JPH01252841A - 絶対圧力制御装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 本発明は、絶対圧力制御装置に係り、特に大気圧が変動
しても絶対圧力対象室内の絶対圧力を設定圧力に精密制
御できるようにした絶対圧力制御装置に関する。

〔従来の技術〕

近時、半導体産業をはじめとした分野において、精密位
置決め用装百が数多く採用されている。−般に、この種
の装置にあっては、光学的測長器が備えられているが、
雰囲気の圧力、即ち気圧が変動すると、測長室間の空気
の屈折率が変化してしまい、その結果測長誤差が生じ精
密位置決めが困難となっていた。従って、該光学的測長
器を用いる場合は、それが配置される環境の絶対圧力を
一定になるように制御しなければならない。

従来、該絶対圧を制御する装置として、第２図に示すよ
うな構成の装置が使用されていた。第２図において、外
気取入口１には外調器２を介して外気ファン３が接続さ
れており、更に該外気ファン３には定風量弁４を介して
空気調和器５が接続されている。一方、この空気調和器
５の出口には、通気管６、空気濾過フィルタ７を介して
絶対圧力対象室８に接続されている。該絶対圧力対象室
８には循環空気口９と排気空気口１０が設けられている
と共に、循環空気口９には定風量弁１１が接続され、更
に該定風量弁１１には通気管１２を介して空気調和機５
の入口側に接続されている。−方、排気空気口１０には
排気ファン１３と圧力調節用弁１４が接続されており、
更に該圧力調整用弁１４には、排気口１５に接続されて
いる。ここで、圧力調節用弁１４には室内に設置された
絶対圧力計１６が調節器１７を介して信号線１８によっ
て接続されている。

以上のように構成された第２図に示す装置にあって、外
気取入口１、外調機２、外気ファン３、空気調和機５に
送られる空気は、定風量弁４により一定風量に制御され
る。また、絶対圧力対象室８から？！環空気口９を通り
空気調和機５に戻る空気量は、途中の定風量弁１１によ
り一定風量に制御される。従って、絶対圧力対象室８内
に送られる空気量も一定風量になっている。

一方、絶対圧力対象室８内の絶対圧力は、絶対圧力計１
６により検出され、調節器１７により圧力調節用弁１４
の弁開度を調節し、排気空気口１０から排気ファン１３
を介し絶対圧力対象室８内からの排気側を制御すること
により、設定値になるように制御されている。

〔発明が解決しようとする問題点〕

しかしながら、上述した従来の装置にあっては、定風量
弁の制御性能が低く、特に低風量で一定風量に設定しよ
うとすると、設定値に対し、約±２０＋ｕ＋ＨｚＯの設
定誤差が生じ、精密制御がきないという問題があった。

また、絶対圧力対象室８の出入口を開閉したり、該室８
内の排気装置を稼働したりしたとき、設定圧力になるま
で非常に長時間を要するという問題もあった。

本発明の目的は上述した問題に鑑みなされたもので、絶
対圧力対象室内の絶対圧力を精密に制御でき、しかも設
定した絶対圧力に速やかに制御できるようにした絶対圧
力制御装置を提供することにある。

〔問題点を解決するための手段〕

前記目的を達成するために、本発明に係る絶対圧力制御
装置は、空気調和機に送る取入外気の圧力を検出する絶
対圧力計と、該絶対圧力計の上流側に設置された圧力調
節用弁と、前記絶対圧力計の信号を受け、該圧力調節用
弁の弁開度を設定圧力になるよう調節する調節器とを備
えた構成としたものである。

〔作用〕

このように本発明にあっては、取入外気の圧力が外気の
気圧変動にかかわらず、略一定に制御されるため、高い
制御精度で絶対圧力対象室内の絶対圧力が設定値に保た
れる。また、給気側、排気側とも予め設定した絶対圧力
に保持調節されるようになっているため、絶対圧力対象
室への出入や酸室からの排気等の内乱に対しても速やか
に設定圧力に回復できる。

〔実施例〕

以下、図に示す実施例を用いて本発明の詳細な説明する
。

第１図は本発明に係る絶対圧力制御装置の一実施例を示
す概略構成図であり、第２図と同一部分には同一符号を
付しである。

本実施例において従来例と異なるところは、従来例にお
いて定風量弁４が設けられていたのに対し、本実施例に
あっては、外気ファン３の出口側に、圧力調整用弁１９
と、該圧力調節用弁１９の弁開度を調節するための調節
器２０と、該調節器２０の制御信号入力用の絶対圧力計
２１を備えた構成とした点にある。尚、この絶対圧力計
２１は圧力調節用弁１９の下流側に設置されている。ま
た、前記圧力調節用弁１９と排気側の圧力調節用弁１４
とは特性が等しい構造となっている。

一方、絶対圧力対象室８内に設けられた循環空気口９が
ら空気調和機５に接続されている通気管１２の途中には
、風量調節用弁２２と風量検出器２３が設けられており
、該風量調節用弁２２と風量検出２３とはそれぞれ調節
器２４に制御線２５を介して接続されている。

次に、以上のような構成された絶対圧力制御装置の作用
について説明する。外気取入口１から外調機２、外気フ
ァン３を通り、空気調和機５に送られる取入外気は、フ
ィードバック制御、即ち途中の絶対圧力計２１の検出値
が調節器２０に送られ、該定圧力値（この設定圧力値は
合流する循環空気の絶対圧力と略等しくなるよう設定さ
れている）との偏差によって、圧力調節用弁１９の弁開
度を調節制御することによって、その絶対圧力を一定圧
力値に制御している。

一方、絶対圧力対象室８内に送られる取入外気の一部は
、循環空気口９から風量調節用弁２２、風量検出器２３
を通過して空気調和機５の入口側に送られるが、この際
、風量検出器２３の信号を受けて調節器２４により風量
調節用弁２２の弁開度調節がなされ、これによって循環
空気量は設定風量に等しくなるように設定される。また
、空気の一部は、排気空気口ｌＯから排気ファン１３、
圧力調節用弁１４を通過して、排気口１５から排気され
るが、この際絶対圧力対象室８内の絶対圧力計１６の信
号を受けて、圧力調節用弁１４の弁開度調節がなされ、
これによって該絶対圧力対象室８内の絶対圧力が一定に
保たれるように制御される。

以上のように構成された本実施例装冒にあっては、絶対
圧力対象室８内への取入外気の圧力が、外気の気圧変動
にかかわらず、略一定に制御されているため、排気側の
弁開度調節によって行われる室内圧力調節を非常に小さ
な変動幅で制御すればよいことになり、これによって、
高い制御精度で絶対圧力対象室８内の絶対圧力を設定値
に保つことができる。

また、特性の等しい圧カ副節用弁１９．１４を、給気側
、排気側に備えており、これによって、絶対圧力対象室
８内への出入時における扉の開閉や、該室８内に配置さ
れた排気装置から室外への排気などの内乱に対しても短
時間で設定圧力に回復できるという効果がある。

尚、上述した実施例にあっては、絶対圧力計２１及び圧
力調節用弁１９を外気ファン３の空気出口側に配置した
が、別にこれに限定されるものではなく、空気人口側に
膜管してもよい。

〔発明の効果〕

以上説明したように本発明に係る絶対圧力制御装置によ
れば、空気調和機に送る取入外気の圧力を検出する絶対
圧力計と、該絶対圧力計の上流側に設置された圧力調節
用弁と、前記絶対圧力胴の信号を受け、該圧力調節用弁
の弁開度を設定圧力になるよう調節する調節器とを備え
た構成としたので、外気の変化に関係なく、絶対圧力対
象室内の絶対圧力を精密に制御でき、しかも絶対圧力対
象室への出入り及び酸室からの排気等の内乱に対しても
速やかに設定圧力に回復することができるという優れた
効果を奏する。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明に係る絶対圧力制御装置の一実施例を示
す概略構成図、第２図は従来装置の一例を示す概略構成
図である。 ３・・・排気ファン、　５・・・空気調和機、　　８・
・・絶対圧力対象室、　ｌＯ・・・排気空気口、　　１
４．１９・・・圧力調整用弁、　１６．２１・・・絶対
圧力計、１７．２０・・・調節器。 出願、人　日立プラント建設株式会社 第１図 九

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. 　絶対圧力対象室内に吹きだした空気を調和して再び該
   室内に戻す空気調和機と、この空気調和機に空気調和し
   た取入外気を送る外気ファンと、前記室内の空気を予め
   設定した絶対圧力に保持するように室外に排気する排気
   系とを備えた絶対圧力制御装置において、前記空気調和
   機に送る取入外気の圧力を検出する絶対圧力計と、該絶
   対圧力計の上流側に設置された圧力調節用弁と、前記絶
   対圧力計の信号を受け、該圧力調節用弁の弁開度を設定
   圧力になるように調節する調節器とを備えたことを特徴
   とする絶対圧力制御装置。