JPH0213007A - ＬｉＴａＯ↓３厚みすべり振動子 - Google Patents
ＬｉＴａＯ↓３厚みすべり振動子Info
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- JPH0213007A JPH0213007A JP16186388A JP16186388A JPH0213007A JP H0213007 A JPH0213007 A JP H0213007A JP 16186388 A JP16186388 A JP 16186388A JP 16186388 A JP16186388 A JP 16186388A JP H0213007 A JPH0213007 A JP H0213007A
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- Japan
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- 239000013078 crystal Substances 0.000 claims abstract description 9
- 229910012463 LiTaO3 Inorganic materials 0.000 abstract description 7
- 230000008878 coupling Effects 0.000 abstract description 2
- 238000010168 coupling process Methods 0.000 abstract description 2
- 238000005859 coupling reaction Methods 0.000 abstract description 2
- 238000003776 cleavage reaction Methods 0.000 abstract 1
- 230000003247 decreasing effect Effects 0.000 abstract 1
- 230000007017 scission Effects 0.000 abstract 1
- 238000000034 method Methods 0.000 description 5
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 3
- 238000013016 damping Methods 0.000 description 2
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 2
- 238000000605 extraction Methods 0.000 description 2
- 241001391944 Commicarpus scandens Species 0.000 description 1
- 230000002457 bidirectional effect Effects 0.000 description 1
- 230000000052 comparative effect Effects 0.000 description 1
- 238000005520 cutting process Methods 0.000 description 1
- 230000006866 deterioration Effects 0.000 description 1
- 230000002349 favourable effect Effects 0.000 description 1
- 238000007740 vapor deposition Methods 0.000 description 1
Landscapes
- Piezo-Electric Or Mechanical Vibrators, Or Delay Or Filter Circuits (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
［産業上の利用分野］
本発明は、ＬｔＴａＯ，厚みすべり振動子、特に、Ｌｉ
Ｔａ０ａ圧電単結晶のストリップ状のＸ板からなるＬｉ
ＴａＯ３厚みすべり振動子に関する。
Ｔａ０ａ圧電単結晶のストリップ状のＸ板からなるＬｉ
ＴａＯ３厚みすべり振動子に関する。
［従来の技術］
ＬｉＴａＯ３圧電単結晶のストリップ状のＸ板からなる
従来の厚みすべり振動子は、たとえば特開昭５９−６２
２０７号に記載されているように、その長辺方向がＹ軸
から時計方向に５０°±４゜回転した方向に設定されて
いる。
従来の厚みすべり振動子は、たとえば特開昭５９−６２
２０７号に記載されているように、その長辺方向がＹ軸
から時計方向に５０°±４゜回転した方向に設定されて
いる。
［発明が解決しようとする課題］
ところが、ＬｉＴａ０１のＸ板は、Ｙ軸から時計方向に
５７°回転した方向に男開面を持つ。このため、前記従
来の構成では、素子を切出す際に臂開面で割れやすく、
加工しにくいという欠点があった。
５７°回転した方向に男開面を持つ。このため、前記従
来の構成では、素子を切出す際に臂開面で割れやすく、
加工しにくいという欠点があった。
本発明の第１の目的は、加工しやすく良好な特性を有す
る厚みすべり振動子を容易に得ることができる１ｉＴａ
ｏ、厚みすべり振動子を提供することにある。また、さ
らに別の目的は、そのような厚みすべり振動子を得た場
合に、スプリアスの抑制を十分図ることのできる形状を
得ることにある。
る厚みすべり振動子を容易に得ることができる１ｉＴａ
ｏ、厚みすべり振動子を提供することにある。また、さ
らに別の目的は、そのような厚みすべり振動子を得た場
合に、スプリアスの抑制を十分図ることのできる形状を
得ることにある。
［課題を解決するための手段］
第１の発明に係るＬｉＴａＯ３厚みすべり振動子は、Ｌ
ｉＴａＯ３圧電単結晶のストリップ状のＸ板からなり、
振動子の長辺方向が、Ｙ軸から時計方向に５６．５゜〜
５７．５°の範囲に設定されている。
ｉＴａＯ３圧電単結晶のストリップ状のＸ板からなり、
振動子の長辺方向が、Ｙ軸から時計方向に５６．５゜〜
５７．５°の範囲に設定されている。
第２の発明に係るＬｉＴａＯ３厚みすべり振動子は、前
記第１の発明に係る厚みすべり振動子であって、振動子
の幅をＷ１厚さをＴとした場合に、幅と厚さの比Ｗ／Ｔ
が１．５〜２．０の範囲に設定されている。
記第１の発明に係る厚みすべり振動子であって、振動子
の幅をＷ１厚さをＴとした場合に、幅と厚さの比Ｗ／Ｔ
が１．５〜２．０の範囲に設定されている。
［作用］
ＬｉＴａＯ３は、上述のようにＹ軸から時計方向に５７
°回転した方向に襞間面を有している。
°回転した方向に襞間面を有している。
したがって、本発明に係る厚みすべり振動子は、その長
辺方向が概ね襞間面に沿っていることになる。このため
、ＬｉＴａＯ３単結晶から厚みすべり振動子を加工する
場合に、加工が容易となり、小型で良好な特性を有する
厚みすべり振動子を得ることができるようになる。
辺方向が概ね襞間面に沿っていることになる。このため
、ＬｉＴａＯ３単結晶から厚みすべり振動子を加工する
場合に、加工が容易となり、小型で良好な特性を有する
厚みすべり振動子を得ることができるようになる。
また、第２の発明によれば、上述のような加工容易性に
加えて、スプリアスが抑制された良好な特性が得られる
ようになる。
加えて、スプリアスが抑制された良好な特性が得られる
ようになる。
［実施例コ
第１図は、本発明に係る厚みすべり振動子の斜視図であ
る。
る。
第１図において、厚みすべり振動子本体１はＬｉＴａｏ
ａ単結晶からなり、ストリップ状に形成されている。厚
みすべり振動子本体１の両生面には、それぞれ中央部に
振動電極２が形成されている。また、振動電極２から振
動子端部に向けてそれぞれ逆方向に延びる引出電極３が
形成されており、引出電極３の先端部には端子電極４が
それぞれ形成されている。
ａ単結晶からなり、ストリップ状に形成されている。厚
みすべり振動子本体１の両生面には、それぞれ中央部に
振動電極２が形成されている。また、振動電極２から振
動子端部に向けてそれぞれ逆方向に延びる引出電極３が
形成されており、引出電極３の先端部には端子電極４が
それぞれ形成されている。
第１図に示す厚みすべり振動子は、長さをＬ１幅をＷ、
厚さをＴとした場合に、次のような関係を満足するよう
にそれぞれが設定されている。
厚さをＴとした場合に、次のような関係を満足するよう
にそれぞれが設定されている。
長さと厚さの比Ｌ／Ｔ≧１０
幅と厚さの比Ｗ／Ｔ−１，５〜２．０
この厚みすべり振動子は、その両生面がＸ軸と直角な方
向に延びる平面に設定されており、したかってこの振動
子はＸ、＆となっている。また、第２図にし示すように
、厚みすべり振動子の、長辺方向Ａは、Ｙ軸から時計方
向に測定した角度θが５６．５゜〜５７．５°の範囲に
設定されている。
向に延びる平面に設定されており、したかってこの振動
子はＸ、＆となっている。また、第２図にし示すように
、厚みすべり振動子の、長辺方向Ａは、Ｙ軸から時計方
向に測定した角度θが５６．５゜〜５７．５°の範囲に
設定されている。
なお、この実施例に係る厚みすべり振動子を作製する場
合には、ＬｉＴａＯ３単結晶から、振動子の長辺方向が
Ｙ軸から時計方向に５６．５゜〜５７．５°の範囲にな
るように加工する。この長辺の方向は、概ねＬｉＴａＯ
３単結晶の襞間面に一致することから、加工が容易かつ
正確に行なえる。ストリップ状のＸ板を得た後に、両生
面に蒸着法などを用いて各電極２．３．４を形成する。
合には、ＬｉＴａＯ３単結晶から、振動子の長辺方向が
Ｙ軸から時計方向に５６．５゜〜５７．５°の範囲にな
るように加工する。この長辺の方向は、概ねＬｉＴａＯ
３単結晶の襞間面に一致することから、加工が容易かつ
正確に行なえる。ストリップ状のＸ板を得た後に、両生
面に蒸着法などを用いて各電極２．３．４を形成する。
これによって、厚みすべり振動子を得ることができる。
上述の製造方法に従って、幅と厚さの比Ｗ／Ｔを１．８
に設定して得られた厚みすべり振動子の周波数−インピ
ーダンス特性を第３図に示す。−方、同様の製造方法に
基づき、幅と厚さの比Ｗ／Ｔを２．１に設定した場合の
周波数−インピーダンス特性を第４図に示す。第３図お
よび第４図を比較すれば明らかなように、本発明に係る
実施例によれば、スプリアスが少なく良好な特性を有す
る素子が得られることがわかる。なお、幅と厚さの比Ｗ
／Ｔの範囲が１．５〜２．０を逸脱した場合には、スプ
リアスが強く発生し、良好な特性が得られなかった。
に設定して得られた厚みすべり振動子の周波数−インピ
ーダンス特性を第３図に示す。−方、同様の製造方法に
基づき、幅と厚さの比Ｗ／Ｔを２．１に設定した場合の
周波数−インピーダンス特性を第４図に示す。第３図お
よび第４図を比較すれば明らかなように、本発明に係る
実施例によれば、スプリアスが少なく良好な特性を有す
る素子が得られることがわかる。なお、幅と厚さの比Ｗ
／Ｔの範囲が１．５〜２．０を逸脱した場合には、スプ
リアスが強く発生し、良好な特性が得られなかった。
このように、本発明に係る実施例によれば、振動子の長
辺方向が襞間面と概ね一致しているため、加工時の割れ
などを減少させることができる。また、電気機械結合係
数が大きく、スプリアスも少ない良好な厚みすべり振動
子を得ることができる。
辺方向が襞間面と概ね一致しているため、加工時の割れ
などを減少させることができる。また、電気機械結合係
数が大きく、スプリアスも少ない良好な厚みすべり振動
子を得ることができる。
特に、幅と厚さの比Ｗ／Ｔを１．５〜２．０の範囲に設
定した場合には、さらに好ましい特性が得られる。また
、幅と厚さの比の限定に加えて、長さと厚さの比Ｌ／Ｔ
を１０以上に設定すれば、振動ダンピングによる特性劣
化を無視できるようになる。長さと厚さの比Ｌ／Ｔが１
０未満であれば、振動ダンピングが無視できなくなる。
定した場合には、さらに好ましい特性が得られる。また
、幅と厚さの比の限定に加えて、長さと厚さの比Ｌ／Ｔ
を１０以上に設定すれば、振動ダンピングによる特性劣
化を無視できるようになる。長さと厚さの比Ｌ／Ｔが１
０未満であれば、振動ダンピングが無視できなくなる。
また、比Ｌ／Ｔが２０を超えると、寸法の点で難がある
。
。
［発明の効果］
第１の発明によれば、振動子の長辺方向をＹ軸から時計
方向に５６．５゜〜５７．５°の範囲に設定したので、
加工が容易で良好な特性を得ることのできるＬｉＴａＯ
３厚みすべり振動子が得られるようになる。
方向に５６．５゜〜５７．５°の範囲に設定したので、
加工が容易で良好な特性を得ることのできるＬｉＴａＯ
３厚みすべり振動子が得られるようになる。
第２の発明によれば、第１の発明による効果に加えて、
幅と厚さの比Ｗ／Ｔを１．５〜２． ０の範囲に設定し
たことから、さらに好ましい特性を有する小型のＬｉＴ
ａＯ３厚みすべり振動子が得られるようになる。
幅と厚さの比Ｗ／Ｔを１．５〜２． ０の範囲に設定し
たことから、さらに好ましい特性を有する小型のＬｉＴ
ａＯ３厚みすべり振動子が得られるようになる。
第１図は、本発明に係る厚みすべり振動子の斜視図であ
る。第２図は、その振動子の長辺方向を示す平面図であ
る。第３図は、一実施例の周波数−インピーダンス特性
を示すグラフである。第４図は、比較例の第３図に相当
するグラフである。 １は厚みすべり振動子本体、Ｌは長さ、Ｗは幅、Ｔは厚
さである。 特許出願人 株式会社村田製作所 第１ 図
る。第２図は、その振動子の長辺方向を示す平面図であ
る。第３図は、一実施例の周波数−インピーダンス特性
を示すグラフである。第４図は、比較例の第３図に相当
するグラフである。 １は厚みすべり振動子本体、Ｌは長さ、Ｗは幅、Ｔは厚
さである。 特許出願人 株式会社村田製作所 第１ 図
Claims (2)
- （１）ＬｉＴａＯ＿３圧電単結晶のストリップ状のＸ板
からなるＬｉＴａＯ＿３厚みすべり振動子において、 振動子の長辺方向を、Ｙ軸から時計方向に５６．５゜〜
５７．５゜の範囲に設定した ＬｉＴａＯ＿３厚みすべり振動子。 - （２）前記振動子の幅をＷ、厚さをＴとした場合に、幅
と厚さの比Ｗ／Ｔを１．５〜２．０の範囲に設定した請
求項１記載のＬｉＴａＯ＿３厚みすべり振動子。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP16186388A JPH0213007A (ja) | 1988-06-29 | 1988-06-29 | ＬｉＴａＯ↓３厚みすべり振動子 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP16186388A JPH0213007A (ja) | 1988-06-29 | 1988-06-29 | ＬｉＴａＯ↓３厚みすべり振動子 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0213007A true JPH0213007A (ja) | 1990-01-17 |
Family
ID=15743394
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP16186388A Pending JPH0213007A (ja) | 1988-06-29 | 1988-06-29 | ＬｉＴａＯ↓３厚みすべり振動子 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0213007A (ja) |
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| EP0620640A1 (en) * | 1993-04-15 | 1994-10-19 | Murata Manufacturing Co., Ltd. | Piezoelectric filter |
| JP2001230654A (ja) * | 2000-02-16 | 2001-08-24 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 圧電振動素子およびその製造方法 |
| EP1363396A4 (en) * | 2001-02-19 | 2010-01-13 | Panasonic Corp | "PIEZOELECTRIC VIBRATOR, THIS PIEZOELECTRIC VIBRATOR USING THE LEAD TYPE FILTER AND PIEZOELECTRIC DOUBLE MODE FILTER" |
| JP2010062723A (ja) * | 2008-09-02 | 2010-03-18 | Epson Toyocom Corp | Ａｔカット水晶振動片、ａｔカット水晶振動子及び発振器 |
Citations (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS54126492A (en) * | 1978-03-24 | 1979-10-01 | Toshiba Corp | Production of ferrodielectric substance crystal element piece |
| JPS58190115A (ja) * | 1982-04-28 | 1983-11-07 | Fujitsu Ltd | 圧電振動子 |
| JPS5962207A (ja) * | 1982-10-01 | 1984-04-09 | Fujitsu Ltd | ＬｉＴａＯ↓３圧電ストリツプ振動子 |
-
1988
- 1988-06-29 JP JP16186388A patent/JPH0213007A/ja active Pending
Patent Citations (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS54126492A (en) * | 1978-03-24 | 1979-10-01 | Toshiba Corp | Production of ferrodielectric substance crystal element piece |
| JPS58190115A (ja) * | 1982-04-28 | 1983-11-07 | Fujitsu Ltd | 圧電振動子 |
| JPS5962207A (ja) * | 1982-10-01 | 1984-04-09 | Fujitsu Ltd | ＬｉＴａＯ↓３圧電ストリツプ振動子 |
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| EP0620640A1 (en) * | 1993-04-15 | 1994-10-19 | Murata Manufacturing Co., Ltd. | Piezoelectric filter |
| JP2001230654A (ja) * | 2000-02-16 | 2001-08-24 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 圧電振動素子およびその製造方法 |
| EP1363396A4 (en) * | 2001-02-19 | 2010-01-13 | Panasonic Corp | "PIEZOELECTRIC VIBRATOR, THIS PIEZOELECTRIC VIBRATOR USING THE LEAD TYPE FILTER AND PIEZOELECTRIC DOUBLE MODE FILTER" |
| JP2010062723A (ja) * | 2008-09-02 | 2010-03-18 | Epson Toyocom Corp | Ａｔカット水晶振動片、ａｔカット水晶振動子及び発振器 |
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