十時間加熱した後、室温まで
徐冷することによって行われる。なおここで、徐冷処理
の途中に４００〜６００℃の温度範囲で所定時間保持す
る処理を行って、酸化物超電導体の結晶構造が正方品か
ら斜方晶に変じするのを促進するようにしても良い。

この熱処理により、基材１の表面に形成された電着層４
は焼結され、この部分に　Ｙ　＋　Ｂ　ａｔ　Ｃｕａ０
７−Ｘなる組成比の超電導体層７が形成される。

以上の各操作により、第３図に示すように基材ｌの表面
に超電導体層７が形成された超電導材Ａが得られる。

そして、このようにして得られた超電導材Ａの表面には
、必要に応じて被覆層８が形成される。

この被覆層８の材料としてはＡｇ、Ｃｕ、ＡＩ、　Ｎｉ
。

Ｃｕ−Ｎ　ｉなどの金属やポリイミド、ポリウレタン、
ポリエステル、アミドイミドなどの合成樹脂が好適に用
いられる。超電導体層７の表面に被覆層８が形成された
第４図に示す超電導材Ｂは、被覆層８により超電導体層
７が保護されて、長期にわたって超電導特性の劣化を防
止することができるとともに、超電導体層７の剥離やク
ラックの発生を防いで、機械強度の高いものとなる。

上述の超電導材Ａの製造方法では、基材ｌの表面に、電
気泳動電着によりＹ　＋Ｂ　ａｔｃ　ｕ３０７−Ｘなろ
組成比の酸化物超電導粉末を電着して緻密な電着層４を
形成し、この後熱処理を施すことにより、基材ｌの表面
に緻密な超電導体層７を生成することができるので、超
電導体層７に亀裂などの不良を生じることがなく、高臨
界電流密度（Ｊｃ）を有する高性能の超電導材へを製造
することができる。

また、上述の超電導材Ａは、基材ｌの表面に、電気泳動
電着により緻密な電着層４を形成し、この後熱処理を施
して超電導体層７を生成するので、超電導体層７は基材
１に対して密着性が良好となり、可撓性に優れ、機械強
度の高い超電導材Ａを製造することができる。

さらに、基材Ｉの表面に、電気泳動電着で超電導粉末か
らなる電着層４を形成するので、超電導体層７の厚さを
正確に制御することができる。

また、電気泳動電着によって電着層４を形成するので、
２００μｍ以上の比較的厚い電着層４を短時間の電着操
作で形成することができ、超電導材への製造効率を向上
させることができる。

また、基材１の表面に厚い電着層４を形成すれば、熱処
理の際に基材１中の元素が超電導体層７中に浸透しても
、この不純元素の混入により超電導特性が劣化してしま
う部分の割合を小さくすることができ、したかって高性
能の超電導材Ａを製造することができる。

また、分散媒としてメチルエチルケトンとアセトンの混
合液を用いるので、３ｖｏ１．％以下の水分やアセトン
を含むメチルエチルケトンやメチルエチルケトンを含む
アセトンなどの高純度精製されていない溶剤を使用する
ことができ、分散媒コストを低減できるとともに、電着
液３の再生使用の際の分散媒精製操作を簡略化すること
ができる。

なお、先の例では、基材として丸線状の基材！を用いた
が、基材の形状はこれに限定されることなく、板状、箔
状、柱状、リボン状、凹凸部や孔を有する複雑形状など
種々の形状の基材を使用することができる。本発明によ
る製造方法では、電気泳動電着により基材表面に超電導
粉末からなる緻密な電着層４を形成するので、つき回り
性が良く、基材表面に凹凸があっても、この凹凸に沿っ
て均一な厚さの電着層４が形成される。

また、基材としてセラミックス基材を用いる場合には、
その表面に金属被覆を施す代わりにスクリーン印刷法に
より導電性ペーストを印刷塗布し、これを焼結させるな
どの方法により、セラミックス基材の表面に導電性塗装
を施したものを用いても良い。さらにまた、上記金属被
覆や導電性塗装などの導電性表面処理は基材の全面に施
される池、例えば回路基板や電磁ンールドなどを作成す
る場合には、通常のマスキング法等を用いて導電性部分
のみに導電性表面処理を施して回路パターンを形成し、
この回路パターン上に超電導体層を形成しても良い。

また、超電導素材５を焼結する際に、基材を燃焼消滅さ
せたり、溶融流出させることにより超電導体部分のみを
残す用途に適用させるために、低融点金属や、高分子有
機物からなる糸やシートなどの種々の成形物に導電性表
面処理を施したものを基材に用いても良い。

次に、本発明の製造方法を長尺のＹ　−Ｂ　ａ−Ｃｕ−
０超電導線材の製造方法に適用させた例を説明する。

第５図は超電導線材の製造に好適に使用される電気泳動
装置の例を示す図であって、符号１１は基材として用い
る線材、１２は電着槽である。なお、この電着槽１２内
には先の例で用いたものと同様の電着液３が収容されて
いる。この例による超電導線材の製造方法では、まず線
材ｌを、電着槽１２に収容された電着液３中を連続的に
通過させつつ電気泳動電着を行って、その表面に電着層
を形成し、超電導素線１３を作成する。

この例において好適に使用される線材１１としては、先
の例と同様の融点８００°Ｃ以上でかつ耐酸化性の良好
な金属材料で作られた金属線材、石英ガラス、サファイ
アなどのセラミックスファイバーの表面にＡｇなどの金
属被覆を施した複合線材、炭素繊維等が好適に使用され
る。

そして、第５図に示す電気泳動装置によって線材１１の
表面に電着層を形成するには、線材１１を図中矢印で示
すように電着槽１２に収容された電着液３中を一定の速
度で移動させつつ、この線材１１を陰極とし、この線材
１１と電着槽１２内に配設された陽極１４との間に電圧
を印加する。

この電圧の印加条件は先の例と同様に、定電圧法、定電
流法のいずれも可能であり、さらに電流波形は直流の他
、パルス、交直重畳、断続などに設定することができる
。また、陽極１４は、先の例で用いた陽極６と同様のも
のを使用することができる。また、電着液３中の超電導
粉末の濃度は電着操作の進行にともなって低下してくる
ため、電着操作の進行にともなって、電着槽１２中の電
着液３に超電導粉末を直接供給するか、所定濃度の電着
液３を供給するのが望ましい。

電着槽１２内で所定の厚さの電着層が形成された超電導
素線１３は、第５図の図中矢印で示すように電着槽１２
から引き出され、次いで熱風による乾燥処理を行って、
表面部分に残留する分散媒を除去する。

次に、この超電導素線１３に熱処理を施す。この熱処理
は、先の例と同様に、酸素雰囲気中、８００〜１０００
℃で数十分〜数十時間加熱した後、室温まで徐冷する条
件に設定するのが望ましい。

なお、この熱処理時に、所定速度で移動する超電導素線
１３を連続的に加熱、徐冷できるような加熱手段、例え
ば長尺のトンネル形の加熱炉などを用いても良く、さら
にこのような加熱炉を上述の電気泳動装置と組み合わせ
て、線材ＩＩに電気泳動電着−乾燥−熱処理の各処理を
連続的に施すように構成しても良い。

以上の各処理により、線材１１の表面に、Ｙ。

Ｂ　ａｔ　Ｃ１１３０？−Ｘなる組成比の緻密な超電導
体層が形成された長尺の超電導線材が製造される。なお
、得られた超電導線材の表面には、先の例と同様に被覆
層を形成しても良い。

この例による超電導線材の製造方法は、先の例による超
電導材の製造方法とほぼ同様の効果が得られる他、線材
ｌ！の表面に電着層を形成し、この後熱処理を施す一連
の操作を連続的に実施することが容易であり、長尺の超
電導線材の製造を自動化することができ、超電導線材の
製造効率を向上させることができる。

なお、上述の各側では、超電導体としてＹ−Ｌ３ａ−Ｃ
ｕ−０系超電導体を用いたが、本発明方法はこれに限定
されることなく、例えばＹの代わりにＳｃ、Ｌａ、Ｙｂ
、Ｅｒ、Ｅｕ、Ｈｏ、Ｄｙ等の周期律表ｌ１ｌａ族元素
の１種以上を用い、またＢａの代わりにＢｅ。

Ｍｇ、Ｃａ、Ｓｒ等の周期律表■ａ族元素の１種以上を
用いても良い。

また、上述の各側では、１回の電気泳動電着操作により
電着層を形成したが、この電気泳動電着操作は２回以上
操り返し行ってら良い。

（実験例１） Ｙ、０３と、ＢａＣ０ａと、ＣｕＯの各原料粉末を、Ｙ
　：Ｉ３ａ：Ｃｕ−＝　１　＋２　＋：（（モル比）と
なるように均一に混合して混合粉末とし、次いでこの混
合粉末を酸素気流中、９００℃で２４時間仮焼して仮焼
粉末とし、更にこの仮焼粉末を酸素気流中、９５０℃で
２４時間加熱した後、ボールミルによる粉砕処理を行っ
て、Ｙ　Ｉ［３ａｚｃ　ｕ＊ｏ　？−Ｘなろ組成比の超
電導粉末を作成した。得られた超電導粉末の平均粒径は
８．５μｍであった。

一方、メチルエチルケトンとアセトンを容積比Ｉ　１で
混合して分散媒とした。そしてこの分散媒３００ｍ１中
に上記超電導粉末を５０９／Ｑとなるように加え、超音
波撹拌を行って超電導粉末を均一に分散させて電着液と
した。

この電着液を第１図に示すものと同等構成の電気泳動装
置の電着槽（容ｆｆｉ３５０ｍｌ）内に入れ、この電着
液中に陽極とするステンレス板（ＳＯ３３０４、厚さ１
ｆｆｌＩ１１１幅５０ｍｍ１長さ１００ｏ＋ｎ＋）と基
材を挿入し、ステンレス板（陽極）と基材（陰極）に５
０〜１５ｏｏｖの直流定電圧を印加して、２分間の電気
泳動電着を行った。基材としては、Ｚｒ、　Ｎｉ、　Ａ
ｇの各金属を材料とする直径１　ｍｍ、長さ５ｃｍの丸
線材を用いた。

これらの基材は使用前にエタノール中で超音波洗浄を施
した。

続いて上記電気泳動電着を終えた各々の基材を２００℃
で１０分間熱風乾燥した後、酸素気流中において９５０
℃、２時間の加熱を行い、−４００°Ｃ／時間で室温ま
で徐冷して、超電導材を得た。

そして基材と処理電圧の異なる複数の超電導材を作成し
、これらの超電導材の膜厚を顕微鏡を用いて測定した。

またこれらの超電導材の臨界温度（Ｔｃ）を４端子法で
測定した。

これらの測定結果を表１に示す。

表　　１ 表１に示すように、基材として用いたＺｒ、Ｎｉ。

Ａｇの各金属材料による差はほとんど認められず、いず
れら高い臨界温度を示す超電導体層を形成することがで
きた。また、各超電導材において超電導体層の剥離やク
ラック発生は認められなかった。

なお、電気泳動電着の際の電流密度は電圧を１５００ｖ
とした場合でら３０μＡ／Ｃｌ１ｌ″と非常に小さかっ
た。

（実験例２　） 幅１０ｍｍ、長さ２０ｍｍ５厚さ１ｍｍのジルコニア（
ＹＳＺ）板およびチタン酸ストロンチウム（Ｓ　ｒＴ　
ｉｏ　、）板の表面を、塩化スズ、塩化パラノウム水溶
液による前処理を施した後、無電解メツキ法により厚さ
約２μｍのＮｉメツキ層を形成し、基材とした。

これらの基材を用いて上記実験例１と同等の条件で電気
泳動電着および熱処理を行って、基材と処理電圧の異な
る複数の超電導材を作成し、実験例１と同様にこれらの
超電導材の膜厚および臨界温度（Ｔ　ｃ）を測定した。

これらの測定結果を表２に示す。

表２ 表２に示すように、上記各基材による差はほとんど認め
られず、いずれも高い臨界温度を示す超電導体層を形成
することができた。また、各超電導材において超電導体
層の剥離やクラック発生は認められなかった。

（実験例３　） 本発明方法と比較するために、次に示す有機溶媒を分散
媒に用いて超電導材の製造を実施した。

エタノール、トルエン、キシレンを分散媒として用い、
これらの分散媒中に実験例１で用いたものと同等の超電
導粉末を　５０９／ｉ２となるように加えて分散させて
各種の電着液を作成し、これらの電着液と実験例１およ
び実験例２で用いたものと同様の基材を用いて、実験例
１と同等条件の電気泳動電着を行った。その結果、分散
媒としてエタノールを用いたものでは、基材の表面に電
着層が全く形成されず、トルエンおよびキシレンを用い
たものでは、基材の表面に少量の電着層が形成されたも
のの、基材との密着性が悪く、緻密に形成されないため
に基材を電着液から引き上げる際に剥がれ落ちてしまっ
た。

「発明の効果」 以上説明したように、本発明による酸化物超電導材の製
造方法では、基材の表面に、電気泳動電着により酸化物
超電導粉末を電着して緻密な電着層を形成し、この後熱
処理を施すことにより、基材の表面に緻密な超電導体層
を生成することができるので、超電導体層に亀裂などの
不良を生じることがなく、高臨界７′ｆ１流密度（Ｊｃ
）を有する高性能の酸化物超電導材を製造することがで
きる。

また基材の表面に、電気泳動電着により緻密な電着層を
形成し、この後熱処理を施して超電導体層を生成するの
で、超電導体層は基材に対して密着性が良好となり、可
撓性に優れ、機械強度の高い超電導材を製造することが
できる。

さらに、基材の表面に、電気泳動電着で超電導粉末から
なる電着層を形成するので、超電導体層の厚さを正確に
制御することができる。

また、電気泳動電着によって電着層を形成するので、２
００μｍ以上の比較的厚い電着層を短時間の電着操作で
形成することができ、超電導材の製造効率を向上させる
ことができる。

また、電着液の分散媒としてメチルエチルケトンとアセ
トンの混合液を用いたので、例えば３ｖｏ１．％以下の
水分およびアセトンを含むメチルエチルケトンやメチル
エチルケトンを含むアセトンなどの高純度精製されてい
ない溶剤を使用することができ、分散媒コストを低減で
きるとともに電着液の再生使用の際の分散媒精製操作を
簡略化することができる。

【図面の簡単な説明】

第１図ないし第４図は本発明の酸化物超電導材製造方法
の１例を説明するためのものであって、第１図は電気泳
動装置の概略構成図、第２図は超電導素材の断面図、第
３図は超電導材の断面図、第４図は第３図に示す超電導
材に被覆を施した例を示す超電導材の断面図、第５図は
本発明の酸化物超電導材の製造方法により超電導線材を
製造するに好適に使用される電気泳動装置の概略構成図
である。 １・・・基材、３・・・電着液、４・・・電着層、Ａ・
・・超電導材、ＩＩ・・・線材（基材）。

Claims (1)

1. 【特許請求の範囲】 Ａ−Ｂ−Ｃｕ−Ｏ系 （ただし、ＡはＹ、Ｓｃ、Ｌａ、Ｙｂ、Ｅｒ、Ｅｕ、Ｈ
   ｏ、Ｄｙ等の周期律表IIIａ族元素の１種以上を示し、
   ＢはＢｅ、Ｍｇ、Ｃａ、Ｂｒ、Ｂａ等の周期律表IIａ族
   元素の１種以上を示す。） の酸化物超電導体を具備してなる酸化物超電導材の製造
   方法において、 上記酸化物超電導体の粉末または酸化物超電導体の前駆
   体粉末をメチルエチルケトンとアセトンの混合液中に分
   散させた電着液中で、少なくとも表面部分に導電性を有
   する基材を陰極として電気泳動電着を行って、該基材の
   表面に酸化物超電導体を構成する元素を含む電着層を形
   成し、この後熱処理を施すことを特徴とする酸化物超電
   導材の製造方法。