JPH01257561A - 全面球形連続型研磨シリンダーを装備したバレル研磨装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 本発明は平棒状、短冊状、紡錘円盤状をなす発振用水晶
など対称な加工曲面を有する製品を研磨によって容易に
成形することのできるバレル研磨装置に関するものであ
る。

従来、物品の表面を自動的に研磨する装置として種々な
構造のものが開発されているが、例えば特公昭４０−１
９１５６号及び昭４５−３４３６０号公報に開示されて
いるバレル研磨装置が知られている。この研磨装置はロ
ータリードラムの外周部に複数個のシリンダー受を上記
ロータリードラムの回転軸に平行に軸支して、これら各
シリンダー受にこのシリンダー受の軸に対してはマ対称
的に複数個の中空円柱状又は角柱状のシリンダーを取付
け、これら各シリンダーに研磨材と被研磨体とを収容し
湿式又は乾式研磨法にて、上記ロータリードラムをモー
ターに連結すると共に、上記各シリンダー受を固定部に
連結することにより、上記ロータリードラムの公転に伴
い各シリンダー受に取付けた複数個のシリンダーが一体
として自転運動を行う様に構成したものであり、上記各
シリンダーの中心軸は上記各シリンダー受と固定部の連
結は歯車同志を噛み合いにより行う様になっており、ま
た、ロータリードラムの回転は連続運転されるようにな
っている。

ところで、上記従来の研磨装置は、単に物品のパリ取り
Ｒ付は及び表面を磨き上げるだけの用途には大変有用な
ものであるが、例えば平棒状、短冊状、紡錘円盤状をな
す発振用水晶のように所定形状（対称的な加工曲面を持
つ形状）に被研磨体を研磨しなければならない場合には
適用できない。

その理由を上記発振用水晶を例にとって説明する。

まず、発振用水晶は第１図（１）（２）（３）の（ａ）
に示すように薄肉平棒状、短冊状、円盤状に切り出され
た水晶単結晶片ｉを研磨にかけ、その上下底面ｉａ、ｉ
ｂの中心部Ａ、Ｂを残して、外周部を一定の曲率で削り
取り（１）（２）（３）の（ｂ）図に示す様に両面凸レ
ンズ状にｌｉを１１ａと１１ｂを研磨する。

この様に一定の曲率で上下底面ｉａ１山を図Ａ、３面の
一部を残して研磨するためには、その−定の曲率を持つ
研磨面に、上記水晶単結晶ｌの上下底面ｉａ、　ｉｂを
同じ時間均等に摩擦させる様にしなければならない。

ところが上記研磨装置では、ロータリードラムの回転に
よる遠心力により各シリンダー内の研磨材及び被研磨体
はロータリードラムの半径方向外方に向かう力を受けて
ロータリー　ドラムの外方に位置する各シリンダー内壁
に常に押しつけられるようになっている。このため被研
磨体と研磨材とは遠心力による大きな力で互いに圧接す
るが、同時にシリンダーはドラムの回転と逆方向に自転
するから、シリンダー内壁に対し流動することになり、
かつシリンダー内壁には隆起条を持つゴム又は合成樹脂
層が設けられているので、この流動に伴って研磨材と被
研磨体が激しく擾乱されることになる。

この様にして大きな圧力で互いに圧接している研磨材と
被研磨体とが互いに摺動して研磨が行われることになる
が、この時の研磨は、上記した流動擾乱によって被研磨
体のあらゆる面がほぼ均等に研磨されることになる。ま
た被研磨体が偏平形状のもの＼場合、研磨材との摺動が
強く行われる部分はシリンダー内壁に直接接する研磨材
とその上にある被研磨体との間であり、この時の偏平形
状の被研磨体が反転する確率も大変少ない。

そのため偏平形状の被研磨体は、その上下各底面の一方
が特に余計に研磨される事になるし、またその研磨も所
定の曲率を持って行い得ない。

従ってこの研磨装置では」二記水晶単結晶片ｌを両面凸
レンズ状に研磨成形することができない訳である。

本発明者は、平棒状、短冊状、紡錘円盤状をなす発振用
水晶など偏平で対称な加工曲面を有する製品を研磨によ
り容易に成形することのできるバレル研磨装置を開発す
るために鋭意、実験検討を重ねた結果、以下の諸点が判
明した。

（イ）　シリンダーの内表面にはゴム又は合成樹脂層を
設けず、内表面を比較的すべりの良い状態にしておくと
共に、このシリンダーの全内表面を成形すべき製品の加
工曲面とほぼ同じ曲率に成形し、このシリンダー第２図
■、■内に所定量（シリンダー内容積に対し００２５％
程度）の研磨材を入れてロータリードラムを回転すると
、シリンダー内の研磨材は、遠心力によりシリンダー内
壁に圧接され、均一な厚みの研磨材層が形成される。そ
の結果、シリンダー内壁に曲率がシリンダー内壁の曲率
とぼり同じ、すなわち、加工製品の持つ曲面の曲率とは
ゾ同じ研磨層が形成され、これに偏平被研磨体第１図（
３）紡錘円盤状又は正四角、長方四角盤状を摺動させれ
ば、この被研磨体の一方の底面に所要曲率の曲面が形成
される。

シリンダーをロータリードラムの回転軸に対し所定角度
（７°〜１５°）傾斜させ回転させるとシリンダー中の
研磨材と被研磨体とが摺動しながら、シリンダーの一方
の端部と他方の端部間をシリンダーの内周面に沿って連
続的に８の字を描（ように流動するため、研磨効率がよ
り一層高まり均一円形に所要曲率の曲面が形成される。

但し、第１図（１）の平棒状発振水晶片を研磨する事は
不可能である。なぜならば第２図■■の長方円筒状のシ
リンダーに被研磨体を投入を研磨した場合、被研磨体は
長方円筒状シリンダーの長手方向、横軸方向のみで研磨
され縦軸方向には研磨されない事が判明した。

従って上記被研磨体を研磨する場合は第２図■■の球形
研磨シリンダーを使用する事で被研磨体（平棒状）を所
要の曲率の曲面にほぼ研磨することができる。

球形研磨シリンダーに被研磨体と研磨材層３〜８ｇを入
れて研磨シリンダーケースに複数個球形研磨シリンダー
をセットして研磨シリンダー受に治具及び押え蓋で固定
した上で研磨を行う。被研磨体は球形研磨シリンダーの
内壁に圧接摺動されて、どの方向を向いても所定の曲率
の曲面にほぼ研磨形成する事ができる。

（ロ）新規研磨装置の開発 近年ハイテク産業に於て軽薄、短小の時代となり振動子
業界に於ても小形平棒状の振動子の増産をせまられてい
る。

本発明者は実験の結果を熟慮検討を重ねで、小形平棒状
の振動子の大量研磨に対処し得る全面球形連続型研磨シ
リンダーを装備するバレル研磨装置を開発した。

全面球形連続型研磨シリンダー（以下球形連続型研磨シ
リンダーと省略して称す）は球形の両極をカットして複
数個に連続接合加工し一体のシリンダーとし両端に蓋を
した形状のものを言う。（第３図（２）を参照）球形連
続型研磨シリンダーは金属、セラミック、合成樹脂等の
材質で加工し内表面は滑らかな状態にしておくと共に、
このシリンダーの全内表面を成形すべき製品の加工曲面
と同一の曲面曲率に成形し、このシリンダー内に所定量
（１球当たり１ｇ〜５ｇ）の研磨材と被研磨体を入れて
、ロータリードラムを回転すると、シリンダー内の研磨
材は遠心力により、シリンダー内壁に圧接され、微量に
均一な研磨材層が形成される。その結果、シリンダー内
壁の曲面がシリンダーの持つ内壁の曲率と同一、すなわ
ち、加工製品の持つ曲面の曲率と同一の研磨層が形成さ
れ、これに平棒状の被研磨体（第１図（１））を摺動さ
せれば、この被研磨体の底面に所要曲率の曲面が形成さ
れる。シリンダーをロータリードラムの回転軸に対し所
定角度７°以下に傾斜、望ましくは４°以下に傾斜させ
回転させるとシリンダー内の研磨材と被研磨体とが摺動
しながらシリンダーの一方の端部と他方の端部との間の
連続球形状の間を徐々に球の円周面に沿ってＡの球より
Ｂの球へと圧接摺動しながら両端部間を往復流動する事
により研磨され、被研磨体がどの方向を向いても縦軸、
横軸、Ｙ軸、Ｘ軸と均一に所要曲率の曲面と同一曲面が
形成される。

上記の研磨装置は平棒状（第１図（１））短冊状の振動
子の専用研磨装置として開発をするも、紡錘円盤状、正
四角形、長方形盤状の振動子の研磨に際しても球形連続
型シリンダーで前出の研磨方法より仕上条件が良い事が
研磨結果で確認された。

尚、シリンダーのロータリードラムの回転軸に対する取
付傾斜角度が強い場合は往復流動が激しい為、被研磨体
の破損の発生率が大きい。又傾斜角ゼロの場合は流動が
ない為、均一な研磨ができない。

シリンダーの傾斜角度と曲率に対する球の極との寸法が
密接に関連している事が実験の結果判明した。

上記の球形連続型研磨シリンダーを装備するバレル研磨
装置による振動子研磨に於いて、その研磨の仕上がり特
性の向上と研磨作業の効率化と研磨容量の効率化による
振動子の生産力の増大は業界に対し大いに貢献するもの
と思われる。

本発明に係る研磨装置は、従来の研磨装置において、シ
リンダー受の中心軸がその回転軸に対して所定角度傾斜
するようにし、このシリンダー受に取付けるシリンダー
を球形連続型とし、その全内周面が被研磨体の所要加工
曲面の曲率と同一曲率となるように形成し、ロータリー
ドラムを回転する。モーターを所定運転及び停止で間歇
運転させると、モーターの停止時、つまりロータリード
ラムの回転が停止した時にシリンダー中の被研磨体は遠
心力より解放され、反転することになるので、上記間歇
運転を所定時間継続すれば、上記偏平な被研磨体の両波
研磨面が研磨される割合をほぼ半々にする事ができる。

更に上記に加えてロータリードラム停止時にシリンダー
受とシリンダー受に取付けた研磨シリンダーとを、シリ
ンダー受を回転する駆動装置（ギヤートモ−ター）で回
転すると被研磨体が均一に攪拌する事となり被研磨体の
両面の均一研磨の確率を高める。

それにロータリードラムを間歇正転、逆転を交互に運転
する事により被研磨体の片側方向のみによる研磨から、
両側より平均に研磨され被研磨体の中心のずれの発生を
防ぐ事ができ、研磨仕上りが良好である。

上記の各装置を運転指令する制御装置を取りつけたもの
である。

４、本発明を図面を参照して説明する。

第４図は本発明の一実施例を示すもので、図中符号１は
ケース本体を示すものである。このケース本体１の中央
部には、枢軸２が軸受３及び４を介して取り付けられて
いる。この枢軸２の中央にはボビン状のロータリードラ
ム５が回転自在に取りつけられている。

このロータリードラム５は、円筒状の回転軸６と、この
回転軸６の両端に取り付けられているベアリングユニッ
ト７及び８と、ベアリングユニット７に上記回転軸６が
その回転中心となるように固定させている。フライホイ
ル９とベアリングユニット８に上記回転軸６がその回転
中心となるように固定されている円板１０から構成され
ている。上記フライホイル９は上記ケース本体１の底部
に固定されたブレーギ付きモー・ター（回転駆動装置）
１１ａ及びモーターブリー１１ｂと■ベルト１２を介し
て連結されでおり、従って、上記ロータリードラム５は
、主モータ−１１ａの駆動により回転するようになって
いる。

また、上記軸受３とベアリングユニット８との間にはそ
の外周面に４つのＶ溝を有するブリー１３と、このブリ
ー１３に連結固定されているチェーンホイル１４とから
なる多重ブリー（シングー受回転及び固定用部材）１５
が回転自在に取り付けられている。この多重ブリー１５
は本体１の中間部に固定されたブレーキ付ギヤートモ−
ター１６に取り付けたスプロケット１７と、チェーンホ
イル１４にチェーン１８で連結され、チェーンテンショ
ン１９に取り付けられたチェンテンションスプロケット
２０によりチェーンのたるみ調整用ができるようになっ
ている。この装置をギャードモ−ター１６を駆動するこ
とによりシリンダー受を回転させ、又、ブレーキをかけ
ることにより固定させ研磨するようになっている。

また第４図に示すように前記ロータリードラム５のフラ
イホイル９と円板１０との間の外周部には複数個のシリ
ンダー受２１・・・が回転自在に取り付けられている。

これらシリンダー受２１・・・は各々上記ロータリード
ラム５の回転軸６に対して対称となる位置にベアリング
２２とベアリング２３とによって固定されており、それ
らの回転軸２１ａ・・・は、上記回転軸６に平行となっ
ている。

各回転軸２１ａ・・・のフライホイル９側の端部は外方
へ突出しており、それらの先端には、それぞれＶベルト
用プリー（以下、■プリーと称す）２４・・・が取り付
けられている。各■プリー２４・・・と前記プリー１３
とは■ベルト２５によって連結されている。

従って、主モータ−１１ａを駆動させてロータリードラ
ム５を回転させ、ギヤートモ−ター１６にブレーキをか
け、多重プリー１５を固定させれば各シリンダー受２１
はロータリードラム５の回転方向とは逆方向へ回転する
ことになる。つまり各シリンダー受２１・・・はロータ
リードラム５の回転とともにいわば公転しつつロータリ
ードラム５の回転と逆回りに自転する訳である。この時
、各シリンダー受２１・・・のＶプリー２４の径と多重
プリー１３の径を同寸法にすれば、ロータリードラム５
の１回転公転に対し各シリンダー受２１は１回自転する
ことになる。

従って多重プリー１３の径に対しＶプリー２４の径を小
さくする事により回転の比率が変わる事になる。

上記各シリンダー受２１・・・は第４図に示すように筒
状に成形されており、それらの仮想中心軸２１Ｃ・・・
がそれらの回転軸２１ａに対し所定角度７°以下、望ま
しくは４°以下に傾斜するように取り付けられている。

上記のように構成されているシリンダー受２１・・・に
は第４図に示すように１つ又は複数の球形連続型研磨シ
リンダーを（以下シリンダーと略称する）３５・・・が
収容固定されるようになっている。

このシリンダー３５のシリンダー受２１に対する取り付
は位置は、シリンダー受２１の中心軸２１Ｃにシリンダ
ー３５の中心軸が一致または平行となるようになってい
る。上記シリンダー３５は耐磨耗性が高く、比較的すべ
り性のよい金属又はセラミックから形成され、第３図（
１）に示すように球形の両極を切除した形状を連続的筒
状に成形した本体３５と蓋３５ａと底体３５ｂと取手３
５Ｃとから構成されている。上記シリンダー本体３５は
被研磨体の所要加工曲面の曲率と同じ曲率の球形の両極
を切除した形状を連続筒状に成形し、その底体３５ｂを
熔接し蓋３５ａをシリンダー本体開口内周にいんろう嵌
め合３５ｄが形成されている所へ嵌合する。

上記シリンダー３５の中へ被研磨体と研磨材を入れ研磨
させれば、その全内周面に沿ってどのように移動させて
も常に同一曲率が曲面に当接することになる。

ここで全面球形連続型研磨シリンダーの原理を説明する
。

第３図■を参照 球形連続型研磨シリンダーの（２１ａ’）はシリンダー
受２１の中心軸２１ａと平行となり、球形連続型研磨シ
リンダーの（２１ｃ　’　）とシリンダー受の仮想中心
軸２１Ｃと一致し、回転軸２１Ｈに対し所定角度傾斜し
ている。研磨シリンダー内の被研磨体の流動は、シリン
ダーの仮想中心軸（２１Ｃ’）に′対し直角に所定傾斜
角にそって流動し、前出の多重プリー１３とＶプリー２
４との径の比率を変えた事により研磨シリンダーの仮想
中心軸が変転位する（２１Ｃ’−１〜２１ｃ’−２）事
によりクロスする事になる。よって単独の球状の場合、
第３図■のＨの面のみ研磨摺動し、Ｎに対する被研磨体
の流動は皆無である。よってこの不要分を削除し、Ｈ面
を連続接合し一体の筒状に成形し底体と蓋体を付けたも
のである。

この場合Ｈ面は真球状態に加工する事が望ましい。

上記の球形連続型研磨シリンダーとする事により、研磨
能力が増大し作業効率が一段と向上する。

また、第４図に示すように前記主モータ−１１ａには、
この主モータ−１１ａに所定時間の回転と停止を繰り返
させる間歇運転制御装置２６と間歇正転、逆転装置２７
とがあり、又ギヤートモ−ター１６には主モータ−１１
ａの間歇停止時間中にシリンダー受２１を回転、被研磨
体を攪拌する装置２８がある。変速装置２９と間歇周期
設定装置３０と総運転時間設定装置３１とから構成され
ている。

上記変速装置２９は主モータ−１１ａを低速回転から、
高速回転まで無段変速させる装置で被研磨体の研磨に良
い条件を設定し、又主モータ−１１Ｈの起動時、停止時
の速度を調整するものである。

上記間歇周期設定装置３０は、主モータ−（回転駆動装
置）１１ａによりロータリードラム５も運転と停止を繰
り返させる間歇運転制御装置２６とロータリードラム５
を間歇正転と逆転とを交互に運転、変速装置２９（イン
バータを使用）にａの間歇停止時間中にシリンダー受２
１を回転被研磨体を攪拌する装置２８の各間歇運転時間
の間の停止時間を設定する為の装置であり運転と停止を
交互に運転する複数個のタイマーとリレーとから構成さ
れている。

上記総運転時間設定装置３１は、上記間歇周期設定装置
３０によって設定した間歇運転と停止の動作を繰り返さ
せる。総運転時間を設定するためのもので、自動タイマ
ーにより構成されている。上記構成において、主モータ
−（回転駆動装置）１１ａによる間歇運転制御装置２６
と、ギヤートモ−ター（シリンダー受回転駆動装置）１
６によるシリンダー受攪拌装置２８とによって、間歇運
転駆動装置３２を構成している。

５、構成の研磨装置の使用方法及び作用を設定する。

研磨シリンダー３５の蓋体３５ａをはずし、研磨シリン
ダー本体３５内に適量の研磨材と被研磨体を投入し、再
び蓋体３５ａを取り付ける。研磨装置のロータリードラ
ムを操作盤３４の寸動装置により目的のシリンダー受を
セットしやすい位置で停止させモーター１１Ｈにブレー
キをかける。

シリンダー受２１の受口を上向きの位置になるようにギ
ヤートモ−ター１６を回転させ定位置になったら電動ブ
レーキ装置により固定させる。

上記研磨シリンダー３５をセットしシリンダー受２１の
固定治具をしめてシリンダー受２１内に確実に固定する
。

上記の操作を繰返しすべてのシリンダー受２１に研磨シ
リンダー３５をセットしたら、研磨装置本体のシャッタ
ーを降す。

次に主モータ−１１ａのブレーキを解除し、必要とする
間歇運転時間および停止時間を間歇周期設定装置３０に
より設定し、総運転時間設定装置３１により装置の駆動
開始から、最終停止までの時間を設定し、操作盤３４内
の運転スイッチを入れ運転を開始する。

主モータ−１１ａの駆動に伴ってロータリードラム５が
回転する。（８０ＲＰＭ〜１３０ＲＰＭ）同時にシリン
ダー受２１・・・もロータリードラム５とともに公転す
る。この時シリンダー受回転及び固定部材１５とチェー
ン１８に連結されたギヤートモ−ター１６にブレーキが
掛る。この固定部材１５の一部の多重プリーに、シリン
ダー受２１側に固定されたＶプリー２４とはＶベルト２
５によって連結されている為、シリンダー受２１は自転
する。

この時シリンダー受２１・・・の中心軸２１Ｃは回転軸
２１　Ｈに対し所定角度傾斜しているので、各シリンダ
ー３５内の研磨材及び被研磨体は、ロータリードラム５
の回転の遠心力により互いに大きな力により圧接される
とともにシリンダーの球面に沿って徐々に研磨されなが
らシリンダー内−を沙し一変、える。■プリー２４側を
望ましくは」〜上程度小さくする事によりシリンダー受
２１が変転位し、８の字を描（ように徐々に変位する１
、これにより被研磨体はＡよりＥへ、・・・ＥよりＡへ
と流動する事になる。

尚、この時シリングー受２１の傾斜角度が強い場合と、
多重プリーとＶプリーの径の比率が大きい場合は流動が
はげしくなり研磨シリンダー３５内の凸部Ｍに衝突する
為、破損率が増大する事が実験の結果判明した。

よって上記のような比率で徐々に変転位する事が必要ど
なる。

、二の様にし７て被研磨体の研磨が完了したならば操作
盤３４のスイ・ソチを操作しロータリードラム５を電動
させて、所望のシリンダー受２１を所望の位置に電動装
置で停止させて、各研磨シリンダー３５をシｌ；ンダー
受２１より取りはずし、研磨？・リング−３５，より被
研磨体を取り出し作業を完了する。

以上説明し、たように、特に平棒状の水晶振動子の偏ｊ
ｔξで対称な加工曲面を要する被研磨体を破損さけ・る
ことなく、短時間に大量に研磨する事ができる。

このような、本発明の効果を確認する。

又、被研磨体として短冊状、正方形、紡錘円盤状の発振
用水晶なども、球形連続型研磨シリンダーと同様に研磨
を行う事ができる。

研磨実施例 全面球形連続型研磨シリンダー第３図のとバレル研磨装
置第４図を使い下記条件で実験を行った。

〔実験例１〕 「実験条件」 Ｏ全面球形連続型研磨シリンダー寸法 （６０％ＲＸ８連球）　ｘ　４００％ＬＯ同シリンダー
の傾斜角度　　　　　２度０　ロータリードラムの回転
数 ８０ＲＰｍ−１００ＲＰｍ Ｏ被研磨体（水晶単結晶片） 寸法　　８．２Ｘ１．８〜 板厚　　０．４３％ 数量　　２，５００枚 ０　研磨材 グリーンカーボン（ｓｉｃ系研系材磨 材Ｃ１８００１５ｇ 「運転条件」 研磨材の交換・研磨時間及び間歇運転時間は下記第１表
のようであった。

（第１表） 上記実験条件及び運転条件で水晶単結晶片を研磨し、研
磨を完了した。製品の中より２０ケ研磨前識別できるよ
う色染めをしたものを選別し外観と発振数の検査をした
。

その結果第２表のようになった。

「検査基準」 外観検査　　拡大レンズ１０倍を使用 発振検査　　発振測定機 発振用水晶の品質管理項目の合格基準は下記の通り 外観検査　　　発振用水晶の胴の部分にワレ、欠は及び
小さなチッピングも不 可。

発振用水晶の先端部に欠けない こと。Ａ、Ｂ面（第１図す参照） にズレがないこと。

発振数　４．４ＭＨ２〜４．３８９ＭＨ２（第２表） 上表に示すように、発振数ではすべて合格であり発振数
のバラツキもなく±１０．ＯＫＣ以内であった。発振用
水晶の胴のワレ、欠は及びチッピングなし、先端の小ワ
レ発生１ケあるも発振に影響はない。ＡＢ面のズレはな
く、低不良率、高品質の製品が３５時間で仕上った。

球形連続型研磨シリンダ−６ＯＲ１本に対し実験では２
，５００枚投入研磨したが計算上では１本当り４，００
０枚投入研磨することができる。本バレル研磨装置には
１シリンダ一受３本セットし、４槽合計で１２本装備す
る事ができる。よって−度に被研磨体は合計４８，００
０枚研磨することができ、球形単体式の２倍に当る数量
が研磨できる。

本発明の効果を確認する事ができた。

〔実験例２〕 「実験条件」 Ｏ全面球形連続型研磨シリンダー寸法 （４０％Ｒ×１０連球）　ｘ　４００％ＬＯ同シリンダ
ーの傾斜角度　　　　　２度Ｏロータリードラムの回転
数 ８０ＲＰＭ〜１１００ＲＰ ・　被研磨体（水晶単結晶片） 寸法　　８．２％×２．２％ 板厚　　０．５％ 数量　　２，０００枚 ０　研磨材 グリーンカーボン（ｓｉｃ系研磨材） ＧＣ＃　ｓｏｏ　　１５ｇ 「運転条件」 研磨材の交換・研磨時間及び間歇運転時間は下記第３表
のようであった。

上記の実験条件及び運転条件で水晶単結晶片を研磨し、
研磨を完了した製品の中より研磨前識別できるよう色染
めをしたものを２０ケ選別し外観と発振数を検査した。

その結果第４哀のような結果になった。

尚、発振用水晶の品質合格基準は前記〔実験例１〕と同
様である。

発振数　３．５獅〜３．４８６ＭＨ２ （第４表） 」−記に示すように、発振数は合格の基準である±ｌ０
ＫＣ以内に入り発振はすべて合格であった。

被研磨体（水晶単結晶片）の胴ワレ、欠は及びチッピン
グなし、先端のワレ、欠けなし、ＡＢ面のズレはなし、
低不良率、高品質の製品が４０時間で仕上った。

球形連続型研磨シリンダー４ＯＲ１本に対し実験では２
，０００枚を投入した、本バレル研磨装置で１２０本装
着装る事が可能である。ｊ、つ（１度に被研磨体を４０
，０００枚研磨することができ、球形単体酸の実に３．
３倍に当る数量が研磨できる。

本発明の効果を確認する事ができた。

【図面の簡単な説明】

第１図　発振用水晶（水晶単結晶片） （１）平棒状発振用水晶 （２）短冊状　　／１ （３）紡錘円盤状　／／ （ａ）　　発振用水晶研磨前組材（断面図、平面図）（
ｂ）ｌ！　　　研磨仕上りの状態（断面図、平面図） 第２図　研磨シリンダー ■　球形単体式シリンダー　断面図 ■　球形２連式シリンダー　　／／ ■　Ｒ付置筒形シリンダー　　〃 ■　円筒形シリンダー　　　　〃 上記第１図及び第２図は実施例説明用とする。 第３図　本発明の全面球形連続型研磨シリンダー■　上
記研磨シリンダーの断面図 ■　球形研磨原理説明図 第４図　本発明に係るバレル研磨装置 ■　一部省略して示した正面内部詳細断面図■　一部省
略して示した側面内部詳細断面図主要部位説明 ５　ロータリードラム ６　回転軸 １５　　多重ブリー（シリンダー受回軸用固定部材）２
１　　シリンダー受 ２１ａシリンダ一受回転軸 ２１ｅシリンダー受中心軸 ２４　　Ｖプリー ２５　　Ｖベルト（伝動部材） ２６　　間歇運転制御装置 ２７　　間歇正転、逆転装置 ２８　　シリンダー受攪拌装置 ２９　　変速装置（インバーターを使用）３０　　間歇
周期設定装置 ３１　　総運転時間設定装置 ３２　　間歇運転駆動装置

Claims (1)

1. 【特許請求の範囲】 所定運転及び停止をタイマーで調整し間歇回転する間歇
   回転駆動装置及び正転、逆転を併せて行う装置と、この
   間歇正転、逆転駆動装置により回転されるロータリード
   ラムと、このロータリードラムの外周部に、このロータ
   リードラムの回転軸と平行に配置された複数個の回転軸
   に、その中心軸が所定角度傾斜するように取り付けられ
   ているシリンダー受と、上記ロータリードラムの回転軸
   と同軸線上に固定されると共に、上記各シリンダー受に
   伝動部材を介して連結され、上記ロータリードラムの回
   転に伴って、上記各シリンダー受を自転させるシリンダ
   ー受回転用固定部材と、この固定部材の一部の多重プリ
   ーとシリンダー受Ｖプリーとの径の比率を少し変える事
   によりシリンダー受が変転位した。 上記シリンダー受に、このシリンダー受の中心軸にその
   中心軸が一致または平行となるように取付けられた。 所要加工曲面、曲率に形成された、全面球形連続型研磨
   シリンダーの内部に、研磨材及被研磨体を収容した研磨
   シリンダーを装備してり上記ロータリードラムを間歇正
   転及び逆転を行い併せて間歇停止時間内に、このシリン
   ダー受と研磨シリンダーを回転させて、研磨シリンダー
   内部の被研磨体を均一に攪拌する事により、被研磨体を
   均一に所要曲面の曲率と同一曲率に研磨することができ
   る。上記研磨シリンダーの全内面が、所要加工曲面の曲
   率に形成されている全面球形連続型研磨シリンダーを装
   備し研磨する事を特徴とするバレル研磨装置。