JPH01250091A - 位置決め装置 - Google Patents
位置決め装置Info
- Publication number
- JPH01250091A JPH01250091A JP63074431A JP7443188A JPH01250091A JP H01250091 A JPH01250091 A JP H01250091A JP 63074431 A JP63074431 A JP 63074431A JP 7443188 A JP7443188 A JP 7443188A JP H01250091 A JPH01250091 A JP H01250091A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- base
- moving
- fixed
- belt
- steel belt
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Landscapes
- Details Of Measuring And Other Instruments (AREA)
- Exposure And Positioning Against Photoresist Photosensitive Materials (AREA)
- Exposure Of Semiconductors, Excluding Electron Or Ion Beam Exposure (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
（発明の目的〕
（産業上の利用分野）
本発明は、半導体製造装置や超精密加工装置などに用い
られるテーブル装置に係わり、その中に特に位置決め装
置に関する。
られるテーブル装置に係わり、その中に特に位置決め装
置に関する。
（従来の技術）
従来、半導体装置の製造においては、ウェハを載置した
テーブルをＸ、Ｙ、Ｚ軸、Ｘｅ、Ｙθ。
テーブルをＸ、Ｙ、Ｚ軸、Ｘｅ、Ｙθ。
ＺＯ軸回転方向の計６軸に高精度に位置決めする必要が
あった。上記位置決めテーブルとして様々な微動機構が
使用されてきた。第４図にその例を示す。一方向にのみ
変位可能なようにバネ１０２゜１０３より弾性支持され
たテーブル１０１を、ベース１０４上に固定された圧電
素子１２０により駆動するものでおる。この機構では装
置自体をコンパクトにできるという利点はあるが、圧電
素子１２０のスフローフは一般的に数十ｐ以下と小さく
、伯の粗動用のテーブルが必要となるため実用上使用し
にくい。第５図は、テーブル１０１を動かすための微動
機構としてモータ１０６で駆動可能な１軸移動機構１２
１に、テーパのついたブロック１２２を固定しテーパ面
をテーブル１０１に押し当てたものでおる。
あった。上記位置決めテーブルとして様々な微動機構が
使用されてきた。第４図にその例を示す。一方向にのみ
変位可能なようにバネ１０２゜１０３より弾性支持され
たテーブル１０１を、ベース１０４上に固定された圧電
素子１２０により駆動するものでおる。この機構では装
置自体をコンパクトにできるという利点はあるが、圧電
素子１２０のスフローフは一般的に数十ｐ以下と小さく
、伯の粗動用のテーブルが必要となるため実用上使用し
にくい。第５図は、テーブル１０１を動かすための微動
機構としてモータ１０６で駆動可能な１軸移動機構１２
１に、テーパのついたブロック１２２を固定しテーパ面
をテーブル１０１に押し当てたものでおる。
そしてテーパブロック１２２をｌｉｔ移動機構１２１で
移動させてテーブル１０１を移動させる。しかし、この
方法ではブロック１２２のテーパの面精度や形状、組み
立て誤差により誤差を受けやすく、機構自体も複雑にな
る。
移動させてテーブル１０１を移動させる。しかし、この
方法ではブロック１２２のテーパの面精度や形状、組み
立て誤差により誤差を受けやすく、機構自体も複雑にな
る。
（発明が解決しようとする課題）
このように従来の位置決め装置にあっては移動ストロー
クが充分に確保できない、市るいは精度面で不十分であ
る。あるいは装置が複雑になるといった問題点を有して
いる。
クが充分に確保できない、市るいは精度面で不十分であ
る。あるいは装置が複雑になるといった問題点を有して
いる。
この発明は、上述した従来装置の問題点を改良したもの
で、超精密位置決めを必要とする装置に用いるための高
精度で、組立て調整も簡単な、機構も簡単な微動数構を
提供することを目的とする。
で、超精密位置決めを必要とする装置に用いるための高
精度で、組立て調整も簡単な、機構も簡単な微動数構を
提供することを目的とする。
（課題を解決するための手段）
本発明の位置決め装置は、ベース上で所定方向に往復移
動可能なテーブルと、一端が前記ベースに固定され他端
が前記テーブルに固定され、かつ前記テーブルの移動方
向と異なる方向に変形可能な連結部材と、 この連結部材を前記テーブルの移動方向と異なる方向に
変形させる駆動手段とを具備することを特徴としている
。
動可能なテーブルと、一端が前記ベースに固定され他端
が前記テーブルに固定され、かつ前記テーブルの移動方
向と異なる方向に変形可能な連結部材と、 この連結部材を前記テーブルの移動方向と異なる方向に
変形させる駆動手段とを具備することを特徴としている
。
（作 用）
このように構成されたものにあっては、テーブルを微動
変位させる手段として、変位縮小機構を有しており、簡
単な構成で精度の良い位置決め装置が得られる。
変位させる手段として、変位縮小機構を有しており、簡
単な構成で精度の良い位置決め装置が得られる。
（実施例）
本発明の実施例を図面を参照して詳細に説明する。第１
図に本発明の第１の実施例を示す。１Ｍガイド１５によ
りＸ軸方向への移動可能なテーブル１は、バネ２．３に
よりＸ軸方向（例えば正方向）に力を受けている。一端
をベース４上に固定しもう一端をテーブル１に固定した
スチールベルト５によりテーブル１を引っ張る。この時
、モータ６と偏心カム７によりスチールベルト５の中心
付近をテーブル１の移動方向（Ｘ軸方向）と垂直方向（
Ｙ軸方向）に押すことにより、ベース４上のスチールベ
ルト５固定端から、テーブル１上のスチールベルト５固
定端までの直線距離が変化し、テーブル１をＸ軸方向に
移動させるものである。本発明の第２の実施例を第２図
に示す。第１図に示した第１のは実施例のスチールベル
ト５の代わりに、２個の棒材８，９を用い、それぞれの
棒材８゜９の軸端を軸受け１０，１１．１２により支持
される。モータ６と偏心カム７により軸受け１１の中心
付近をテーブル１の移動方向（Ｘ軸方向）と垂直方向（
Ｙ軸方向）に押すことにより軸受け１０と１２の直線距
離が変化し、テーブル１をＸ軸方向に移動させるもので
ある。第３図に第３の実施例を示す。
図に本発明の第１の実施例を示す。１Ｍガイド１５によ
りＸ軸方向への移動可能なテーブル１は、バネ２．３に
よりＸ軸方向（例えば正方向）に力を受けている。一端
をベース４上に固定しもう一端をテーブル１に固定した
スチールベルト５によりテーブル１を引っ張る。この時
、モータ６と偏心カム７によりスチールベルト５の中心
付近をテーブル１の移動方向（Ｘ軸方向）と垂直方向（
Ｙ軸方向）に押すことにより、ベース４上のスチールベ
ルト５固定端から、テーブル１上のスチールベルト５固
定端までの直線距離が変化し、テーブル１をＸ軸方向に
移動させるものである。本発明の第２の実施例を第２図
に示す。第１図に示した第１のは実施例のスチールベル
ト５の代わりに、２個の棒材８，９を用い、それぞれの
棒材８゜９の軸端を軸受け１０，１１．１２により支持
される。モータ６と偏心カム７により軸受け１１の中心
付近をテーブル１の移動方向（Ｘ軸方向）と垂直方向（
Ｙ軸方向）に押すことにより軸受け１０と１２の直線距
離が変化し、テーブル１をＸ軸方向に移動させるもので
ある。第３図に第３の実施例を示す。
ガイド１６によりθ軸方向への移動可能なテーブル２１
は、バネ２によりθ軸方向（例えば負方向）に力を受け
る。一端をベース４上に固定しもう一端をテーブル２１
に固定したスチールベルト５によりテーブル２１を引っ
張る。この時、モータ６と偏心カム７によりスチールベ
ルト５の中心付近をスチールベルト５の張架方向と垂直
方向（Ｙ軸方向）に押ｙことにより、ベース４上のスチ
ールベルト５固定端から、テーブル２１上のスチールベ
ルト５固定喘までの直線距離が変化し、テーブル２１を
θ軸方向に移動させる ものである。
は、バネ２によりθ軸方向（例えば負方向）に力を受け
る。一端をベース４上に固定しもう一端をテーブル２１
に固定したスチールベルト５によりテーブル２１を引っ
張る。この時、モータ６と偏心カム７によりスチールベ
ルト５の中心付近をスチールベルト５の張架方向と垂直
方向（Ｙ軸方向）に押ｙことにより、ベース４上のスチ
ールベルト５固定端から、テーブル２１上のスチールベ
ルト５固定喘までの直線距離が変化し、テーブル２１を
θ軸方向に移動させる ものである。
以上本発明の実施例を３例示したが、この中でスチール
ベルト５の代わりに、タイミングベルト、ピアノ線など
を用いてもよい。また、力を与える手段としてモータ６
と偏心カム７を示したが、モータと送りネジなどの組み
合わせでもよい。
ベルト５の代わりに、タイミングベルト、ピアノ線など
を用いてもよい。また、力を与える手段としてモータ６
と偏心カム７を示したが、モータと送りネジなどの組み
合わせでもよい。
また偏心カム７の偏心率を大きくすればコンパクトで充
分なストロークを確保することができ実用上多大なメリ
ットを有する。
分なストロークを確保することができ実用上多大なメリ
ットを有する。
ざらに、スチールベルト５あるいは２つの棒材８．９は
いずれも中心付近をテーブルの移動方向と垂直方向に押
して変形させていたが、中心付近以外を押して変形させ
ることも可能である。
いずれも中心付近をテーブルの移動方向と垂直方向に押
して変形させていたが、中心付近以外を押して変形させ
ることも可能である。
またさらに、スチールベルト５等の連結部材をテーブル
１，２１の移動方向と垂直方向に押して変形させている
が、垂直方向に限らず、移動方向と異なる方向に押せば
テーブル１，２１を移動させることができる。
１，２１の移動方向と垂直方向に押して変形させている
が、垂直方向に限らず、移動方向と異なる方向に押せば
テーブル１，２１を移動させることができる。
上記実施例では変位縮小機構を簡単な溝で実現しており
、装置の組立誤差や部品の加工誤差の影響をうけにくい
。
、装置の組立誤差や部品の加工誤差の影響をうけにくい
。
また、用途によっては移動テーブルのストロークよりも
分解能を重要視することもあるが、そのようにな場合に
は上記実施例のモータ６と偏心カム７の組合せ、あるい
はモータと送りネジの組合せによるアクチュエータの代
わりに圧電素子等を用いれば変位縮小作用により圧電素
子本来の高分解よりもさらに精密な位置決めが簡単な構
成で実現できる。
分解能を重要視することもあるが、そのようにな場合に
は上記実施例のモータ６と偏心カム７の組合せ、あるい
はモータと送りネジの組合せによるアクチュエータの代
わりに圧電素子等を用いれば変位縮小作用により圧電素
子本来の高分解よりもさらに精密な位置決めが簡単な構
成で実現できる。
以上詳述したように、本発明によれば駆動系の変位を縮
小する事ができ、簡単な構成でテーブルを直線方向、回
転方向に精密位置決めすることができる。
小する事ができ、簡単な構成でテーブルを直線方向、回
転方向に精密位置決めすることができる。
第１図はこの発明の第１の実施例を示す斜視図、第２図
は本発明の第２の実施例の斜視図、第３図は本発明の第
３の実施例の斜視図、第４図及び第５図は従来装置の斜
視図である。 １・・・テーブル ２・・・バネ（弾性体）３
・・・バネ（弾性体） ４・・・ベース５・・・スチ
ールベルト ６・・・モータ７・・・偏心カム
８・・・棒材１０、″斌１２・・・軸受は 同 松 山 務 ２ 第２図 第 ４ 図
は本発明の第２の実施例の斜視図、第３図は本発明の第
３の実施例の斜視図、第４図及び第５図は従来装置の斜
視図である。 １・・・テーブル ２・・・バネ（弾性体）３
・・・バネ（弾性体） ４・・・ベース５・・・スチ
ールベルト ６・・・モータ７・・・偏心カム
８・・・棒材１０、″斌１２・・・軸受は 同 松 山 務 ２ 第２図 第 ４ 図
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 ベース上で所定方向に往復移動可能なテーブルと、一
端が前記ベースに固定され他端が前記テーブルに固定さ
れかつ前記テーブルの移動方向と異なる方向に変形可能
な連結部材と、 この連結部材を前記テーブルの移動方向と異なる方向に
変形させる駆動手段とを具備することを特徴とする位置
決め装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP63074431A JPH01250091A (ja) | 1988-03-30 | 1988-03-30 | 位置決め装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP63074431A JPH01250091A (ja) | 1988-03-30 | 1988-03-30 | 位置決め装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH01250091A true JPH01250091A (ja) | 1989-10-05 |
Family
ID=13547022
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP63074431A Pending JPH01250091A (ja) | 1988-03-30 | 1988-03-30 | 位置決め装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH01250091A (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2000338896A (ja) * | 1999-05-31 | 2000-12-08 | Sony Corp | 基板位置決め装置および基板貼り合わせ装置 |
| JP2002258126A (ja) * | 2001-02-28 | 2002-09-11 | Harada Denshi Kogyo Kk | 部品保持装置 |
| JP2022188342A (ja) * | 2021-06-09 | 2022-12-21 | 株式会社 ファースト メカニカル デザイン | 光学素子ホルダ |
-
1988
- 1988-03-30 JP JP63074431A patent/JPH01250091A/ja active Pending
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2000338896A (ja) * | 1999-05-31 | 2000-12-08 | Sony Corp | 基板位置決め装置および基板貼り合わせ装置 |
| JP2002258126A (ja) * | 2001-02-28 | 2002-09-11 | Harada Denshi Kogyo Kk | 部品保持装置 |
| JP2022188342A (ja) * | 2021-06-09 | 2022-12-21 | 株式会社 ファースト メカニカル デザイン | 光学素子ホルダ |
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