JPH01250017A - 変位拡大装置 - Google Patents
変位拡大装置Info
- Publication number
- JPH01250017A JPH01250017A JP7443288A JP7443288A JPH01250017A JP H01250017 A JPH01250017 A JP H01250017A JP 7443288 A JP7443288 A JP 7443288A JP 7443288 A JP7443288 A JP 7443288A JP H01250017 A JPH01250017 A JP H01250017A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- displacement
- point
- triangle
- piezoelectric element
- hinge
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
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- Transmission And Conversion Of Sensor Element Output (AREA)
- Transmission Devices (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
[発明の目的]
(産業上の利用分野)
本発明は、電圧を加えると歪みを生ずる圧電素子を用い
た変位拡大装置に関する。
た変位拡大装置に関する。
(従来の技術)
従来より、電圧を加えると歪みを生ずる圧電素子がよく
知られており、微小移動機構用のアクチュエータとして
利用されている。この圧電素子は即応性や安定性に優れ
ており制御が容易であるが、その歪み量があまりにも小
さいため、歪みを拡大することにより比較的大きな変位
を必要とする機械のアクチュエータとして利用する工夫
がなされている。第7図は圧電素子の歪みを拡大するた
めの変位拡大装置の従来例を示したものであり、(a)
はパスカルの原理を利用したものであり、圧電素子の歪
みにより増加した液体の圧力を、ピストン(1)より表
面積の小さいピストン(2)より変位として取出してお
り(b)はテコの原理を利用したものであり、圧電素子
の歪みをテコの原理で拡大して変位を取出している。し
かしくa)の方法では流体の粘性抵抗のため即応性に劣
り、シールに関しても問題がある。これに対して(b)
の方法では(a)のような問題点もなく、比較的大きな
拡大係数(約50〜70)を得られるが、機構が複雑な
ためにその改良が困難であった。
知られており、微小移動機構用のアクチュエータとして
利用されている。この圧電素子は即応性や安定性に優れ
ており制御が容易であるが、その歪み量があまりにも小
さいため、歪みを拡大することにより比較的大きな変位
を必要とする機械のアクチュエータとして利用する工夫
がなされている。第7図は圧電素子の歪みを拡大するた
めの変位拡大装置の従来例を示したものであり、(a)
はパスカルの原理を利用したものであり、圧電素子の歪
みにより増加した液体の圧力を、ピストン(1)より表
面積の小さいピストン(2)より変位として取出してお
り(b)はテコの原理を利用したものであり、圧電素子
の歪みをテコの原理で拡大して変位を取出している。し
かしくa)の方法では流体の粘性抵抗のため即応性に劣
り、シールに関しても問題がある。これに対して(b)
の方法では(a)のような問題点もなく、比較的大きな
拡大係数(約50〜70)を得られるが、機構が複雑な
ためにその改良が困難であった。
(発明が解決しようとする課8)
以上のように従来、テコの原理を利用した変位拡大装置
は、比較的大きな拡大係数を得られるが、機構が複雑な
ためにその改良が困難であった。
は、比較的大きな拡大係数を得られるが、機構が複雑な
ためにその改良が困難であった。
本発明ではこのような点を改善し、拡大係数を従来以上
に大きくとることのできる変位拡大装置の提供を目的と
する。
に大きくとることのできる変位拡大装置の提供を目的と
する。
[発明の構成]
(課題を解決するための手段)
上記の目的を達成するために本発明の変位拡大装置は、
3点A、B、Cを頂点、葺を最も短い線分1.:BAC
を1800に近い角度とした三角形を構成し、 ■ 点A、Bに位置固定手段、丁でに剛性を有する部材
、頁に伸縮自在手段を対応させることによって、伸縮自
在手段の伸縮量を点Cの点Bまわりの変位として取り出
すものとした。
3点A、B、Cを頂点、葺を最も短い線分1.:BAC
を1800に近い角度とした三角形を構成し、 ■ 点A、Bに位置固定手段、丁でに剛性を有する部材
、頁に伸縮自在手段を対応させることによって、伸縮自
在手段の伸縮量を点Cの点Bまわりの変位として取り出
すものとした。
■ 点A、Bに位置固定手段、■でに伸縮自在手段、C
Aに剛性をを有する部材を対応させることによって、伸
縮自在手段の伸縮量を点Cの点Aまわりの変位として取
り出すものとした。
Aに剛性をを有する部材を対応させることによって、伸
縮自在手段の伸縮量を点Cの点Aまわりの変位として取
り出すものとした。
■ 点Aに位置固定手段、■で、CAに剛性を有する部
材、ABに伸縮自在手段を対応させることによって、伸
縮自在手段の伸縮量を点Cの点Aまわりの変位として取
り出すものとした。
材、ABに伸縮自在手段を対応させることによって、伸
縮自在手段の伸縮量を点Cの点Aまわりの変位として取
り出すものとした。
■ 点Bに位置固定手段、BC,CAに剛性を有する部
材、ABに伸縮自在手段を対応させることによって、伸
縮自在手段の伸縮量を点Cの点Bまわりの変位として取
り出すものとした。
材、ABに伸縮自在手段を対応させることによって、伸
縮自在手段の伸縮量を点Cの点Bまわりの変位として取
り出すものとした。
また、位置固定手段と剛性を育する部材と伸縮自在手段
とをヒンジによって角度可変に連結し、伸縮自在手段と
して圧電素子を用いるものとした。
とをヒンジによって角度可変に連結し、伸縮自在手段と
して圧電素子を用いるものとした。
(作 用)
上記の変位拡大装置とすることにより、伸縮自在の手段
のわずかな伸縮量が拡大され、点Cに比較的大きな変位
となって現れる。従って、簡単な構成で従来以上に拡大
係数を大きくすることが可能な変位拡大装置が実現する
。
のわずかな伸縮量が拡大され、点Cに比較的大きな変位
となって現れる。従って、簡単な構成で従来以上に拡大
係数を大きくすることが可能な変位拡大装置が実現する
。
(実施例)
以下、図面に従って本発明の実施例を詳細に説明する。
第1図は本発明の第1の実施例を示す変位拡大装置の正
面図である。ヒンジ1.2.3により連結された剛性を
有する部材であるリンク4.伸縮手段である圧電素子5
2位置固定手段であるベースブロック6は、その鈍角は
ほぼ180’に近い角度となっている。そしてこの三角
形の各辺の長この変位拡大装置の変位拡大のしくみを示
したものが第2図である。ここで三角形ABCは上記の
鈍角三角形を表したものである。
面図である。ヒンジ1.2.3により連結された剛性を
有する部材であるリンク4.伸縮手段である圧電素子5
2位置固定手段であるベースブロック6は、その鈍角は
ほぼ180’に近い角度となっている。そしてこの三角
形の各辺の長この変位拡大装置の変位拡大のしくみを示
したものが第2図である。ここで三角形ABCは上記の
鈍角三角形を表したものである。
今、この三角形に対応するベースブロック6の寸法を4
1、圧電素子5の寸法を12、リンク4の寸法を!23
とする。ここで圧電素子5に電圧が加わり、圧電素子5
が矢印■の方向に歪んで寸法時 がi2+61になった1m、CがAまわりにθ1、Bま
わりにφ1だけ回転したとする。この時の各々のパラメ
ータの間には次の関係が成立する。
1、圧電素子5の寸法を12、リンク4の寸法を!23
とする。ここで圧電素子5に電圧が加わり、圧電素子5
が矢印■の方向に歪んで寸法時 がi2+61になった1m、CがAまわりにθ1、Bま
わりにφ1だけ回転したとする。この時の各々のパラメ
ータの間には次の関係が成立する。
43s1nφs −(J!2+δt ) sinθ1f
l 3 cosφt −(J!2+δ1 ) cosθ
1+i1初期状態では、CBAC−180°であるので
、Ia −Jt +42とすると、θ1は次式から求め
られる。
l 3 cosφt −(J!2+δ1 ) cosθ
1+i1初期状態では、CBAC−180°であるので
、Ia −Jt +42とすると、θ1は次式から求め
られる。
θt wm 808−’ e→÷トド
従ってCの変位つまり装置の矢印■の方向への変位はΔ
−J2s1nθlとして求められる。第1表に、実際に
数値を代入した場合の拡大係数を示す。
−J2s1nθlとして求められる。第1表に、実際に
数値を代入した場合の拡大係数を示す。
第 1 表
このようにJl +12が一定の時は12が大きい程拡
大係数は大きくなる。更にR2が大きくなると61も大
きくなるので、拡大係数を更に大きくすることができる
。
大係数は大きくなる。更にR2が大きくなると61も大
きくなるので、拡大係数を更に大きくすることができる
。
第3図は本発明の第2の実施例を示す変位拡大とリンク
を取換えたものとなっており、平面上でこれらが交差し
てしまうのを避けるために、厚さ方向に対称的な構造と
なっている。つまり、第2図における頂点Aに対応する
部分がヒンジla。
を取換えたものとなっており、平面上でこれらが交差し
てしまうのを避けるために、厚さ方向に対称的な構造と
なっている。つまり、第2図における頂点Aに対応する
部分がヒンジla。
1bの2点から成り、第3図(a)ではこれらが圧電素
子5を挟んで重なっている。nに対応するリンク8は、
ヒンジ1aを備えたリンク8aと、ヒンジ1bを備えた
リンク8bと、この2つのリンク8a、8bに挟み込ま
れるように固着されたリンク8Cとの3つから成ってい
る。また、ベースブロック6も、ヒンジ1aを備えたベ
ースブロック6aと、ヒンジ1bを備えたベースブロッ
ク6bと、この2つのベースブロック6a、6bに挟み
込まれるように固着されたベースブロック6cとの3つ
から成っている。
子5を挟んで重なっている。nに対応するリンク8は、
ヒンジ1aを備えたリンク8aと、ヒンジ1bを備えた
リンク8bと、この2つのリンク8a、8bに挟み込ま
れるように固着されたリンク8Cとの3つから成ってい
る。また、ベースブロック6も、ヒンジ1aを備えたベ
ースブロック6aと、ヒンジ1bを備えたベースブロッ
ク6bと、この2つのベースブロック6a、6bに挟み
込まれるように固着されたベースブロック6cとの3つ
から成っている。
このように立体的に構成された変位拡大装置においては
、K1つまり41の長さを十分小さくすることが可能と
なっているので、拡大係数を更に大きくすることができ
る。また、圧電素子5を2層、リンク8を1層というよ
うに逆配置にすれば、拡大係数のみならず、矢印■の方
向への応力も大きくすることが可能である。
、K1つまり41の長さを十分小さくすることが可能と
なっているので、拡大係数を更に大きくすることができ
る。また、圧電素子5を2層、リンク8を1層というよ
うに逆配置にすれば、拡大係数のみならず、矢印■の方
向への応力も大きくすることが可能である。
第4図は本発明の第3の実施例を示す変位拡大装置の正
面図である。ヒンジ14を介してリンク11.15が連
結されており、リンク11にはヒンジ12を介してベー
スブロック13、リンク15にはヒンジ16を介してリ
ンク17が連結され、ベーブロック13とリンク17は
ヒンジ18で連結されている。また、圧電素子19がベ
ースブロック13とリンク17の間に、ヒンジ20゜2
1を介して連結されている。尚、この例ではヒンジ18
とヒンジ21の間隔よりもヒンジ16とヒンジ21の間
隔の方が広くなっているが、必ずしもそうである必要は
ない。また、この変位拡大装置のヒンジ12.14.1
6の変形中心を結ぶと鈍角三角形となり、その鈍角はほ
ぼ180°に近い角度となっている。そして、この三角
形の各辺の長さに係る寸法は、リンク15が最も長く、
ベースブロック13とリンク17の間隔つまりヒンジ1
2とヒンジ16の間隔が最も短い。
面図である。ヒンジ14を介してリンク11.15が連
結されており、リンク11にはヒンジ12を介してベー
スブロック13、リンク15にはヒンジ16を介してリ
ンク17が連結され、ベーブロック13とリンク17は
ヒンジ18で連結されている。また、圧電素子19がベ
ースブロック13とリンク17の間に、ヒンジ20゜2
1を介して連結されている。尚、この例ではヒンジ18
とヒンジ21の間隔よりもヒンジ16とヒンジ21の間
隔の方が広くなっているが、必ずしもそうである必要は
ない。また、この変位拡大装置のヒンジ12.14.1
6の変形中心を結ぶと鈍角三角形となり、その鈍角はほ
ぼ180°に近い角度となっている。そして、この三角
形の各辺の長さに係る寸法は、リンク15が最も長く、
ベースブロック13とリンク17の間隔つまりヒンジ1
2とヒンジ16の間隔が最も短い。
この変位拡大装置の変位拡大のしくみを示したものが第
5図である。ここで三角形A″B”C−は上記の鈍角三
角形を表したものである。
5図である。ここで三角形A″B”C−は上記の鈍角三
角形を表したものである。
今、圧電素子19に電圧が加わり、圧電素子19が矢印
■′の方向に歪んでδ2だけ変位したとすると、リンク
17はD′つまりヒンジ18の変形中心を支点としてテ
コの原理により変位が拡大され、B−での変位はα−(
ls/I17倍に拡大され、αδ2となる。つまりB−
は矢印■゛の方向にαδ2だけ変位する。この時、C゛
がA゛まわりにθ2、B″まわりにφ2だけ回転したと
すると、各々のパラメータの間には次の関係が成立する
。
■′の方向に歪んでδ2だけ変位したとすると、リンク
17はD′つまりヒンジ18の変形中心を支点としてテ
コの原理により変位が拡大され、B−での変位はα−(
ls/I17倍に拡大され、αδ2となる。つまりB−
は矢印■゛の方向にαδ2だけ変位する。この時、C゛
がA゛まわりにθ2、B″まわりにφ2だけ回転したと
すると、各々のパラメータの間には次の関係が成立する
。
J6s1nφ2−I2ssln θ2
J 8 cosφ2−Jscosθ2+(J4+αδ)
初期状態でGt−=:B−A−C″’p180’である
ので、I26−β4+15とすると、θ2は次式から求
められる。
初期状態でGt−=:B−A−C″’p180’である
ので、I26−β4+15とすると、θ2は次式から求
められる。
の変位はΔ−Jssinθ2として求められる。第2表
に実際に数値を代入した場合の拡大係数を示す。
に実際に数値を代入した場合の拡大係数を示す。
(以下余白)
′$ 2 表
このように44+45が一定の時に45が大きい程拡大
係数は大きくなる。また、αが大きい程拡大係数は大き
くなる。
係数は大きくなる。また、αが大きい程拡大係数は大き
くなる。
第6図は本発明の第4の実施例を示す変位拡大装置の正
面図である。本実施例では、リンク17に対するベース
ブロック13と圧電素子19の取付は位置が、第4図と
は逆になっており、ヒンジ16は矢印■′の方向に押付
けられるように変位が生じる。ヒンジ14は第4図と比
べてヒンジ12、ヒンジ16の線上からややオフセット
して設定してあり、矢印■′の方向に変位が得られ易く
なっている。
面図である。本実施例では、リンク17に対するベース
ブロック13と圧電素子19の取付は位置が、第4図と
は逆になっており、ヒンジ16は矢印■′の方向に押付
けられるように変位が生じる。ヒンジ14は第4図と比
べてヒンジ12、ヒンジ16の線上からややオフセット
して設定してあり、矢印■′の方向に変位が得られ易く
なっている。
このような構成の変位拡大装置においても、従来のもの
より十分大きな変位が得られる。また、必要に応じてベ
ースブロック13やリンク11゜リンク15を2層にす
れば、互いに干渉せずに矢印■゛の方向への変位を無理
なく得ることができる。
より十分大きな変位が得られる。また、必要に応じてベ
ースブロック13やリンク11゜リンク15を2層にす
れば、互いに干渉せずに矢印■゛の方向への変位を無理
なく得ることができる。
以上、いずれの実施例においても、変位拡大装置の変位
伝達が2次元方向のみで行われる必要はなく、例えば第
3図(b)において、圧電素子5に対するリンク8 a
% リンク8bの取付は空間の距離を変えることによ
って変位が装置の厚さ方向に発生し、全体として変位伝
達が3次元に及んだ変位拡大装置としてもよい。またヒ
ンジは本実施例のような弾性ヒンジである必要はなく、
ボールベアリングのような回転形の軸受けとしてもよい
。
伝達が2次元方向のみで行われる必要はなく、例えば第
3図(b)において、圧電素子5に対するリンク8 a
% リンク8bの取付は空間の距離を変えることによ
って変位が装置の厚さ方向に発生し、全体として変位伝
達が3次元に及んだ変位拡大装置としてもよい。またヒ
ンジは本実施例のような弾性ヒンジである必要はなく、
ボールベアリングのような回転形の軸受けとしてもよい
。
また、伸縮自在手段においても圧電素子である必要はな
く、直動運動を発生するアクチュエータであれば何でも
よい。
く、直動運動を発生するアクチュエータであれば何でも
よい。
[発明の効果]
以上のように本発明によれば、簡単な構成で従来以上に
拡大係数を大きくすることができる。
拡大係数を大きくすることができる。
第1図、第3図、第4図、第6図は本発明の実施例を示
す変位拡大装置の正面図(及び第3図に関しては側面図
) 、’fs 2図、第5図は本発明の変位拡大方法を
示すモデル図、第7図は従来技術を示す変位拡大装置の
概略図である。 la、lb、1,2.3,12.14,16゜18.2
0.21 ・・・ ヒンジ 4.8a、8b、8c、8.11.15.17・・・
剛性を有する部材(リンク) 5.9 ・・・ 伸縮自在手段(圧電素子)5a、5b
、6c、6.13 ・・・ 位置固定手段(ベースブロック)代理人 弁理
士 則 近 憲 佑 同 松 山 光 之ux>
tb>φ■′
す変位拡大装置の正面図(及び第3図に関しては側面図
) 、’fs 2図、第5図は本発明の変位拡大方法を
示すモデル図、第7図は従来技術を示す変位拡大装置の
概略図である。 la、lb、1,2.3,12.14,16゜18.2
0.21 ・・・ ヒンジ 4.8a、8b、8c、8.11.15.17・・・
剛性を有する部材(リンク) 5.9 ・・・ 伸縮自在手段(圧電素子)5a、5b
、6c、6.13 ・・・ 位置固定手段(ベースブロック)代理人 弁理
士 則 近 憲 佑 同 松 山 光 之ux>
tb>φ■′
Claims (6)
- (1)3点A、B、Cを頂点とし、 @AB@を最も短い線分とし、 ∠BACを180゜に近い角度とした三角形を構成し、 点A、Bに位置固定手段、@BC@に剛性を有する部材
、@CA@に伸縮自在手段を対応させることによって、
前記伸縮自在手段の伸縮量を点Cの点Bまわりの変位と
して取り出すことを特徴とする変位拡大装置。 - (2)3点A、B、Cを頂点とし、 @AB@を最も短い線分とし、 ∠BACを180゜に近い角度とした三角形を構成し、 点A、Bに位置固定手段、@BC@に伸縮自在手段、@
CA@に剛性を有する部材を対応させることによって、
前記伸縮自在手段の伸縮量を点Cの点Aまわりの変位と
して取り出すことを特徴とする変位拡大装置。 - (3)3点A、B、Cを頂点とし、 @AB@を最も短い線分とし、 ∠BACを180゜に近い角度とした三角形を構成し、 点Aに位置固定手段、@BC@、@CA@に剛性を有す
る部材、@AB@に伸縮自在手段を対応させることによ
って、前記伸縮自在手段の伸縮量を点Cの点Aまわりの
変位として取り出すことを特徴とする変位拡大装置。 - (4)3点A、B、Cを頂点とし、 @AB@を最も短い線分とし、 ∠BACを180゜に近い角度とした三角形を構成し、 点Aに位置固定手段、@BC@、@CA@に剛性を有す
る部材、@AB@に伸縮自在手段を対応させることによ
って、前記伸縮自在手段の伸縮量を点Cの点Bまわりの
変位として取り出すことを特徴とする変位拡大装置。 - (5)位置固定手段と剛性を有する部材と伸縮自在とを
ヒンジによって連結し、前記伸縮自在手段を圧電素子と
することを特徴とする、請求項1乃至4記載の変位拡大
装置。 - (6)前記ヒンジの代わりに回転形の軸受けを用いるこ
とを特徴とする、請求項5記載の変位拡大装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP7443288A JPH01250017A (ja) | 1988-03-30 | 1988-03-30 | 変位拡大装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP7443288A JPH01250017A (ja) | 1988-03-30 | 1988-03-30 | 変位拡大装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH01250017A true JPH01250017A (ja) | 1989-10-05 |
Family
ID=13547052
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP7443288A Pending JPH01250017A (ja) | 1988-03-30 | 1988-03-30 | 変位拡大装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH01250017A (ja) |
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2007154965A (ja) * | 2005-12-02 | 2007-06-21 | Shimadzu Corp | 変位拡大機構 |
| JP2008054492A (ja) * | 2006-07-28 | 2008-03-06 | Noiberuku Kk | 圧電駆動装置および液体吐出装置 |
| JP2010022159A (ja) * | 2008-07-11 | 2010-01-28 | Akita Univ | 作動変換型変位拡大装置 |
| JP2022502986A (ja) * | 2019-08-05 | 2022-01-11 | 包頭稀土研究院Baotou Research Institute Of Rare Earths | マイクロ変位拡大機構及びその拡大方法 |
-
1988
- 1988-03-30 JP JP7443288A patent/JPH01250017A/ja active Pending
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2007154965A (ja) * | 2005-12-02 | 2007-06-21 | Shimadzu Corp | 変位拡大機構 |
| JP2008054492A (ja) * | 2006-07-28 | 2008-03-06 | Noiberuku Kk | 圧電駆動装置および液体吐出装置 |
| JP2010022159A (ja) * | 2008-07-11 | 2010-01-28 | Akita Univ | 作動変換型変位拡大装置 |
| JP2022502986A (ja) * | 2019-08-05 | 2022-01-11 | 包頭稀土研究院Baotou Research Institute Of Rare Earths | マイクロ変位拡大機構及びその拡大方法 |
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