JPS6378092A - 回転テ−ブル - Google Patents
回転テ−ブルInfo
- Publication number
- JPS6378092A JPS6378092A JP22183986A JP22183986A JPS6378092A JP S6378092 A JPS6378092 A JP S6378092A JP 22183986 A JP22183986 A JP 22183986A JP 22183986 A JP22183986 A JP 22183986A JP S6378092 A JPS6378092 A JP S6378092A
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- stage
- rotary table
- rotation
- piezoelectric element
- moving
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
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- Details Of Measuring And Other Instruments (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
本発明はθに回転するステージに関するもので特に半導
体の検査装置や加工装置、露光装置のステージとして用
いられるものである。
体の検査装置や加工装置、露光装置のステージとして用
いられるものである。
従来この種の回転テーブルでは、実公昭５６−４７９４
８号あるいは特開昭６０−１８５７２９号等の公報に記
載されているように１回転テーブルを回転させる手段と
して、モータの回転を送りネジに伝達し、ナツトを介し
て回転テーブルの一端を移動する方式分用いていた。ま
た微小回転には圧電素子の電圧を制御して１回転テーブ
ルの一端？微動させていた。このような手段では１回転
テーブルの駆動のために必要な要素部品、モータや、送
りネジ、ナツト、軸受等が必要となり回転テーブル系が
大形になる。通常これらの回転テーブルは、移動台（ｘ
ｙステージ等）上に載置され、移動台の走り方向とウェ
ハやマスク等のパターンの傾き合わせに用いられるが１
回転テーブルが大形化すると、移動台も大形化し、移動
時の慣性負荷が大きくなるため、高速移動や、位置決め
に要する時間が長くなる不具合が生じる。また、モータ
の発熱の影響により位置決め誤差が生じることもある。
８号あるいは特開昭６０−１８５７２９号等の公報に記
載されているように１回転テーブルを回転させる手段と
して、モータの回転を送りネジに伝達し、ナツトを介し
て回転テーブルの一端を移動する方式分用いていた。ま
た微小回転には圧電素子の電圧を制御して１回転テーブ
ルの一端？微動させていた。このような手段では１回転
テーブルの駆動のために必要な要素部品、モータや、送
りネジ、ナツト、軸受等が必要となり回転テーブル系が
大形になる。通常これらの回転テーブルは、移動台（ｘ
ｙステージ等）上に載置され、移動台の走り方向とウェ
ハやマスク等のパターンの傾き合わせに用いられるが１
回転テーブルが大形化すると、移動台も大形化し、移動
時の慣性負荷が大きくなるため、高速移動や、位置決め
に要する時間が長くなる不具合が生じる。また、モータ
の発熱の影響により位置決め誤差が生じることもある。
微小な位置決めのためには、上記駆動源の他に圧電素子
を用いる必要もあり、構造も複雑になり高価になること
もある。
を用いる必要もあり、構造も複雑になり高価になること
もある。
上記の従来技術は、駆動系を含めた回転テーブルを小形
、軽量、簡単な構成にする点について配慮がされておら
ず１回転テーブルが大形になり。
、軽量、簡単な構成にする点について配慮がされておら
ず１回転テーブルが大形になり。
複雑な機構になる問題があった。
本発明の目的は１回転テーブルを小形、軽量にし、簡単
な機構で高精度な回転精度を実現することである。
な機構で高精度な回転精度を実現することである。
また回転テーブルにウェハやマスク等を保持する機能を
有することで、従来必要であったウェハやマスクのチャ
ックを不要にし、移動するステージ系全体を軽量かつ簡
単な構成にすることも目的の一つである。
有することで、従来必要であったウェハやマスクのチャ
ックを不要にし、移動するステージ系全体を軽量かつ簡
単な構成にすることも目的の一つである。
上記目的は、移動台上に回転可能なテーブルを保持し、
移動台と相対的に固定である物体に保持している部材を
、移動台を移動しながら回転テーブルの一部に接触させ
て、回転テーブルを回転させることで達成される。
移動台と相対的に固定である物体に保持している部材を
、移動台を移動しながら回転テーブルの一部に接触させ
て、回転テーブルを回転させることで達成される。
また回転テーブルの一つの面にウェハやマスクを吸着あ
るいは保持する機構を付加することで。
るいは保持する機構を付加することで。
チャックを不要にすることも可能である。
〔作用〕
回転テーブルは、移動台の移動と１回転テーブルの端面
に接触する作用１回転動作をするため。
に接触する作用１回転動作をするため。
接触作用手段に圧電素子や、電磁石、流体作用等を用い
ると１回転テーブルの回転作用に必要であった。モータ
や送りネジ、ナツト等の要素部品が移動台上で不要にな
り、小形、軽」、簡単な構成の回転テーブルになる。本
回転テーブルの回転分解能は、移動台送り量を微小にす
ることで高分解能にすることが可能であり１回転ストロ
ークは。
ると１回転テーブルの回転作用に必要であった。モータ
や送りネジ、ナツト等の要素部品が移動台上で不要にな
り、小形、軽」、簡単な構成の回転テーブルになる。本
回転テーブルの回転分解能は、移動台送り量を微小にす
ることで高分解能にすることが可能であり１回転ストロ
ークは。
移動台のストロークを長くすることで任意に可変可能で
ある。このため微動回転専用の駆動系は不要となり、長
ストローク、高分解能の回転性能が得られる。また回転
テーブルそのものが、ウェハやマスクを吸着あるいは保
持できると、ウェハやマスクのチャックが不用になり１
本テーブルを用いたステージ系が、簡単な構成で、軽量
、安価になる利点がある。
ある。このため微動回転専用の駆動系は不要となり、長
ストローク、高分解能の回転性能が得られる。また回転
テーブルそのものが、ウェハやマスクを吸着あるいは保
持できると、ウェハやマスクのチャックが不用になり１
本テーブルを用いたステージ系が、簡単な構成で、軽量
、安価になる利点がある。
以下本発明の実施例を第１図および第２図を用いて説明
する。第２図は第１図のＡ−Ａ断面図である。ベース１
上に設けられたＸステージ２はモータ３とネジ４により
矢印ＢＢ’に移動可能である。
する。第２図は第１図のＡ−Ａ断面図である。ベース１
上に設けられたＸステージ２はモータ３とネジ４により
矢印ＢＢ’に移動可能である。
Ｘステージ２上にはθステージ５が回転ピン６によりガ
イドされている。Ｘスンージ２にはθステージ５を真空
吸着する保持部α２１が形成され、θステージにはウェ
ハ７を真空吸着する保持部Ａ５＋が形成され、各々真空
源（図示せず）と接続されている。ベース１に固定され
ているホルダ８には圧電素子９が固定されていて、圧電
素子の他端はベース１に一端が固定されてθステージ５
の側面に接するように配されている接触板１０に固定さ
れている。圧電素子９に電圧が印加されると圧電素子９
が変形して、接触板１０がθステージ５の側面５２に接
し、電圧が印加されないときは接触板１０とθステージ
５の側面５２は触れている。本実施例は上記の諸機器か
ら成りθステージ５を回転させるときは、圧電素子９に
電圧を印加し、保持部ａ２１の真空を大気開放にする。
イドされている。Ｘスンージ２にはθステージ５を真空
吸着する保持部α２１が形成され、θステージにはウェ
ハ７を真空吸着する保持部Ａ５＋が形成され、各々真空
源（図示せず）と接続されている。ベース１に固定され
ているホルダ８には圧電素子９が固定されていて、圧電
素子の他端はベース１に一端が固定されてθステージ５
の側面に接するように配されている接触板１０に固定さ
れている。圧電素子９に電圧が印加されると圧電素子９
が変形して、接触板１０がθステージ５の側面５２に接
し、電圧が印加されないときは接触板１０とθステージ
５の側面５２は触れている。本実施例は上記の諸機器か
ら成りθステージ５を回転させるときは、圧電素子９に
電圧を印加し、保持部ａ２１の真空を大気開放にする。
つぎにモータ５を駆動させてＸステージ２をＢ方向に移
動させると、θステージ５の側面５２は接触板１０と接
しているためθステージ５の外周に接線方向の力が作用
し、５本の回転ピンが回転ガイドとなり、θステージ５
がＣ方向に回転する。上記方式において一例としてθス
テージ５の直径が２００■の場合、回転角ストローク５
度を得るにはＸステージ２の送り量はわち、２秒以内に
するには、Ｘステージの送り分解能を１μｍ以内にすれ
ばよく、現在半導体の検査や露光装置に用いられている
ステージ上で上記方式を用いれば、２秒の分解能を得る
ことは十分可能である。反転したい場合は同様にしてＸ
ステージ２の移動方向をＢ′方向にすれば、θステージ
５はＣ′力方向回転する。接触板１０が弾性変形ができ
る構造であると（例えば、板バネ）θステージ５が、ガ
イド６に対して多少偏心して回転し、接触板１０とθス
テージ５の側面５２の接触位置が変化しても一定の力で
側面５２を押し付けるため回転時に押し付けすぎて、側
面５２が変形し回転精度を劣化させることはない。回転
の合わせが終了したら。
動させると、θステージ５の側面５２は接触板１０と接
しているためθステージ５の外周に接線方向の力が作用
し、５本の回転ピンが回転ガイドとなり、θステージ５
がＣ方向に回転する。上記方式において一例としてθス
テージ５の直径が２００■の場合、回転角ストローク５
度を得るにはＸステージ２の送り量はわち、２秒以内に
するには、Ｘステージの送り分解能を１μｍ以内にすれ
ばよく、現在半導体の検査や露光装置に用いられている
ステージ上で上記方式を用いれば、２秒の分解能を得る
ことは十分可能である。反転したい場合は同様にしてＸ
ステージ２の移動方向をＢ′方向にすれば、θステージ
５はＣ′力方向回転する。接触板１０が弾性変形ができ
る構造であると（例えば、板バネ）θステージ５が、ガ
イド６に対して多少偏心して回転し、接触板１０とθス
テージ５の側面５２の接触位置が変化しても一定の力で
側面５２を押し付けるため回転時に押し付けすぎて、側
面５２が変形し回転精度を劣化させることはない。回転
の合わせが終了したら。
真空吸着により回転ステージ５を固定できる構造にして
いるため、固定時に回転方向の力が全く作用せず、高精
度の分解能を維持できる。また接触板１０の移動アクチ
ェエータとして圧電素子９を用いると高速応答が可能で
、ｘ、ｘ、７−ジ２の移動速度が速くても微小回転が得
られる。接触板１０の移動のアクチェエータとして第３
図に示すように。
いるため、固定時に回転方向の力が全く作用せず、高精
度の分解能を維持できる。また接触板１０の移動アクチ
ェエータとして圧電素子９を用いると高速応答が可能で
、ｘ、ｘ、７−ジ２の移動速度が速くても微小回転が得
られる。接触板１０の移動のアクチェエータとして第３
図に示すように。
固定板１１に電磁石１２を固定して用いても良い。これ
は圧電素子９の場合、ストローク数１０〜τ００μｍ程
度と小さいため、拡大機構を設ける必要もある。
は圧電素子９の場合、ストローク数１０〜τ００μｍ程
度と小さいため、拡大機構を設ける必要もある。
このため電磁石１２を用いることも有効な手段である。
θステージ５の側面を接触できない場合は、第４図、第
５図に示すようにθステージ５の上面分接触しても良い
。この場合接触させるためのレバー１３を設け、レバー
の一端を圧電素子９（あるいは電磁石１２）等のアクチ
ュエータで駆動し、他端をθステージ５の上面に接する
ようして、前記と同様に動作させれば良い。上記接触板
１０およびレバー１３のθステージ５と接触する箇所を
Ｘステージ２０ストロークと同等にしておくと、Ｘステ
ージ２がどの位置にあっても回転合わせが可能になる。
５図に示すようにθステージ５の上面分接触しても良い
。この場合接触させるためのレバー１３を設け、レバー
の一端を圧電素子９（あるいは電磁石１２）等のアクチ
ュエータで駆動し、他端をθステージ５の上面に接する
ようして、前記と同様に動作させれば良い。上記接触板
１０およびレバー１３のθステージ５と接触する箇所を
Ｘステージ２０ストロークと同等にしておくと、Ｘステ
ージ２がどの位置にあっても回転合わせが可能になる。
上記のθステージ５には、ウェハ７を吸着する保持部ｂ
５１が形成されているため、ウェハチャックを兼用出来
、専用のウェハチャックが不用になる利点がある。
５１が形成されているため、ウェハチャックを兼用出来
、専用のウェハチャックが不用になる利点がある。
以上説明したように、本発明によれば、回転テーブルの
駆動のために必要な要素部品、モータや送りネジ、ナツ
ト、軸受等が不要になり、回転テーブルが小形で簡単な
構成になる。このため回転テーブルを載置している移動
台も小形、軽量となり、移動台の貫性負荷も小さくなり
、高速移動や位置決めに要する時間も短かくなる利点が
ある。
駆動のために必要な要素部品、モータや送りネジ、ナツ
ト、軸受等が不要になり、回転テーブルが小形で簡単な
構成になる。このため回転テーブルを載置している移動
台も小形、軽量となり、移動台の貫性負荷も小さくなり
、高速移動や位置決めに要する時間も短かくなる利点が
ある。
また回転テーブルがウェハやマスクのチャックとして使
用できるため、専用のチャックが不要となる。
用できるため、専用のチャックが不要となる。
第１図は本発明の回転テーブルを示す一実施例の構成を
示す平面図、第２図は第１図のＡ−Ａ矢視断面図、第３
図は本発明の実施例の断面図、第４図は本発明を応用し
た一実施例の構成図、第５図は第４図のＤ−Ｄ矢視断面
図である。 ２・・−・・・・・・・・Ｘステージ。 ５・・−・・・・・・・・θステージ。 ６・・・・・・・・・・・・回転ビン。 ９・・・・・・・・・・・・圧電素子。 １０・・・・・・・・・接触板。 ２１・・・・・・・・・保持部α。 ５１・・・・・・・・・保持部す。 ５２・・・・・・・・・側面。 代理人 弁理士 小 川 勝 男′− 第１図 第２図 ２ ｘλチー＝； ９ 圧電垢子 ５ θＸチーじ゛ １０．接触板 ６ 回＠ビン
示す平面図、第２図は第１図のＡ−Ａ矢視断面図、第３
図は本発明の実施例の断面図、第４図は本発明を応用し
た一実施例の構成図、第５図は第４図のＤ−Ｄ矢視断面
図である。 ２・・−・・・・・・・・Ｘステージ。 ５・・−・・・・・・・・θステージ。 ６・・・・・・・・・・・・回転ビン。 ９・・・・・・・・・・・・圧電素子。 １０・・・・・・・・・接触板。 ２１・・・・・・・・・保持部α。 ５１・・・・・・・・・保持部す。 ５２・・・・・・・・・側面。 代理人 弁理士 小 川 勝 男′− 第１図 第２図 ２ ｘλチー＝； ９ 圧電垢子 ５ θＸチーじ゛ １０．接触板 ６ 回＠ビン
Claims (1)
- １、移動台上に設置した回転テーブルを、該移動台の移
動作用と、該移動台以外の部材から回転テーブルに接触
する手段により、回転テーブルを回転させることを特徴
とする回転テーブル。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP22183986A JPS6378092A (ja) | 1986-09-22 | 1986-09-22 | 回転テ−ブル |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP22183986A JPS6378092A (ja) | 1986-09-22 | 1986-09-22 | 回転テ−ブル |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6378092A true JPS6378092A (ja) | 1988-04-08 |
Family
ID=16773000
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP22183986A Pending JPS6378092A (ja) | 1986-09-22 | 1986-09-22 | 回転テ−ブル |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6378092A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH02285209A (ja) * | 1989-03-30 | 1990-11-22 | Warner & Swasey Co:The | 直交座標測定機とそのテーブルの回転軸線を決定する方法 |
| US5508080A (en) * | 1994-02-17 | 1996-04-16 | Takashimaya Nippatsu Kogyo Co. Ltd. | Flexible laminated surface material and method of producing the same |
-
1986
- 1986-09-22 JP JP22183986A patent/JPS6378092A/ja active Pending
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH02285209A (ja) * | 1989-03-30 | 1990-11-22 | Warner & Swasey Co:The | 直交座標測定機とそのテーブルの回転軸線を決定する方法 |
| US5508080A (en) * | 1994-02-17 | 1996-04-16 | Takashimaya Nippatsu Kogyo Co. Ltd. | Flexible laminated surface material and method of producing the same |
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