JPH01255826A - 光スイッチ - Google Patents
光スイッチInfo
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- JPH01255826A JPH01255826A JP8491588A JP8491588A JPH01255826A JP H01255826 A JPH01255826 A JP H01255826A JP 8491588 A JP8491588 A JP 8491588A JP 8491588 A JP8491588 A JP 8491588A JP H01255826 A JPH01255826 A JP H01255826A
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- optical
- prism
- optical fiber
- rectangular
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Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔概要〕
光スィッチにかかわり、特にプリズムを用いて光路を切
換える光スィッチに関し、 構成が簡単で光軸の調整を必要とない、小形で低コスト
の光スィッチを、提供することを目的とし、 透明体基板の中央部にエツチング形成した角孔と、それ
ぞれの入出射端面が該角孔の内壁に一致するように、該
透明体基板の表面に設けたT形の3条の溝の、選択した
溝に挿着されてなり、光軸が一致する如く対向して配設
された第1.第2の光ファイバ、及び光軸が該第1.第
2の光ファイバの光軸に直交するように、配設された第
3の光ファイバと、該第3の光ファイバに対向する該角
孔の内壁より光軸の交点に向かって、片持梁状で水平に
突出するよう、エツチングして設けた可撓性ある短冊形
支持片と、直交する2つの入出射面が該第1.第3の光
ファイバの光軸にそれぞれ直交するように、該短冊形支
持片の先端部に設けた直角プリズムと、該直角プリズム
の一方の端面。
換える光スィッチに関し、 構成が簡単で光軸の調整を必要とない、小形で低コスト
の光スィッチを、提供することを目的とし、 透明体基板の中央部にエツチング形成した角孔と、それ
ぞれの入出射端面が該角孔の内壁に一致するように、該
透明体基板の表面に設けたT形の3条の溝の、選択した
溝に挿着されてなり、光軸が一致する如く対向して配設
された第1.第2の光ファイバ、及び光軸が該第1.第
2の光ファイバの光軸に直交するように、配設された第
3の光ファイバと、該第3の光ファイバに対向する該角
孔の内壁より光軸の交点に向かって、片持梁状で水平に
突出するよう、エツチングして設けた可撓性ある短冊形
支持片と、直交する2つの入出射面が該第1.第3の光
ファイバの光軸にそれぞれ直交するように、該短冊形支
持片の先端部に設けた直角プリズムと、該直角プリズム
の一方の端面。
又は該短冊形支持片の先端部の一方の端面に、設けた箔
状の磁性体と、該磁性体を吸着することにより、該短冊
形支持片を湾曲させ、該直角プリズムと光軸の交点との
関係位置を、所望に切り換える電磁石とを備えた構成と
する。
状の磁性体と、該磁性体を吸着することにより、該短冊
形支持片を湾曲させ、該直角プリズムと光軸の交点との
関係位置を、所望に切り換える電磁石とを備えた構成と
する。
本発明は、光スィッチにかかわり、特にプリズムを用い
て光路を切換える光スィッチに関する。
て光路を切換える光スィッチに関する。
光伝送路として光ファイバが広く使用されるに伴い、こ
れらの光フアイバ間に装着する光スィッチにも、小形で
且つ低コストのことが要望されている。
れらの光フアイバ間に装着する光スィッチにも、小形で
且つ低コストのことが要望されている。
第4図は従来の光スィッチの平面図であって、第1.第
2.第3の3本の光ファイバ1−L 1−2.1−3の
それぞれの端末には、ファイバ・レンズアセンブリ3を
設けである。
2.第3の3本の光ファイバ1−L 1−2.1−3の
それぞれの端末には、ファイバ・レンズアセンブリ3を
設けである。
詳述すると、円筒形のホルダー4の軸心に段付孔を設け
、一方の微細径部に光ファイバの端末を挿着し、他方の
大径部にレンズ2を挿着して、ファイバ・レンズアセン
ブリを構成し、光ファイバの出射光を平行ビームにして
出射し、或いはレンズ2側から入射した光を集束して、
光ファイバに入射するようにしている。
、一方の微細径部に光ファイバの端末を挿着し、他方の
大径部にレンズ2を挿着して、ファイバ・レンズアセン
ブリを構成し、光ファイバの出射光を平行ビームにして
出射し、或いはレンズ2側から入射した光を集束して、
光ファイバに入射するようにしている。
7は、金属よりなる箱形のケースであって、ケース7の
選択した側壁に、第1の光ファイバ1−1を装着したフ
ァイバ・レンズアセンブリ3−1を装着し、対向する他
方の側壁に、第2の光ファイバ1−21i着したファイ
バ・レンズアセンブリ3−2を、光軸がファイバ・レン
ズアセンブリ3−1の光軸に一致するように配設しであ
る。
選択した側壁に、第1の光ファイバ1−1を装着したフ
ァイバ・レンズアセンブリ3−1を装着し、対向する他
方の側壁に、第2の光ファイバ1−21i着したファイ
バ・レンズアセンブリ3−2を、光軸がファイバ・レン
ズアセンブリ3−1の光軸に一致するように配設しであ
る。
また、この側壁には、ファイバ・レンズアセンブリ3−
2に水平に並列するように、第3の光ファイバ1−3を
装着したファイバ・レンズアセンブリ3−3を装着しで
ある。
2に水平に並列するように、第3の光ファイバ1−3を
装着したファイバ・レンズアセンブリ3−3を装着しで
ある。
第1の光ファイバ1−1の光軸上で、第2.第3の光フ
ァイバ1−2.1−3の前面にまたがるように、菱形プ
リズム5を装着しである。
ァイバ1−2.1−3の前面にまたがるように、菱形プ
リズム5を装着しである。
図示してない電磁石を駆動して、この菱形プリズム5の
装着位置を上下に移動することにより、第1の光ファイ
バ1−1の出射光の光路を、第2の光ファイバ1−2方
向、或いは第3の光ファイバ1−3方向に切換えるよう
なっている。
装着位置を上下に移動することにより、第1の光ファイ
バ1−1の出射光の光路を、第2の光ファイバ1−2方
向、或いは第3の光ファイバ1−3方向に切換えるよう
なっている。
詳述すると菱形プリズム5の垂直の端面が、ガイドされ
るように、ケース7の底板に垂直に一対のガイド柱6を
設け、菱形プリズム5の下面に磁性体板を固着し、この
磁性体板を吸着するように、ケース7の底板に電磁石(
図示せず)を装着しである。
るように、ケース7の底板に垂直に一対のガイド柱6を
設け、菱形プリズム5の下面に磁性体板を固着し、この
磁性体板を吸着するように、ケース7の底板に電磁石(
図示せず)を装着しである。
また、菱形プリズム5を光軸の高さに持ち上げ保持する
ように、菱形プリズム5の下方に圧縮コイルばね(図示
せず)を装着しである。
ように、菱形プリズム5の下方に圧縮コイルばね(図示
せず)を装着しである。
上述のように構成しであるので、電磁石を作動しないと
きは、第1の光ファイバ1−1の出射光は、菱形プリズ
ム5に入射し、第4図に示したように、菱形プリズム5
の2つの斜辺でそれぞれ反射して、2度光路を90度変
更して、第3の光ファイバ1−3に入射している。
きは、第1の光ファイバ1−1の出射光は、菱形プリズ
ム5に入射し、第4図に示したように、菱形プリズム5
の2つの斜辺でそれぞれ反射して、2度光路を90度変
更して、第3の光ファイバ1−3に入射している。
いま、電磁石を駆動して菱形プリズム5を降下させると
、第1の光ファイバ1−1 と第2の光ファイバ1−2
の光軸上から菱形プリズム5が排除されるので、第1の
光ファイバ1−1の出射光は直進して、第2の光ファイ
バ1−2に入射する。
、第1の光ファイバ1−1 と第2の光ファイバ1−2
の光軸上から菱形プリズム5が排除されるので、第1の
光ファイバ1−1の出射光は直進して、第2の光ファイ
バ1−2に入射する。
しかしながら上記従来の光スィッチは、光ファイバ系の
光軸調整作業が複雑で、時間がかかるという問題点があ
る。
光軸調整作業が複雑で、時間がかかるという問題点があ
る。
また、プリズム系のガイド機構が複雑で小形化の障害と
なるばかりでなく、コスト高になる恐れがあった。
なるばかりでなく、コスト高になる恐れがあった。
本発明はこのような点に鑑みて創作されたもので、構成
が簡単で光軸の調整を必要とない、小形で低コストの光
スィッチを提供することを目的としている。
が簡単で光軸の調整を必要とない、小形で低コストの光
スィッチを提供することを目的としている。
上記の目的を達成するために本発明は、第1図に例示し
たように、透明体基板10の中央部に角孔12と、角孔
12内に短冊形支持片13及び直角プリズム15をエツ
チングして設ける。
たように、透明体基板10の中央部に角孔12と、角孔
12内に短冊形支持片13及び直角プリズム15をエツ
チングして設ける。
一方、透明体基板100表面に、角孔12の中心でT形
に交叉する3条の溝11−1.11−2.11−3を設
け、入出射端面が角孔12の内壁に一致するように、溝
11−1に第1の光ファイバ1−1を、溝11−2に第
2の光ファイバ1−2を、溝11−3に第3の光ファイ
バ1−3を挿着する。
に交叉する3条の溝11−1.11−2.11−3を設
け、入出射端面が角孔12の内壁に一致するように、溝
11−1に第1の光ファイバ1−1を、溝11−2に第
2の光ファイバ1−2を、溝11−3に第3の光ファイ
バ1−3を挿着する。
短冊形支持片13は、第3の光ファイバ1−3に対向す
る角孔12の内壁より光軸の交点に向かって、片持梁状
で水平に突出するように設ける。
る角孔12の内壁より光軸の交点に向かって、片持梁状
で水平に突出するように設ける。
また、直角プリズム15は短冊形支持片13の先端部に
、直交する2つの入出射面が第1.第3の光ファイバ1
−1.1−3の光軸に、それぞれ直交するように設ける
ものとする。
、直交する2つの入出射面が第1.第3の光ファイバ1
−1.1−3の光軸に、それぞれ直交するように設ける
ものとする。
また、直角プリズム15の一方の端面、又は短冊形支持
片13の先端部の一方の端面に、箔状の磁性体16を設
ける。
片13の先端部の一方の端面に、箔状の磁性体16を設
ける。
さらに磁性体16を吸着することにより、短冊形支持片
13を湾曲させ、直角プリズム15と光軸の交点との関
係位置を所望に切り換える電磁石2oを、透明体基板1
0に近接して設けた構成とする。
13を湾曲させ、直角プリズム15と光軸の交点との関
係位置を所望に切り換える電磁石2oを、透明体基板1
0に近接して設けた構成とする。
上お本発明によれば、直交する2つの入出射面が第1.
第3の光ファイバ1−1.1−3の光軸にそれぞれ直交
している。したがって、第1の光ファイバ1−1より出
射した光は、直角プリズム15に入射し斜辺面で反射し
て、90度光路を変え、第3の光ファイバ1−3に入射
している。
第3の光ファイバ1−1.1−3の光軸にそれぞれ直交
している。したがって、第1の光ファイバ1−1より出
射した光は、直角プリズム15に入射し斜辺面で反射し
て、90度光路を変え、第3の光ファイバ1−3に入射
している。
いま、電磁石20を作動すると、磁性体16を吸着する
ような力が発生し、短冊形支持片13が撓む。
ような力が発生し、短冊形支持片13が撓む。
その結果、直角プリズム15が第1の光ファイバ1−1
の光路上から外れる。したがって、第1の光ファイバ1
−1の出射光は直進して、第2の光ファイバ1−2に入
射する。
の光路上から外れる。したがって、第1の光ファイバ1
−1の出射光は直進して、第2の光ファイバ1−2に入
射する。
即ち、電磁石20を駆動することにより、光路を所望に
切換えることができる。
切換えることができる。
上記のそれぞれ溝、角孔、短冊形支持片、及び直角プリ
ズムは、透明体基板をエツチングして設けたものである
ので、精度が高い。したがって、光フアイバ相互間、及
び光ファイバと直角プリズムとの間の光軸調整を全く必
要としない。
ズムは、透明体基板をエツチングして設けたものである
ので、精度が高い。したがって、光フアイバ相互間、及
び光ファイバと直角プリズムとの間の光軸調整を全く必
要としない。
また、電磁石20の吸引力により直角プリズムの位置を
移動させて光路を切換え、さらに電磁石20を断とし、
短冊形支持片13の復元力により、直角プリズムを元の
位置に復帰させている。即ち、構成素子が少なくて、小
形化が促進される。
移動させて光路を切換え、さらに電磁石20を断とし、
短冊形支持片13の復元力により、直角プリズムを元の
位置に復帰させている。即ち、構成素子が少なくて、小
形化が促進される。
以下図を参照しながら、本発明を具体的に説明する。な
お、全図を通じて同一符号は同一対象物を示す。
お、全図を通じて同一符号は同一対象物を示す。
第1図は、本発明の実施例の斜視図、第2図の(a−1
)、 (a−2)、 (b−1)、 (b−2)は、そ
れぞれ本発明の実施例の光路図、第3図は本発明の他の
実施例の要部斜視図である。
)、 (a−2)、 (b−1)、 (b−2)は、そ
れぞれ本発明の実施例の光路図、第3図は本発明の他の
実施例の要部斜視図である。
第1図において10は、例えばガラス板よりなる板厚が
数鶴の角形の透明体基板である。
数鶴の角形の透明体基板である。
透明体基板10の中央部に角孔12と、角孔12内にに
短冊形支持片13及び直角プリズム15をエツチングし
て設けである。
短冊形支持片13及び直角プリズム15をエツチングし
て設けである。
一方、透明体基板10の表面に、角孔12の対向する一
対の側壁の両側に、対向して軸心が一致する一対のU形
(またはV形)の溝11−1.11−2をエツチングし
て設け、さらに、角孔12の中心で軸心が前記の溝の軸
心に直交するように第3のU形(またはV形)の溝11
−3をエツチングして設け、入出射端面が角孔12の内
壁に一致するように、溝11−1に第1の光ファイバ1
−1を、溝11−2に第2の光ファイバ1−2を、溝1
1−3に第3の光ファイバ1−3を挿着しである。
対の側壁の両側に、対向して軸心が一致する一対のU形
(またはV形)の溝11−1.11−2をエツチングし
て設け、さらに、角孔12の中心で軸心が前記の溝の軸
心に直交するように第3のU形(またはV形)の溝11
−3をエツチングして設け、入出射端面が角孔12の内
壁に一致するように、溝11−1に第1の光ファイバ1
−1を、溝11−2に第2の光ファイバ1−2を、溝1
1−3に第3の光ファイバ1−3を挿着しである。
なお、これらの光ファイバは、シングルモード光ファイ
バである。
バである。
短冊形支持片13は、第3の光ファイバ1−3に対向す
る角孔12の内壁より、光軸の交点に向かつて片持梁状
に、水平に突出して設けである。この短冊形支持片13
の厚さは、10μm程度であって、弾性変形して上下方
向に屈曲し、撓み得るものである。
る角孔12の内壁より、光軸の交点に向かつて片持梁状
に、水平に突出して設けである。この短冊形支持片13
の厚さは、10μm程度であって、弾性変形して上下方
向に屈曲し、撓み得るものである。
そして、直角プリズム15は、短冊形支持片13の先端
の上面に、はぼ20μm程度の厚さで突出し、直交する
2つの入出射面が第1.第3の光ファイバ1〜1.1−
3の光軸に、それぞれ直交するように設けである。
の上面に、はぼ20μm程度の厚さで突出し、直交する
2つの入出射面が第1.第3の光ファイバ1〜1.1−
3の光軸に、それぞれ直交するように設けである。
直角プリズム15の上方の端面には、ニッケル箔を接着
したり、或いはニッケル膜を蒸着等して形成して、箔状
の磁性体16を設けである。
したり、或いはニッケル膜を蒸着等して形成して、箔状
の磁性体16を設けである。
さらに透明体基板10の上部には、角孔12に対応した
位置に電磁石20を設置して、コイルに通電した場合に
、電磁石20が磁性体16を吸着するように構成しであ
る。
位置に電磁石20を設置して、コイルに通電した場合に
、電磁石20が磁性体16を吸着するように構成しであ
る。
上述のように、直角プリズム15の直交する2つの入出
射面が、第1の光ファイバ1−1の光軸、第3の光ファ
イバ1−3の光軸に、それぞれ直交しているので、第2
図の(a −1) 、 (a−2)に示すように、第1
の光ファイバ1−1より出射した光は、直角プリズム1
5に入射し、直角プリズム15の斜辺面で反射して、9
0度光路を変えて、第3の光ファイバ1−3に入射して
いる。
射面が、第1の光ファイバ1−1の光軸、第3の光ファ
イバ1−3の光軸に、それぞれ直交しているので、第2
図の(a −1) 、 (a−2)に示すように、第1
の光ファイバ1−1より出射した光は、直角プリズム1
5に入射し、直角プリズム15の斜辺面で反射して、9
0度光路を変えて、第3の光ファイバ1−3に入射して
いる。
いま、電磁石20を作動させると、第2図のくb−1)
、 (b−2)に示すように、磁性体16が吸引され
て、短冊形支持片13が上方に湾曲して撓む。その結果
、直角プリズム15は第1の光ファイバ1−1の光軸を
外れた上方に移動する。したがって第1の光ファイバ1
−1の出射光は、短冊形支持片13の先端部(直角プリ
ズム15の下方)、即ち平行な境界面をもつ短冊形支持
片13の側面に直角に入射し、短冊形支持片13を透過
して直進して、第2の光ファイバ1−2に入射する。
、 (b−2)に示すように、磁性体16が吸引され
て、短冊形支持片13が上方に湾曲して撓む。その結果
、直角プリズム15は第1の光ファイバ1−1の光軸を
外れた上方に移動する。したがって第1の光ファイバ1
−1の出射光は、短冊形支持片13の先端部(直角プリ
ズム15の下方)、即ち平行な境界面をもつ短冊形支持
片13の側面に直角に入射し、短冊形支持片13を透過
して直進して、第2の光ファイバ1−2に入射する。
即ち、電磁石20を駆動することにより、光路を所望に
切換えることができる。
切換えることができる。
また、電磁石20を断とすると、短冊形支持片13が復
帰するので、直角プリズム15は元の位置に戻り、第1
の光ファイバ1−1の出射光は、第3の光ファイバ1−
3に入射する。
帰するので、直角プリズム15は元の位置に戻り、第1
の光ファイバ1−1の出射光は、第3の光ファイバ1−
3に入射する。
上述のように、短冊形支持片13の先端の上面に、直角
プリズム15を設けると、光路を切換えた場合に、直角
プリズム15と同じ屈折率を有する短冊形支持片13を
通過する。したがって、光路を切換えても、光路長が変
化しないという利点がある。
プリズム15を設けると、光路を切換えた場合に、直角
プリズム15と同じ屈折率を有する短冊形支持片13を
通過する。したがって、光路を切換えても、光路長が変
化しないという利点がある。
なお、直角プリズム15を設ける位置は、第3図に示す
ように、短冊形支持片13の先端に水平に突出して、短
冊形支持片13の板厚に等しい厚さの直角プリズム15
を設けても良い。
ように、短冊形支持片13の先端に水平に突出して、短
冊形支持片13の板厚に等しい厚さの直角プリズム15
を設けても良い。
第3図のような直角プリズムは、エツチング形成が容易
であるという、利点がある。
であるという、利点がある。
それぞれの光ファイバの入出射面を、第1図に図示した
ように平面にした場合には、直角プリズムの屈折率を1
.5とし、光ファイバの端面間の距離を30μmとする
と、光スィッチの挿入損失を0゜25dB程度に低く抑
えられる。
ように平面にした場合には、直角プリズムの屈折率を1
.5とし、光ファイバの端面間の距離を30μmとする
と、光スィッチの挿入損失を0゜25dB程度に低く抑
えられる。
なお、光ファイバの入出射面を球面、或いは円錐面とす
れば、光ファイバの端面間の距離をさらに大きくしても
、同じ挿入損失の光スィッチとすることができる。
れば、光ファイバの端面間の距離をさらに大きくしても
、同じ挿入損失の光スィッチとすることができる。
上記のように、本発明は、それぞれ溝、角孔。
短冊形支持片、及び直角プリズムは、透明体基板をエツ
チングして設けたものであるので、精度が高い。したが
って、光フアイバ相互間、及び光ファイバと直角プリズ
ムとの間の光軸調整を全く必要としないばかりでなく、
構成素子数が少な(て、小形化の推進が容易である。
チングして設けたものであるので、精度が高い。したが
って、光フアイバ相互間、及び光ファイバと直角プリズ
ムとの間の光軸調整を全く必要としないばかりでなく、
構成素子数が少な(て、小形化の推進が容易である。
以上説明したように本発明は、透明体基板をエツチング
形して、可撓性ある短冊形支持片の先端に、直角プリズ
ムを設けた光スィッチであって、構成が簡単で光軸の調
整を必要とせず、且つ、小形で低コストである等、実用
上で優れた効果がある。
形して、可撓性ある短冊形支持片の先端に、直角プリズ
ムを設けた光スィッチであって、構成が簡単で光軸の調
整を必要とせず、且つ、小形で低コストである等、実用
上で優れた効果がある。
第1図は本発明の実施例の斜視図、
第2図の(a−1)、 (a−2)、 (b−1)、
(b−2)は、それぞれ本発明の実施例の光路図、 第3図は本発明の他の実施例の要部斜視図、第4図は従
来例の平面図である。 図において、 1−1は第1の光ファイバ、 1−2は第2の光ファイバ、 1−3は第3の光ファイバ、 3はファイバ・レンズアセンブリ、 5は菱形プリズム、 10は透明体基板、 11−1.11−2.11−3は溝、 12は角孔、 13は短冊形支持片、 15は直角プリズム、 16は磁性体、 20は電磁石をそれぞれ示す。 A(子56月の実方gfダリ6り尤y各す口茅2n 薯4m
(b−2)は、それぞれ本発明の実施例の光路図、 第3図は本発明の他の実施例の要部斜視図、第4図は従
来例の平面図である。 図において、 1−1は第1の光ファイバ、 1−2は第2の光ファイバ、 1−3は第3の光ファイバ、 3はファイバ・レンズアセンブリ、 5は菱形プリズム、 10は透明体基板、 11−1.11−2.11−3は溝、 12は角孔、 13は短冊形支持片、 15は直角プリズム、 16は磁性体、 20は電磁石をそれぞれ示す。 A(子56月の実方gfダリ6り尤y各す口茅2n 薯4m
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 透明体基板(10)の中央部にエッチング形成した角孔
(12)と、 それぞれの入出射端面が該角孔(12)の内壁に一致す
るように、該透明体基板(10)の表面に設けたT形の
3条の溝(11−1、11−2、11−3)の、選択し
た溝に挿着されてなり、光軸が一致する如く対向して配
設された第1、第2の光ファイバ(1−1、1−2)、
及び光軸が該第1、第2の光ファイバの光軸に直交する
ように、配設された第3の光ファイバ(1−3)と、 該第3の光ファイバに対向する該角孔(12)の内壁よ
り光軸の交点に向かって、片持梁状で水平に突出するよ
う、エッチングして設けた可撓性ある短冊形支持片(1
3)と、 直交する2つの入出射面が該第1、第3の光ファイバの
光軸にそれぞれ直交するように、該短冊形支持片(13
)の先端部に設けた直角プリズム(15)と、 該直角プリズム1(15)の一方の端面、又は該短冊形
支持片(13)の先端部の一方の端面に、設けた箔状の
磁性体(16)と、 該磁性体(16)を吸着することにより、該短冊形支持
片(13)を湾曲させ、該直角プリズム(15)と光軸
の交点との関係位置を所望に切り換える電磁石(20)
とを、備えたことを特徴とする光スイッチ。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP8491588A JPH01255826A (ja) | 1988-04-06 | 1988-04-06 | 光スイッチ |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP8491588A JPH01255826A (ja) | 1988-04-06 | 1988-04-06 | 光スイッチ |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH01255826A true JPH01255826A (ja) | 1989-10-12 |
Family
ID=13844016
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP8491588A Pending JPH01255826A (ja) | 1988-04-06 | 1988-04-06 | 光スイッチ |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH01255826A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US6389189B1 (en) | 1998-10-23 | 2002-05-14 | Corning Incorporated | Fluid-encapsulated MEMS optical switch |
-
1988
- 1988-04-06 JP JP8491588A patent/JPH01255826A/ja active Pending
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US6389189B1 (en) | 1998-10-23 | 2002-05-14 | Corning Incorporated | Fluid-encapsulated MEMS optical switch |
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