JPH01255308A - 圧電振動子の周波数調製方法 - Google Patents
圧電振動子の周波数調製方法Info
- Publication number
- JPH01255308A JPH01255308A JP8273988A JP8273988A JPH01255308A JP H01255308 A JPH01255308 A JP H01255308A JP 8273988 A JP8273988 A JP 8273988A JP 8273988 A JP8273988 A JP 8273988A JP H01255308 A JPH01255308 A JP H01255308A
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- piezoelectric
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- electrode
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- Piezo-Electric Or Mechanical Vibrators, Or Delay Or Filter Circuits (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔概要〕
ストリップ型圧電体の共振周波数を調整する新規方法に
際し、 共振周波数の調整幅を拡大させることを目的とし、 ストリップ型圧電体の対向主面の長さ方向の少なくとも
中間部に、該主面の全幅に渡る電極を被着し、少なくと
も一方の該主面の長さ方向の一辺を含む稜線に沿って、
該圧電体の一部分および一方の該主面に形成した該電極
の一部分を全長に渡り除去する構成とする。
際し、 共振周波数の調整幅を拡大させることを目的とし、 ストリップ型圧電体の対向主面の長さ方向の少なくとも
中間部に、該主面の全幅に渡る電極を被着し、少なくと
も一方の該主面の長さ方向の一辺を含む稜線に沿って、
該圧電体の一部分および一方の該主面に形成した該電極
の一部分を全長に渡り除去する構成とする。
本発明は振動子の共振周波数を調整する方法の改良に関
する。
する。
水晶やタンタル酸すチューム（ＬｉＴａ０３）等の圧電
体に適当な電極を形成し、この電極に交流電界を印加す
ると、圧電体は印加電界と等しい周波数の応力が生じ、
かつ印加電界の周波数が圧電体の固有周波数に一敗する
と共振し強勢な振動が得られる。かかる現象を利用した
振動子は、高性能であるため通信装置の発振回路、フィ
ルタ、遅延線等として広く用いられている。
体に適当な電極を形成し、この電極に交流電界を印加す
ると、圧電体は印加電界と等しい周波数の応力が生じ、
かつ印加電界の周波数が圧電体の固有周波数に一敗する
と共振し強勢な振動が得られる。かかる現象を利用した
振動子は、高性能であるため通信装置の発振回路、フィ
ルタ、遅延線等として広く用いられている。
特に、電子機器の小形化、薄形化および軽量化が進む中
で、チップ化の要求が強まっている部品の一つに数Ｍ
Ｉｌｚ〜数＋Ｍ ｔｌｚの振動子がある。かかる要求に
対し、電気−機械結合係数の大きいＬｉＴａ０ｊやＬｉ
Ｎｂ０＋の単結晶を用いたストリップ形圧電振動子は、
水晶を用いたものでは不可能とされていた高周波領域が
実現される。
で、チップ化の要求が強まっている部品の一つに数Ｍ
Ｉｌｚ〜数＋Ｍ ｔｌｚの振動子がある。かかる要求に
対し、電気−機械結合係数の大きいＬｉＴａ０ｊやＬｉ
Ｎｂ０＋の単結晶を用いたストリップ形圧電振動子は、
水晶を用いたものでは不可能とされていた高周波領域が
実現される。
一般に圧電振動子は、所定の単結晶板より圧電体を切り
出し、該圧電体の対向主面に適宜の電極を被着形成し作
成されるが、かかる加工技術だけで所望の周波数を得る
ことが困難であり、周波数調整の工程が必要であり、周
波数調整には対向主面に形成した電極の質量効果を利用
する方法と、圧電体の対向主面にそれぞれ形成させた電
極の対向長さを変える方法がある。
出し、該圧電体の対向主面に適宜の電極を被着形成し作
成されるが、かかる加工技術だけで所望の周波数を得る
ことが困難であり、周波数調整の工程が必要であり、周
波数調整には対向主面に形成した電極の質量効果を利用
する方法と、圧電体の対向主面にそれぞれ形成させた電
極の対向長さを変える方法がある。
第３図は周波数調整前の圧電振動素子を示す斜視図、第
４図は圧電振動素子の共振周波数を調整する従来方法の
代表例を示す側面図である。
４図は圧電振動素子の共振周波数を調整する従来方法の
代表例を示す側面図である。
第３図において、圧電振動素子１は圧電体２の対向主面
のそれぞれに圧電体２の中間部の全幅に渡る電極３また
は４を形成してなる。電極３および４は、圧電体２の一
方または他方の端部に向けて引き出しパターン３ａ、４
ａを具え、圧電振動素子１の共振周波数は、電極３およ
び４の質量、電極３および４の対向長さｌに関係する。
のそれぞれに圧電体２の中間部の全幅に渡る電極３また
は４を形成してなる。電極３および４は、圧電体２の一
方または他方の端部に向けて引き出しパターン３ａ、４
ａを具え、圧電振動素子１の共振周波数は、電極３およ
び４の質量、電極３および４の対向長さｌに関係する。
第４図（イ）において、圧電振動素子１ａは電極３の一
部分３ｂを機械的または化学的等の手段で除去する、即
ち電極３の質量を減らして発振周波数を高め、所望の共
振周波数を得たものである。
部分３ｂを機械的または化学的等の手段で除去する、即
ち電極３の質量を減らして発振周波数を高め、所望の共
振周波数を得たものである。
第４図（ＥＴ）において、圧電振動素子１ｂは電極３に
めっきまたは蒸着等の手段で導体層３Ｃを積層させる、
即ち電極３の質量を増やして共振周波数を低下せしめ、
所望の発振周波数を得たものである。
めっきまたは蒸着等の手段で導体層３Ｃを積層させる、
即ち電極３の質量を増やして共振周波数を低下せしめ、
所望の発振周波数を得たものである。
第４図（ハ）において、圧電振動素子ＩＣは電極３の左
端部３ｄをレーザ等にて切り離す、即ち電極３の質量を
減らすと共に電極３と４の対向長さをΔｌたけ減少せし
め、所望の共振周波数を得たものである。
端部３ｄをレーザ等にて切り離す、即ち電極３の質量を
減らすと共に電極３と４の対向長さをΔｌたけ減少せし
め、所望の共振周波数を得たものである。
以上説明したように従来の周波数調整は、一般に電極の
ｌｉｔ効果または対向長さを利用する方法で行っている
が、これらの方法の周波数調整幅の限界は約１％であり
、１％を越えた周波数調整は、共振抵抗の増大によって
非実用的であるという問題点があった。
ｌｉｔ効果または対向長さを利用する方法で行っている
が、これらの方法の周波数調整幅の限界は約１％であり
、１％を越えた周波数調整は、共振抵抗の増大によって
非実用的であるという問題点があった。
本発明の目的は、共振抵抗の増大を従来方法のものと同
程度に抑え、共振周波数の調整幅を拡大させることであ
る。
程度に抑え、共振周波数の調整幅を拡大させることであ
る。
上記目的は第１図によれば、圧電体１２の対向主面の長
さ方向の少なくとも中間部に、該主面の全幅に渡る電極
１３．１４を被着し、 少なくとも一方の主面１２ａの長さ方向の一辺を含む稜
ＩＪｔ２ｂに沿って、圧電体１２の一部分および主面１
２ａに形成した電極１３の一部分を全長に渡り除去する
ことを特徴とした圧電振動子の周波数調整方法である。
さ方向の少なくとも中間部に、該主面の全幅に渡る電極
１３．１４を被着し、 少なくとも一方の主面１２ａの長さ方向の一辺を含む稜
ＩＪｔ２ｂに沿って、圧電体１２の一部分および主面１
２ａに形成した電極１３の一部分を全長に渡り除去する
ことを特徴とした圧電振動子の周波数調整方法である。
上記手段によれば、周波数調整に伴う共振抵抗の増加率
が低減し、従来方法より周波数調整幅を拡大できる。
が低減し、従来方法より周波数調整幅を拡大できる。
以下に図面を用いて本発明方法の実施例を説明する。
第１図は本発明方法の一実施例による圧電振動素子の斜
視図、第２図は第１図に示す圧電振動素子における共振
抵抗と共振周波数変化率の関係を示す図である。
視図、第２図は第１図に示す圧電振動素子における共振
抵抗と共振周波数変化率の関係を示す図である。
第１図において、圧電振動素子１１はＬｉＴａ０．にて
なる圧電体１２の一方の主面（上面）１２ａにその中間
部の全幅に渡る電極１３を■し、図示されない他方の主
面（下面）の中間部の全幅に渡る電極１４を形成し、Ｔ
、極１３および１４は、圧電体２の長さ方向の一端に向
けて引き出しパターン１３ａ、１４ａを具え、圧電振動
素子１１の共振周波数を所定値にする周波数調整は、周
波数調整前における主面１２ａの長さ方向の一辺を含む
稜線（図中の一点鎖り’１）１２ｂに沿って、圧電体１
２および電極１３の一部分を例えば機械的手段で除去し
てなる。
なる圧電体１２の一方の主面（上面）１２ａにその中間
部の全幅に渡る電極１３を■し、図示されない他方の主
面（下面）の中間部の全幅に渡る電極１４を形成し、Ｔ
、極１３および１４は、圧電体２の長さ方向の一端に向
けて引き出しパターン１３ａ、１４ａを具え、圧電振動
素子１１の共振周波数を所定値にする周波数調整は、周
波数調整前における主面１２ａの長さ方向の一辺を含む
稜線（図中の一点鎖り’１）１２ｂに沿って、圧電体１
２および電極１３の一部分を例えば機械的手段で除去し
てなる。
第２図において、縦軸は共振抵抗値Ｒｓ（Ω）、横軸は
共振周波数の変化率（％）であり、本発明方法による特
性はプロットした測定値を実線で接いで示すように、共
振周波数の変化率を２％にしたとき、共振抵抗値は約９
０Ω増えて１００Ω程度になる。しかし、従来方法によ
る特性はプロットした測定値を破線で接いで示すように
、共振周波数の変化率を１％にしたとき、共振抵抗値は
約９０Ω増えて１００Ω程度となり、共振周波数の変化
率を１．５％にすると共振抵抗値は約２００Ωである。
共振周波数の変化率（％）であり、本発明方法による特
性はプロットした測定値を実線で接いで示すように、共
振周波数の変化率を２％にしたとき、共振抵抗値は約９
０Ω増えて１００Ω程度になる。しかし、従来方法によ
る特性はプロットした測定値を破線で接いで示すように
、共振周波数の変化率を１％にしたとき、共振抵抗値は
約９０Ω増えて１００Ω程度となり、共振周波数の変化
率を１．５％にすると共振抵抗値は約２００Ωである。
実用的な圧電振動素子の共振抵抗値が１００Ω程度であ
るとき、本発明方法による圧電振動素子は２％程度の周
波数調整が可能であるのに対し、従来方法による圧電振
動素子の周波数調整は１％程度の周波数調整が限度であ
る。
るとき、本発明方法による圧電振動素子は２％程度の周
波数調整が可能であるのに対し、従来方法による圧電振
動素子の周波数調整は１％程度の周波数調整が限度であ
る。
以上説明したように本発明方法によれば、周波数調整に
伴う共振抵抗の増加率が従来方法より低減し、周波数調
整幅を従来よりも２倍程度に拡大した効果がある。
伴う共振抵抗の増加率が従来方法より低減し、周波数調
整幅を従来よりも２倍程度に拡大した効果がある。
第１図は本発明方法の一実施例による圧電振動素子の斜
視図、 第２図は第１図に示す圧電振動素子における共振抵抗と
共振周波数変化率の関係を示す図、 第３図は周波数調整前の圧電振動素子を示す斜視図、 第４図は圧電振動素子の共振周波数を調整する従来方法
の代表例を示す側面図、 である。 図中において、 １１は圧電振動子、 １２は圧電体、１２ａは主面、
１２ｂは稜線、１３、１４ は電極、 を示す。 代理人 弁理士 井 桁 貞 −
視図、 第２図は第１図に示す圧電振動素子における共振抵抗と
共振周波数変化率の関係を示す図、 第３図は周波数調整前の圧電振動素子を示す斜視図、 第４図は圧電振動素子の共振周波数を調整する従来方法
の代表例を示す側面図、 である。 図中において、 １１は圧電振動子、 １２は圧電体、１２ａは主面、
１２ｂは稜線、１３、１４ は電極、 を示す。 代理人 弁理士 井 桁 貞 −
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 ストリップ型圧電体（１２）の対向主面の長さ方向の少
なくとも中間部に、該主面の全幅に渡る電極（１３，１
４）を被着し、 少なくとも一方の該主面（１２ａ）の長さ方向の一辺を
含む稜線（１２ｂ）に沿って、該圧電体（１２）の一部
分および一方の該主面（１２ａ）に形成した該電極（１
３）の一部分を全長に渡り除去することを特徴とした圧
電振動子の周波数調整方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP8273988A JPH01255308A (ja) | 1988-04-04 | 1988-04-04 | 圧電振動子の周波数調製方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP8273988A JPH01255308A (ja) | 1988-04-04 | 1988-04-04 | 圧電振動子の周波数調製方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH01255308A true JPH01255308A (ja) | 1989-10-12 |
Family
ID=13782785
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP8273988A Pending JPH01255308A (ja) | 1988-04-04 | 1988-04-04 | 圧電振動子の周波数調製方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH01255308A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH03149913A (ja) * | 1989-11-06 | 1991-06-26 | Fujitsu Ltd | 圧電振動子 |
Citations (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS53131786A (en) * | 1977-04-21 | 1978-11-16 | Toshiba Corp | Frequency adjustment method of thickness slip vibrator |
| JPS60200605A (ja) * | 1984-03-26 | 1985-10-11 | Sanyo Electric Co Ltd | 圧電振動子の周波数調製法 |
| JPS60206311A (ja) * | 1984-03-30 | 1985-10-17 | Sanyo Electric Co Ltd | 圧電振動子の周波数調整法 |
-
1988
- 1988-04-04 JP JP8273988A patent/JPH01255308A/ja active Pending
Patent Citations (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS53131786A (en) * | 1977-04-21 | 1978-11-16 | Toshiba Corp | Frequency adjustment method of thickness slip vibrator |
| JPS60200605A (ja) * | 1984-03-26 | 1985-10-11 | Sanyo Electric Co Ltd | 圧電振動子の周波数調製法 |
| JPS60206311A (ja) * | 1984-03-30 | 1985-10-17 | Sanyo Electric Co Ltd | 圧電振動子の周波数調整法 |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH03149913A (ja) * | 1989-11-06 | 1991-06-26 | Fujitsu Ltd | 圧電振動子 |
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