JPH01257252A - 反射電子回折装置 - Google Patents
反射電子回折装置Info
- Publication number
- JPH01257252A JPH01257252A JP63118902A JP11890288A JPH01257252A JP H01257252 A JPH01257252 A JP H01257252A JP 63118902 A JP63118902 A JP 63118902A JP 11890288 A JP11890288 A JP 11890288A JP H01257252 A JPH01257252 A JP H01257252A
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- sample
- energy analyzer
- fluorescent plate
- energy
- electron
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
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- Analysing Materials By The Use Of Radiation (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
（イ）産業上の利用分野
本発明は＾エネルギー反射電子回折法（ＲＨＢｌｉｎ）
によって試料表面の結晶構造等ｒ調べる反射電子回折装
置に関する。
によって試料表面の結晶構造等ｒ調べる反射電子回折装
置に関する。
（ロ） 従来の技術
試料の表面層（表面最外の第１原子層から表面数原子層
に及ぶ縁端層）の結晶構造１１−解析する方法として、
一般に高エネルギー反射電子回折法（Ｒ）ＩＥＥＤ）が
用いらｎている。（ここで尚エネルギーとは数ＫｅＶ以
上ヶ言い通常１０〜３Ｑ ＫｅＶが用いられる。） ＲＨｇＢＤは第３図に示すように試料２１の表面すｎす
れに電子線２２に−入れ１回折電子図形を螢光板２３に
写し出してそのパターンによって表面層の構造１ｉ１ａ
ｌぺる方法である。（日本金属学会偏集。
に及ぶ縁端層）の結晶構造１１−解析する方法として、
一般に高エネルギー反射電子回折法（Ｒ）ＩＥＥＤ）が
用いらｎている。（ここで尚エネルギーとは数ＫｅＶ以
上ヶ言い通常１０〜３Ｑ ＫｅＶが用いられる。） ＲＨｇＢＤは第３図に示すように試料２１の表面すｎす
れに電子線２２に−入れ１回折電子図形を螢光板２３に
写し出してそのパターンによって表面層の構造１ｉ１ａ
ｌぺる方法である。（日本金属学会偏集。
金属物性基礎講座３ ｒ［Ｅｊｊ折結晶学Ｊ（１９８１
年）Ｐ、３３２へ３５０参照） （ハ）解決しようとする問題点 上述の反射電子回折方法（装置）においては回折像を得
るときのパックグラウンドとして試料表面で非弾性散乱
し几電子や熱電子、Ｘ線、紫外光。
年）Ｐ、３３２へ３５０参照） （ハ）解決しようとする問題点 上述の反射電子回折方法（装置）においては回折像を得
るときのパックグラウンドとして試料表面で非弾性散乱
し几電子や熱電子、Ｘ線、紫外光。
可視線・赤外線が＠星し、螢光板に達して８／Ｎ ｙ（
低下させるという問題がある。
低下させるという問題がある。
に）問題点を解決する之めの手段
本発明においては試料と螢光板との間にエネルギーアナ
ライザ紫膜けて回折電子以外の放射線ｒ除去することに
より上記の問題点を解決する。
ライザ紫膜けて回折電子以外の放射線ｒ除去することに
より上記の問題点を解決する。
（ホ）作用
エネルギーアナライザの収束点に設けられたスリット又
はエネルギーアナライザの電極面や壁面によって回折電
子以外の放射線は除去さｎる。収束点を通った回折電子
は、この収束点から放出さｗｅように見なさｎ、従来の
回折像と対称な像が得られる。
はエネルギーアナライザの電極面や壁面によって回折電
子以外の放射線は除去さｎる。収束点を通った回折電子
は、この収束点から放出さｗｅように見なさｎ、従来の
回折像と対称な像が得られる。
（へ）実施例
第１図は本発明の反射電子回折装置の第１の実施例の構
成を示す。本面において１は電子銃、２は試料、３はバ
ックグラウンドを減らす几めのコリメータ、４は半球型
エネルギーアナライザ６５はエネルギーアナライザ４の
出口に設けらＡ２スリット（アパーチャ）、６は螢光板
である。螢光板６の前面にはマイクロチャネルプレート
が付いており入射した電子ｒ増倍して螢光板に導く。
成を示す。本面において１は電子銃、２は試料、３はバ
ックグラウンドを減らす几めのコリメータ、４は半球型
エネルギーアナライザ６５はエネルギーアナライザ４の
出口に設けらＡ２スリット（アパーチャ）、６は螢光板
である。螢光板６の前面にはマイクロチャネルプレート
が付いており入射した電子ｒ増倍して螢光板に導く。
電子銃ｌから放出された？Ｅ電子線は収束されており、
試料２に対してすれすれの角度から入射しその点で回折
電子９を放出する。この放出点にエネルギーアナライザ
４の第１焦点を合わせ、第２の焦点（収束点）にス！Ｊ
ツｌ−５に設ける。
試料２に対してすれすれの角度から入射しその点で回折
電子９を放出する。この放出点にエネルギーアナライザ
４の第１焦点を合わせ、第２の焦点（収束点）にス！Ｊ
ツｌ−５に設ける。
電子線の回折においては運動エネルギーが保存されるか
ら、入射電子線８のエネルギーの電子がスリット５ヶ通
るようにエネルギーアナライザ４の電極間電圧を設定し
ておく。スリット５に達した回折電子は、このスリット
から放出したように見なすことができ、螢光板６に写し
出される像は通常の回折像と１８０度対称になる。この
ようにして螢光板上に得らｆＬ友回折像は、友とえは写
真撮影により記録し解析する。
ら、入射電子線８のエネルギーの電子がスリット５ヶ通
るようにエネルギーアナライザ４の電極間電圧を設定し
ておく。スリット５に達した回折電子は、このスリット
から放出したように見なすことができ、螢光板６に写し
出される像は通常の回折像と１８０度対称になる。この
ようにして螢光板上に得らｆＬ友回折像は、友とえは写
真撮影により記録し解析する。
第２図は本発明の第２の実施例の構成？示す。
本図において電子銃１．試料２．コリメータ３゜半球型
エネルギーアナライザ４．スリツト５．螢光板６．１Ｅ
子線８は第１図と同様であるが、半球型エネルギーアナ
ライザ４の入口（試料とエネルギーアナライザとの間）
に減速電場ケ作る電ｉ１１・１２に設けたところが第１
図と異なる。５はエネルギーアナライザ４の入口スリッ
トである。この第２図の構成においては、電極１１．１
２＋！中央に回折電子１４が通る穴ｒ設は友平板状電極
で、１！極１１は試料２と同電位（接地しである）とし
、電極１２には可変電圧源１３から負電圧が供給されて
いる。１極１１，１２？！−通った回折電子１０は電極
と垂直な方向の速度成分のみが減速されているから放出
角度が大きくなり、螢光板６に写し出される回折電子固
形が拡大され、 ＲＨＥＢＤスポットの分離が良くなり
、パターンが鮮明になる。また０回折電子線のエネルギ
ーが小さくなるから、エネルギーアナライザも小形化で
きる利点がある。
エネルギーアナライザ４．スリツト５．螢光板６．１Ｅ
子線８は第１図と同様であるが、半球型エネルギーアナ
ライザ４の入口（試料とエネルギーアナライザとの間）
に減速電場ケ作る電ｉ１１・１２に設けたところが第１
図と異なる。５はエネルギーアナライザ４の入口スリッ
トである。この第２図の構成においては、電極１１．１
２＋！中央に回折電子１４が通る穴ｒ設は友平板状電極
で、１！極１１は試料２と同電位（接地しである）とし
、電極１２には可変電圧源１３から負電圧が供給されて
いる。１極１１，１２？！−通った回折電子１０は電極
と垂直な方向の速度成分のみが減速されているから放出
角度が大きくなり、螢光板６に写し出される回折電子固
形が拡大され、 ＲＨＥＢＤスポットの分離が良くなり
、パターンが鮮明になる。また０回折電子線のエネルギ
ーが小さくなるから、エネルギーアナライザも小形化で
きる利点がある。
なお本実施例では、半球をエネルギーアナライザを用い
たが、平行平板形エネルギーアナライザや円筒型エネル
ギーアナライザ等１種々のエネルギーアナライザが利用
可能である。
たが、平行平板形エネルギーアナライザや円筒型エネル
ギーアナライザ等１種々のエネルギーアナライザが利用
可能である。
（ト）効果
本発明によｎば反射電子回折（ＲＨＥＥＤ ）において
回折電子以外の放射線がエネルギーアナライザによって
除去さｎるので８／Ｎの向上し九回折電子像が得られる
。″を比１通常のＲＨＥＢＤは電子銃と試料と螢光板が
略−直線上に配置さｎ、装置の長さが大きくなって不便
であるが１本発明によれば回折電子の軌道？曲げて螢光
板ｒ１！子銃と同じ側に配置することができ、装置ヶコ
ンパクト化できるという利点もある。
回折電子以外の放射線がエネルギーアナライザによって
除去さｎるので８／Ｎの向上し九回折電子像が得られる
。″を比１通常のＲＨＥＢＤは電子銃と試料と螢光板が
略−直線上に配置さｎ、装置の長さが大きくなって不便
であるが１本発明によれば回折電子の軌道？曲げて螢光
板ｒ１！子銃と同じ側に配置することができ、装置ヶコ
ンパクト化できるという利点もある。
第１図、第２図は本発明の一実施例を示す構成図６第３
因は従来の技術全説明する図である。 １・・・電子銃 ２・・・試料 ３・・・コリメー
タ４・・・エネルギーアナライザ ５・・・スリット
６・・・螢光板 千 ２ 図 第３図
因は従来の技術全説明する図である。 １・・・電子銃 ２・・・試料 ３・・・コリメー
タ４・・・エネルギーアナライザ ５・・・スリット
６・・・螢光板 千 ２ 図 第３図
Claims (2)
- （１）試料の表面に高エネルギー電子線を入射させて試
料による回折電子図形を螢光板に写し出す装置において
、試料と螢光板との間にエネルギーアナライザを設けて
回折電子以外の放射線を除去するとともに、前記エネル
ギーアナライザの出射位置付近で収束した回折電子をこ
の収束点から離れた所に位置する螢光板に写し出すこと
を特徴とする反射電子回折装置。 - （２）試料とエネルギーアナライザとの間に減速電場を
設けたことを特徴とする特許請求の範囲第１項記載の反
射電子回折装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP63118902A JPH01257252A (ja) | 1987-12-04 | 1988-05-16 | 反射電子回折装置 |
Applications Claiming Priority (3)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP62-308418 | 1987-12-04 | ||
| JP30841887 | 1987-12-04 | ||
| JP63118902A JPH01257252A (ja) | 1987-12-04 | 1988-05-16 | 反射電子回折装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH01257252A true JPH01257252A (ja) | 1989-10-13 |
Family
ID=26456741
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP63118902A Pending JPH01257252A (ja) | 1987-12-04 | 1988-05-16 | 反射電子回折装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH01257252A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH05296947A (ja) * | 1992-04-24 | 1993-11-12 | Japan Aviation Electron Ind Ltd | 電子線回折測定装置 |
-
1988
- 1988-05-16 JP JP63118902A patent/JPH01257252A/ja active Pending
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH05296947A (ja) * | 1992-04-24 | 1993-11-12 | Japan Aviation Electron Ind Ltd | 電子線回折測定装置 |
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