JPH01256743A - 複数室用室圧調整装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 本発明は、室内の清浄雲囲気を維持するためや、逆に汚
染空気の室外への洩出を防止するため等に室圧制御を施
す必要がある分野（例えば、薬品工場やバイオテクノロ
ジー関連工場、あるいは、ＬＳＩ工場や各種実験室等々
）で用いられる複数室用室圧調整装置に関し、詳しくは
、換気ファンに接続した主換気風路を設け、複数の換気
対象室の夫々に、前記主換気風路から分岐した各別の分
岐風路を接続し、それら分岐風路の夫々に、接続換気対
象室の室圧検出に基づいて、接続換気対象室の室圧をそ
の室の給排気量収支の調整により設定値に維持するよう
に、前記分岐風路の流通風量を自動調整する室圧制御用
の自動風量調整手段を設けた複数室用室圧調整装置に関
する。

〔従来の技術〕

従来は、第４図に示すように、給気ファン（１）に接続
した主給気風路（２）（給気側主換気風路）から分岐し
て複数換気対象室（５）の夫々に接続した給気側分岐風
路（６）、及び、排気ファン（３）に接続した主排気風
路（４）（排気側主換気風路）から分岐して複数換気対
象室（５）の夫々に接続した排気側分岐風路（７）のう
ち、いずれか一方の分岐風路（６）、　（７）の夫々に
、接続換気対象室（５）の室圧検出に基づいて、接続換
気対象室（５）の室圧をその室（５）の給排気量収支の
調整により設定値に維持するように分岐風路（この例で
は排気側分岐風路（７））の流通風量を自動調整する室
圧制御用の自動風量調整手段（９）を設け、もって、換
気運転中は常時、それら自動風量調整手段（９）による
個別室圧制御により各換気対象室（５）の室圧を各々設
定された室圧に維持する構成となっている。

図中（１０）はモータダンパ、（１１）は室圧センサー
、（１２）は室圧センサー（１１）の検出情報に基づき
モータダンパ（１０）を自動操作する制御器であり、各
自動風量調整手段（９）は、これらモータダンパ（１０
）、室圧センサー（１１）、及び、制御器（１２）を主
要構成装置として構成されている。

（８）は給気側分岐風路（６）の夫々に介装した定風量
装置であり、これら定風量装置（８）　により各換気対
象室（５）への給気量は夫々設定された給気量に維持さ
れる。

又、（１７）は各換気対象室（５）の開閉扉付き外部連
通口（主に出入口）である。

〔発明が解決しようとする課題〕

しかし、上述の従来構成において、各換気対象室の外部
連通口は通常は室圧維持のために閉じられているが、い
ずれかの換気対象室の外部連通口が何らかの必要により
室圧制御中に開かれると（第５図参照）、それに起因し
てその換気対象室の室圧が急激に大きく変化するために
、その換気対象室に対する自動風量調整手段が検出室圧
の変化に応じて大きく作動し、それによって、その自動
風景調整手段の流通風量調整状態が急激に大きく変化す
ることとなる。

ところが、外部連通口が開かれた換気対象室の室圧が変
動することはやむを得ないものの、外部連通口が開かれ
゛た換気対象室に対する自動風量調整手段の流通風量調
整状態が急激に大きく変化して、その換気対象室に対す
る接続分岐風路の流通風量が急激に大きく変化すると、
それに起因して、主換気風路（第４図に示す例では主排
気風路（４））の風路内圧も急激に大きく変化し、そし
て、この主換気風路における風路内圧の急激変化が他の
換気対象室の室圧制御に対する大きな外乱となって他の
換気対象室の室圧もともに変動してしまう問題があった
。

つまり、いずれかの換気対象室の外部連通口が開かれた
ことに起因して主換気風路の風路内圧が急激に大きく変
化することにより、他の換気対象室に対する自動風量調
整手段の流通風量調整状態に変更がないにもかかわらず
、それら他の換気対象室に対する接続分岐風路の流通風
量が変化してしまい、そのために、他の換気対象室の給
排気量バランスが変化してそれら他の換気対象室の室圧
も変動してしまうのであり、この点、各換気対象室の室
圧を各々設定された室圧に極力安定的に保つという室圧
制御の本来目的を達成する上で未だ改良の余地があった
。

本発明の目的は、合理的な改良により、外部連通口が開
かれることに起因して他の換気対象室の室圧もともに変
動してしまうことを効果的に抑制・防止する点にある。

〔課題を解決するための手段〕

本発明による複数室用室圧調整装置の特徴構成は、換気
ファンに接続した主換気風路を設け、複数の換気対象室
の夫々に、前記主換気風路から分岐した各別の分岐風路
を接続し、それら分岐風路の夫々に、接続換気対象室の
室圧検出に基づいて、接続換気対象室の室圧をその室の
給排気量収支の調整により設定値に維持するように、前
記分岐風路の流通風量を自動調整する室圧制御用の自動
風量調整手段を設ける構成において、前記換気対象室の
夫々における外部連通口の開閉状態を検出する開閉検出
手段を設け、その開閉検出手段からの検出情報に基づい
て、前記外部連通口が閉じられた状態の定常室圧制御状
態から前記外部連通口が開かれたときに、前記外部連通
口が開かれた前記換気対象室に対する前記自動風量調整
手段に対して、その流通風量調整状態が急激変化するこ
とを抑制するように自動的に保持制御作用する保持制御
手段を設けたことにあり、その作用・効果は次の通りで
ある。

〔作　用〕

つまり、外部連通口が開かれた換気対象室の室圧が変動
してしまうことはやむを得ないのであるから、外部連通
口が開かれた換気対象室に対する自動風量調整手段が外
部連通口の開きに起因した室圧変化に対して流通風量調
整作動することは実際上無意味である。

そこで、この観点から、外部連通口の開閉状態検出に基
づき、外部連通口が閉じられた状態の定常室圧制御状態
から外部連通口が開かれたときに、外部連通口が開かれ
た換気対象室に対する自動風量調整手段に対して、その
流通風量調整状態が外部連通口の開きに起因した検出室
圧の急激変化に対応して急激変化することを抑制するよ
うに、保持制御手段により自動的に保持制御作用を加え
れば、いずれかの換気対象室の外部連通口が開かれても
、その換気対象室に対する接続分岐風路の流通風量は急
激に大きく変化することがなくて、主換気風路の風路内
圧も急激に変化することが無いから、他の換気対象室の
室圧は安定的に維持される。

〔発明の効果〕

その結果、いずれかの換気対象室の外部連通口が開かれ
たときに他の換気対象室の室圧もともに変動していた従
来装置に比して、全体として各換気対象室の室圧を各々
設定された室圧により安定的に維持できるようになり、
ひしては、室圧制御による各換気対象室の清浄雰囲気維
持や各換気対象室からの汚染空気洩出防止等々をより確
実に達成し得るようになった。

〔実施例〕

次に実施例を説明する。

第１図は複数クリーンルームに対する換気構成を示し、
給気ファン（１）に接続した主給気風路（２）、及び、
排気ファン（３）に接続した主排気風路（４）を設け、
複数のクリーンルーム（５）の夫々に対して、主給気風
路（２）から分岐した各別の給気側分岐風路（６）、並
びに、主排気風路（４）から分岐した各別の排気側分岐
風路（７）を接続しである。

給気側分岐風路（６）の夫々には、各クリーンルーム（
５）に対する給気１を各々設定された給気量に維持する
定風量装置（８）を介装してあり、一方、排気側分岐風
路（７）の夫々には、接続クリーンルーム（５）の室圧
検出に基づいて接続クリーンルーム（５）の室圧をその
室の給排量収支の調整により設定室圧に維持するように
排気側分岐風路（７）の流通風量を自動調整する室圧制
御用の自動風量調整手段（９）を設けである。

つまり、定風量装置（８）による給気量維持と、室圧検
出に基づいた自動風量調整手段（９）による排気量調整
とにより、各クリーンルーム（５）の室圧を必要清浄度
に応じて各々設定された室圧（Ｐ、）、　（Ｐ２）、　
（ｐｔ）に維持するようにしである。

自動風量調整手段（９）は、排気側分岐風路（７）に介
装した流通風量調整用モータダンパ（１０）、クリーン
ルーム（５）の室圧を検出する室圧センサー（１１）、
及び、その室圧センサー（１１）の検出情報に基づきモ
ータダンパ（１０）を自動操作する制御器（１２）を主
要構成装置として構成しである。

尚、具体的には、室圧センサー（１１）は、クリーンル
ーム（５）の室内圧と室外圧との差圧を検出するもので
あり、自動風量調整手段（９）による室圧制御はこの差
圧を設定差圧に維持するものである。

又、自動風量調整手段（９）において制御器（１２）に
実行させる、検出室圧（差圧）を人力とするモータダン
パ（１０）の開度制御には所謂ＰＩＤ制御を適用しであ
る。

図中（１３）、　（１４）は、各クリーンルーム（５）
を燻蒸処理する場合等に分岐風路（６）、　（７）を遮
断するためのダンパであり、又、（１５）は単独の給・
排気ファン（１６）に接続した局所給排気装置である。

前述の如き室圧制御構成に対する付帯制御設備として、
各クリーンルーム（５）には、各室（５）における外部
連通口（１７）　（主として出入口）の開閉状態を検出
する開閉扉センサー（１８）を設けてあり、 又、その開閉扉センサー（１８）の検出情報に基づいて
、 外部連通口（１７）が閉じられた状態の定常室圧制御状
態から外部連通口（１７）が開かれたときに、外部連通
口（１７）が開かれたクリーンルーム（５）に対する自
動風量調整手段（９）の流通風量調整状態（すなわちモ
ータダンパ（１０）の開度）を外部連通口（１７）の開
きに起因した検出室圧の急激変動にかかわらず外部連通
口（１７）が開かれた時点の流通風量調整状態に自動的
に保持し、かつ、外部連通口（１７）が開き状態にある
間、その保持状態を継続すると共に、その外部連通口（
１７）が閉じられたときに、保持制御対象であった自動
風量調整手段（９）の室圧検出に基づく自動流通風量調
整を、保持制御中における室圧センサー（１１）の差圧
検出情報を無視して外部連通口（１７）が開かれたとき
までの先の自動流通風量調整に連続させた状態で再開さ
せるように、自動風量調整手段（９）の制御器（１２）
に対しインターロック的に制御作用する保持制御回路（
１９）を設けである。

つまり、いずれかのクリーンルーム（５）の外部連通口
（１７）が開かれたときに、そのクリーンルーム（５）
の室圧が急激に大きく変化するために、そのクリーンル
ーム（５）に対する自動風量調整手段（９）が検出室圧
の変化に応じて大きく作動してその自動風量調整手段（
９）の流通風量調整状態（モータダンパ）が急激に大き
く変化し、そして、流通風量調整状態の急激な変化に起
因した主排気風路（４）における風路内圧の急激な変化
のために他のクリーンルーム（５）の室圧マでが変動し
てしまうといったことを、外部連通口（１７）が開かれ
たクリーンルーム（５）の自動風量調整手段（９）に対
する上述の如き保持制御をもって抑制・防止するように
しである。

又、外部連通口（１７）が開かれたクリーンルーム（５
）に対する自動風量調整手段（９）の流通風量調整状態
をその外部連通口（１７）が開き状態にある間、その外
部連通口（１７）が開かれた時点の流通風量調整状態に
継続保持すると共に、その外部連通口（１７）が閉じら
れたときには、保持制御中における室圧センサー（１１
）の室圧検出情報を無視して外部連通口（１７）が開か
れたときまでの先の自動流通風量調整に連続させる状態
で室圧検出に基づく自動風量調整手段（９）の自動流通
風量調整を再開させることにより、すなわち、室圧制御
にＰＩＤ制御を採用している本構成において保持制御中
における人力積算のために自動風量調整手段（９）の流
通風量調整状態が自動調整再開時に不要に変更されるこ
とを防止した状態で室圧検出に基づく自動流通風量調整
を再開させることにより、外部連通口（１７）の閉じに
伴いそのクリーンルーム（５）の室圧を、設定値に円滑
に、又、他のクリーンルーム（５）の室圧制御にも悪影
響を与えることなく復帰し得るようにしである。

尚、第２図は上述の如き保持制御を行った場合の各所の
変化形態を示し、それに対し、第５図は保持制御を行わ
ない場合の各所の変化形態示す。

一方、局所給排装置（１５）の給排気ファン（１６）に
対しては、その局所給排気ファン（１６）の始動時には
、局所給排気量を所定の変化勾配に沿って定格風量まで
緩やかに増大させ、かつ、停止時には局所給排気量を所
定の変化勾配に沿って定格風量から緩やかに減少させる
ように、その給排気ファン（１６）をインバータ制御す
る局所給排気用制御器（２０）を設けてあり、この局所
給排気制御により、局所給排気の開始及び停止に際して
も室圧検出に基づく前述室圧制御が遅れ無く追従し得て
室圧が安定的に維持されるようにしである。

〔別実施例〕

次に別実施例を列記する。

（イ〉　外部連通口が開かれたときに、その外部連通口
が開かれた換気対象室に対する室圧制御用自動風量調整
手段に対して、その流通風量調整状態が外部連通口の開
きに起因した検出差圧の急激変化に応答して急激に変化
することを抑制するように、保持制御手段に自動保持制
御作用させるに、その保持制御形態として、保持制御対
象となった自動風量調整手段の流通風量調整状態を、他
の自動風量調整手段の調整作動速度よりも十分に小さい
所定速度で風量調整範囲の一方側限界値（すなわち、分
岐風路全閉側、ないしは全開側）へ向けて移行させ、か
つ、外部連通口が閉じられたときに、保持制御対象であ
った自動風量調整手段の室圧検出に基づく自動流通風量
調整を、　　４保持制御により一方側限界値へ向けて移
行した流通風量調整状態を他の自動風量調整手段の調整
作動速度よりも十分に小さい所定の速度で復帰移行させ
て再開させるようにしても良い。尚、第３図はこの保持
制御形態を採用した場合の各所の変化形態を示す。

（ロ）本発明は、自動風量調整手段を給気側分岐風路に
設けたものにも適用できる。

（ハ）外部連通口とは、作業者用出入口、物品専用出入
口等々を総称するものである。

（ニ）室圧制御により維持する室圧は正圧、負圧のいず
れであっても良い。

（ホ）各自動風量調整手段における制御器部分の機能、
並びに、各保持制御手段（回路）の機能を１台の中央制
御装置に実行させるようにしても良い。

尚、特許請求の範囲の項に図面との対照を便利にする為
に符号を記すが、該記入により本発明は添付図面の構造
に限定されるものではない。

【図面の簡単な説明】

第１図及び第２図は本発明の実施例を示し、第１図は概
略構成図、第２図は変化形態を示す図である。第３図は
本発明の別実施例構成を採用した場合の変化形態を示す
図である。第４図及び第５図は従来例を示し、第４図は
概略構成図、第５図は変化形態を示す図である。 （３）・・・・・・換気ファン、（４）・・・・・・主
換気風路、（５）・・・・・・換気対象室、（７）・・
・・・・分岐風路、（９）・・・・・・自動風量調整手
段、（１７）・・・・・・外部連通口、（１８）・・・
・・・開閉検出手段、（１９）・・・・・・保持制御手
段。

Claims (1)

1. 【特許請求の範囲】 １、換気ファン（３）に接続した主換気風路（４）を設
   け、複数の換気対象室（５）の夫々に、前記主換気風路
   （４）から分岐した各別の分岐風路（７）を接続し、そ
   れら分岐風路（７）の夫々に、接続換気対象室（５）の
   室圧検出に基づいて、接続換気対象室（５）の室圧をそ
   の室（５）の給排気量収支の調整により設定値に維持す
   るように、前記分岐風路（７）の流通風量を自動調整す
   る室圧制御用の自動風量調整手段（９）を設けた複数室
   用室圧調整装置であって、前記換気対象室（５）の夫々
   における外部連通口（１７）の開閉状態を検出する開閉
   検出手段（１８）を設け、その開閉検出手段（１８）か
   らの検出情報に基づいて、前記外部連通口（１７）が閉
   じられた状態の定常室圧制御状態から前記外部連通口（
   １７）が開かれたときに、前記外部連通口（１７）が開
   かれた前記換気対象室（５）に対する前記自動風量調整
   手段（９）に対して、その流通風量調整状態が急激変化
   することを抑制するように自動的に保持制御作用する保
   持制御手段（１９）を設けた複数室用室圧調整装置。 ２、前記保持制御手段（１９）が、保持制御対象となっ
   た前記自動風量調整手段（９）の流通風量調整状態を前
   記外部連通口（１７）が開き状態にある間、その外部連
   通口（１７）が開かれた時点の流通風量調整状態に継続
   保持し、かつ、その外部連通口（１７）が閉じられたと
   きに、保持制御対象であった前記自動風量調整手段（９
   ）の室圧検出に基づく自動流通風量調整を、保持制御中
   における室圧検出情報を無視して前記外部連通口（１７
   ）が開かれたときまでの先の自動流通風量調整に連続さ
   せた状態で再開させるものである請求項１記載の複数室
   用室圧調整装置。 ３、前記保持制御手段（１９）が、保持制御対象となっ
   た前記自動風量調整手段（９）の流通風量調整状態を、
   他の前記自動風量調整手段（９）の調整作動速度よりも
   小さい所定の速度で風量調整範囲の一方側限界値へ向け
   て移行させ、かつ、前記外部連通口（１７）が閉じられ
   たときに、保持制御対象であった前記自動風量調整手段
   （９）の室圧検出に基づく自動流通風量調整を、保持制
   御により一方側限界値へ向けて移行した流通風量調整状
   態を他の前記自動風量調整手段（９）の調整作動速度よ
   りも小さい所定の速度で復帰移行させて再開させるもの
   である請求項１記載の複数室用室圧調整装置。