JPH0668407B2 - 絶対圧力制御装置 - Google Patents
絶対圧力制御装置Info
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- JPH0668407B2 JPH0668407B2 JP63076852A JP7685288A JPH0668407B2 JP H0668407 B2 JPH0668407 B2 JP H0668407B2 JP 63076852 A JP63076852 A JP 63076852A JP 7685288 A JP7685288 A JP 7685288A JP H0668407 B2 JPH0668407 B2 JP H0668407B2
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- 238000009423 ventilation Methods 0.000 description 4
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 3
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 3
- 230000001143 conditioned effect Effects 0.000 description 2
- 238000001514 detection method Methods 0.000 description 2
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 description 2
- 230000007423 decrease Effects 0.000 description 1
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 description 1
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Description
【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 本発明は、絶対圧力制御装置に係り、特に大気圧が変動
しても絶対圧力対象室内の絶対圧力を設定圧力に精密制
御できるようにした絶対圧力制御装置に関する。
しても絶対圧力対象室内の絶対圧力を設定圧力に精密制
御できるようにした絶対圧力制御装置に関する。
近時、半導体産業をはじめとした分野において、精密位
置決め用装置が数多く採用されている。一般に、この種
の装置にあっては、光学的測長器が備えられているが、
雰囲気の圧力、即ち気圧が変動すると、測長室間の空気
の屈折率が変化してしまい、その結果測長誤差が生じ精
密位置決めが困難となっていた。従って、該光学的測長
器を用いる場合は、それが配置される環境の絶対圧力を
一定になるように制御しなければならない。
置決め用装置が数多く採用されている。一般に、この種
の装置にあっては、光学的測長器が備えられているが、
雰囲気の圧力、即ち気圧が変動すると、測長室間の空気
の屈折率が変化してしまい、その結果測長誤差が生じ精
密位置決めが困難となっていた。従って、該光学的測長
器を用いる場合は、それが配置される環境の絶対圧力を
一定になるように制御しなければならない。
従来、該絶対圧を制御する装置として、第２図に示すよ
うな構成の装置が使用されていた。第２図において、外
気取入口１には外調器２を介して外気ファン３が接続さ
れており、更に該外気ファン３には定風量弁４を介して
空気調和器５が接続されている。一方、この空気調和器
５の出口には、通気管６、空気濾過フィルタ７を介して
絶対圧力対象室８に接続されている。該絶対圧力対象室
８には循環空気口９と排気空気口10が設けられていると
共に、循環空気口９には定風量弁11が接続され、更に該
定風量弁11には通気管12を介して空気調和機５の入口側
に接続されている。一方、排気空気口10には排気ファン
13と圧力調節用弁14が接続されており、更に該圧力調節
用弁14には、排気口15に接続されている。ここで、圧力
調節用弁14には室内に設置された絶対圧力計16が調節器
17を介して信号線18によって接続されている。
うな構成の装置が使用されていた。第２図において、外
気取入口１には外調器２を介して外気ファン３が接続さ
れており、更に該外気ファン３には定風量弁４を介して
空気調和器５が接続されている。一方、この空気調和器
５の出口には、通気管６、空気濾過フィルタ７を介して
絶対圧力対象室８に接続されている。該絶対圧力対象室
８には循環空気口９と排気空気口10が設けられていると
共に、循環空気口９には定風量弁11が接続され、更に該
定風量弁11には通気管12を介して空気調和機５の入口側
に接続されている。一方、排気空気口10には排気ファン
13と圧力調節用弁14が接続されており、更に該圧力調節
用弁14には、排気口15に接続されている。ここで、圧力
調節用弁14には室内に設置された絶対圧力計16が調節器
17を介して信号線18によって接続されている。
以上のように構成された第２図に示す装置にあって、外
気取入口１、外調機２、外気ファン３、空気調和機５に
送られる空気は、定風量弁４により一定風量に制御され
る。また、絶対圧力対象室８から循環空気口９を通り空
気調和機５に戻る空気量は、途中の定風量弁11により一
定風量に制御される。従って、絶対圧力対象室８内に送
られる空気量も一定風量になっている。
気取入口１、外調機２、外気ファン３、空気調和機５に
送られる空気は、定風量弁４により一定風量に制御され
る。また、絶対圧力対象室８から循環空気口９を通り空
気調和機５に戻る空気量は、途中の定風量弁11により一
定風量に制御される。従って、絶対圧力対象室８内に送
られる空気量も一定風量になっている。
一方、絶対圧力対象室８内の絶対圧力は、絶対圧力計16
により検出され、調節器17により圧力調節用弁14の弁開
度を調節し、排気空気口10から排気ファン13を介し絶対
圧力対象室８内からの排気量を制御することにより、設
定値になるように制御されている。
により検出され、調節器17により圧力調節用弁14の弁開
度を調節し、排気空気口10から排気ファン13を介し絶対
圧力対象室８内からの排気量を制御することにより、設
定値になるように制御されている。
しかしながら、上述した従来の装置にあっては、定風量
弁の制御性能が低く、特に低風量で一定風量に設定しよ
うとすると、設定値に対し、約±20mmH2Oの設定誤差が
生じ、精密制御がきないという問題があった。また、絶
対圧力対象室８の出入口を開閉したり、該室８内の排気
装置を稼働したりしたとき、設定圧力になるまで非常に
長時間を要するという問題もあった。
弁の制御性能が低く、特に低風量で一定風量に設定しよ
うとすると、設定値に対し、約±20mmH2Oの設定誤差が
生じ、精密制御がきないという問題があった。また、絶
対圧力対象室８の出入口を開閉したり、該室８内の排気
装置を稼働したりしたとき、設定圧力になるまで非常に
長時間を要するという問題もあった。
本発明の目的は上述した問題に鑑みなされたもので、絶
対圧力対象室内の絶対圧力を精密に制御でき、しかも設
定した絶対圧力に速やかに制御できるようにしたもので
あって、特に、取入外気の圧力変動による室内圧への影
響を回避することができる絶対圧力制御装置を提供する
ことにある。
対圧力対象室内の絶対圧力を精密に制御でき、しかも設
定した絶対圧力に速やかに制御できるようにしたもので
あって、特に、取入外気の圧力変動による室内圧への影
響を回避することができる絶対圧力制御装置を提供する
ことにある。
前記目的を達成するために、本発明に係る絶対圧力制御
装置は、絶対圧力対象室内に吹きだした空気を調和して
再び該室内に戻す空気調和機と、この空気調和機に空気
調和した取入外気を送る外気ファンと、前記室内の空気
を予め設定した絶対圧力に保持するように室外に排気す
る排気系とを備えた絶対圧力制御装置において、前記絶
対圧力対象室内からの循環空気の合流点より上流側にて
空気調和機に送る取入外気の圧力を検出する絶対圧力計
と、該絶対圧力計の上流側に設置された圧力調節用弁
と、前記絶対圧力計の信号を受け、該圧力調節用弁の弁
開度を前記下流側で合流する循環空気の絶対圧力と略等
しく定めた設定圧力になるように調節する調節器とを備
えた構成としたものである。
装置は、絶対圧力対象室内に吹きだした空気を調和して
再び該室内に戻す空気調和機と、この空気調和機に空気
調和した取入外気を送る外気ファンと、前記室内の空気
を予め設定した絶対圧力に保持するように室外に排気す
る排気系とを備えた絶対圧力制御装置において、前記絶
対圧力対象室内からの循環空気の合流点より上流側にて
空気調和機に送る取入外気の圧力を検出する絶対圧力計
と、該絶対圧力計の上流側に設置された圧力調節用弁
と、前記絶対圧力計の信号を受け、該圧力調節用弁の弁
開度を前記下流側で合流する循環空気の絶対圧力と略等
しく定めた設定圧力になるように調節する調節器とを備
えた構成としたものである。
上記構成によれば、室内循環空気との合流点より上流側
で圧力調整済みの循環空気とは独立した状態で、取入外
気を循環空気の絶対圧力と略等しく定めた設定圧力に制
御して取込むことができ、したがって、取入外気の圧力
が外気の気圧変動にかかわらず、略一定に制御されるた
め、高い制御精度で絶対圧力対象室内の絶対圧力が設定
値に保たれる。また、給気側、排気側とも予め設定した
絶対圧力に保持調節されるようになっているため、絶対
圧力対象室への出入や該室からの排気等の内乱に対して
も速やかに設定圧力に回復できる。
で圧力調整済みの循環空気とは独立した状態で、取入外
気を循環空気の絶対圧力と略等しく定めた設定圧力に制
御して取込むことができ、したがって、取入外気の圧力
が外気の気圧変動にかかわらず、略一定に制御されるた
め、高い制御精度で絶対圧力対象室内の絶対圧力が設定
値に保たれる。また、給気側、排気側とも予め設定した
絶対圧力に保持調節されるようになっているため、絶対
圧力対象室への出入や該室からの排気等の内乱に対して
も速やかに設定圧力に回復できる。
以下、図に示す実施例を用いて本発明の詳細を説明す
る。
る。
第１図は本発明に係る絶対圧力制御装置の一実施例を示
す概略構成図であり、第２図と同一部分には同一符号を
付してある。
す概略構成図であり、第２図と同一部分には同一符号を
付してある。
本実施例において従来例と異なるところは、従来例にお
いて定風量弁４が設けられていたのに対し、本実施例に
あっては、外気ファン３の出口側に、圧力調整用弁19
と、該圧力調節用弁19の弁開度を調節するための調節器
20と、該調節器20の制御信号入力用の絶対圧力計21を備
えた構成とした点にある。尚、この絶対圧力計21は圧力
調節用弁19の下流側に、かつ、通気管12が空気調和機５
の上流側に連結された点（合流点）の上流側に設置され
ている。また、前記圧力調節用弁19と排気側の圧力調節
用弁14とは特性が等しい構造となっている。
いて定風量弁４が設けられていたのに対し、本実施例に
あっては、外気ファン３の出口側に、圧力調整用弁19
と、該圧力調節用弁19の弁開度を調節するための調節器
20と、該調節器20の制御信号入力用の絶対圧力計21を備
えた構成とした点にある。尚、この絶対圧力計21は圧力
調節用弁19の下流側に、かつ、通気管12が空気調和機５
の上流側に連結された点（合流点）の上流側に設置され
ている。また、前記圧力調節用弁19と排気側の圧力調節
用弁14とは特性が等しい構造となっている。
一方、絶対圧力対象室８内に設けられた循環空気口９か
ら空気調和機５に接続されている通気管12の途中には、
風量調節用弁22と風量検出器23が設けられており、該風
量調節用弁22と風量検出23とはそれぞれ調節器24に制御
線25を介して接続されている。
ら空気調和機５に接続されている通気管12の途中には、
風量調節用弁22と風量検出器23が設けられており、該風
量調節用弁22と風量検出23とはそれぞれ調節器24に制御
線25を介して接続されている。
次に、以上のような構成された絶対圧力制御装置の作用
について説明する。外気取入口１から外調機２、外気フ
ァン３を通り、空気調和機５に送られる取入外気は、フ
ィードバック制御、即ち途中の絶対圧力計21の検出値が
調節器20に送られ、設定圧力値（この設定圧力値は合流
する循環空気の絶対圧力と略等しくなるよう設定されて
いる）との偏差によって、圧力調節用弁19の弁開度を調
節制御することによって、その絶圧圧力を一定圧力値に
制御している。
について説明する。外気取入口１から外調機２、外気フ
ァン３を通り、空気調和機５に送られる取入外気は、フ
ィードバック制御、即ち途中の絶対圧力計21の検出値が
調節器20に送られ、設定圧力値（この設定圧力値は合流
する循環空気の絶対圧力と略等しくなるよう設定されて
いる）との偏差によって、圧力調節用弁19の弁開度を調
節制御することによって、その絶圧圧力を一定圧力値に
制御している。
従って、絶対圧力対象室８内の圧力が絶対圧よりかなり
下降した場合、循環空気の圧力と圧力調整弁19の設定圧
力との偏差が大きくなり、絶対圧力対象室８内への外気
取入量が多くなる。このように、絶対圧力対象室８内へ
の外気取入量が多くなると、絶対圧力対象室８の圧力が
絶対圧まで上昇して絶対圧力対象室８内の圧力低下は短
時間で回復する。
下降した場合、循環空気の圧力と圧力調整弁19の設定圧
力との偏差が大きくなり、絶対圧力対象室８内への外気
取入量が多くなる。このように、絶対圧力対象室８内へ
の外気取入量が多くなると、絶対圧力対象室８の圧力が
絶対圧まで上昇して絶対圧力対象室８内の圧力低下は短
時間で回復する。
一方、絶対圧力対象室８内の圧力が絶対圧より僅かに上
昇した場合、下降した圧力と圧力調整弁19の設定圧力と
の差圧が小さくなるので、絶対圧力対象室８内への外気
取入量が少なくなる。従って、絶対圧力対象室８内の圧
力が下降して絶対圧力対象室８内の絶対圧より僅かに上
昇した圧力は短時間で絶対圧まで回復する。
昇した場合、下降した圧力と圧力調整弁19の設定圧力と
の差圧が小さくなるので、絶対圧力対象室８内への外気
取入量が少なくなる。従って、絶対圧力対象室８内の圧
力が下降して絶対圧力対象室８内の絶対圧より僅かに上
昇した圧力は短時間で絶対圧まで回復する。
尚、この場合圧力調整弁19と共に後述する圧力調整弁14
の弁開度が調整される。
の弁開度が調整される。
一方、絶対圧力対象室８内に送られる取入外気の一部
は、循環空気口９から風量調節用弁22、風量検出器23を
通過して空気調和機５の入口側に送られるが、この際、
風量検出器23の信号を受けて調節器24により風量調節用
弁22の弁開度調節がなされ、これによって循環空気量は
設定風量に等しくなるように設定される。また、空気の
一部は、排気空気口10から排気ファン13、圧力調節用弁
14を通過して、排気口15から排気されるが、この際絶対
圧力対象室８内の絶対圧力計16の信号を受けて、圧力調
節用弁14の弁開度調節がなされ、これによって該絶対圧
力対象室８内の絶対圧力が一定に保たれるように制御さ
れる。
は、循環空気口９から風量調節用弁22、風量検出器23を
通過して空気調和機５の入口側に送られるが、この際、
風量検出器23の信号を受けて調節器24により風量調節用
弁22の弁開度調節がなされ、これによって循環空気量は
設定風量に等しくなるように設定される。また、空気の
一部は、排気空気口10から排気ファン13、圧力調節用弁
14を通過して、排気口15から排気されるが、この際絶対
圧力対象室８内の絶対圧力計16の信号を受けて、圧力調
節用弁14の弁開度調節がなされ、これによって該絶対圧
力対象室８内の絶対圧力が一定に保たれるように制御さ
れる。
以上のように構成された本実施例装置にあっては、絶対
圧力対象室８内への取入外気の圧力が、外気の気圧変動
にかかわらず、略一定に制御されているため、排気側の
弁開度調節によって行われる室内圧力調節を非常に小さ
な変動幅で制御すればよいことになり、これによって、
高い制御精度で絶対圧力対象室８内の絶対圧力を設定値
に保つことができる。
圧力対象室８内への取入外気の圧力が、外気の気圧変動
にかかわらず、略一定に制御されているため、排気側の
弁開度調節によって行われる室内圧力調節を非常に小さ
な変動幅で制御すればよいことになり、これによって、
高い制御精度で絶対圧力対象室８内の絶対圧力を設定値
に保つことができる。
また、特性の等しい圧力調節用弁19、14を、給気側、排
気側に備えており、これによって、絶対圧力対象室８内
への出入時における扉の開閉や、該室８内に配置された
排気装置から室外への排気などの内乱に対しても短時間
で設定圧力に回復できるという効果がある。
気側に備えており、これによって、絶対圧力対象室８内
への出入時における扉の開閉や、該室８内に配置された
排気装置から室外への排気などの内乱に対しても短時間
で設定圧力に回復できるという効果がある。
以上説明したように本発明に係る絶対圧力制御装置によ
れば、絶対圧力対象室内に吹きだした空気を調和して再
び該室内に戻す空気調和機と、この空気調和機に空気調
和した取入外気を送る外気ファンと、前記室内の空気を
予け設定した絶対圧力に保持するように室外に排気する
排気系とを備えた絶対圧力制御装置において、前記絶対
圧力対象室内からの循環空気の合流点より上流側にて前
記空気調和機に送る取入外気の圧力を検出する絶対圧力
計と、該絶対圧力計の上流側に設置された圧力調節用弁
と、前記絶対圧力計の信号を受け、該圧力調節用弁の弁
開度を前記合流する循環空気の絶対圧力と略等しく定め
た設定圧力になるように調節する調節器とを備えた構成
としたので、特に、室内循環空気に混合される以前に取
入外気を室内に循環している調和空気の絶対圧力に調整
して導入することができるので、外気圧の変動を吸収し
て外乱圧力が循環系に混合することが防止され、したが
って、絶対圧力対象室内の絶対圧力を精密に制御でき、
しかも絶対圧力対象室への出入り及び該室からの排気等
の内乱に対しても速やかに設定圧力に回復することがで
きるという優れた効果を奏する。
れば、絶対圧力対象室内に吹きだした空気を調和して再
び該室内に戻す空気調和機と、この空気調和機に空気調
和した取入外気を送る外気ファンと、前記室内の空気を
予け設定した絶対圧力に保持するように室外に排気する
排気系とを備えた絶対圧力制御装置において、前記絶対
圧力対象室内からの循環空気の合流点より上流側にて前
記空気調和機に送る取入外気の圧力を検出する絶対圧力
計と、該絶対圧力計の上流側に設置された圧力調節用弁
と、前記絶対圧力計の信号を受け、該圧力調節用弁の弁
開度を前記合流する循環空気の絶対圧力と略等しく定め
た設定圧力になるように調節する調節器とを備えた構成
としたので、特に、室内循環空気に混合される以前に取
入外気を室内に循環している調和空気の絶対圧力に調整
して導入することができるので、外気圧の変動を吸収し
て外乱圧力が循環系に混合することが防止され、したが
って、絶対圧力対象室内の絶対圧力を精密に制御でき、
しかも絶対圧力対象室への出入り及び該室からの排気等
の内乱に対しても速やかに設定圧力に回復することがで
きるという優れた効果を奏する。
第１図は本発明に係る絶対圧力制御装置の一実施例を示
す概略構成図、第２図は従来装置の一例を示す概略構成
図である。 ３……外気ファン、５……空気調和機、８……絶対圧力
対象室、10……排気空気口、14、19……圧力調整用弁、
16、21……絶対圧力計、17、20……調節器。
す概略構成図、第２図は従来装置の一例を示す概略構成
図である。 ３……外気ファン、５……空気調和機、８……絶対圧力
対象室、10……排気空気口、14、19……圧力調整用弁、
16、21……絶対圧力計、17、20……調節器。
Claims (1)
- 【請求項１】絶対圧力対象室内に吹きだした空気を調和
して再び該絶対圧力対象室内に戻す空気調和機と、この
空気調和機に空気調和した取入外気を送る外気ファン
と、前記室内の空気を予め設定した絶対圧力に保持する
ように室外に排気する排気系とを備えた絶対圧力制御装
置において、前記絶対圧力対象室内からの循環空気の合
流点の上流側に、かつ前記外気ファンの下流側に設けら
れ、前記空気調和機に送る取入外気の圧力を検出する絶
対圧力計と、該絶対圧力計と前記外気ファン間に設置さ
れた圧力調節用弁と、前記絶対圧力計の信号を受け、該
圧力調節用弁の弁開度を前記下流側で合流する循環空気
の絶対圧力と略等しく定めた設定圧力になるように調節
する調節器とを備えたことを特徴とする絶対圧力制御装
置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP63076852A JPH0668407B2 (ja) | 1988-03-30 | 1988-03-30 | 絶対圧力制御装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP63076852A JPH0668407B2 (ja) | 1988-03-30 | 1988-03-30 | 絶対圧力制御装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH01252841A JPH01252841A (ja) | 1989-10-09 |
| JPH0668407B2 true JPH0668407B2 (ja) | 1994-08-31 |
Family
ID=13617184
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP63076852A Expired - Fee Related JPH0668407B2 (ja) | 1988-03-30 | 1988-03-30 | 絶対圧力制御装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0668407B2 (ja) |
Family Cites Families (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS6064145A (ja) * | 1983-09-20 | 1985-04-12 | Asahi Kogyosha:Kk | 同一空気系内複数室の各室を特定室内圧に保持する給排気制御方式 |
| JPH0648102B2 (ja) * | 1987-10-09 | 1994-06-22 | 高砂熱学工業株式会社 | 室内気圧制御空調換気設備 |
-
1988
- 1988-03-30 JP JP63076852A patent/JPH0668407B2/ja not_active Expired - Fee Related
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH01252841A (ja) | 1989-10-09 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |