JPH0125761Y2

JPH0125761Y2 -

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Publication number: JPH0125761Y2
Application number: JP1987077221U
Authority: JP
Priority date: 1978-04-03
Filing date: 1987-05-22
Publication date: 1989-08-02
Also published as: JPS54138965A; DE2911349C2; NL181954B; GB2017919A; DE2911349A1; IT1115094B; FR2422153B1; US4135407A; IT7948554A0; NL181954C; FR2422153A1; GB2017919B; CA1103478A; NL7902486A; JPH0158804U

Description

【考案の詳細な説明】（産業上の利用分野）本考案は一般に差圧伝送器に関し、特に差圧伝
送器の変換器の振切れ圧防止装置に関する。

（従来の技術）差圧伝送器はプロセス制御装置に広く使用され
ている。差圧伝送器が高い静圧において小さい差
圧を測定することは往々にしてある。例えば、70
Kg／cm²（1000PSI）の静圧において0.21Kg／cm²
（3PSI）の差圧を測定するのは通常である。小さ
い圧力に応答し得る、半導体チツプのようなたい
ていの電気式変換器は、片側に全静圧を受けると
きは損傷する。かかる損傷を防止するために、多
くの差圧伝送器は感度のよい電気式変換器を振切
れ圧から保護する手段を組み込んでいる。通常採
用される振切れ圧防止方法の１つは電気式変換器
とプロセス流体の間に隔離ダイヤフラムを使用す
る。この隔離ダイヤフラムと変換器の間の容積は
非圧縮性液体で充填されている。高圧側から低圧
側へ移送される液体の体積を制限するために、こ
の隔離ダイヤフラムに対し機械的な支持停止部を
設けるのが通常である。たいていの圧力変換器、
そして特に現在採用している半導体感圧チツプ
は、永久的な損傷なしに移送された液体に対応す
るには機械的に堅固すぎる。それ故に、変換器に
加えられる差圧を、変換器に有害な影響を及ぼさ
ない圧力圧力範囲内に制限する補助的な方法が提
案されている。

初期の補助的防止方法は1962年10月16日、ジ
ー・エス・ブラウンの差圧伝送器に与えられた米
国特許第3058350号に記載されている。このブラ
ウンの特許では、変換器は予荷重された２個のベ
ローズによつて振切れ圧から保護されている。こ
れらのベローズは、伝送器が変換器の作動範囲内
の差圧を受けるときはたわまないままである。し
かしながら、伝送器の片側にかかる差圧が関連の
ベローズに与えた予荷重により決定された所定圧
を越えるときは、該ベローズは、隔離ダイヤフラ
ムまたはベローズの一方の後方から他方へ該液体
の移送に対応するため移動を開始する。

振切れ防止装置の先行技術のもう１つの例は、
1973年９月４日、リチヤード・シー・ハンターの
差圧伝送器の振切れ圧防止に対し与えられた米国
特許第3756085号に示されている。この特許の装
置では、差圧伝送器の正常作動圧力範囲の間ベロ
ーズを実質的に堅固に維持する電磁分離継手が使
用されている。この分離継手に作用する力が限度
を越えたとき、ベローズはたわんで一方の隔離ダ
イヤフラムの後方から他方の隔離ダイヤフラムへ
の液体の移送を許容し、それにより変換器にかか
る差圧を安全圧力に限定する。

1977年６月14日、ジー・バーガマインに与えら
れた米国特許第4028945号は、荷重のかからない
ベローズ内に配置した双方向に圧縮性の予荷重さ
れた可動のばねを利用する差圧伝送器用の振切れ
圧防止装置を示している。作動において、該可動
のばねは、振切れ圧の方向に応じて別別の表面に
着座している。

（考案が解決しようとする問題点）ブラウンの特許に開示された双ベローズ保護装
置は充分な振切れ圧防止を行うが、それは、２個
のベローズにより要求される追加容積のために伝
送器の精度をぎせいにして前記防止を達成する。
典型的には、２個の隔離ダイヤフラムと２個のベ
ローズの間の容積の充填液体としてシリコン油が
採用される。この油は伝送器の使用中に温度変化
を受けるので、油の体積は変化し不均一に隔離ダ
イヤフラムをたわませる。２個の隔離ダイヤフラ
ムの非対称のたわみは伝送器に望ましくないゼロ
オフセツト誤差を生ずる。

この種の不正確さを減らすためには、２個の隔
離ダイヤフラム間の液体の体積は最少にするべき
である。この体積は振切れ圧防止装置の体積を含
むので、防止装置の体積も当然に最少にするべき
である。ブラウンの特許に示される双ベローズ装
置の使用は隔離ダイヤフラムの間の所望の最小容
積を与えない。

ハンターの特許における電磁分離継手の使用は
振切れ防止を達成するために望ましくない余分の
容積を必要とするばかりでなく、また防止装置の
自動リセツトのための復元力がないという欠点が
ある。ハンターの特許においては、電磁分離継手
をその“セツト”の位置に戻す一方向に圧力を必
要とする。双方向防止を望む場合、ハンターの装
置は２個の電磁分離継手の使用を示唆している。
この形態は防止装置の構造を一層複雑にし、装置
の自動リセツトと与える追加の容積と双方向の圧
力を必要とする。実際的見地から、これらの欠点
はハンターの装置の営業的使用に対する重大な障
害を生じている。先に述べたブラウンの特許は予
荷重された２個のベローズの使用による自動リセ
ツトの特徴を備えた振切れ圧防止装置を示しては
いるが、この特徴は２個の隔離ダイヤフラムの間
にある最小容積をぎせいにして達成されている。

バーガマインの特許による装置においては、ば
ねが着座する表面の位置の不正確さ及びこれらの
表面に対するばねの着座に再現性の欠如が許容し
得ないゼロオフセツト誤差を生じさせることがあ
る。さらに、一方の着座表面から他方の着座表面
へのばねの移動は装置に望ましくなり“不感帯”
を生ずる。

（問題点を解決するための手段）本考案の全体的な目的は、差圧伝送器の精度を
犠性にすることのない差圧伝送器の変換器用の改
良された振切れ圧防止装置を提供することであ
る。

本考案の特定の目的は、差圧伝送器の隔離ダイ
ヤフラムの間の液体充填容積を最小にする振切れ
圧防止装置を提供することである。

本考案の別な目的は、差圧伝送器の変換器用の
自動リセツト可能な振切れ圧防止装置を提供する
ことである。

本考案の特徴は、これらの目的が単一の、信頼
性のある、廉価な装置により達成されることであ
る。

本考案によると、非圧縮性液体と柔軟な隔離ダ
イヤフラムによつて環境から隔離された比較的堅
固な差圧伝送器は、好ましくは予荷重された機械
的ばねを含んだ予荷重された停止手段により抑制
される単一の予荷重されたベローズにより振切れ
圧から保護される。このベローズは変換器と並列
に配置され、かつ伝送器が安全レベルの差圧を受
ける限り、たわまない状態にとどまる。しかしな
がら、ばね及びベローズの予荷重に応じて、一定
の差圧が伝送器に加えられたときに、ベローズは
何れかの方向にたわむ。ベローズの運動は一方の
隔離ダイヤフラムの後方から他方の隔離ダイヤフ
ラムの後方への液体の移転を許す。いずれか一方
の隔離ダイヤフラムがそれぞれの支持板に接して
いるときは、それ以上の液体移転は生じないから
差圧のそれ以上の増大は防止される。振切れ圧力
状態が除かれると、予荷重された停止手段及びベ
ローズは自動的にその正常な予荷重された零位置
に復帰する。

（実施例）本考案の目的と特徴を例示のため選択し、図面
に示した好適実施例の詳細な説明から最も良く理
解される。

図面、特に第１図において、通常の差圧伝送器
が部分断面で示され、全体として１０で示され
る。差圧伝送器１０は電気式圧力変換器１２と本
考案により構成され１４で示される振切れ圧防止
装置とを含む。

差圧伝送器１０の構造は当業者には周知である
ので、振切れ圧防止装置１４用の基準枠を提供す
るためにだけ一般的に記載する。差圧伝送器１０
は、全体的に対称で堅固な２個の入口カバー１６
および１８を有し、これらは支持板２０に対して
取り付けられる。入口カバー１６，１８はそれぞ
れねじを切つたプロセス圧力入口２２，２４を有
する。ねじを切つた入口２２は、入口カバー１６
の内壁および柔軟で可撓性がありらせん状の隔離
ダイヤフラム２８により画成された高圧プロセス
流体室２６と連通する。隔離ダイヤフラム２８は
入口カバー１６の内壁と支持板２０のらせん状表
面３０との間に取り付けられる。

差圧伝送器１０の低圧側は、入口カバー１８の
内壁および柔軟で可撓性があり、らせん状の別な
隔離ダイヤフラム３４により形成された対応の低
圧プロセス流体室３２を含む。低圧側の隔離ダイ
ヤフラム３４は入口カバー１８と支持板２０のら
せん状表面３６の間に取り付けられる。支持板の
表面３０および３６は、過度の振切れ圧がそれぞ
れねじを切つた高圧および低圧の入口２２，２４
を通つて差圧伝送器に作用するとき、それぞれ可
撓性のある隔離ダイヤフラム２８，３４の運動を
制限する。

高圧側の隔離ダイヤフラム２８と支持板の表面
３０は一緒に高圧充填流体室３８を画成し、この
室は通路４０を介して電気式変換器１２の高圧側
４２と振切れ圧防止装置１４の高圧側４４と流体
連通し、振切れ圧防止装置１４は中央の空所４５
内に配置される。同様に、低圧側の隔離ダイヤフ
ラム３４と支持板の表面３６は一緒に低圧充填流
体室４６を画成し、この室は通路４８を介して電
気式変換器１２の低圧側５０と振切れ圧防止装置
１４の低圧側５２と流体連通している。

“高圧”と“低圧”の用語は第１図に示す差圧
伝送器のそれぞれ左側と右側を指示するのに用い
たが、これは単に例示的なものであり、“高圧”
と“低圧”の指示は逆にすることが可能なことは
当業者には了解されよう。同様に振切れ圧防止装
置１４に作用する圧力信号は隔離ダイヤフラムま
たは他の適当な圧力制限手段を介して作用しうる
ことも認められる。

第２図において、振切れ圧防止装置１４は単一
の予荷重されたベローズ５４と予荷重されたばね
５６を利用している。予荷重されたベローズ５４
はその一端でベース即ち“基台”要素５８に対し
液圧的に密封されている。該ベローズの他端は板
６０に対して液圧的に密封されている。１端でベ
ローズの板６０に固定された可動のロツド６２は
基台要素５８の開口６４を通つて、第２図に示す
ように上方へ延びている。ロツド６２の他端はね
じ６６を受け入れるようにねじが切つてある。

振切れ圧防止装置１４の作用を良く理解するた
めに、この装置は正常作動状態で第２図に示して
ある。ベローズ５４は予め圧縮してあり、第２図
に示すようにロツド６２を介して下方へ力F_bを
作用させている。この力は、一方でねじ６６のね
じ頭７０を介して自由浮動スリーブ６８に伝達さ
れる。他方、予め圧縮されたばね５６は上向きの
力F_sを自由浮動スリーブ６８へ作用させている。
設計によつて、力F_sを力F_bより大きくする。こ
のように、スリーブ６８は、“基台”要素５８に
対し固定された停止部７２に押しつけられ静止す
る。予荷重ばね５６、板６０、ロツド６２、スリ
ーブ６８および停止部７２は一団としてベローズ
５４用の予荷重された停止手段７３を構成する。

停止部７２に接して静止しているのに加えて、
スリーブ６８はねじ頭７０の下方表面とも接触し
ている。停止部７２とねじ頭７０の下方表面は自
由浮動スリーブ６８に対し正確に画成された着座
表面を提供し、それにより振切れ圧状態から復帰
の際、スリーブの正確で再現性のある再着座を確
実にする。これらの構成部品の正確で再現性のあ
る再着座は高圧および低圧の充填流体室３８、４
６間に所定の容積比を維持するために望ましい。
この充填流体室の容積比の変動は較正誤差を生ず
る。

第３図を参照すると、正の差圧が伝送器に作用
する場合、高圧は高圧側の隔離ダイヤフラム２８
と非圧縮充填流体（明瞭とするため図示せず）を
介して振切れ圧防装置１４の高圧側４４とベロー
ズ５４の外側表面に伝達される。同様に、低圧は
ベローズの内部即ち低圧側５２に伝達される。こ
の正の差圧にベローズ５４の有効面積を乗ずるこ
とにより、ベローズ内の予圧縮力F_bに抗して作
用する。この圧力による力を計算することが可能
である。このように、圧力により生じた力がF_b
より小さい限り、ベローズ５４はたわまないまま
である。しかしながら、この力がF_bより増大す
るとき、ベローズは収縮し、ねじ頭７０は第３図
に示すようにスリーブ６８より離れる。高圧側の
隔離ダイヤフラム２８が支持板の表面３０に着座
するまで、ベローズは正の差圧の増大につれて圧
縮し続ける。この時、充填流体は隔離ダイヤフラ
ムの後方からさらに押し出されることができず、
ベローズの運動は停止し、それにより電気式変換
器にかかる差圧を安全値に制限する。

正の振切れ差圧が除かれたとき、圧縮されたベ
ローズ５４は、第２図に示すように、その正常
な、予荷重された位置へ膨張して復帰する。この
作用は、正の差圧の振切れ状態後の、振切れ圧防
止装置の自動リセツトを提供する。前記のよう
に、ねじ頭７０の下方表面はスリーブ６８に関し
正確で再現可能に再着座する。

第４図は、負の振切れ差圧がベローズ５４に作
用する逆の状態を示す。ベローズは、負の差圧に
よりベローズに生じた力がばね力F_sとベローズの
予荷重力F_bとの間の差に等しくなるまで、たわ
まないままでいる。この負の差圧を超えると、ベ
ローズは膨張して自由浮動スリーブ６８を着座し
ていた停止部７２から離す。ベローズがさらに膨
張すると、第４図に示すようにばね５６をさらに
圧縮させる。負の振切れ差圧状態が終ると、新し
く膨張したベローズは第２図に示すように、その
正常な予荷重状態まで縮み、それにより負の振切
れ差圧状態に対し、振切れ圧防止装置を自動的に
正確にリセツトする。

第５図は振切れ圧防止装置１４の性能をグラフ
に要約したものである。Ｘ軸はベローズ５４のた
わみを示し、一方Ｙ軸はベローズに作用する差圧
を表わす。第５図を検討すれば、ベローズ５４は
正の圧力ΔP₁が作用するまでにたわまないままで
あり、この作用の時点から差圧がΔP₂に達して隔
離ダイヤフラム２８の高圧側が支持板の表面３０
に届くのを示すまでベローズは圧縮する。ベロー
ズ圧縮に対する差圧の増加率は、ベローズのばね
定数によつてのみ決定され、所望の通りに調節す
ることができる。このように、低いばね定数は
ΔP₁を越える差圧の増大を減少する。

同様に、ベローズ５４は、ΔP₃を越える負の差
圧が作用するとき膨張を開始する。最大の負の差
圧はΔP₄であり、その時点で低圧側の隔離ダイヤ
フラム３４は支持板の表面３６に当たる。ΔP₃を
超えてからベローズの膨張と共に負圧が増大する
割合はばねとベローズ双方のばね定数の和より成
る。この割合は望む通りに調節することができ
る。さらに、ばねの予荷重を減らすことによつ
て、この特性が望ましい場合、ΔP₃を非常に小さ
い圧力まで減らすことができる。代替的に、この
特性が望ましい場合、ΔP₁を非常に小さい圧力ま
で減らすことができる。

第１図から第４図に示す実施例についての前記
したことから、正の振切れ差圧に対し、予荷重さ
れたベローズは圧縮され、一方予荷重されたばね
は影響を受けないままであることが了解されよ
う。負の振切れ圧状態に対しては、ばねとベロー
ズは共に影響を受ける。ベローズは“膨張”し、
即ち予荷重は軽減され、一方ばねはさらに圧縮さ
れる。

第１図から第４図に示す特定実施例は本考案の
諸目的を達成する多数の実施例の１例に過ぎない
ことが当業者には認められよう。

さて第６図から第１０図を参照すると、振切れ
圧防止装置１４の５つの他の実施例が示されてい
る。

第６図はばね５６がベローズ５４の外部に位置
した実施例を示す。第１図から第４図に示す実施
例の場合におけると同様に、ばねとベローズの双
方は零位置において圧縮されている。ばね５６
は、第６図に示すように、ロツド６２に固定した
板７４に対して上向きの力を作用させる。板７４
はベローズの板６０を押している。ロツド６２の
上向き運動は、ねじ頭７０が停止部７６と接触す
ることにより制限される。ベローズ５４の内部と
の圧力連通は“基台”５８を通る通路７８により
提供される。

正の振切れ圧がベローズ５４の外側に作用する
とき、ベローズは更に圧縮されて板６０，７４は
相互から離れる。この状態においてばねは第６図
に示す位置に留まることに留意すべきである。

負の振切れ圧がベローズ５４の外側に作用する
場合、ベローズは膨張し、それによりばね５６を
さらに圧縮する。正であれ負であれ、振切れ圧状
態が終ると、振切れ圧防止装置は自動的に第６図
に示す零位置にリセツトされる。

第７図を参照すると、この実施例はばねとベロ
ーズに対し異なる予荷重の形態を利用している。
第７図の実施例においては、ばね５６は圧縮状態
に予荷重されるが、ベローズ５４は零位置におい
て引張状態に予荷重されている。正の差圧がベロ
ーズ５４の外側に作用すると、ベローズに作用す
る張力は減少し、一方ばねが“基台”５８と板７
４の間でさらに圧縮される。負の差圧がベローズ
５４の外側に作用した逆の状態においては、ばね
の圧縮は影響を受けないが、一方ベローズ５４に
作用する張力は増加する。第６図に示す実施例の
場合のように、振切れ圧状態の除去はばねおよび
（または）ベローズを第７図に示すように、零位
置における正常な予荷重状態へ復帰させる。

第８図は本考案の更に別の実施例の振切れ圧防
止装置を示し、零位置においてばねは圧縮状態に
予荷重され、ベローズは引張状態に予荷重されて
いる。しかしながら、第７図の配置と相違し、予
荷重されたばね５６は“基台”要素５８と接触し
ていない。第８図の実施例においては、ばね５６
はベローズの板６０と自由浮動スリーブ６８の間
で予圧縮されている。この実施例においては、ベ
ローズ５４の外側に作用する正の差圧は、ベロー
ズ５４に作用する予荷重された張力を軽減し、同
時にベローズの板６０と自由浮動スリーブ６８の
間でばね５６をさらに圧縮する。スリーブ５４の
外側に負の差圧が作用する逆の状態はベローズ５
４に作用する張力の増大を生ずるが、ばね５６の
圧縮には影響を及ぼさない。振切れ圧状態の除去
は振切れ圧防止装置を第８図に示す零位置まで自
動的にリセツトする。

次に第９図に示す実施例について、ばね５６は
ベローズ５４の外側に配置され、かつ零位置にお
いて引張状態にある。ばねは、溶接のような適当
な手段により基台５８と板８０に固定される。ば
ね５６の下向き運動は、第９図に示すように、板
８０と停止部８２との接触により制限される。ベ
ローズ５４は基台５８とベローズ６０の双方に固
定され、かつ零位置において圧縮されている。

正の振切れ圧がベローズ５４の外側に作用する
とき、ベローズ５４はさらに圧縮されるが、一方
ばね５６は影響を受けない。ベローズ５４の圧縮
はベローズの板６０が板８０から分離する下方へ
の運動を生じさせる。

逆の状態においては、正の振切れ圧は通路７８
を介してベローズ５４の内部へ作用する。これ
は、ベローズの膨張、即ちベローズ５４にかかる
圧縮予荷重の軽減及びそれに付随するばね５６に
加わる引張りの増加が生ずる。何故ならば板８０
が停止部８２から上方へ離されるからである。

次に第１０図を参照すると、本考案の別の実施
例の振切れ圧防止装置が示され、ばねとベローズ
の双方は零位置において引張状態にある。ベロー
ズ５４は前述の基台５８と板６０に取り付けられ
る。一方、ロツド６２は、板６０に固定され、ね
じ頭７０は可動のスリーブ６８と接触する。ばね
５６は溶接その他適当な手段によつてスリーブ６
８と“基台”８４に固定される。第１０図に示さ
れるように、スリーブ６８の下方進行は停止部８
６によつて制限される。

正の振切れ圧がベローズ５４の外部に作用する
と、ベローズ５４の予荷重された引張りは軽減さ
れ、一方ばね５６の予荷重された引張りがロツド
６２の上向き運動によつて増加する。これは、ね
じ頭７０がスリーブ６８へ当接していることによ
る。反対方向の振切れ圧が通路７８を経てベロー
ズ５４の内部に作用すると、ベローズは膨張しロ
ツド６２とねじ頭７０を下向きに移動させ、それ
によりベローズ５４の張力を増大させる。ばね５
６に加わる予荷重引張りがこの振切れ圧状態では
変化を受けないことに留意すべきである。

第１１図を参照すると、本考案の別の実施例の
振切れ圧防止装置が示され、ベローズの予荷重さ
れた力を補助する付加的なばね７が設けられ、プ
ラグ８が該ばね７の内部に挿入されていて充填流
体の体積を減らす働きを行う。この実施例の作動
は前記実施例と基本的に同じである。

本考案の好適実施例を詳細に述べたが、実用新
案登録請求の範囲に定義される本考案の範囲を逸
脱することなく、多くの変更が可能なことは当該
分野の専門家にとつて明らかである。

【図面の簡単な説明】

第１図は本考案により構成された振切れ圧防止
装置を含む差圧伝送器の部分断面図、第２図は第
１図の振切れ圧防止装置の正常作動状態を部分断
面で示す拡大図、第３図は第２図と類似の図であ
るが、正の振切れ圧を受けたときの振切れ圧防止
装置の状態を示す図、第４図は第２図と類似の図
であるが、負の振切れ圧を受けたときの振切れ圧
防止装置の状態を示す図、第５図は正と負の差圧
に対する振切れ圧防止装置のベローズのたわみを
示すグラフ、第６図はベローズとばねの双方が零
位置において圧縮されている振切れ防止装置の他
の実施例の部分断面の概略図、第７図はばねが圧
縮状態にあり、ベローズが零位置において引張状
態にある振切れ圧防止装置の他の実施例の部分断
面の概略図、第８図は更に別の実施例の部分断面
概略図で、ばねが圧縮状態にあり、ベローズが零
位置において引張状態にある振切れ圧防止装置の
他の実施例の部分断面の概略図、第９図はばねが
引張状態にあり、ベローズが零位置において状態
にある振切れ圧防止装置の他の実施例の部分断面
の概略図、第１０図はばねとベローズの双方が零
位置において圧縮状態にある振切れ圧防止装置の
他の実施例の部分断面の概略図および第１１図は
充填流体の体積を減らした振切れ圧防止装置の他
の実施例の部分断面の概略図である。図において、１２……電気式変換器、１４……
振切れ圧防止装置、１６，１８……入口カバー、
２０……支持板、２２，２４……プロセス圧力入
口、２６……高圧プロセス流体室、２８，３４…
…隔離ダイヤフラム、３０，３６……支持板の表
面、４０，４８……通路、５４……ベローズ、５
６……ばね、５８，８４……基台、６０……板、
６２……ロツド、６６……ねじ、７０……ねじ
頭、６８……自由浮動スリーブ、７２，７６，８
２……停止部、７４……板、７８……通路、８０
……板。

Claims

【実用新案登録請求の範囲】 (1) 変換器に掛かる差圧の関数である電気出力信
号を生ずる変換器を有する差圧伝送器用の振切
れ圧防止装置において、 (a) 該変換器にわたり第１と第２の圧力信号を
作用させる入口手段を備えた中央空所を有す
るハウジング、 (b) 前記ハウジングの中央空所内に配置され、
前記第１と第２の圧力信号の間に挟まれた双
方向にたわみ可能で、予荷重されたベローズ
手段、 (c) 前記ハウジングの該中央空所内に配置され
た単一方向にたわみ可能で、予荷重された停
止手段であつて、前記予荷重されたベローズ
手段より大きい予荷重を有し、その予荷重力
が両方向に作用して前記第１と第２の圧力信
号の間に所定範囲の差圧にわたり該ベローズ
手段と停止手段に対し平衡位置を生じさせる
ように、前記予荷重されたベローズ手段に関
し配置されている停止手段を含み、前記たわ
み可能なベローズ手段と停止手段が第１の振
切れ圧状態の際にたわみ、また第２の、逆の
振切れ圧状態の際、前記ベローズ手段のみが
たわむようにされ、 (d) さらに、前記第１と第２の圧力信号の間の
差圧が所定の差圧を越えるのを防止する手
段、を含む、差圧伝送器用の振切れ圧防止装置。 (2) さらに、前記ベローズ手段と前記停止手段が
共に圧縮状態に予荷重されている実用新案登録
請求の範囲第１項に記載の振切れ圧防止装置。 (3) 前記停止手段が圧縮状態に予荷重されたばね
を含む実用新案登録請求の範囲第２項に記載の
振切れ圧防止装置。 (4) さらに、前記ベローズ手段と停止手段が共に
引張状態に予荷重されている実用新案登録請求
の範囲第１項に記載の振切れ圧防止装置。 (5) 前記停止手段が引張状態に予荷重されたばね
を含む実用新案登録請求の範囲第４項に記載の
振切れ圧防止装置。 (6) 前記ベローズ手段が圧縮状態に予荷重され、
前記停止手段が引張状態に予荷重されている実
用新案登録請求の範囲第１項に記載の振切れ圧
防止装置。 (7) 前記停止手段が引張状態に予荷重されたばね
を含む実用新案登録請求の範囲第６項に記載の
振切れ圧防止装置。 (8) 前記ベローズ手段が引張状態に予荷重され、
前記停止手段が圧縮状態に予荷重されている実
用新案登録請求の範囲第１項に記載の振切れ圧
防止装置。 (9) 前記停止手段が圧縮状態に予荷重されたばね
を含む実用新案登録請求の範囲第８項に記載の
振切れ圧防止装置。 (10) 前記たわみ可能なベローズ手段と停止手段が
共に、前記第１の振切れ圧防止状態の際、第１
の方向にたわみ、前記たわみ可能なベローズ手
段が、前記第２の、逆の振切れ圧防止状態の
際、第２の、逆の方向にたわむ実用新案登録請
求の範囲第１項に記載の振切れ圧防止装置。 (11) 前記たわみ可能な停止手段が、少なくとも一
部を前記たわみ可能なベローズ手段内に位置さ
せている予荷重されたばねを含む実用新案登録
請求の範囲第１項に記載の振切れ圧防止装置。 (12) 前記たわみ可能な停止手段が、少なくとも一
部を前記たわみ可能なベローズ手段に関して共
軸に、かつ前記ベローズ手段の外部に位置させ
た予荷重されたばねを含む実用新案登録請求の
範囲第１項に記載の振切れ圧防止装置。 (13) 前記ばねの前記少なくとも一部が前記たわ
み可能なベローズ手段を取り囲む実用新案登録
請求の範囲第12項に記載の振切れ圧防止装置。 (14) 前記ばねの前記少なくとも一部が前記たわ
み可能なベローズ手段から軸線方向に離隔して
いる実用新案登録請求の範囲第12項に記載の振
切れ圧防止装置。 (15) 前記第１と第２の圧力信号の間の差圧が所
定の圧力を越えるのを防止する前記手段が、 (a) 第１と第２の隔離ダイヤフラム、 (b) 第１と第２の隔離ダイヤフラム用の支持板
であつて、対応の第１と第２の隔離ダイヤフ
ラムと共に第１と第２の充填流体室をそれぞ
れ画成する第１と第２の支持板、 (c) 前記各充填流体室内にある充填流体、 (d) 前記第１の充填流体室からの充填流体を前
記予荷重されたベローズ手段の外面に接続さ
せる手段、および (e) 前記第２の充填流体室からの充填流体を前
記予荷重されたベローズ手段の外面に接続さ
せる手段を含む実用新案登録請求の範囲第１項に記載の
振切れ圧防止装置。