JPH01258948A - 積層治具洗浄方法 - Google Patents
積層治具洗浄方法Info
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- JPH01258948A JPH01258948A JP63086679A JP8667988A JPH01258948A JP H01258948 A JPH01258948 A JP H01258948A JP 63086679 A JP63086679 A JP 63086679A JP 8667988 A JP8667988 A JP 8667988A JP H01258948 A JPH01258948 A JP H01258948A
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- Pending
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- 238000000034 method Methods 0.000 title claims abstract description 21
- 238000005406 washing Methods 0.000 title abstract description 8
- 239000007788 liquid Substances 0.000 claims abstract description 29
- 238000004140 cleaning Methods 0.000 claims description 56
- 238000002347 injection Methods 0.000 claims description 5
- 239000007924 injection Substances 0.000 claims description 5
- 238000001035 drying Methods 0.000 claims description 3
- XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N water Substances O XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N 0.000 abstract description 11
- KEUKAQNPUBYCIC-UHFFFAOYSA-N ethaneperoxoic acid;hydrogen peroxide Chemical compound OO.CC(=O)OO KEUKAQNPUBYCIC-UHFFFAOYSA-N 0.000 abstract description 6
- 239000011347 resin Substances 0.000 abstract description 5
- 229920005989 resin Polymers 0.000 abstract description 5
- 238000003475 lamination Methods 0.000 description 19
- ZMXDDKWLCZADIW-UHFFFAOYSA-N N,N-Dimethylformamide Chemical compound CN(C)C=O ZMXDDKWLCZADIW-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 9
- 239000007921 spray Substances 0.000 description 6
- 238000005498 polishing Methods 0.000 description 5
- 229910001369 Brass Inorganic materials 0.000 description 3
- 239000010951 brass Substances 0.000 description 3
- 238000005507 spraying Methods 0.000 description 3
- 238000010030 laminating Methods 0.000 description 2
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 2
- 239000003960 organic solvent Substances 0.000 description 2
- 238000007664 blowing Methods 0.000 description 1
- 239000012459 cleaning agent Substances 0.000 description 1
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 1
- 238000005516 engineering process Methods 0.000 description 1
- 150000002484 inorganic compounds Chemical class 0.000 description 1
- 229910010272 inorganic material Inorganic materials 0.000 description 1
- 150000002894 organic compounds Chemical class 0.000 description 1
- 238000004904 shortening Methods 0.000 description 1
- 239000002904 solvent Substances 0.000 description 1
Landscapes
- Laminated Bodies (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
本発明は多層印刷配線板製造プロセスの積層工程におけ
る治具の洗浄方法に関する。
る治具の洗浄方法に関する。
従来、この種の積層治具の洗浄方法は第４図に示すよう
に積層治具２の表面に付着した樹脂等の汚れ１１を真ち
ゅうのへら１０を用いて人手により除去するものである
。しかしながら、最近の積層治具製造作業の自動化に伴
い、自動研摩装置を用いた積層治具の洗浄方法が提案さ
れている。
に積層治具２の表面に付着した樹脂等の汚れ１１を真ち
ゅうのへら１０を用いて人手により除去するものである
。しかしながら、最近の積層治具製造作業の自動化に伴
い、自動研摩装置を用いた積層治具の洗浄方法が提案さ
れている。
この洗浄方法は、第３図に示すように、積層治具２をコ
ンベア１で洗浄室１３内へ搬送して自動洗浄を行うとい
うものである。該洗浄室１３は搬送されてくる積層治具
２を研摩するバフ８と、該積層治具２及び該バフ８に温
水を噴射するノズル１４を有する温水装置ｉ７とを内蔵
し、積層治具２の表面に付着した樹脂等の汚れ１１はバ
フ８の研摩によって除去される。
ンベア１で洗浄室１３内へ搬送して自動洗浄を行うとい
うものである。該洗浄室１３は搬送されてくる積層治具
２を研摩するバフ８と、該積層治具２及び該バフ８に温
水を噴射するノズル１４を有する温水装置ｉ７とを内蔵
し、積層治具２の表面に付着した樹脂等の汚れ１１はバ
フ８の研摩によって除去される。
上述した従来の洗浄方法によればバフ研摩により自動洗
浄できるため、作業性及び治具表面の洗浄性を向上し、
積層体の表面仕上りを向上させる利点がある。
浄できるため、作業性及び治具表面の洗浄性を向上し、
積層体の表面仕上りを向上させる利点がある。
しかしながら、パフ研摩を利用した洗浄方法は、治具表
面全体を研摩するために研摩する必要のない部位をも削
去することとなり、治具の寿命を短くする欠点がある。
面全体を研摩するために研摩する必要のない部位をも削
去することとなり、治具の寿命を短くする欠点がある。
また、第４図、第５図に示すような取手９の付いた治具
を洗浄する場合、研摩する面がフラットでないため、バ
フ８によって研摩することは困難である。
を洗浄する場合、研摩する面がフラットでないため、バ
フ８によって研摩することは困難である。
本発明の目的は前記課題を解消した積層治具洗浄方法を
提供することにある。
提供することにある。
上述した従来の積層治具洗浄方法が治具表面を研摩する
ことで汚れを除去して洗浄するのに対し、本発明の積層
治具洗浄方法は、洗浄液を高圧で積層治具に吹き付けて
汚れを除去し、さらに治具表面に残存する洗浄液を乾燥
させて洗浄を行うという相違点を有する。
ことで汚れを除去して洗浄するのに対し、本発明の積層
治具洗浄方法は、洗浄液を高圧で積層治具に吹き付けて
汚れを除去し、さらに治具表面に残存する洗浄液を乾燥
させて洗浄を行うという相違点を有する。
前記課題を解消するため、本発明の積層治具洗浄方法に
おいては、治具を搬送しながらその搬送途中の治具に洗
浄液を高圧で噴射する洗浄液噴射工程と、該洗浄液噴射
工程後に治具表面に乾燥空気を送風して残存する洗浄液
を乾燥除去する洗浄液乾燥工程とを行うものである。
おいては、治具を搬送しながらその搬送途中の治具に洗
浄液を高圧で噴射する洗浄液噴射工程と、該洗浄液噴射
工程後に治具表面に乾燥空気を送風して残存する洗浄液
を乾燥除去する洗浄液乾燥工程とを行うものである。
次に本発明について図面を参照して説明する。
第１図は本発明の積層治具洗浄方法に用いる積層治具自
動洗浄装置の一実施例を示す縦断面図である。
動洗浄装置の一実施例を示す縦断面図である。
図において、洗浄室１２の底部にはその内外にわたって
積層治具２を搬送するコンベアが敷設されている。該洗
浄室１２内にはコンベアによる搬送ラインに沿ってその
上部に、搬送されてきた積層治具２へ向けて高圧で洗浄
液を噴射する複数のノズル３を下向きに備えたウォータ
ージェット５と、乾燥空気を吹き付けて該積層治具２の
表面上に残存する洗浄液を乾燥させる送風機４とを有し
ている。第２図は第１図のウォータージェット５の構造
を示す平面図である。図において、複数のノズル３を下
向きに有するウォータージェット５は滑車６に支えられ
、搬送ラインと直交する方向に一定距離を往復移動可能
に取付けられている。コンベア１上に搭載された積層治
具２は、洗浄室１２内に進入し、まずウォータージェッ
ト５のノズル３の先から高圧で噴射される洗浄液の噴射
を受けて、治具表面に付着した樹脂等の汚れ１１が除去
され、さらに送風機４側へ移送され、送風機４による乾
燥空気の吹き付けを受けて積層治具２の表面上の洗浄液
が乾燥除去されて洗浄室外へ搬出される。
積層治具２を搬送するコンベアが敷設されている。該洗
浄室１２内にはコンベアによる搬送ラインに沿ってその
上部に、搬送されてきた積層治具２へ向けて高圧で洗浄
液を噴射する複数のノズル３を下向きに備えたウォータ
ージェット５と、乾燥空気を吹き付けて該積層治具２の
表面上に残存する洗浄液を乾燥させる送風機４とを有し
ている。第２図は第１図のウォータージェット５の構造
を示す平面図である。図において、複数のノズル３を下
向きに有するウォータージェット５は滑車６に支えられ
、搬送ラインと直交する方向に一定距離を往復移動可能
に取付けられている。コンベア１上に搭載された積層治
具２は、洗浄室１２内に進入し、まずウォータージェッ
ト５のノズル３の先から高圧で噴射される洗浄液の噴射
を受けて、治具表面に付着した樹脂等の汚れ１１が除去
され、さらに送風機４側へ移送され、送風機４による乾
燥空気の吹き付けを受けて積層治具２の表面上の洗浄液
が乾燥除去されて洗浄室外へ搬出される。
上述した積層治具２に高圧洗浄液を噴射する工程におい
て、該洗浄液をむらなく積層治具２の表面全体に吹き付
けるために５本実施例の洗浄液噴射ノズル部は、複数の
ノズル３を治具の進行方向に対して左右動させながら洗
浄液を噴射させる−また、洗浄液に高圧高温あるいは高
圧常温の有機溶剤（ジメチルホルムアミド等）を用いて
積層治 ４具２に付着した汚れ１１を除去する。実際に
、温度７０〜９０℃、噴射圧力１５０〜２００ｋｇ／
ｒｄの高温水をウォータージェット５から積層治具に吹
き付けて洗浄を行なったところ、４〜５分間で治具表面
に付着した樹脂等の汚れが除去された。また、有機溶剤
（ジメチルホルムアミド）を洗浄剤に用い、常温（２０
〜２５℃）で噴射圧力を１００〜１５０ｋｇ／ｃｄに設
定して洗浄を行なったところ、さらに洗浄時間が短縮さ
れ、わずか２〜３分間で汚れを除去することができた。
て、該洗浄液をむらなく積層治具２の表面全体に吹き付
けるために５本実施例の洗浄液噴射ノズル部は、複数の
ノズル３を治具の進行方向に対して左右動させながら洗
浄液を噴射させる−また、洗浄液に高圧高温あるいは高
圧常温の有機溶剤（ジメチルホルムアミド等）を用いて
積層治 ４具２に付着した汚れ１１を除去する。実際に
、温度７０〜９０℃、噴射圧力１５０〜２００ｋｇ／
ｒｄの高温水をウォータージェット５から積層治具に吹
き付けて洗浄を行なったところ、４〜５分間で治具表面
に付着した樹脂等の汚れが除去された。また、有機溶剤
（ジメチルホルムアミド）を洗浄剤に用い、常温（２０
〜２５℃）で噴射圧力を１００〜１５０ｋｇ／ｃｄに設
定して洗浄を行なったところ、さらに洗浄時間が短縮さ
れ、わずか２〜３分間で汚れを除去することができた。
ジメチルホルムアミドは無色の液体で有機化合物に限ら
ず、無機化合物もよく溶解する溶剤の１つである。
ず、無機化合物もよく溶解する溶剤の１つである。
以上説明したように、本発明の積層治具洗浄方法によれ
ば治具表面を摩耗させることなく洗浄でき、治具の寿命
を長くすることができる。また表面がフラットな治具に
限らず、さらに取手等の突起部を有する治具に対しても
作業性良く洗浄することができる効果を有する。
ば治具表面を摩耗させることなく洗浄でき、治具の寿命
を長くすることができる。また表面がフラットな治具に
限らず、さらに取手等の突起部を有する治具に対しても
作業性良く洗浄することができる効果を有する。
第１図は本発明の積層治具洗浄方法を用いた積層治具自
動洗浄装置の一実施例を示す断面図、第２図は第１図の
ノズル部分を示す平面図、第３図は従来の積層治具洗浄
方法を用いた積層治具自動洗浄装置を示す断面図、第４
図、第５図は取手付き治具及び真ちゅうのへらによる洗
浄方法を示す図である。 １・・・コンベア ２・・・積層治具３．１
４・・・ノズル ４・・・送風機５・・・ウ
ォータージェット ６・・・滑車７・・・温水装置
８・・・パフ９・・・取手 １
０・・・真ちゅうのへら１１・・・汚れ
１２．１３・・・洗浄室特許出願人 日本電気株式
会社
動洗浄装置の一実施例を示す断面図、第２図は第１図の
ノズル部分を示す平面図、第３図は従来の積層治具洗浄
方法を用いた積層治具自動洗浄装置を示す断面図、第４
図、第５図は取手付き治具及び真ちゅうのへらによる洗
浄方法を示す図である。 １・・・コンベア ２・・・積層治具３．１
４・・・ノズル ４・・・送風機５・・・ウ
ォータージェット ６・・・滑車７・・・温水装置
８・・・パフ９・・・取手 １
０・・・真ちゅうのへら１１・・・汚れ
１２．１３・・・洗浄室特許出願人 日本電気株式
会社
Claims (1)
- （１）治具を搬送しながらその搬送途中の治具に洗浄液
を高圧で噴射する洗浄液噴射工程と、該洗浄液噴射工程
後に治具表面に乾燥空気を送風して残存する洗浄液を乾
燥除去する洗浄液乾燥工程とを行うことを特徴とする積
層治具洗浄方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP63086679A JPH01258948A (ja) | 1988-04-08 | 1988-04-08 | 積層治具洗浄方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP63086679A JPH01258948A (ja) | 1988-04-08 | 1988-04-08 | 積層治具洗浄方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH01258948A true JPH01258948A (ja) | 1989-10-16 |
Family
ID=13893707
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP63086679A Pending JPH01258948A (ja) | 1988-04-08 | 1988-04-08 | 積層治具洗浄方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH01258948A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN111712059A (zh) * | 2020-06-23 | 2020-09-25 | 广州形银科技有限公司 | 一种电路pcb的洗板装置 |
-
1988
- 1988-04-08 JP JP63086679A patent/JPH01258948A/ja active Pending
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN111712059A (zh) * | 2020-06-23 | 2020-09-25 | 广州形银科技有限公司 | 一种电路pcb的洗板装置 |
| CN111712059B (zh) * | 2020-06-23 | 2021-09-28 | 广州市诺的电子有限公司 | 一种电路pcb的洗板装置 |
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